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CN111093806A - 含ipa的工程排气流的处理系统 - Google Patents

含ipa的工程排气流的处理系统 Download PDF

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CN111093806A CN201780094099.8A CN201780094099A CN111093806A CN 111093806 A CN111093806 A CN 111093806A CN 201780094099 A CN201780094099 A CN 201780094099A CN 111093806 A CN111093806 A CN 111093806A
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Abstract

公开含IPA的工程排气流的处理系统。其包括降低工程排气流中至少IPA浓度的IPA浓度降低器；以及接收经过IPA浓度降低器处理的工程排气流进行处理的湿式洗涤器。IPA浓度降低器包括喷雾后电气集尘的过程和湿式过滤器处理。处理了含低浓度IPA的流的洗涤器中所使用的用水再次用于处理含高浓度IPA的流的降低器，因此能够减少废水。

Description

含IPA的工程排气流的处理系统
技术领域
本发明涉及工程排气流处理领域，更具体来讲涉及在处理含IPA的工程排气流方面能够显著减少发生废水的处理系统。
背景技术
通常，IPA(Isopropyl Alcohol，异丙醇)之类的醇类溶剂在多种工程中用作清洗剂。尤其，在半导体制造工程中IPA具有不留斑痕的特性，因此大量用于清洗半导体晶片等。
这种IPA作为醇类有机溶剂对人体有害，因此要求彻底处理含这种物质的工程排气流。为此进行的处理通常是在湿式洗涤器相接触工程排气流与水处理IPA。
图1为简要示出用于处理含IPA的工程排气流的现有的一般湿式洗涤器的示意图。
如图1所示，现有的湿式洗涤器将工程排气流流入到气体流入口1并使得在水接触区域7中和水接触以处理IPA与其他有害物质后通过气体排出口9排出的方式。与排气流接触的水是将收容在水槽3的用水通过循环部5循环使用。
半导体或显示器制造工程中使用大量的IPA，因此工程排气流中含有浓度非常高的IPA。这种高浓度的醇类IPA在循环喷射时容易再分解。因此，需要供应大量的补充水降低收容在水槽3的用水(循环水)内的IPA浓度，此时具有必然发生大量废水的问题。
发明内容
技术问题
本发明为了解决上述现有技术的问题，提供一种在处理含IPA的工程排气流方面能够减少发生废水的处理系统。
本发明提供一种通过执行多步骤处理，将处理含低浓度IPA流时用过的水重新用于处理含高浓度IPA的流，从而能够大幅减少用水的量的处理系统。
技术方案
本发明提供一种含IPA的工程排气流的处理系统，包括降低工程排气流中至少IPA浓度的IPA浓度降低器；以及接收经过所述IPA浓度降低器处理的工程排气流进行处理的湿式洗涤器。
所述IPA浓度降低器可包括向工程排气流以雾形态喷射水的喷雾部；以及集尘来自所述喷雾部的工程排气流中的雾及与雾结合的成分的电气集尘部。
所述IPA浓度降低器还可以包括对来自所述电气集尘部的工程排气流进行湿式过滤器处理的湿式过滤器部。
所述IPA浓度降低器还可以包括至少收容所述湿式过滤器部使用的水的第一水槽部。
所述湿式洗涤器可包括第二水槽部、配置在所述第二水槽部上使工程排气流与所述第二水槽部的水接触的水接触区域、循环所述第二水槽部内的水使得在所述水接触区域与工程排气流接触的第二循环部及排出经过处理的工程排气流的气体排出部。
所述第二水槽部与用水补充线路连接，收容的水达到指定水位以上时可溢出水。
优选地，所述第一水槽部获得从所述第二水槽部溢出的水，所述湿式过滤器部可循环喷射所述第一水槽部的水。
收容在所述第一水槽部的水的IPA浓度保持第一浓度值以下，收容在所述第二水槽部的水的IPA浓度可保持比所述第一浓度值低的第二浓度值。
本发明提供一种含IPA的工程排气流的处理系统，包括降低工程排气流中至少IPA浓度的IPA浓度降低器；以及接收经过所述IPA浓度降低器处理的工程排气流进行处理的湿式洗涤器，所述IPA浓度降低器可接收所述湿式洗涤器用过的水并使用。
所述IPA浓度降低器可包括第一水槽部及循环所述第一水槽部的水使得与工程排气流接触的湿式过滤器部，所述湿式洗涤器可包括第二水槽部与循环所述第二水槽部的水使得与工程排气流接触的水接触区域。
收容在所述第一水槽部与所述第二水槽部的水分别保持指定IPA浓度，所述第二水槽部可相比于所述第一水槽部保持更低的IPA浓度。
为了分别收容于所述第一水槽部与所述第二水槽部的水分别保持指定IPA浓度，所述第二水槽部与用水补充线路连接，所述第一水槽部可形成有用水排出口。
所述IPA浓度降低器还可以包括向工程排气流以雾形态喷射水的喷雾部；以及集尘来自所述喷雾部的工程排气流中的雾及以雾形态结合的成分的电气集尘部。
技术效果
根据本发明，提供在处理含IPA的工程排气流方面能够减少发生废水的处理系统。通过多步骤处理含IPA的工程排气流的情况下将处理含低浓度的IPA的流时用过的用水重新用于处理含高浓度的IPA的流的处理，因此能够节省用水。并且，在初始处理步骤向排气流以雾形态喷射水后进行电气集尘，从而能够有效地降低IPA的浓度。并且，通过分别管理分离在各水槽使用的用水内IPA浓度，能够持续稳定地执行处理过程。
附图说明
图1为简要示出现有的湿式洗涤器的示意图；
图2a与图2b是简要示出本发明的含IPA的工程排气流的处理系统的处理过程的例的框图；
图3为示出本发明的含IPA的工程排气流的处理系统的优选实施例的示意图；
图4为示出本发明的含IPA的工程排气流的处理系统的测试结果的示意图。
附图标记说明
10：IPA浓度降低器 11：喷雾部
13：电气集尘部 15：湿式过滤器部
17：第一水槽部 19：第一循环部
30：湿式洗涤器 31：第二水槽部
33：水接触区域 35：第二循环部
37：气体排出部 43：通道
171：用水排出口
具体实施方式
以下参见附图详细说明本发明的实施例。在说明本发明的实施例方面，当判断认为对有关公知技术或构成的具体说明能够混淆本发明主题的情况下省略有关具体说明。
图2a与图2b是简要示出本发明的含IPA的工程排气流的处理系统的处理过程的例的框图。图3为示出本发明的含IPA的工程排气流的处理系统的示意图。作为参考，图2a示出本发明的系统的一例，图2b示出另一例，图2a的一个例是工程排气气流被湿式洗涤器30处理之前在IPA浓度降低器10经过降低IPA浓度的预处理的基本例。以下作为优选实施例说明的图2b的另一例包括在湿式洗涤器30与IPA浓度降低器10之间执行用水溢出的构成。
参见附图，本发明的含IPA的工程排气流的处理系统包括IPA浓度降低器10与湿式洗涤器30。
图2a及图2b所示的本发明的系统适用于处理半导体制造工程之类的含IPA的工程排气流。将工程排气流流入到IPA浓度降低器10进行处理时工程排气流内IPA的浓度充分降低，之后传递到湿式洗涤器30并在湿式洗涤器30处理成IPA的浓度达到处理目标值后排出到大气中。
尤其，图2b与图3所示的本发明的优选实施例的处理系统将处理含低浓度的IPA的工程排气流的湿式洗涤器30用过的用水重新用于处理含高浓度的IPA的工程排气流的IPA浓度降低器10，从而能够显著节省用水。
IPA浓度降低器10可包括喷雾部11、集尘部13、湿式过滤器部15及第一水槽部17。如图所示的例，优选的IPA浓度降低器10的例可设置成各要素竖向配置的塔型(垂直型)，但显然也可以适用横向配置的水平型或其他配置形态。
本发明的系统中的喷雾部11与电气集尘部12对高浓度的IPA进行第一次处理。比如说可包括向从工程装置流入的工程排气流以雾形态喷射水的喷雾部11、集尘来自喷雾部11的工程排气流中的雾及与雾结合的成分的电气集尘部13。
喷雾部11向从气体流入部111流入的含高浓度的IPA的工程排气流以雾形态喷射水使得至少IPA的一部分吸附于雾。喷雾部11使用的用水可以是从外部供应的新的用水而不是循环水。电气集尘部13捕集结合于雾的IPA。虽然喷雾部11与电气集尘部13使用的用水可以是从外部新供应的水，但由于以雾形态喷射使用，因此实质上消耗少量的水。
湿式过滤器部15对通过了电气集尘部12的工程排气流进行湿式处理，优选地，可以循环收容在第一水槽部17的用水进行喷射。因此还可以包括循环第一水槽部17的水使得与排气流接触的第一循环部19。
如以下具体说明，第一水槽部17接收使用从湿式洗涤器30的第二水槽部溢出的用水。将第一水槽部17的IPA的浓度管理到例如大致4ppm以下的第一浓度值以下。达到该数值以上的情况下从设于第一水槽部17的用水排出口171排出。
在IPA浓度降低器10处理后的工程排气流传递到湿式洗涤器30进行第三次处理。
如图所示，湿式洗涤器30可以是塔型的装置。湿式洗涤器30从下部起包括第二水槽部31、配置在第二水槽部31上的使工程排气流与第二水槽部31的水接触的水接触区域33、循环第二水槽部31内的水使得在水接触区域33与工程排气流接触的第二循环部35及排出经过处理的工程排气流的气体排出部37。
第二水槽部31可以是与用水补充线路40连接，收容的水达到指定水位以上时溢出到IPA浓度降低器10的第一水槽部17的构成要素。
配置有用于将经过IPA浓度降低器10的湿式过滤器部15处理的工程排气流传递到湿式洗涤器30的通道43。图示的例为湿式洗涤器30的下端连接的形态，但不限于此。比如说作为另一例，经过IPA浓度降低器10处理的排气流可流入到湿式洗涤器30的上端部位，该情况下气体排出部可配置在下部部位。
湿式洗涤器30的第二水槽部31与用水补充线路40连接以获得从外部供应的新的用水。收容在第二水槽部31的用水保持例如0.5ppm以下的低IPA浓度(第二浓度值)。因此，第二水槽部31的IPA浓度为第二浓度值以上或第一水槽部17的IPA的浓度值为第一浓度值以上的情况下从用水补充线路40获得用水调节第二水槽部31与第一水槽部17的IPA的浓度。
以下对本发明的系统的工作进行说明。喷雾部11向从IPA浓度降低器10的气体流入口111流入的来自工程装置的工程排气流以雾形态喷射水。
之后，工程排气流通过电气集尘部12，此时执行通过电气集尘部捕集雾及与雾结合的IPA粒子以降低工程排气流内IPA的浓度的第一次IPA降低处理。作为参考，电气集尘部12的电极可以以指定周期喷射清洗水进行清洗。
之后，工程排气流通过湿式过滤器部15的过程中经过第二次IPA降低处理。湿式过滤器部15向工程排气流通过的过滤器喷射水使得接触，此时第一循环部19循环收容在第一水槽部17的用水使排气流与水接触。第一水槽部17例如将IPA的浓度保持在作为第一浓度值的4ppm浓度以下。如果收容在第一水槽部17的用水的IPA浓度超过第一浓度值的情况下通过用水排出口171排出用水且补充获得从第二水槽部31溢出的用水。湿式洗涤器30的第二水槽部31为了保持具有相对低的IPA浓度(例如，0.5ppm以下)，从用水补充线路40补充获得新的用水，在此用水溢过第二水槽部31与第一水槽部17之间的隔壁传递到第二水槽部31。并且收容在第一水槽部17的用水的IPA浓度比第一浓度值高的情况下，可以和收容在第二水槽部31的用水的IPA浓度无关地通过用水补充线路40向第一水槽部17补充新的用水使得溢出以向第二水槽部31补充用水。
经过IPA浓度降低器10处理后传递到湿式洗涤器30的工程排气流所含IPA为低浓度，通过密封体物层叠的水接触区域33的过程中与水接触对包括IPA在内的含在工程排气流中的有害物质进行第三次处理。在湿式洗涤器30的水接触区域33通过第二循环部35循环喷射收容在第二水槽部31的用水。
经过湿式洗涤器30处理的工程排气流中包括IPA在内的有害物质降低到目标值，通过气体排出部37向外部排出。
如上所述的本发明的系统通过多个步骤处理IPA的同时将处理低浓度IP A流时用过的用水再次用于处理高浓度IPA流，从而能够显著减少发生废水。
图4为示出测试本发明的含IPA的工程排气流的处理系统的效率的结果的示意图。
参见图4的测试结果图表可知，喷雾、电气集尘及湿式洗涤器处理过程均降低IPA的浓度，最终将IPA浓度降低至目标值。因此可知能够用少量的用水有效地进行IPA处理。
以上所述本发明的详细说明对具体实施例进行了说明，但在不超出本发明的范围的限度内可进行多种变形，这对于本领域技术人员显而易见。

Claims (13)

1.一种含IPA的工程排气流的处理系统，包括：
IPA浓度降低器，其降低工程排气流中至少IPA浓度；以及
湿式洗涤器，其接收经过所述IPA浓度降低器处理的工程排气流进行处理。
2.根据权利要求1所述的含IPA的工程排气流的处理系统，所述IPA浓度降低器包括：
喷雾部，其向工程排气流以雾形态喷射水；以及
电气集尘部，其集尘来自所述喷雾部的工程排气流中的雾及与雾结合的成分。
3.根据权利要求2所述的含IPA的工程排气流的处理系统，所述IPA浓度降低器还包括：
湿式过滤器部，其对来自所述电气集尘部的工程排气流进行湿式过滤器处理。
4.根据权利要求3所述的含IPA的工程排气流的处理系统，所述IPA浓度降低器还包括：
第一水槽部，其至少收容所述湿式过滤器部使用的水。
5.根据权利要求4所述的含IPA的工程排气流的处理系统，所述湿式洗涤器包括：
第二水槽部；
水接触区域，其配置在所述第二水槽部上使工程排气流与所述第二水槽部的水接触；
第二循环部，其循环所述第二水槽部内的水使得在所述水接触区域与工程排气流接触；以及
气体排出部，其排出经过处理的工程排气流。
6.根据权利要求4所述的含IPA的工程排气流的处理系统，其中，
所述第二水槽部与用水补充线路连接，收容的水达到指定水位以上时溢出水。
7.根据权利要求6所述的含IPA的工程排气流的处理系统，其中，
所述第一水槽部获得从所述第二水槽部溢出的水，
所述湿式过滤器部循环喷射所述第一水槽部的水。
8.根据权利要求7所述的含IPA的工程排气流的处理系统，其中，
收容在所述第一水槽部的水的IPA浓度保持第一浓度值以下，
收容在所述第二水槽部的水的IPA浓度保持比所述第一浓度值低的第二浓度值。
9.一种含IPA的工程排气流的处理系统，包括：
IPA浓度降低器，其降低工程排气流中至少IPA浓度；以及
湿式洗涤器，其接收经过所述IPA浓度降低器处理的工程排气流进行处理，
所述IPA浓度降低器接收所述湿式洗涤器用过的水并使用。
10.根据权利要求9所述的含IPA的工程排气流的处理系统，其中，
所述IPA浓度降低器包括第一水槽部及循环所述第一水槽部的水使得与工程排气流接触的湿式过滤器部，
所述湿式洗涤器包括第二水槽部与循环所述第二水槽部的水使得与工程排气流接触的水接触区域。
11.根据权利要求10所述的含IPA的工程排气流的处理系统，其中，
收容在所述第一水槽部与所述第二水槽部的水分别保持指定IPA浓度，
所述第二水槽部相比于所述第一水槽部保持更低的IPA浓度。
12.根据权利要求10所述的含IPA的工程排气流的处理系统，其中，
为了分别收容于所述第一水槽部与所述第二水槽部的水分别保持指定IPA浓度，所述第二水槽部与用水补充线路连接，所述第一水槽部形成有用水排出口。
13.根据权利要求9所述的含IPA的工程排气流的处理系统，所述IPA浓度降低器还包括：
喷雾部，其向工程排气流以雾形态喷射水；以及
电气集尘部，其集尘来自所述喷雾部的工程排气流中的雾及以雾形态结合的成分。
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