[go: up one dir, main page]

CN111085954A - 基板吸附装置 - Google Patents

基板吸附装置 Download PDF

Info

Publication number
CN111085954A
CN111085954A CN201911351372.8A CN201911351372A CN111085954A CN 111085954 A CN111085954 A CN 111085954A CN 201911351372 A CN201911351372 A CN 201911351372A CN 111085954 A CN111085954 A CN 111085954A
Authority
CN
China
Prior art keywords
suction
vacuum
adsorption
substrate
chucking
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201911351372.8A
Other languages
English (en)
Inventor
张伟基
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd
Original Assignee
Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd filed Critical Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd
Priority to CN201911351372.8A priority Critical patent/CN111085954A/zh
Publication of CN111085954A publication Critical patent/CN111085954A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
    • B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
    • B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
    • B25B11/005—Vacuum work holders

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本发明公开了一种基板吸附装置，包括：至少一第一吸附部，所述第一吸附部设置于所述基板吸附装置的吸附面的中部区域；至少两第二吸附部，所述第二吸附部设置于所述吸附面的外围区域，其中，所述外围区域位于所述中部区域的至少一侧；所述第二吸附部的第二吸附力大于所述第一吸附部的第一吸附力。本发明能防止出现吸附基板失败的情况。

Description

基板吸附装置
【技术领域】
本发明涉及显示面板制造技术领域，特别涉及一种基板吸附装置。
【背景技术】
在显示面板的制造过程中，基板上一般会设置一层柔性膜层，由于该柔性膜层具有较大的内应力，因此基板容易受到该内应力而发生形变，具体的表现为：基板的四周会出现一定程度的翘曲，其中，基板的四个角的翘曲程度最明显。
在对基板进行吸附时，由于需要将基板反过来再进行吸附，此时，基板的重力与柔性膜层的内应力叠加作用，加剧了基板的四周的翘曲的程度，在这种情况下，会出现吸附基板失败的情况。特别地，基板的尺寸越大，基板的四周的翘曲的程度越大，此时，吸附失败的概率越大。
故，有必要提出一种新的技术方案，以解决上述技术问题。
【发明内容】
本发明的目的在于提供一种基板吸附装置，其能防止出现吸附基板失败的情况。
为解决上述问题，本发明的技术方案如下：
一种基板吸附装置，所述基板吸附装置包括：至少一第一吸附部，所述第一吸附部设置于所述基板吸附装置的吸附面的中部区域；至少两第二吸附部，所述第二吸附部设置于所述吸附面的外围区域，其中，所述外围区域位于所述中部区域的至少一侧；所述第二吸附部的第二吸附力大于所述第一吸附部的第一吸附力。
在上述基板吸附装置中，所述第一吸附部产生所述第一吸附力的时间先于所述第二吸附部产生所述第二吸附力的时间。
在上述基板吸附装置中，所述第一吸附部包括第一真空吸附构件，至少两所述第一真空吸附构件以一维阵列或二维阵列的形式排列；所述第二吸附部包括第二真空吸附构件，至少两所述第二真空吸附构件以一维阵列或二维阵列的形式排列。
在上述基板吸附装置中，所述基板吸附装置还包括：真空抽吸器，所述真空抽吸器与所述第一真空吸附构件和所述第二真空吸附构件相连，所述真空抽吸器用于向所述第一真空吸附构件抽吸真空，以使所述第一吸附构件生成所述第一吸附力，以及用于向所述第二真空吸附构件抽吸真空，以使所述第二真空吸附构件生成所述第二吸附力。
在上述基板吸附装置中，所述真空抽吸器用于在第一时间段内向所述第一真空吸附构件抽吸真空，以使所述第一吸附构件在所述第一时间段内生成所述第一吸附力，以及用于在第二时间段内向所述第二真空吸附构件抽吸真空，以使所述第二真空吸附构件在所述第二时间段内生成所述第二吸附力。
在上述基板吸附装置中，所述第一真空吸附构件包括第一吸盘和第一吸管，所述第一吸盘与所述第一吸管的一端连接，所述第一吸管的另一端与所述真空抽吸器连接；所述第二真空吸附构件包括第二吸盘和第二吸管，所述第二吸盘与所述第二吸管的一端连接，所述第二吸管的另一端与所述真空抽吸器连接。
在上述基板吸附装置中，所述第一吸附部、所述第二吸附部在所述吸附面上的投影的形状为直角三角形、矩形、梯形、扇形、环形中的一种或一种以上的组合。
在上述基板吸附装置中，在所述第一吸附部中，至少两所述第一真空吸附构件的第一吸附力自所述中部区域指向所述外围区域的方向均匀分布或递增。
在上述基板吸附装置中，在所述第二吸附部中，至少两所述第二真空吸附构件的第二吸附力自所述中部区域指向所述外围区域的方向递增或递减。
在上述基板吸附装置中，所述基板吸附装置还包括：支承台，所述第一吸附部和所述第二吸附部均固定于所述支承台上。
相对现有技术，由于第一吸附部设置于所述基板吸附装置的吸附面的中部区域，第二吸附部设置于所述吸附面的外围区域，所述第二吸附部的第二吸附力大于所述第一吸附部的第一吸附力。因此，针对基板的四周在被吸附时翘曲程度较大的情况，可以向基板的四周施加更大的吸附力，从而防止出现吸附基板失败的情况。
为让本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。
【附图说明】
图1为本发明的基板吸附装置的第一实施例的示意图；
图2为本发明的基板吸附装置的第二实施例的示意图；
图3为本发明的基板吸附装置中第一吸附部的第一吸附力和第二吸附部的第二吸附力的一种分布的示意图；
图4为本发明的基板吸附装置中第一吸附部的第一吸附力和第二吸附部的第二吸附力的另一种分布的示意图。
【具体实施方式】
本说明书所使用的词语“实施例”意指实例、示例或例证。此外，本说明书和所附权利要求中所使用的冠词“一”一般地可以被解释为“一个或多个”，除非另外指定或从上下文可以清楚确定单数形式。
本发明实施例提供的基板吸附装置用于吸附基板，例如，在显示面板的制造工序中对基板进行吸附，所述基板可例如为玻璃基板、柔性基板、设置有薄膜晶体管阵列的薄膜晶体管阵列基板、设置有彩膜层的彩膜基板等。
参考图1、图2、图3和图4，图1为本发明的基板吸附装置的第一实施例的示意图，图2为本发明的基板吸附装置的第二实施例的示意图，图3为本发明的基板吸附装置中第一吸附部的第一吸附力和第二吸附部的第二吸附力的一种分布的示意图，图4为本发明的基板吸附装置中第一吸附部的第一吸附力和第二吸附部的第二吸附力的另一种分布的示意图。
本发明的基板吸附装置的第二实施例与第一实施例相近或相似，不同之处在于，两个实施例中的第一吸附部、第二吸附部在所述吸附面上的投影的形状。
本发明实施例提供的基板吸附装置包括一支承台、至少一第一吸附部101和至少两第二吸附部102，所述第一吸附部101和所述第二吸附部102均固定于所述支承台上。
所述第一吸附部101设置于所述基板吸附装置的吸附面(所述支承台的吸附面)的中部区域，所述第二吸附部102设置于所述吸附面的外围区域，其中，所述外围区域位于所述中部区域的至少一侧。
所述第一吸附部101在所述吸附面上的投影的形状为直角三角形与矩形的组合(如图1所示)、矩形(如图2所示)中的一种。
所述第二吸附部102在所述吸附面上的投影的形状为直角三角形(如图1所示)、矩形(如图1所示)、梯形、扇形、环形(如图2所示)中的一种或一种以上的组合。
所述第二吸附部102以所述吸附面的中点为中心，设置于所述第一吸附部101的四周，特别地，至少两所述第二吸附部102的位置以所述吸附面的中点对称。
所述第二吸附部102的第二吸附力大于所述第一吸附部101的第一吸附力。
所述第一吸附部101包括第一真空吸附构件，至少两所述第一真空吸附构件以一维阵列或二维阵列的形式排列，特别地，至少两所述第一真空吸附构件拼接为一体，以形成所述第一吸附部101。
所述第二吸附部102包括第二真空吸附构件，至少两所述第二真空吸附构件以一维阵列或二维阵列的形式排列。特别地，至少两所述第二真空吸附构件拼接为一体，以形成所述第二吸附部102。
所述基板吸附装置还包括真空抽吸器，所述真空抽吸器与所述第一真空吸附构件和所述第二真空吸附构件相连，所述真空抽吸器用于向所述第一真空吸附构件抽吸真空，以使所述第一吸附构件生成所述第一吸附力，以及用于向所述第二真空吸附构件抽吸真空，以使所述第二真空吸附构件生成所述第二吸附力。
在本发明实施例中，抽吸真空是指抽吸空气，以降低所述第一真空吸附构件和/或所述第二真空吸附构件中的空气压强，或者使得所述第一真空吸附构件和/或所述第二真空吸附构件内形成真空状态。
所述真空抽吸器用于在第一时间段内向所述第一真空吸附构件抽吸真空，以使所述第一吸附构件在所述第一时间段内生成所述第一吸附力，以及用于在第二时间段内向所述第二真空吸附构件抽吸真空，以使所述第二真空吸附构件在所述第二时间段内生成所述第二吸附力。
所述第一吸附部101产生所述第一吸附力的时间先于所述第二吸附部102产生所述第二吸附力的时间。特别地，所述第一时间段的起始时间先于所述第二时间段的起始时间。
所述第一真空吸附构件包括第一吸盘和第一吸管，所述第一吸盘与所述第一吸管的一端连接，所述第一吸管的另一端与所述真空抽吸器连接，所述第二真空吸附构件包括第二吸盘和第二吸管，所述第二吸盘与所述第二吸管的一端连接，所述第二吸管的另一端与所述真空抽吸器连接。所述第一吸盘、所述第二吸盘可以为盘状或槽状，所述第一吸盘、所述第二吸盘的材料可以是柔性塑料、橡胶。
在所述第一吸附部101中，至少两所述第一真空吸附构件的第一吸附力自所述中部区域指向所述外围区域的方向均匀分布(如图3和图4所示)或递增。
在所述第二吸附部102中，至少两所述第二真空吸附构件的第二吸附力自所述中部区域指向所述外围区域的方向递增(如图3所示)或递减(如图4所示)。
在所述第一吸附部101中，沿自所述中部区域指向所述外围区域的方向，所述第一真空吸附构件的第一吸管的管径保持不变或递增。
在所述第二吸附部102中，沿自所述中部区域指向所述外围区域的方向所述第二真空吸附构件的第二吸管的管径递增或递减。
所述基板吸附装置还包括第一阀门、第二阀门和控制器，所述第一阀门与所述第一真空吸附构件相连，所述第二阀门与所述第二真空吸附构件相邻，具体地，所述第一阀门设置于所述第一吸管与所述真空抽吸器之间，所述第二阀门设置于所述第二吸管与所述真空抽吸管之间。所述控制器与所述第一阀门和所述第二阀门电性连接，所述控制器用于控制所述第一阀门、所述第二阀门中的至少一者开启或关闭。特别地，所述控制器用于控制所述第一阀门在第一时间段内开启，以使所述真空抽吸器在所述第一时间段内向所述第一真空吸附构件抽吸真空，从而使得所述第一吸附构件在所述第一时间段内生成所述第一吸附力，以及用于控制所述第二阀门在第二时间段内开启，以使所述真空抽吸器在所述第二时间段内向所述第二真空吸附构件抽吸真空，从而使得所述第二真空吸附构件在所述第二时间段内生成所述第二吸附力。
作为一种改进，所述第一吸管的管径小于所述第二吸管的管径，这样可以使得在所述真空抽吸器对所述第一真空吸附构件和所述第二真空吸附构件抽吸真空时，所述第一真空吸附构件所形成的所述第一吸附力小于所述第二真空吸附构件所形成的所述第二吸附力。
作为另一种改进，所述真空抽吸器包括第一真空抽吸单元和第二真空抽吸单元，所述第一真空抽吸单元和所述第二真空抽吸单元相互独立，所述第一真空抽吸单元与所述第一吸管连接，所述第二真空抽吸单元与所述第二吸管连接。即，所述第一真空抽吸单元独立地在所述第一时间段内对所述第一真空吸附构件抽吸真空，所述第二真空抽吸单元独立地在所述第二时间段内对所述第二真空吸附构件抽吸真空。
在本发明实施例提供的基板吸附装置中，由于第一吸附部101设置于所述基板吸附装置的吸附面的中部区域，第二吸附部102设置于所述吸附面的外围区域，所述第二吸附部102的第二吸附力大于所述第一吸附部101的第一吸附力。因此，针对基板的四周在被吸附时翘曲程度较大的情况，可以向基板的四周施加更大的吸附力，从而防止出现吸附基板失败的情况。
综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种基板吸附装置，其特征在于，所述基板吸附装置包括：
至少一第一吸附部，所述第一吸附部设置于所述基板吸附装置的吸附面的中部区域；
至少两第二吸附部，所述第二吸附部设置于所述吸附面的外围区域，其中，所述外围区域位于所述中部区域的至少一侧；
所述第二吸附部的第二吸附力大于所述第一吸附部的第一吸附力。
2.根据权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，所述第一吸附部产生所述第一吸附力的时间先于所述第二吸附部产生所述第二吸附力的时间。
3.根据权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，所述第一吸附部包括第一真空吸附构件，至少两所述第一真空吸附构件以一维阵列或二维阵列的形式排列；
所述第二吸附部包括第二真空吸附构件，至少两所述第二真空吸附构件以一维阵列或二维阵列的形式排列。
4.根据权利要求3所述的基板吸附装置，其特征在于，所述基板吸附装置还包括：
真空抽吸器，所述真空抽吸器与所述第一真空吸附构件和所述第二真空吸附构件相连，所述真空抽吸器用于向所述第一真空吸附构件抽吸真空，以使所述第一吸附构件生成所述第一吸附力，以及用于向所述第二真空吸附构件抽吸真空，以使所述第二真空吸附构件生成所述第二吸附力。
5.根据权利要求4所述的基板吸附装置，其特征在于，所述真空抽吸器用于在第一时间段内向所述第一真空吸附构件抽吸真空，以使所述第一吸附构件在所述第一时间段内生成所述第一吸附力，以及用于在第二时间段内向所述第二真空吸附构件抽吸真空，以使所述第二真空吸附构件在所述第二时间段内生成所述第二吸附力。
6.根据权利要求4所述的基板吸附装置，其特征在于，所述第一真空吸附构件包括第一吸盘和第一吸管，所述第一吸盘与所述第一吸管的一端连接，所述第一吸管的另一端与所述真空抽吸器连接；
所述第二真空吸附构件包括第二吸盘和第二吸管，所述第二吸盘与所述第二吸管的一端连接，所述第二吸管的另一端与所述真空抽吸器连接。
7.根据权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，所述第一吸附部、所述第二吸附部在所述吸附面上的投影的形状为直角三角形、矩形、梯形、扇形、环形中的一种或一种以上的组合。
8.根据权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，在所述第一吸附部中，至少两所述第一真空吸附构件的第一吸附力自所述中部区域指向所述外围区域的方向均匀分布或递增。
9.根据权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，在所述第二吸附部中，至少两所述第二真空吸附构件的第二吸附力自所述中部区域指向所述外围区域的方向递增或递减。
10.根据权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，所述基板吸附装置还包括：
支承台，所述第一吸附部和所述第二吸附部均固定于所述支承台上。
CN201911351372.8A 2019-12-24 2019-12-24 基板吸附装置 Pending CN111085954A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911351372.8A CN111085954A (zh) 2019-12-24 2019-12-24 基板吸附装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911351372.8A CN111085954A (zh) 2019-12-24 2019-12-24 基板吸附装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN111085954A true CN111085954A (zh) 2020-05-01

Family

ID=70397029

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201911351372.8A Pending CN111085954A (zh) 2019-12-24 2019-12-24 基板吸附装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111085954A (zh)

Citations (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06143074A (ja) * 1992-10-27 1994-05-24 Sumitomo Electric Ind Ltd ウェハ固定装置
TW473626B (en) * 1997-10-24 2002-01-21 Sharp Kk Manufacturing method of liquid crystal display element and manufacturing apparatus of the same
WO2006072453A1 (de) * 2004-12-30 2006-07-13 Supfina Grieshaber Gmbh & Co. Kg Halter mit porösem greifer
CN1944203A (zh) * 2006-11-03 2007-04-11 友达光电股份有限公司 辅助移动装置、承载装置及其总成
CN1993208A (zh) * 2004-05-27 2007-07-04 波音公司 用于将轨道可拆卸地连接在工件表面上的共形真空杯装置及方法
TW200814243A (en) * 2006-09-08 2008-03-16 Advanced Semiconductor Eng Method and apparatus for holding a substrate by vacuum-absorption
CN101295661A (zh) * 2007-04-24 2008-10-29 东京毅力科创株式会社 基板吸附装置和基板搬送装置
CN101306521A (zh) * 2007-05-17 2008-11-19 Icf科技有限公司 固定装置及其控制方法
CN201405278Y (zh) * 2009-05-27 2010-02-17 邓祖湘 真空调平板
DE102009041969A1 (de) * 2009-09-21 2011-06-01 Xenon Automatisierungstechnik Gmbh Greifer für die Aufnahme, den Transport und die positionierte Ablage von streifenförmigen Elementen
TW201250771A (en) * 2006-12-20 2012-12-16 Tokyo Electron Ltd Substrate cleaning apparatus
CN103165504A (zh) * 2011-12-16 2013-06-19 台湾积体电路制造股份有限公司 跟踪旋转晶圆吸盘
CN103531511A (zh) * 2012-07-04 2014-01-22 上海微电子装备有限公司 吸盘及使用该吸盘的承片台和硅片吸附方法
TW201427796A (zh) * 2012-12-28 2014-07-16 上海微電子裝備有限公司 翹曲矽片吸附裝置及其吸附方法
CN104471695A (zh) * 2012-07-03 2015-03-25 赫普塔冈微光有限公司 使用真空吸盘固持晶片或晶片子堆叠
CN106057721A (zh) * 2016-07-21 2016-10-26 京东方科技集团股份有限公司 吸附治具
CN106064362A (zh) * 2016-06-20 2016-11-02 美的集团武汉制冷设备有限公司 空调前面板夹具及空调前面板智能安装装置
CN106353902A (zh) * 2016-11-08 2017-01-25 武汉华星光电技术有限公司 一种液晶面板移载装置及液晶面板切割系统
CN107154368A (zh) * 2016-03-03 2017-09-12 Ap系统股份有限公司 准分子激光退火装置用基板支撑模块
CN108227986A (zh) * 2017-12-28 2018-06-29 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种贴合装置、显示面板的制备方法
TWM568305U (zh) * 2018-07-11 2018-10-11 保捷車材有限公司 Multi-stage adsorption vacuum chuck
CN108705422A (zh) * 2017-03-31 2018-10-26 株式会社荏原制作所 真空吸附垫和基板保持装置
CN208759391U (zh) * 2018-08-06 2019-04-19 广东正业科技股份有限公司 一种可四面夹持的吸附平台
CN109901311A (zh) * 2017-12-08 2019-06-18 上海和辉光电有限公司 一种剥离装置
CN210099255U (zh) * 2019-05-29 2020-02-21 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种真空吸附载台
CN211225618U (zh) * 2019-12-03 2020-08-11 芜湖益盈鼎裕自动化设备有限公司 真空面板装置

Patent Citations (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06143074A (ja) * 1992-10-27 1994-05-24 Sumitomo Electric Ind Ltd ウェハ固定装置
TW473626B (en) * 1997-10-24 2002-01-21 Sharp Kk Manufacturing method of liquid crystal display element and manufacturing apparatus of the same
CN1993208A (zh) * 2004-05-27 2007-07-04 波音公司 用于将轨道可拆卸地连接在工件表面上的共形真空杯装置及方法
WO2006072453A1 (de) * 2004-12-30 2006-07-13 Supfina Grieshaber Gmbh & Co. Kg Halter mit porösem greifer
TW200814243A (en) * 2006-09-08 2008-03-16 Advanced Semiconductor Eng Method and apparatus for holding a substrate by vacuum-absorption
CN1944203A (zh) * 2006-11-03 2007-04-11 友达光电股份有限公司 辅助移动装置、承载装置及其总成
TW201250771A (en) * 2006-12-20 2012-12-16 Tokyo Electron Ltd Substrate cleaning apparatus
CN101295661A (zh) * 2007-04-24 2008-10-29 东京毅力科创株式会社 基板吸附装置和基板搬送装置
CN101306521A (zh) * 2007-05-17 2008-11-19 Icf科技有限公司 固定装置及其控制方法
CN201405278Y (zh) * 2009-05-27 2010-02-17 邓祖湘 真空调平板
DE102009041969A1 (de) * 2009-09-21 2011-06-01 Xenon Automatisierungstechnik Gmbh Greifer für die Aufnahme, den Transport und die positionierte Ablage von streifenförmigen Elementen
CN103165504A (zh) * 2011-12-16 2013-06-19 台湾积体电路制造股份有限公司 跟踪旋转晶圆吸盘
CN104471695A (zh) * 2012-07-03 2015-03-25 赫普塔冈微光有限公司 使用真空吸盘固持晶片或晶片子堆叠
CN103531511A (zh) * 2012-07-04 2014-01-22 上海微电子装备有限公司 吸盘及使用该吸盘的承片台和硅片吸附方法
TW201427796A (zh) * 2012-12-28 2014-07-16 上海微電子裝備有限公司 翹曲矽片吸附裝置及其吸附方法
CN107154368A (zh) * 2016-03-03 2017-09-12 Ap系统股份有限公司 准分子激光退火装置用基板支撑模块
CN106064362A (zh) * 2016-06-20 2016-11-02 美的集团武汉制冷设备有限公司 空调前面板夹具及空调前面板智能安装装置
CN106057721A (zh) * 2016-07-21 2016-10-26 京东方科技集团股份有限公司 吸附治具
CN106353902A (zh) * 2016-11-08 2017-01-25 武汉华星光电技术有限公司 一种液晶面板移载装置及液晶面板切割系统
CN108705422A (zh) * 2017-03-31 2018-10-26 株式会社荏原制作所 真空吸附垫和基板保持装置
CN109901311A (zh) * 2017-12-08 2019-06-18 上海和辉光电有限公司 一种剥离装置
CN108227986A (zh) * 2017-12-28 2018-06-29 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种贴合装置、显示面板的制备方法
TWM568305U (zh) * 2018-07-11 2018-10-11 保捷車材有限公司 Multi-stage adsorption vacuum chuck
CN208759391U (zh) * 2018-08-06 2019-04-19 广东正业科技股份有限公司 一种可四面夹持的吸附平台
CN210099255U (zh) * 2019-05-29 2020-02-21 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种真空吸附载台
CN211225618U (zh) * 2019-12-03 2020-08-11 芜湖益盈鼎裕自动化设备有限公司 真空面板装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4724562B2 (ja) 真空吸着ヘッド、その真空吸着ヘッドを用いた真空吸着装置及びテーブル
TW201818449A (zh) 接合裝置及接合系統
JP6348500B2 (ja) 吸着ステージ、貼合装置、および貼合基板の製造方法
TW201114669A (en) Sucking apparatus
KR102376224B1 (ko) 필름 흡착 기구
JP6627243B2 (ja) 基板の処理方法、及び基板の成膜方法
CN109300834A (zh) 一种真空吸盘
TWI804164B (zh) 整平裝置及整平方法
CN111085954A (zh) 基板吸附装置
CN216902876U (zh) 改善翘曲问题的晶圆载板
JPH08229866A (ja) 吸着パッド
JP2003048620A (ja) 板状部材の取出しハンド
CN101253613A (zh) 半导体芯片的拾取装置及拾取方法
JP3164629B2 (ja) 半導体ウエハ用真空チャックステージ
CN110581097B (zh) 宽度可调式移动机构
CN108394601A (zh) 剥膜方法及装置、剥膜系统
KR101418301B1 (ko) 다공질 세라믹 테이블
KR20170087148A (ko) 다이 픽업 장치 및 그 구동방법
TW202228943A (zh) 工件搬運用機器手
CN113764327A (zh) 一种吸附机构及预贴合装置
TWI891288B (zh) 安裝工具及安裝裝置
CN220445713U (zh) 加工载台和加工设备
US11164771B1 (en) Wafer transferring device
CN223836686U (zh) 柔性膜转运装置及柔性器件制造装置
CN110869299A (zh) 非接触式处置器及使用非接触式处置器处置工件的方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20200501