CN111223399A - 柔性显示面板的制作方法 - Google Patents
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Abstract
本发明的柔性显示面板的制作方法包括以下步骤。依序形成第一离型层与金属层于载板上。图案化金属层以形成第一金属层以及第二金属层，其中部分的第一离型层经暴露出。改质经暴露的第一离型层以形成第二离型层，其中第二离型层的附着力大于第一离型层的附着力。移除第二金属层。形成柔性衬底于载板上，其中柔性衬底覆盖第一金属层、第一离型层以及第二离型层。形成组件数组于柔性衬底上，其中组件数组的显示区通过第一金属层与第一离型层对应地设置，且组件数组的非显示区与第二离型层对应地设置。切割柔性衬底、第二离型层以及载板，以形成多个柔性显示面板。进行激光剥离工艺以移除第二离型层。进行机械剥离工艺以分离柔性显示面板与载板。
Description
技术领域
本发明涉及一种显示面板的制作方法，特别是涉及一种柔性显示面板的制作方法。
背景技术
柔性显示面板的制造工艺通常是通过在硬质载板上形成所需的组件，在完成柔性显示面板后可通过激光剥离工艺或机械剥离工艺自硬质载板上取下。然而，通过激光剥离工艺照射激光以进行分离柔性显示面板与硬质载板的工艺将会使得柔性显示面板的柔性衬底的表面凹凸不平，而影响柔性显示面板的显示区的光学特性。另一方面，通过机械剥离工艺来分离柔性显示面板与硬质载板可避免上述问题，但由于在柔性显示面板的制造工艺中，位于柔性显示面板的非显示区中的柔性衬底因进行热压工艺而与硬质载板的附着力较大，而因此需提升剥离应力，使得通过机械剥离工艺来分离柔性显示面板与硬质载板将容易使柔性显示面板的非显示区损坏。
发明内容
本发明提供一种柔性显示面板的制作方法，其可使柔性显示面板的显示区具有良好的光学特性且可避免柔性显示面板的非显示区损坏。
根据本发明的实施例，本发明的柔性显示面板的制作方法包括以下步骤。依序形成第一离型层与金属层于载板上。图案化金属层以形成第一金属层以及第二金属层，其中部分的第一离型层经暴露出。改质经暴露的第一离型层以形成第二离型层，其中第二离型层的附着力大于第一离型层的附着力。移除第二金属层。形成柔性衬底于载板上，其中柔性衬底覆盖第一金属层、第一离型层以及第二离型层。形成组件数组于柔性衬底上，其中组件数组的显示区通过第一金属层与第一离型层对应地设置，且组件数组的非显示区与第二离型层对应地设置。切割柔性衬底、第二离型层以及载板，以形成多个柔性显示面板。进行激光剥离工艺以移除第二离型层。进行机械剥离工艺以分离柔性显示面板与载板。
在根据本发明的实施例的柔性显示面板的制作方法中，形成第一金属层以及第二金属层包括以下步骤。形成掩膜于金属层上，其中掩膜包括第一图案以及第二图案，第一图案的厚度大于第二图案的厚度。利用掩膜图案化所述金属层，其中第一图案与第二图案各自位于第一金属层与第二金属层的上方。
在根据本发明的实施例的柔性显示面板的制作方法中，在移除第二金属层之前，进行灰化工艺以移除第二图案以及部分的第一图案。
在根据本发明的实施例的柔性显示面板的制作方法中，在移除第二金属层之后，移除剩余的第一图案。
在根据本发明的实施例的柔性显示面板的制作方法中，改质经暴露的第一离型层的步骤包括照射光源至经暴露的第一离型层。
在根据本发明的实施例的柔性显示面板的制作方法中，光源包括紫外光。
在根据本发明的实施例的柔性显示面板的制作方法中，在进行激光剥离工艺以移除第二离型层的步骤中，自载板未面对第二离型层的一侧照射激光。
在根据本发明的实施例的柔性显示面板的制作方法中，第一离型层的材料包括聚对二甲苯。
在根据本发明的实施例的柔性显示面板的制作方法中，金属层的材料包括钼、铝、钛或其组合。
在根据本发明的实施例的柔性显示面板的制作方法中，柔性衬底的材料包括聚酰亚胺。
基于上述，由于本发明的柔性显示面板的制作方法利用激光剥离工艺移除位于非显示区的附着力较大的第二离形层且利用机械剥离工艺移除位于显示区的附着力较小的第一离形层，除了可避免柔性显示面板的非显示区经机械剥离工艺而损坏之外，也可避免组件数组的显示区损坏而降低柔性显示面板的光学特性，且可增加柔性显示面板的平坦度。
附图说明
包含附图以便进一步理解本发明，且附图并入本说明书中并构成本说明书的一部分。附图说明本发明的实施例，并与描述一起用于解释本发明的原理。
图1A至图1L为本发明一实施例的柔性显示面板的制作方法的剖面示意图；
图2A至图2D为本发明一实施例的柔性显示面板的制作方法的上视示意图。
具体实施方式
现将详细地参考本发明的示范性实施例，示范性实施例的实例说明于附图中。只要有可能，相同组件符号在附图和描述中用来表示相同或相似部分。本发明也可以各种不同的形式体现，而不应限于本文中所述的实施例。附图中的层与区域的厚度会为了清楚起见而放大。相同或相似的参考号码表示相同或相似的组件，以下段落将不再一一赘述。另外，实施例中所提到的方向用语，例如：上、下、左、右、前或后等，仅是参考附图的方向。因此，使用的方向用语是用来说明并非用来限制本发明。
图1A至图1L为本发明一实施例的柔性显示面板的制作方法的剖面示意图。图2A至图2D为本发明一实施例的柔性显示面板的制作方法的上视示意图。在此需特别说明的是，图1B为图2A中剖线A-A’的剖面示意图，图1G为图2B中剖线A-A’的剖面示意图，图1I为图2C中剖线A-A’的剖面示意图，且图1J为图2D中剖线A-A’的剖面示意图。
请参照图1A，依序形成第一离型层110与金属层120于载板100上。
在一实施例中，载板100可为硬质衬底。因此，载板100在制造的过程中不易受外力影响而变形，如此可使得后续形成于载板100上的第一离型层110与金属层120具有良好的平坦度与稳定性。载板100的材料可以是玻璃、聚碳酸酯、不锈钢板或其组合。
在一实施例中，第一离型层110的形成方法是通过化学气相沉积法或物理气相沉积法而形成。第一离型层110的材料可例如是有机材料或无机材料。举例来说，第一离型层110的材料可例如是对紫外光敏感或对具特定波长段的光线敏感的有机材料。在本实施例中，第一离型层110的材料为聚对二甲苯。第一离型层110的用途是用来暂时地将后续欲形成的柔性衬底贴附于载板100上，因此第一离型层110的附着力可例如小于一般的永久性黏着层。
在一实施例中，金属层120的形成方法是通过化学气相沉积法或物理气相沉积法而形成。金属层120的材料可例如是钼、铝、钛或其组合，且金属层120可例如是单层结构或多层结构。举例来说，金属层120可例如为由钼/铝/钼组成或由钛/铝/钛组成的多层结构，但本发明并不限于此。
请同时参照图1B以及图2A，形成掩膜130于金属层120上。在一实施例中，掩膜130为半色调掩膜(half-tone mask)。详细地说，掩膜130包括多个第一图案132以及多个第二图案134。在一实施例中，第一图案132位于载板100上的角落区域，且第二图案134位于载板100上的中央区域。第一图案132的厚度例如大于第二图案134的厚度。
请参照图1C，利用掩膜130图案化金属层120，以形成第一金属层122以及第二金属层124，其中部分的金属层120被移除后暴露出部分的第一离型层110。在一实施例中，图案化金属层120的方法例如是进行湿蚀刻工艺。上述的湿蚀刻工艺中使用蚀刻液例如为磷酸、醋酸、硝酸、铝酸或其组合。在本实施例中，使用磷酸、醋酸与硝酸的组合来作为蚀刻液，但本发明并不限于此。在本实施例中，第一金属层122以及第二金属层124的位置是由多个第一图案132以及多个第二图案134所定义。详细地说，第一图案132与第二图案134各自位于第一金属层122与第二金属层124的上方。
请参照图1D，改质经暴露的第一离型层110，以形成第二离型层110a。在一实施例中，改质经暴露的第一离型层110的方法是通过照射光源200至经暴露的第一离型层110，但本发明并不限于此。可依据第一离型层110所包括的材料来选择欲使用的光源200。举例来说，光源200可为紫外光或激光。在本实施例中，光源200为紫外光。部分的第一离型层110(即，未被掩膜130覆盖的第一离型层110)在经光源200照射后改质，而转变成黏着性较第一离型层110强的第二离型层110a。详细地说，第二离型层110a的附着力大于第一离型层110的附着力。
请参照图1E，移除第二图案134以及部分的第一图案132。在一实施例中，移除第二图案134以及部分的第一图案132的方法例如是进行灰化工艺，但本发明不以此为限。详细地说，由于第一图案132的厚度大于第二图案134的厚度，在完全地移除第二图案134时也同时会移除各个第一图案132的一部分，而形成剩余的第一图案132位于第一金属层122上且暴露出第二金属层124。
请参照图1F，移除第二金属层124。在一实施例中，移除第二金属层124的方法例如是进行湿蚀刻工艺。上述的湿蚀刻工艺中使用蚀刻液例如为磷酸、醋酸、硝酸、铝酸或其组合。在本实施例中，使用磷酸、醋酸与硝酸的组合来作为蚀刻液，但本发明并不限于此。
请同时参照图1G以及图2B，移除剩余的第一图案132。在一实施例中，移除剩余的第一图案132的方法例如是进行灰化工艺，但本发明不以此为限。在移除剩余的第一图案132后，将暴露出第一金属层122。第一金属层122可作为对位标记的用途，以使后续形成的组件数组能精准地设置于所欲的位置。
在本实施例中，仅通过一道掩膜即同时形成作为对位标记的第一金属层122以及附着力不同的第一离型层110与第二离型层110a，藉此可降低柔性显示面板的制造成本。
请参照图1H，形成柔性衬底140于载板100上。在一实施例中，柔性衬底140的形成方法例如是通过进行狭缝涂布工艺、旋涂工艺或其组合于载板100上形成柔性衬底材料层(未示出)后，再对柔性衬底材料层进行热固化工艺，但本发明并不限于此。形成的柔性衬底140例如覆盖第一金属层122、第一离型层110以及第二离型层110a。柔性衬底140的材料可例如是聚酰亚胺、聚萘二甲酸乙醇酯、聚对苯二甲酸乙二酯或其组合。在本实施例中，柔性衬底140的材料为聚酰亚胺。
请同时参照图1I以及图2C，形成组件数组150于柔性衬底140上。在一实施例中，组件数组150可为液晶显示器(LCD)数组、有机发光二极管(OLED)数组、量子点发光二极管(QLED)数组或微发光二极管(Micro LED)数组，但本发明并不限于此。在一实施例中，组件数组150可包括多个主动组件(未示出)、多条扫描线(未示出)、多条数据线(未示出)以及多个子像素(未示出)，各子像素可分别与组件数组150中对应的扫描线以及对应的数据线电性连接，但本发明不以此为限。组件数组150例如具有显示区150a以及环绕显示区150a的非显示区150b。由于在先前的工艺中形成有第一金属层122，因此可将第一金属层122作为对位标记以使组件数组150的显示区150a通过第一金属层122与第一离型层110对应地设置。在一实施例中，组件数组150的显示区150a的正投影面积与第一离型层110重叠。此外，由于组件数组150的非显示区150b环绕显示区150a，因此组件数组150的非显示区150b会与第二离型层110a对应地设置。
请同时参照图1J、图1K以及图2D，进行切割工艺300以切割柔性衬底140、第二离型层110a以及载板100，以形成多个柔性显示面板10。切割柔性衬底140、第二离型层110a以及载板100的方法可例如是通过进行激光切割工艺或刀轮切割工艺。举例来说，可通过利用激光自组件数组150的非显示区150b的边缘往载板100的方向进行切割，以形成多个相互分离的柔性显示面板10，但本发明并不限于此。
请继续参照图1K，进行激光剥离工艺400以移除第二离型层110a。举例来说，可自载板100未面对第二离型层110a的一侧对第二离型层110a照射激光，以移除第二离型层110a。在本实施例中，由于仅对与组件数组150的非显示区150b相对应的第二离型层110a照射激光，因此不会对组件数组150的显示区150a造成损坏，而影响柔性显示面板10的显示区的光学特性。
请参照图1L，进行机械剥离工艺500以分离柔性显示面板10与载板100。由于附着力较大的第二离型层110a已经由激光剥离工艺400而移除，因此，可在不于柔性显示面板10上产生损坏的情况下通过机械剥离工艺500分离柔性显示面板10与载板100。
综上所述，在本发明的柔性显示面板的制作方法中，通过对位标记(第一金属层)的设计可精准地于未经改质的离形层(第一离形层)上形成组件数组的显示区且于经改质的离形层(第二离形层)上形成组件数组的非显示区。并且，由于可仅通过一道掩膜来同时形成对位标记以及第一离型层与第二离型层，藉此可降低柔性显示面板的制造成本。此外，本发明的柔性显示面板的制作方法利用激光剥离工艺移除位于非显示区的附着力较大的第二离形层且利用机械剥离工艺移除位于显示区的附着力较小的第一离形层，除了可避免柔性显示面板的非显示区经机械剥离工艺而损坏之外，也可避免组件数组的显示区损坏而降低柔性显示面板的光学特性，且可增加柔性显示面板的平坦度。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
Claims (10)
1.一种柔性显示面板的制作方法，其特征在于，包括：
依序形成第一离型层与金属层于载板上；
图案化所述金属层，以形成第一金属层以及第二金属层，其中部分的所述第一离型层经暴露出；
改质经暴露的所述第一离型层，以形成第二离型层，其中所述第二离型层的附着力大于所述第一离型层的附着力；
移除所述第二金属层；
形成柔性衬底于所述载板上，其中所述柔性衬底覆盖所述第一金属层、所述第一离型层以及所述第二离型层；
形成组件数组于所述柔性衬底上，其中所述组件数组的显示区通过所述第一金属层与所述第一离型层对应地设置，且所述组件数组的非显示区与所述第二离型层对应地设置；
切割所述柔性衬底、所述第二离型层以及所述载板，以形成多个所述柔性显示面板；
进行激光剥离工艺以移除所述第二离型层；以及
进行机械剥离工艺以分离所述柔性显示面板与所述载板。
2.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制作方法，其中形成所述第一金属层以及所述第二金属层的步骤包括：
形成掩膜于所述金属层上，其中所述掩膜包括第一图案以及第二图案，所述第一图案的厚度大于所述第二图案的厚度；以及
利用所述掩膜图案化所述金属层，其中所述第一图案与所述第二图案各自位于所述第一金属层与所述第二金属层的上方。
3.根据权利要求2所述的柔性显示面板的制作方法，其中在移除所述第二金属层之前，进行灰化工艺以移除所述第二图案以及部分的所述第一图案。
4.根据权利要求3所述的柔性显示面板的制作方法，其中在移除所述第二金属层之后，移除剩余的所述第一图案。
5.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制作方法，其中改质经暴露的所述第一离型层的步骤包括：照射光源至经暴露的所述第一离型层。
6.根据权利要求5所述的柔性显示面板的制作方法，其中所述光源包括紫外光。
7.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制作方法，其中在进行所述激光剥离工艺以移除所述第二离型层的步骤中，自所述载板未面对所述第二离型层的一侧照射激光。
8.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制作方法，其中所述第一离型层的材料包括聚对二甲苯。
9.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制作方法，其中所述金属层的材料包括钼、铝、钛或其组合。
10.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制作方法，其中所述柔性衬底的材料包括聚酰亚胺。
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Application publication date: 20200602 |
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