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CN111273492A - 显示面板及显示面板的制作方法 - Google Patents

显示面板及显示面板的制作方法 Download PDF

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CN111273492A
CN111273492A CN202010116873.4A CN202010116873A CN111273492A CN 111273492 A CN111273492 A CN 111273492A CN 202010116873 A CN202010116873 A CN 202010116873A CN 111273492 A CN111273492 A CN 111273492A
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display panel
touch
insulating layer
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CN202010116873.4A
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曹武
林永伦
龚立伟
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Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd
Original Assignee
Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd
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Priority to US16/652,693 priority patent/US11360592B2/en
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Abstract

本揭示提供一种显示面板及显示面板的制作方法，显示面板包括背光模组、相对设置的第一基板和第二基板，以及设置于第一基板和第二基板之间的液晶层，背光模组设置于第一基板远离第二基板的一侧，第一基板靠近第二基板的一侧上设有像素电极层以及多条触控信号线，第二基板靠近第一基板的一侧上设有公共电极层，所述公共电极层和第二基板之间设有多个触控电极；其中，所述第一基板和所述第二基板之间还设有多个导电的主隔垫物，所述主隔垫物的两端分别与所述触控电极和所述触控信号线连接，实现第一基板和第二基板的导通，消除公共电极对触控电极信号的屏蔽，并提高背光模组的光线透过率，提升显示面板的亮度。

Description

显示面板及显示面板的制作方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种显示面板及显示面板的制作方法。
背景技术
液晶盒内触控结构具有兼容现有液晶面板制程以及改善液晶面板模组厚度的优势，对于负型液晶显示面板，需要将公共电极层置于靠近背光模组一侧的基板上，以防止整面设置的公共电极层屏蔽手指以及触控电极的信号。同时，为避免巨量触控电极的上下基板通过周围非显示区域的金胶点打点导通，需要将触控电极和像素的走线置于阵列基板上。
然而由此使得阵列基板必须设置于彩膜基板远离背光模组的一侧，阵列基板内大量金属造成的高反射率使得背光模组的光线透过率减小，导致显示面板亮度降低。此外，为避免触控电极和像素电极的耦合串扰影响，还需要在触控电极上覆盖有机薄膜平坦层作为绝缘层，这使得后续薄膜晶体管器件等高温制程的难度增大。
综上所述，现有液晶盒内触控结构的显示面板存在阵列基板内大量金属造成的高反射率使得背光模组的光线透过率降低，导致显示面板亮度降低的问题。故，有必要提供一种显示面板及显示面板的制作方法来改善这一缺陷。
发明内容
本揭示实施例提供一种显示面板及显示面板的制作方法，用于解决现有液晶盒内触控结构的显示面板存在阵列基板内大量金属造成的高反射率使得背光模组的光线透过率降低，导致显示面板亮度降低的问题。
本揭示实施例提供一种显示面板，包括背光模组、相对设置的第一基板和第二基板，以及设置于所述第一基板和所述第二基板之间的液晶层，所述背光模组设置于所述第一基板远离所述第二基板的一侧；
所述第一基板靠近所述第二基板的一侧上设有像素电极层以及多条触控信号线；
所述第二基板靠近所述第一基板的一侧上设有公共电极层，所述公共电极层和所述第二基板之间设有多个触控电极；
其中，所述第一基板和所述第二基板之间还设有多个导电的主隔垫物，所述主隔垫物的两端分别与所述触控电极和所述触控信号线连接。
根据本揭示一实施例，多个所述触控电极沿第一方向和第二方向在所述第二基板上排布形成触控电极阵列。
根据本揭示一实施例，所述触控电极为块状电极，并且所述触控电极的平面尺寸介于3*3mm～10*10mm之间。
根据本揭示一实施例，每一所述触控电极连接至少一个所述主隔垫物。
根据本揭示一实施例，所述显示面板包括多个透光子区和非透光子区，所述第二基板靠近所述第一基板的一侧上还设有多个黑色矩阵，所述黑色矩阵和所述主隔垫物均设置于所述非透光子区内。
根据本揭示一实施例，所述第一基板靠近所述第二基板一侧还设有多个辅助隔垫物，所述辅助隔垫物位于所述非透光子区内，并且与所述主隔垫物的材料相同。
根据本揭示一实施例，所述公共电极层与所述触控电极之间设有第一绝缘层，所述主隔垫物通过贯穿所述公共电极层和所述第一绝缘层的过孔与所述触控电极连接。
根据本揭示一实施例，所述显示面板还包括彩色滤光层，所述彩色滤光层设置于所述第一基板靠近所述第二基板的一侧或者设置于所述第二基板靠近所述第一基板的一侧。
根据本揭示一实施例，所述第一基板靠近所述第二基板一侧还设有多个薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括栅极线层、有源层、源电极和漏电极，所述触控信号线与所述源电极以及所述漏电极的材料相同，并设置于同一层。
本揭示实施例还提供一种显示面板的制作方法，包括：
提供第一基板，在所述第一基板上沉积第一金属层，刻蚀所述第一金属层形成栅极线层；
在所述第一基板上形成栅极绝缘层，并在所述栅极绝缘层上形成有源层；
在所述栅极绝缘层上沉积第二金属层，刻蚀所述第二金属层，形成源电极、漏电极以及触控信号线；
在所述第一基板靠近所述第二基板一侧形成像素电极层；
在所述第一基板靠近所述第二基板的一侧形成多个导电的主隔垫物；
提供第二基板，在所述第二基板上沉积第三金属层，刻蚀所述第三金属层，形成多个触控电极；
在所述第二基板上沉积形成第一绝缘层，所述第一绝缘层覆盖所述触控电极；
在所述第一绝缘层远离所述第二基板一侧形成公共电极层，刻蚀所述公共电极层和第一绝缘层，形成暴露出部分所述触控电极的过孔；以及
将所述第一基板和所述第二基板对盒贴合。
本揭示实施例的有益效果：本揭示实施例将像素电极和触控信号线设置于第一基板上，并将触控电极和公共电极设置于第二基板，通过在第一基板和第二基板之间设置多个导电的主隔垫物，以将触控电极和触控信号线连接，实现第一基板和第二基板的导通，消除公共电极对触控电极信号的屏蔽，并将背光模组设置于第一基板远离第二基板的一侧，以提高背光模组的光线透过率，提升显示面板的亮度。
附图说明
为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是揭示的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本揭示实施例提供的显示面板的截面结构示意图；
图2为本揭示实施例提供的触控电极的排布示意图；
图3为本揭示实施例提供的主隔垫物的排布示意图；
图4为本揭示实施例提供的辅助隔垫物的示意图；
图5为本揭示实施例提供的第二种显示面板的截面结构示意图；
图6为本揭示实施例提供的第三种显示面板的截面结构示意图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本揭示可用以实施的特定实施例。本揭示所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本揭示，而非用以限制本揭示。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。
下面结合附图和具体实施例对本揭示做进一步的说明。
本揭示实施例提供一种显示面板，下面结合图1进行详细说明。如图1所示，图1为本揭示实施例提供的显示面板的截面结构示意图。本揭示实施例所提供的显示面板为液晶盒内(incell)触控结构的负性液晶显示面板，所述显示面板包括背光模组14、相对设置的第一基板11和第二基板12，以及设置于第一基板11和第二基板12之间的液晶层13，背光模组14设置于第一基板11远离第二基板12的一侧。
第一基板11靠近第二基板12的一侧上设有像素电极层111和多条触控信号线112，像素电极层111包括刻蚀形成的像素电极图案。第二基板12靠近第一基板11的一侧上设有公共电极层121，公共电极层121和第二基板12之间设有多个触控电极122。
如图1所示，第一基板11和第二基板12之间还设有多个导电的主隔垫物15，主隔垫物15的两端分别与触控电极122和触控信号线112连接，将第一基板11和第二基板12导通形成通路，以此避免在第一基板11和第二基板12周围的非显示区域设置金胶点进行打点导通，从而减少相关的制程以及需要的材料，降低生产成本。
具体地，主隔垫物15为含有导电粒子的有机高分子光阻材料制成，导电粒子可以包括Au/Ag/Pt等金属微纳米球、AgNW纳米银线、石墨烯或碳纳米管等。
如图2所示，图2为本揭示实施例提供的触控电极的排布示意图。本揭示实施例所提供的显示面板的触控类型为透射式自电容，触控电极122在第二基板12上沿第一方向和第二方向排布形成触控电极阵列，并分别与触控信号线122通过主隔垫物15连接。阵列排布的触控电极122分别与地构成屏体的电容，当手指触摸到显示面板时，手指的电容将会叠加到屏体的电容上，使屏体的电容增加，根据触摸前后电容的变化，即可确定触摸点的第一方向和第二方向的坐标，最后组合成触摸点的坐标。
具体地，本揭示实施例所提供的的触控电极122为矩形的块状电极，其平行于第二基板122的平面的尺寸为5*5mm。当然，所述触控电极122的平面的尺寸并不仅限于5*5mm，介于3*3mm至10*10mm之间均可以满足精准触控的功能，具体数值可以根据实际需求进行设置，此处不做限制。此外，为保证显示面板的光线透过率，触控电极122的材料因为透明金属氧化物，如氧化铟锡(ITO)等。
进一步的，结合图1和图3，图3为本揭示实施例提供的主隔垫物的排布示意图。显示面板包括阵列排布的多个子像素10，每个所述子像素10均包括透光子区A1和非透光子区A2，第二基板12靠近第一基板11的一侧上设有多个黑色矩阵123，并且黑色矩阵123和主隔垫物15均位于非透光子区A2内，用于阻隔相邻透光子区A1内的光线。
其中，每一触控电极仅需对应一个主隔垫物15就可以完成与触控信号线12的导通，如图3所示，主隔垫物15可在第二基板12上周期性按照特定的密度均匀排列，位于同一行子像素10中的多个主隔垫物15之间等距间隔设置，任意相邻两行的所述主隔垫物15之间交错排列。
具体地，位于同一行子像素10中任意相邻两个主隔垫物15之间的距离a为1488μm，任意一行的主隔垫物15与相邻一行主隔垫物之间的直线距离以及沿第二方向的距离也均相等，其中直线距离距离b为1341μm，沿第二方向的距离c为1116μm，即其中一行的相邻两个主隔垫物与上下相邻两行的主隔垫物形成菱形的排布结构。均匀排列的主隔垫物15不仅可以导通触控电极122与触控信号线112，还可以使显示面板液晶盒的厚度保持一致，此外对液晶显示面板在一些特殊的劣化性环境测试中，能够起到提高显示面板性能的作用。
当然，在一些实施例中，主隔垫物还可以按照其他特定的密度排列，上述的距离数据也可以根据实际需求进行改变，相邻隔垫物之间也可以呈方正矩阵式排列，或者其他任意形状的排列方式，均可以实现与上述实施例相同的技术效果，此处不做限制。
优选的，虽然每一触控电极仅需对应一个主隔垫物15就可以完成与触控信号线12的导通，但为避免触控电极122与主隔垫物15之间由于接触面积过小导致接触阻抗过大，应该采用一个触控电极122与多个主隔垫物15连接，以减小阻抗，此外还可以避免单个主隔垫物15或者触控信号线112断路造成的触控失效的风险。
更进一步的，如图4所示，图4为本揭示实施例提供的辅助隔垫物的示意图，第一基板11靠近所述第二基板12一侧还设有多个辅助隔垫物19，辅助隔垫物19同样设置于彩色滤光层16远离第一基板11的一侧，并且位于非透光子区A2内。其中，辅助隔垫物19的高度低于主隔垫物15的高度，其作用在于支撑第一基板11和第二基板12以维持显示面板内各液晶盒的厚度。此外，辅助隔垫物19的材料可以选用现有技术中常用的隔垫物的材料，当然，优选选用与本揭示实施例中主隔垫物15相同的含有导电粒子的有机高分子光阻材料，以此通过一道制程同时形成主隔垫物15和辅助隔垫物19，可减少生产制程，提高生产效率并降低生产成本。
在本揭示实施例中，公共电极层121为整面蒸镀形成，公共电极层121与触控电极122之间设有第一绝缘层125，以将公共电极层121和触控电极122隔开，并避免公共电极层121和触控电极122之间的耦合串扰影响。
具体的，第一绝缘层125的材料为SiNx。当然，在一些实施例中，绝缘层125的材料也可以为SiOx等无机材料，或者也可以为有机材料，如PFA等高分子聚合物材料，此处不做限制。
第一基板11靠近第二基板12一侧还设有多个薄膜晶体管113，薄膜晶体管113设置于非透光子区A2内。薄膜晶体管113包括栅极线层114、有源层116、源电极117和漏电极118，第一基板11上设有栅极绝缘层115，栅极绝缘层115覆盖栅极线层114，有源层116设置于栅极绝缘层115远离第一基板11的一侧。源电极114和漏电极118分别与有源层116两侧连接。
在本实施例中，触控信号线112与源电极17以及漏电极118的材料相同，并且均设置于栅极绝缘层15远离第一基板11的一侧。具体的，栅极线层115由显示面板中第一金属层通过刻蚀形成，源电极117、漏电极118以及触控信号线112则由第二金属层刻蚀形成，以此可以减少单独刻蚀形成触控信号线所需要的光罩以及相关膜层的工艺制程。此外，在第一基板11上设置触控信号线112，同时保留第二基板上与触控电极连接的第一触控信号线124，可以形成一个子像素中含有两条触控信号线的结构。当然，在一些实施例中，第二基板上的第一触控信号线124也可以省略，仅需触控信号线112即可实现触控信号的传输。
在本揭示实施例中，显示面板为COA(color film on array)架构的显示面板，第一基板11为阵列基板，显示面板包括彩色滤光层16，所述彩色滤光层16设置于第一基板11靠近第二基板12的一侧。
具体地，彩色滤光层16设置于栅极绝缘层115远离第一基板11的一侧，并覆盖所述薄膜晶体管113。像素电极层11位于彩色滤光层16远离第一基板11的一侧，并通过贯穿彩色滤光层的过孔与薄膜晶体管113的源电极117连接，主隔垫物15通过贯穿彩色滤光层的另一过孔与触控信号线112连接。黑色矩阵123则设置于第一绝缘层125与公共电极层121之间，主隔垫物15的另一端则通过贯穿公共电极层121、黑色矩阵123以及第一绝缘层125的过孔与触控电极122连接。以此，可以保持阵列基板位于靠近背光模组14的一侧，减少第一基板11内各膜层金属对背光模组14发出光线的反射，提高光线透过率并提升显示面板的亮度，同时，将触控电极122和公共电极层121置于第二基板上，可以兼容现有incell显示面板结构的制程，同时也不会影响像素电极层111的制程，并且无需开发新的制程，从而可以降低生产成本。
本揭示实施例还提供一种显示面板，所述显示面板的结构与上述显示面板的结构大致相同，区别之处在于，本揭示实施例所提供的显示面板为NonCOA架构的显示面板，即显示面板的彩色滤光层16设置于第二基板12靠近第一基板11的一侧，此时第一基板11为阵列基板，第二基板12为彩膜基板。
具体地，如图5所示，图5为本揭示实施例提供的第二种显示面板的截面结构示意图。彩色滤光层16和黑色矩阵123均设置于第一绝缘层125和公共电极层121之间，栅极绝缘层115远离第一基板11一侧设有第二绝缘层119，第二绝缘层119还覆盖薄膜晶体管113，像素电极111通过设置于第二绝缘层119上的过孔与源电极117连接，主隔垫物15通过第二绝缘层119上的另一过孔与触控信号线112连接。主隔垫物15的另一端则通过贯穿公共电极层121、彩色滤光层16、黑色矩阵123以及第一绝缘层125的过孔与触控电极122连接。
本揭示实施例还提供另一种显示面板，所述显示面板的结构与上述第二种显示面板的结构大致相同，如图6所示，图6为本揭示实施例所提供的第三种显示面板的截面结构示意图。与上述实施例所提供的显示面板的区别之处在于，本揭示实施例中，彩色滤光层16和黑色矩阵123均设置于第一绝缘层125和第二基板12之间，触控电极122设置于彩色滤光层16与第一绝缘层125之间。主隔垫物15的一端与触控信号线112连接，另一端通过贯穿公共电极层121和第一绝缘层125的过孔与触控电极122连接。
对于第二种显示面板的结构，需要对彩色滤光层16、黑色矩阵123、第一绝缘层125以及公共电极层121进行开孔，相较于第三种显示面板的结构，第二种显示面板的结构的过孔的深度明显增大，所需要的主隔垫物15的高度也随之增大，以此会造成第一基板11和第二基板12对盒组装难度增大，组装偏差的风险提高，而第三种显示面板的结构，无需对彩色滤光层16和黑色矩阵123进行开孔，所需要的主隔垫物15的高度较小，从而可降低对盒组装的难度，使得成本和组装难度可控，因此，优先选用第三种显示面板的结构。
本揭示实施例的有益效果：本揭示实施例将像素电极和触控信号线设置于第一基板上，并将触控电极和公共电极设置于第二基板，通过在第一基板和第二基板之间设置多个导电的主隔垫物，以将触控电极和触控信号线连接，实现第一基板和第二基板的导通，消除公共电极对触控电极信号的屏蔽，并将背光模组设置于第一基板远离第二基板的一侧，以提高背光模组的光线透过率，提升显示面板的亮度。
本揭示实施例还提供一种显示面板的制作方法，下面结合图1至图6进行详细说明。
本揭示实施例提供的显示面板的制作方法包括：
步骤S1：提供第一基板11，在第一基板11上沉积第一金属层，刻蚀所述第一金属层形成栅极线层114；
步骤S2：在第一基板11上形成栅极绝缘层115，所述栅极绝缘层115覆盖所述栅极线层114，并在所述栅极绝缘层115上形成有源层116；
步骤S3：在所述栅极绝缘层115上沉积第二金属层，刻蚀所述第二金属层形成源电极117、漏电极118以及触控信号线112；
步骤S4：在所述第一基板11靠近所述第二基板12的一侧形成像素电极层111；
步骤S5：在所述第一基板11靠近所述第二基板12的一侧形成多个导电的主隔垫物15，主隔垫物15的一端与所述触控信号线112连接；
步骤S6：提供第二基板12，在所述第二基板12上沉积第三金属层，刻蚀所述第三金属层形成多个触控电极122；
步骤S7：在第二基板12上沉积形成第一绝缘层125，第一绝缘层125覆盖所述触控电极122；
步骤S8：在第一绝缘层125远离第二基板12的一侧形成公共电极层，刻蚀所述公共电极层和第一绝缘层，形成暴露出部分触控电极的过孔；以及
步骤S9：将第一基板11和第二基板12对盒贴合，使得主隔垫物15的另一端通过所述过孔与触控电极122连接。
在本揭示实施例中，所述制作方法制作形成的显示面板为图1所示的COA结构的液晶显示面板，显示面板的彩色滤光层16设置于第一基板11(即阵列基板)上，因此步骤S3与S4之间还应包括下列步骤：
步骤S31：在栅极绝缘层115上形成彩色滤光层16；
步骤S32：刻蚀所述彩色滤光层16，形成贯穿所述彩色滤光层16的多个过孔。
在经过步骤S4和步骤S5过后，像素电极可通过上述过孔与源电极117连接，主隔垫物15可通过过孔与触控信号线112连接，以此将第一基板11和第二基板12导通，以此避免在第一基板11和第二基板12周围的非显示区域设置金胶点进行打点导通，从而减少相关的制程以及需要的材料，降低生产成本。
在本实施例中，步骤S3中，通过对第二金属层进行刻蚀从而形成源电极117、漏电极118以及触控信号线112，将触控信号线112的制程合并至源漏电极的制程中，可节省单独刻蚀形成触控信号线所需要的光罩以及相关的制程，可提升生产效率，并节省生产成本。
在本实施例中，所述制作方法制作而成的incell触控结构的显示面板，可将第一基板11(即阵列基板)置于靠近背光模组14的一侧，可减小第一基板11内各膜层的金属对于背光模组14的光线反射，提高了背光模组光线的穿透率，并提升显示面板的亮度。
在本实施例中，所述步骤S5中，在形成主隔垫物15的同时，还可以同时形成多个高度低于主隔垫物15的辅助隔垫物19，辅助隔垫物19的材料与主隔垫物15所用的材料相同，增设的辅助隔垫物19可以有效维持各液晶盒的厚度。
本制作方法同样适用于图5和图6所示的NonCOA结构的显示面板，其主要区别之处在于，将彩色滤光层16制作形成于第二基板12靠近第一基板11的一侧。其中，可将彩色滤光层16设置于第一绝缘层125与公共电极层121之间，此时步骤S8中所形成的过孔还需要贯穿彩色滤光层16和黑色矩阵123；此外还可以将彩色滤光层16设置于第一绝缘层125与第二基板12之间，此时，步骤S8中的过孔无需对第一绝缘层125和黑色矩阵123进行贯穿，可有效减小过孔的深度以及主隔垫物15的高度，降低第一基板11和第二基板12对盒组装贴合的难度。
本揭示实施例的有益效果：本揭示实施例提供的显示面板的制作方法通过将触控电极和触控信号线分别设置于第二基板和第一基板上，同时利用导电的主隔垫物将触控电极和触控信号线导通，从而消除公共电极对触控电极信号的屏蔽，并将背光模组设置于第一基板远离第二基板的一侧，以提高背光模组的光线透过率，提升显示面板的亮度。
综上所述，虽然本揭示以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本揭示，本领域的普通技术人员，在不脱离本揭示的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本揭示的保护范围以权利要求界定的范围为基准。

Claims (10)

1.一种显示面板，其特征在于，包括背光模组、相对设置的第一基板和第二基板，以及设置于所述第一基板和所述第二基板之间的液晶层，所述背光模组设置于所述第一基板远离所述第二基板的一侧；
所述第一基板靠近所述第二基板的一侧上设有像素电极层以及多条触控信号线；
所述第二基板靠近所述第一基板的一侧上设有公共电极层，所述公共电极层和所述第二基板之间设有多个触控电极；
其中，所述第一基板和所述第二基板之间还设有多个导电的主隔垫物，所述主隔垫物的两端分别与所述触控电极和所述触控信号线连接。
2.如权利要求1所述的显示面板，其特征在于，多个所述触控电极沿第一方向和第二方向在所述第二基板上排布形成触控电极阵列。
3.如权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述触控电极为块状电极，并且所述触控电极的平面尺寸介于3*3mm～10*10mm之间。
4.如权利要求2所述的显示面板，其特征在于，每一所述触控电极连接至少一个所述主隔垫物。
5.如权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板包括多个透光子区和非透光子区，所述第二基板靠近所述第一基板的一侧上还设有多个黑色矩阵，所述黑色矩阵和所述主隔垫物均设置于所述非透光子区内。
6.如权利要求5所述的显示面板，其特征在于，所述第一基板靠近所述第二基板一侧还设有多个辅助隔垫物，所述辅助隔垫物位于所述非透光子区内，并且与所述主隔垫物的材料相同。
7.如权利要求5所述的显示面板，其特征在于，所述公共电极层与所述触控电极之间设有第一绝缘层，所述主隔垫物通过贯穿所述公共电极层和所述第一绝缘层的过孔与所述触控电极连接。
8.如权利要求7所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括彩色滤光层，所述彩色滤光层设置于所述第一基板靠近所述第二基板的一侧或者设置于所述第二基板靠近所述第一基板的一侧。
9.如权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一基板靠近所述第二基板一侧还设有多个薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括栅极线层、有源层、源电极和漏电极，所述触控信号线与所述源电极以及所述漏电极的材料相同，并设置于同一层。
10.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括：
提供第一基板，在所述第一基板上沉积第一金属层，刻蚀所述第一金属层形成栅极线层；
在所述第一基板上形成栅极绝缘层，并在所述栅极绝缘层上形成有源层；
在所述栅极绝缘层上沉积第二金属层，刻蚀所述第二金属层，形成源电极、漏电极以及触控信号线；
在所述第一基板靠近所述第二基板一侧形成像素电极层；
在所述第一基板靠近所述第二基板的一侧形成多个导电的主隔垫物；
提供第二基板，在所述第二基板上沉积第三金属层，刻蚀所述第三金属层，形成多个触控电极；
在所述第二基板上沉积形成第一绝缘层，所述第一绝缘层覆盖所述触控电极；
在所述第一绝缘层远离所述第二基板一侧形成公共电极层，刻蚀所述公共电极层和第一绝缘层，形成暴露出部分所述触控电极的过孔；以及
将所述第一基板和所述第二基板对盒贴合。
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