CN111465842A - 玻璃板、玻璃板的制造方法以及端面检查方法 - Google Patents
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Abstract
玻璃板的端面检查方法对具有由磨削面或研磨面构成的端面(Ga)的玻璃板(G)检查端面(Ga)的性状,在玻璃板的端面检查方法中具备:对端面(Ga)进行化学处理来促进端面(Ga)上的凹部(GC)的形成的处理工序;对化学处理后的端面(Ga)的图像(6)进行摄像的摄像工序;和使用图像(6)来算出相对于端面(Ga)的面积由凹部(GC)的面积所占的比例的算出工序。
Description
技术领域
本发明涉及玻璃板、玻璃板的制造方法以及端面检查方法。
背景技术
如周知那样,液晶显示器、等离子显示器、有机EL显示器等平板显示器(FPD)在不断推进高精细化。与此相伴,在用作FPD用的基板的玻璃板,通过FPD的制造工序来形成致密的电路。
对于FPD用的玻璃板的端面,通常实施基于磨石的磨削加工、研磨加工等的端面加工,在加工后的端面(利用磨石加工的加工面)的表面存在裂纹。该裂纹有用算数平均粗糙度Ra等表面粗糙度进行评价的情况。另外,存在于加工后的端面的裂纹通过FPD的制造工序中的各种处理而生长,会成为使得从端面产生玻璃粉(微粒)的原因。并且,从端面产生的玻璃粉会成为阻碍电路的形成(例如电路的断线等)的要因,从而易于引起FPD的制造不良。为此,对于端面加工后的玻璃板,谋求通过检查端面的性状来掌握会在后工序从端面产生的玻璃粉的量。
在此,在专利文献1中,公开了用于掌握会从玻璃板的端面发生的玻璃粉的量的手法。在该手法中,在对玻璃板的端面推压树脂管的前端的同时使之滑动。由此,在对玻璃板的端面施加摩擦的同时将存在于端面的玻璃粉擦去。然后,从树脂管的前端吸引擦去的玻璃粉,并对其数量用计数器进行计数。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:JP特开2010-230646号公报
发明内容
发明要解决的课题
但根据专利文献1公开的手法,也不能准确地掌握会产生的玻璃粉的量,难以正确地检查端面的性状。鉴于这样的情况作出的本发明,将技术课题设为:对端面加工后的玻璃板建立能正确检查端面的性状的技术;以及提供尽可能抑制在后工序会从端面产生的玻璃粉的玻璃板。
用于解决课题的手段
本发明的发明者们进行锐意研究的结果,发现,在后工序从端面产生的玻璃粉不仅因用算数平均粗糙度Ra等表面粗糙度评价的裂纹而产生,还因用算数平均粗糙度Ra等表面粗糙度评价不了的微小裂纹、存在于比表面更靠内侧的内部的潜在裂纹而产生。然后得到如下见解:为了考虑微小裂纹、潜在裂纹的影响来正确地评价端面的性状、即在后工序(例如FPD的制造工序)从端面产生的玻璃粉的量,使微小裂纹、潜在裂纹生长,评价与此相伴而形成于端面的表面的凹部的多寡是有效的。在此,在“凹部”中不仅包含存在于端面的表面的裂纹,还包含由于玻璃粉的剥离而形成于端面的表面的凹陷(以下相同)。
基于上述的见解,为了解决上述的课题而首创的本发明所涉及的玻璃板的端面检查方法,对具有由利用磨石加工的加工面构成的端面的玻璃板检查端面的性状,该方法特征在于,具备:对端面进行化学处理来促进端面上的凹部的形成的处理工序;对化学处理后的端面的图像进行摄像的摄像工序;和使用图像来算出相对于端面的面积由凹部的面积所占的比例的算出工序。
在本检查方法中,通过在处理工序执行化学处理(例如化学清洗),对于由磨削面或研磨面构成的端面(端面加工后的端面),使用算数平均粗糙度Ra等表面粗糙度评价不了的微小裂纹、存在于比端面的表面更靠内侧的内部的潜在裂纹生长。与此相伴在端面形成凹部,成为能用扫描型电子显微镜等进行评价的状态。另外,通过玻璃的一部分剥离而产生玻璃粉,也在端面的表面形成凹部。并且,通过摄像工序以及算出工序的执行,来算出相对于端面的面积由凹部的面积所占的比例,能评价形成于端面的表面的凹部的多寡、以及基于其的性状的良否。根据以上,根据本检查方法,能对端面加工后的玻璃板正确地检查端面的性状。
在上述的方法中,优选,在算出工序中,在比例的算出前,通过对图像实施二值化处理来识别凹部和凹部以外的部分。
如此一来,在算出工序中,易于在图像上更正确地算出凹部所占的面积的比例,进而在正确且有效率地检查端面的性状上更加有利。
在上述的方法中,优选,在处理工序中使用40℃~80℃的处理液。
如此一来,在处理工序中,能使微小裂纹、潜在裂纹效率良好地生长,能效率良好地促进端面上的凹部的形成。
另外,为了解决上述的课题而首创的本发明所涉及的玻璃板的制造方法特征在于,具备:在相同条件下制作多片具有由利用磨石加工的加工面构成的端面的玻璃板的制作工序;从多片玻璃板抽样检查用玻璃板的抽样工序;对检查用玻璃板执行上述的端面检查方法的检查工序;和基于检查工序的结果来判定多片玻璃板中的端面的性状的判定工序。
在本制造方法中,通过制作工序的执行来在相同条件下制作多片具有由利用磨石加工的加工面构成的端面的玻璃板。并且,通过抽样工序的执行来从多片玻璃板抽样检查用玻璃板。在此,由于检查用玻璃板、和除了检查用玻璃板以外的多片玻璃板两者是在相同条件下制作的,因此两者实质上能视作相同玻璃板。为此,对检查用玻璃板执行的检查工序的结果,若该检查用玻璃板的端面的性状良好,就能通过判定工序,将除了检查用玻璃板以外的多片玻璃板各自作为端面的性状良好的玻璃板、即尽可能地抑制了在后工序会从端面产生的玻璃粉的玻璃板来获得。
在上述的制造方法中,优选,在制作工序中,使用动平衡8g·mm以下的磨石来制作多片玻璃板。
如此一来,能效率良好地得到端面的性状良好的玻璃板。
在上述的制造方法中,优选,在制作工序中,将对玻璃板的端面推压磨石的力的大小设为F[N],将旋转中的磨石的周速度设为R[m/min],将相对于玻璃板的端面使磨石相对移动的速度设为V[m/min],这时,使用下述的[数学式1]式表征的W的值为30以下来执行进行研磨加工的工序。
【数学式1】
如此一来,能得到端面的性状进一步良好的玻璃板。
进而,为了解决上述的课题而首创的本发明所涉及的玻璃板是具有由研磨面构成的端面的玻璃板,特征在于,在使用含有5质量%KOH且含有5质量%的NaOH的50℃的碱性溶液对端面进行2小时化学处理,促进了端面上的凹部的形成后,在使用扫描型电子显微镜以倍率1000倍进行观察的情况下,相对于端面的面积由凹部的面积所占的比例是30%以下。
根据这样的玻璃板,能尽可能地抑制在后工序会从端面产生的玻璃粉。
在上述的玻璃板中,优选,上述的比例是7%以下。
根据这样的玻璃板,能更加抑制在后工序会从端面产生的玻璃粉。
另外,为了解决上述的课题而首创的本发明所涉及的玻璃板的制造方法具备:通过磨石对玻璃板的端面进行研磨加工的工序,该方法的特征在于,将对玻璃板的端面推压磨石的力的大小设为F[N],将旋转中的磨石的周速度设为R[m/min],将相对于玻璃板的端面使磨石相对移动的速度设为V[m/min]时,使用上述的[数学式1]式表征的W的值为30以下来执行进行研磨加工的工序。
根据本制造方法,能得到尽可能地抑制了在后工序会从端面产生的玻璃粉的玻璃板,详细地,能得到上述的比例为7%以下的玻璃板。
发明的效果
根据本发明,能对端面加工后的玻璃板正确地检查端面的性状。另外,能提供尽可能地抑制了在后工序会从端面产生的玻璃粉的玻璃板。
附图说明
图1是表示本发明的第一实施方式所涉及的玻璃板的制造方法中的制作工序的俯视图。
图2是表示本发明的第一实施方式所涉及的玻璃板的制造方法中的抽样工序的俯视图。
图3是表示本发明的第一实施方式所涉及的玻璃板的制造方法中的检查工序(玻璃板的端面检查方法中的裁出工序)的俯视图。
图4a是概念地表示本发明的第一实施方式所涉及的玻璃板的制造方法中的检查工序(玻璃板的端面检查方法中的处理工序)的立体图。
图4b是概念地表示本发明的第一实施方式所涉及的玻璃板的制造方法中的检查工序(玻璃板的端面检查方法中的处理工序)的立体图。
图4c是概念地表示本发明的第一实施方式所涉及的玻璃板的制造方法中的检查工序(玻璃板的端面检查方法中的处理工序)的立体图。
图5是表示本发明的第一实施方式所涉及的玻璃板的制造方法中的检查工序(玻璃板的端面检查方法中的处理工序)的纵截面侧视图。
图6是表示本发明的第一实施方式所涉及的玻璃板的制造方法中的检查工序(玻璃板的端面检查方法中的算出工序)中所用的图像的图。
图7是表示本发明的第二实施方式所涉及的玻璃板的制造方法的俯视图。
图8是关于实施例示出用[数学式1]式([数学式2]式)表征的W的值、与相对于玻璃板的端面的面积由凹部的面积所占的比例(裂纹率)的关系的图。
具体实施方式
<第一实施方式>
以下参考附图来说明本发明的第一实施方式所涉及的玻璃板、玻璃板的制造方法以及端面检查方法。
本实施方式所涉及的玻璃板的制造方法包含:在相同条件下制作多片具有由研磨面形成的端面Ga的玻璃板G的制作工序(图1);从多片玻璃板G抽样检查用玻璃板GX的抽样工序(图2);对检查用玻璃板GX进行端面Ga的性状的检查的检查工序(图3~图6);和基于检查工序的结果来判定多片玻璃板G中的端面Ga的性状的判定工序。
如图1所示那样,在制作工序中,在每一片玻璃板G的制作中使用对玻璃板G的端面Ga进行磨削加工的磨削磨石1、和对磨削加工后的玻璃板G的端面Ga进行研磨加工的研磨磨石2。在本实施方式中,在一个端面Ga的加工时,分别各使用一个磨削磨石1和研磨磨石2,但对于两磨石1、2的至少一方,也可以使用多个。另外,磨削以及研磨加工前的玻璃板G的端面Ga是在制作工序之前执行完毕的切断工序中形成的切断端面。
磨削磨石1以及研磨磨石2对固定于图示省略的平台上的玻璃板G以同步的状态向T方向移动并对与X方向平行的端面Ga进行加工。在两磨石1、2的外周部(旋转周部)遍及上下多级而形成用于对端面Ga进行加工的槽(图示省略)。通过将该多级的槽之一推压到端面Ga,来对端面Ga进行加工。另外,两磨石1、2的旋转方向,从Z方向来看(俯视观察下)有是顺时针的情况,也有是逆时针的情况。在此,两磨石1、2的动平衡均成为8g·mm以下(关于将两磨石1、2的至少一方使用多个的情况也相同)。由此,能减低被导入端面Ga的微小裂纹以及潜在裂纹,能使相对于后述的端面的面积让凹部的面积所占的比例设为30%以下。另外,两磨石1、2向T方向的移动速度任意设定即可。
磨削磨石1是用于做出端面Ga的截面形状(与X方向正交的截面的形状)的磨石,在Y方向上的位置被固定的状态下对端面Ga不断进行加工。这时,端面被磨削,并且在端面的棱线被实施倒棱,形成圆状或平面状的倒棱面。该磨削磨石1的加工后的端面Ga成为磨削面。与此相对,研磨磨石2是用于对磨削加工后的端面Ga进行收尾加工的磨石,在对端面Ga以一定的按压力推压的状态下,对包含倒棱面的端面Ga不断进行加工。该研磨磨石2的加工后的端面Ga成为研磨面。另外,磨削磨石1也可以在对端面Ga以一定的按压力推压的状态下对端面Ga进行加工。
磨削磨石1优选是作为磨粒的结合料采用金属结合料(金属结合剂)的金属结合剂磨石。作为结合料而采用的金属优选是将从铁、铜、钴、镍、钨等选择的两种以上混合的金属,特别优选包含铁。与磨削磨石1结合的磨粒优选是金刚石磨粒,粒度优选是#300~600。
研磨磨石2优选是作为磨粒的结合料而采用树脂结合料(树脂结合剂)的树脂结合剂磨石。作为树脂结合料而优选采用热硬化性树脂。作为具体例,能采用酚醛树脂、环氧树脂、聚酰亚胺树脂、聚氨酯树脂等作为树脂结合剂。作为与研磨磨石2结合的磨粒,能使用金刚石粒子、氧化铝粒子、碳化硅粒子、立方晶氮化硼粒子、金属酸化物粒子、金属碳化物粒子、金属氮化物粒子等。磨粒的粒度优选是#100~3000,更优选是#200~1000。
完成了与X方向平行的端面Ga的磨削以及研磨加工的玻璃板G为了在该时间点对与Y方向平行的端面Ga实施磨削以及研磨加工,使其朝向在俯视观察下转换90°。并且,在朝向的转换前,对与Y方向平行的端面Ga在同样的方式下实施磨削以及研磨加工。由此在本实施方式中,与矩形的玻璃板G的四边对应的端面Ga的全部成为研磨面。
通过使用上述的两磨石1、2来对依次搬入到平台上的多片玻璃板G分别实施磨削以及研磨加工,能得到多片具有由研磨面形成的端面Ga的玻璃板G。由此制作工序完成。多片玻璃板G在直到磨削以及研磨加工完成为止的全工序中,在相同条件(例如相同成形条件、相同切断条件、相同磨削/研磨条件)下进行处理或加工。即,多片玻璃板G成为实质相互相同玻璃板。
制作工序完成后执行抽样工序。如图2所示那样,在抽样工序中,将从多片玻璃板G随机抽样的玻璃板G作为检查用玻璃板GX。另外,作为检查用玻璃板GX而抽样的玻璃板G的片数可以仅是一片,电可以是多片。在本实施方式中例示了仅抽样一片的情况。
抽样工序完成后执行检查工序。检查工序通过本实施方式所涉及的玻璃板的端面检查方法执行。在该检查工序中包含后述的裁出工序、处理工序、摄像工序以及算出工序。
在检查工序(玻璃板的端面检查方法)中,首先如图3所示那样执行裁出工序,将检查用玻璃板GX中的外周端部的一部分裁出作为玻璃样品GS。在该玻璃样品GS中包含检查用玻璃板GX的端面Ga(研磨面)。玻璃样品GS的尺寸可以是任意的大小,在本实施方式中是俯视观察下15mm×10mm。
裁出工序完成后,接下来,如图4a~图4c概念地示出那样执行处理工序,对玻璃样品GS的端面Ga(在裁出工序前是检查用玻璃板GX的端面Ga的面)进行化学处理来促进端面Ga上的凹部GC的形成。在本实施方式中,作为化学处理的处理液而使用碱清洗液L。具体地,通过将图4a所示的玻璃样品GS的端面Ga浸在图4b所示的碱清洗液L中进行清洗,让用算数平均粗糙度Ra等表面粗糙度评价不了的微小裂纹生长而粗大化,形成能用扫描型电子显微镜等进行评价的凹部GC(参考图4c)。另外,让存在于比端面Ga更内侧的内部的潜在裂纹生长、粗大化,并在表面露出,也由此形成能用扫描型电子显微镜等进行评价的凹部GC。进而,玻璃的一部分剥离而产生玻璃粉,与此相伴,在端面Ga的表面形成凹陷。也由此形成能用扫描型电子显微镜等进行评价的凹部GC。
对于碱清洗液L,能使用市售的玻璃基板用碱性清洗剂。作为处理液而可以使用酸清洗液,对于酸清洗液能使用市售的玻璃基板用酸清洗剂。在这些情况下,可以不稀释玻璃基板用清洗剂,而将原液作为碱清洗液L。或者也可以将玻璃基板用清洗剂用水进行稀释。对于处理液,并不限于清洗液,也可以使用促进凹部GC的形成的能力与清洗液同等的溶液。这些处理液(清洗液)的温度优选是20℃~90℃,更优选是40℃~80℃。另外,将玻璃样品GS的端面Ga浸在处理液中的时间(处理时间)优选是15分~3小时,更优选是1小时~2小时。
在使用碱清洗液L这样的碱性的处理液的情况下,作为碱成分,例如能使用KOH、(CH3)4NOH、NaOH当中一种或两种以上。碱成分的合计含有量能设为0.05质量%~20质量%,优选设为3质量%~15质量%。在使用酸清洗液这样的酸性的处理液的情况下,作为酸成分,例如能使用HF、HCl、HNO3、H2SO4等当中一种或两种以上,优选将HF作为必须。在本实施方式中,作为碱清洗液L的碱成分而使用KOH以及NaOH,其浓度均是5质量%。另外,碱清洗液L的温度是50℃,将玻璃样品GS的端面Ga浸在碱清洗液L中2小时。
在此,图4b是概念地表示将玻璃样品GS的端面Ga浸在碱清洗液L中的方式的图,详细来说,在图5所示的方式下将玻璃样品GS的端面Ga浸在碱清洗液L中。
如图5所示那样,玻璃样品GS在被支承构件3悬挂支承的状态下将其端面Ga浸渍在收容于容器4(例如烧杯等)内的碱清洗液L。这时,端面Ga位于不与容器4的内侧面、底面接触的位置。容器4配置在存积了作为超声波传递介质的水W的热浴槽5内,通过经由水W传播到碱清洗液L的超声波振动,来对端面Ga进行超声波清洗。热浴槽5内的水W,为了调节碱清洗液L的温度而能进行其温度的管理。另外,超声波清洗也可以不实施,可以对端面Ga仅实施化学清洗。
在实施超声波清洗的情况下,在上述的清洗时间内进行超声波清洗的时间优选1分~60分,更优选3分~30分。另外,超声波清洗时的水W的温度优选15℃~80℃,更优选25℃~60℃。进而,超声波清洗的频率优选10kHz~1000kHz,更优选20kHz~200kHz。
将经过上述的清洗时间的玻璃样品GS从碱清洗液L拉起,在将附着于其端面Ga的碱清洗液L清洗而除去后,干燥到没有水分。由此完成处理工序。
处理工序完成后,接下来执行摄像工序,对清洗后的端面Ga的图像6进行摄像,由此得到图6所示那样的图像6。在该摄像工序中,使用显微镜来将玻璃样品GS的端面Ga放大进行摄像。这里说的“显微镜”包含光学显微镜、扫描型电子显微镜、激光显微镜、X射线CT、CCD摄像机等。摄像时的倍率优选设为100倍~10000倍,更优选设为500倍~2000倍。
在本实施方式中,使用作为扫描型电子显微镜的FEI公司制的Quanta250FEG,在倍率1000倍且解析度173dpi的条件下来对清洗后的端面Ga的图像6进行摄像。更详细地,将端面Ga以反射电子像进行摄像。另外,亮度设定为90,对比度设定为80。
摄像工序完成后,接下来,使用图像6执行算出工序,算出相对于端面Ga的面积由凹部GC的面积所占的比例。在该算出工序中,在比例的算出前,通过对图像6实施二值化处理来识别凹部GC和凹部GC以外的部分。
在本实施方式中,对图6所示的图像6,将明度的阈值设为100来实施二值化处理。与此相伴,在图像6上相当于凹部GC的部位成为黑色,相当于凹部GC以外的部位成为白色。然后,算出二值化处理后的黑色的像素数相对于图像6的像素数的比例,将该比例作为相对于端面Ga的面积由凹部GC的面积所占的比例。另外,在上述的条件下算出的比例是24.3%。在图像解析软件中使用Scion公司制的Scion Image。由此完成算出工序,由此完成检查工序(玻璃板的端面检查方法)。
检查工序完成后,最后执行判定工序。在本实施方式中,在检查工序(算出工序)中算出的面积的比例为30%以下的情况下将多片玻璃板G判定为合格,在面积的比例超过30%的情况下将多片玻璃板G判定为不合格。在此,成为上述的玻璃样品GS的基础的检查用玻璃板GX和除了该检查用玻璃板GX以外的多片玻璃板G实质上是相同玻璃板。为此,能基于使用检查用玻璃板GX算出的面积的比例来对多片玻璃板G判定合格与否。然后,在判定为合格的情况下,将多片玻璃板G分别作为尽可能地抑制了会从端面Ga产生的玻璃粉的玻璃板而出货。另一方面,在判定为不合格的情况下,可以实施调整工序,对制作工序的磨削以及研磨加工的条件进行调整。根据本实施方式,在调整工序中,在确认到磨削磨石1以及研磨磨石2的动平衡是否是8g·mm以下,在高于8g·mm的情况下,进行动平衡的调整、磨石的更换等即可。由此,对于后续的多片玻璃板G,能使上述面积的比例为30%以下。
根据这样的本实施方式所涉及的玻璃板的制造方法,能得到相对于端面的面积由凹部的面积所占的比例为30%以下的玻璃板。根据这样的玻璃板,能尽可能地抑制在后工序会从端面产生的玻璃粉。出于进一步抑制玻璃粉的产生的观点,上述比例优选是25%以下,更优选是20%以下。在抑制制造成本的增大的观点中,上述比例优选是1%以上,更优选是5%以上,最优选是10%以上。
在本发明的玻璃板中,使用含有5质量%的KOH且含有5质量%的NaOH的50℃的碱性溶液对端面进行2小时化学处理,促进端面上的凹部的形成,之后使用扫描型电子显微镜以倍率1000倍进行观察,由此测定相对于端面的面积由凹部的面积所占的比例。在上述的化学处理中,不实施超声波清洗。另外,在上述的观察中,作为扫描型电子显微镜而使用FEI公司制的Quanta250FEG,将端面以反射电子像进行摄像,对摄像的图像实施二值化处理,来识别凹部和凹部以外的部分。在图像的摄像中,设定为解析度173dpi、亮度90、对比度80。二值化处理作为图像解析软件而使用Scion公司制的Scion Image,将阈值设为明度100。
端面的形状例如能设为具有平面状的端面和圆状或平面状的倒棱面的形状。在该情况下,用扫描型电子显微镜对平面状的端面进行摄像。另外,端面的形状也可以是没有平面而仅由曲面(例如半圆柱面)构成的形状。在该情况下,用扫描型电子显微镜对曲面的前端(顶部)进行摄像。
<第二实施方式>
以下参考附图来说明本发明的第二实施方式所涉及的玻璃板的制造方法。
如图7所示那样,第二实施方式所涉及的玻璃板的制造方法与上述的第一实施方式所涉及的玻璃板的制造方法中的制作工序类似。为此在第二实施方式的说明中,对与上述的第一实施方式中已经说明过的要素实质的相同要素,通过标注相同附图标记来省略重复的说明,仅对与第一实施方式(制作工序)的相异点进行说明。
第二实施方式所涉及的玻璃板的制造方法是用于制造相对于上述的端面Ga的面积由凹部GC的面积所占的比例(以下标记为裂纹率)为7%以下的玻璃板G的方法。第二实施方式与上述的第一实施方式的制作工序的相异的点在于,在加工玻璃板G的端面Ga时使用两个研磨用的磨石。即,在第二实施方式中,除了磨削磨石1以及研磨磨石2以外,还使用在两磨石1、2的相互间对端面Ga进行研磨加工的研磨磨石7。由此对玻璃板G的端面Ga依次实施磨削磨石1的磨削加工、研磨磨石7的研磨加工(粗研磨)、研磨磨石2的研磨加工(收尾研磨)。
磨削磨石1优选是作为磨粒的结合料而采用金属结合料(金属结合剂)的金属结合剂磨石。作为结合料而采用的金属优选是铜、铁、钴等。与磨削磨石1结合的磨粒优选是金刚石磨粒,粒度优选是#350~500。另外,关于磨削磨石1的磨削加工后的端面Ga,其表面粗糙度Ra例如为0.5μm~0.8μm。
粗研磨中所用的研磨磨石7优选是作为磨粒的结合料而采用树脂结合料(树脂结合剂)的树脂结合剂磨石。作为结合料而采用的树脂优选是聚氨酯树脂、聚酰亚胺树脂、酚醛树脂等。与研磨磨石7结合的磨粒优选是金刚石粒子,粒度优选是#400~600。另外,关于研磨磨石7的研磨加工后的端面Ga,其表面粗糙度Ra例如成为0.1μm~0.3μm。
收尾研磨中所用的研磨磨石2优选是作为磨粒的结合料而采用树脂结合料(树脂结合剂)的树脂结合剂磨石。作为结合料而采用的树脂优选是聚氨酯树脂、聚酰亚胺树脂、酚醛树脂等。与研磨磨石2结合的磨粒优选是金刚石粒子或碳化硅粒子。采用金刚石粒子情况下的粒度优选是#1000~1500,采用碳化硅粒子情况下的粒度优选是#400~800。另外,关于研磨磨石2的研磨加工后的端面Ga,其表面粗糙度Ra例如成为0.06μm~0.09μm。
在本实施方式中,在进行研磨磨石2的端面Ga的研磨加工时,将对端面Ga推压研磨磨石2的力的大小(沿着Y方向的力的大小)设为F[N],将旋转中的研磨磨石2的周速度设为R[m/min],将相对于端面Ga使研磨磨石2相对移动的速度(沿着X方向的速度)设为V[m/min],这时,对使得以下述的[数学式2]式(所述[数学式1]式)表征的W的值进行调节,使其成为30以下。由此能制造上述的裂纹率为7%以下的玻璃板G。另外,出于将端面Ga上的微小裂纹以及存在于比端面Ga更内侧的内部的潜在裂纹确实地除去的观点,W的值优选设为1以上。
【数学式2】
上述的F的值优选在10N~70N的范围内调节。另外,上述的R的值优选在500m/min~5000m/min的范围内调节。进而,上述的V的值优选在0.5m/min~50m/min的范围内调节。
【实施例1】
为了验证本发明的效果,对用与上述的第二实施方式同样的方式制造的玻璃板G调查以上述的[数学式2]式([数学式1]式)表征的W的值与上述的裂纹率的关系。
在分别变更上述的F、R、V的值的同时,在合计26个条件下制造玻璃板G。详细地,分别在W的值为30以下的17个条件以及W的值超过30的9个条件下制造玻璃板G。然后,对在各条件下制造的玻璃板G通过与上述的第一实施方式的检查工序同样的方式来算出裂纹率的值。
在图8示出从本验证所明确的W的值与裂纹率的关系。如该图所示那样,可知关于在W的值为30以下的17个条件下制造的玻璃板G,裂纹率均为7%以下。另一方面,关于在W的值超过30的9条件下制造的玻璃板G,裂纹率大半超过7%。
从以上可知,若用与上述的第二实施方式同样的方式制造玻璃板G,就能适合地制造裂纹率为7%以下的玻璃板G(尽可能抑制了在后工序会从端面Ga产生的玻璃粉的玻璃板G)。
在此,本发明所涉及的玻璃板的制造方法以及端面检查方法并不限定于上述的实施方式说明的结构、方式。在上述的第一实施方式中为对由研磨面构成的端面的性状进行检查的方式,但也可以设为对由磨削面构成的端面的性状进行检查。
另外,也可以对端面的多个部位摄像图像。例如在具有平面状的端面和圆状或平面状的倒棱面的情况下,可以对平面状的端面和夹着端面的两方的倒棱面摄像图像,对各个图像算出凹部的面积所占的比例。在对端面的多个部位摄像图像的情况下,在判定工序中,可以根据多个部位的上述比例来算出平均值。或者,在判定工序中,可以使用多个部位的上述比例当中的最大值。
另外,在上述的第二实施方式中,使用两个研磨用的磨石,但并不限定于此。研磨用的磨石也可以仅使用一个,电可以使用三个以上。不管是采用哪种形态的情况,都优选在由将W的值调节成30以下的研磨磨石即将加工玻璃板的端面前的时间点,将玻璃板的端面的表面粗糙度Ra设为0.1μm~0.3μm的范围内。
附图标记的说明
F 推压磨石的力的大小
G 玻璃板
Ga 端面
GC 凹部
GX 检查用玻璃板
L 碱清洗液
R 磨石的周速度
V 相对于玻璃板的端面的磨石的相对移动速度
2 研磨磨石
6 图像
Claims (9)
1.一种玻璃板的端面检查方法,对具有由利用磨石加工的加工面构成的端面的玻璃板检查所述端面的性状,所述玻璃板的端面检查方法的特征在于,具备:
对所述端面进行化学处理来促进该端面上的凹部的形成的处理工序;
对化学处理后的所述端面的图像进行摄像的摄像工序;和
使用所述图像来算出所述凹部的面积相对于所述端面的面积所占的比例的算出工序。
2.根据权利要求1所述的玻璃板的端面检查方法,其特征在于,
在所述算出工序中,在所述比例的算出前,通过对所述图像实施二值化处理来识别所述凹部和该凹部以外的部分。
3.根据权利要求1或2所述的玻璃板的端面检查方法,其特征在于,
在所述处理工序中,使用40℃~80℃的处理液。
4.一种玻璃板的制造方法,其特征在于,具备:
在相同条件下制作多片玻璃板的制作工序,该玻璃板具有由利用磨石加工的加工面构成的端面;
从所述多片玻璃板抽样检查用玻璃板的抽样工序;
对所述检查用玻璃板执行权利要求1~3中任一项所述的玻璃板的端面检查方法的检查工序;和
基于该检查工序的结果来判定所述多片玻璃板中的端面的性状的判定工序。
5.根据权利要求4所述的玻璃板的制造方法,其特征在于,
在所述制作工序中,使用动平衡为8g·mm以下的所述磨石来制作多片所述玻璃板。
7.一种玻璃板,具有由研磨面构成的端面,所述玻璃板的特征在于,
在使用含有5质量%的KOH且含有5质量%的NaOH的50℃的碱性溶液来对所述端面进行2小时化学处理,促进了该端面上的凹部的形成后,在使用扫描型电子显微镜以倍率1000倍进行观察的情况下,所述凹部的面积相对于所述端面的面积所占的比例是30%以下。
8.根据权利要求7所述的玻璃板,其特征在于,
所述比例是7%以下。
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