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CN111051815B - 具有能直线和旋转地被驱动的传感器装置的三轴微机械转速传感器组件 - Google Patents

具有能直线和旋转地被驱动的传感器装置的三轴微机械转速传感器组件 Download PDF

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CN111051815B CN201880057522.1A CN201880057522A CN111051815B CN 111051815 B CN111051815 B CN 111051815B CN 201880057522 A CN201880057522 A CN 201880057522A CN 111051815 B CN111051815 B CN 111051815B
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Abstract

本发明涉及一种微机械转速传感器组件和一种相应的制造方法。所述微机械转速传感器组件包括能够围绕第一轴(z)旋转振荡地被驱动的第一转速传感器装置(100)，以用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，第一、第二和第三轴(z、y、x)彼此垂直地布置，并且包括能够通过驱动装置(AT；AT’；AT”)沿着所述第二轴(y)直线振荡地驱动的第二转速传感器装置(200；201；202)，以用于感测围绕所述第一轴(z)的第三外部转速。为了通过所述驱动装置(200；201；202)驱动所述第一转速传感器装置(100)，所述第二转速传感器装置(200；201；202)与所述第一转速传感器装置(100)通过第一耦合装置(S1、F5；S2、F6；SA、SB、F12)连接。

Description

具有能直线和旋转地被驱动的传感器装置的三轴微机械转速 传感器组件
技术领域
本发明涉及一种微机械转速传感器组件和一种相应的制造方法。
背景技术
虽然也可以使用任意的微机械构件，但本发明和基于本发明的问题参照用于机动车的微机械转速传感器组件来阐释。
三轴转速传感器在消费电子的领域中的使用是普遍的，而对于汽车应用中通常使用单轴的转速传感器。
对于更复杂的汽车应用、如用于自动驾驶的惯性导航或对于卫星支持的导航、基于摄像机或激光雷达的环境传感装置的位置确定或者也对于双轮车应用需要稳固的三轴转速传感器。
DE 10 2010 062 095 A1和WO 96/39615公开了具有两个转子装置的双轴转速传感器装置，所述转子装置可以围绕第一轴反相振荡地被驱动并且可以围绕第二和第三轴反对称地倾翻。
DE 10 2010 061 755 A1公开了具有第一科里奥利元件、第二科里奥利元件、第三科里奥利元件和第四科里奥利元件的转速传感器，其中，第一科里奥利元件和第四科里奥利元件可以同向地、与平行于主延伸平面并且垂直于第一轴延伸的第二轴平行地被驱动，并且，其中，第一和第二科里奥利元件可以反向地、平行于第二轴地被驱动，并且，其中，第一科里奥利元件和第三科里奥利元件可以反向地、平行于第二轴地被驱动。
发明内容
本发明实现一种根据权利要求1所述的微机械转速传感器组件和相应的根据权利要求15所述的制造方法。
优选的扩展方案是相应的从属权利要求的主题。
基于本发明的思想在于单轴的和双轴的转速传感器通过共同的驱动机构的连接。产生的三轴转速传感器相对于外部的直线和旋转加速度是稳固的，从而尤其满足针对汽车环境中的安全性相关的应用的要求。
根据本发明的、具有用于所有三个测量轴的共同的驱动机构的微机械转速传感器组件相对于三个单个转速传感器提供多个优点。因为仅存在一个驱动机构，所以可以在传感器芯中节省驱动结构以及连接垫和为此配属的布线。因此，也可以紧凑地构造ASIC，因为仅需提供一个驱动控制电路。特别有利地，避免用于不同转速传感器的不同驱动频率，使得可以避免例如由于驱动力的寄生串扰所引起的相对彼此的影响。此外，封装更简单，并且各个转速传感器相对彼此的可能的错位通过根据本发明的转速传感器组件的设计而排除。
能够避免可能以不同的方式导致三轴转速传感器的错误信号的干扰模式，所述干扰模式例如会由于借助外力(振动)所引起的(共振)激励或者由于系统的机构或静电部件中的非线性串扰而出现。与之相反，如果使用三个相同的单轴转速传感器，那么所有三个转速传感器具有相同的干扰模式，所述干扰模式由过程决定地存在于不同的频率中，使得整体上干扰模式的数量在观察的频率范围中变成三倍。因此，在多轴转速传感器中还能够实现干扰模式的减少，其方式是，同样的探测结构分别敏感地设计用于超过仅一个测量轴。
根据优选的扩展方案，可旋转驱动的第一转速传感器装置具有可以围绕第一轴振荡地被驱动的第一转子装置和可以围绕第一轴相对于第一转子装置反相振荡地被驱动的第二转子装置。第一转子装置可以通过第一外部转速围绕第二轴并且通过第二外部转速围绕第三轴(x)倾翻，其中，第二转子装置可以通过第一外部转速围绕第二轴并且通过第二外部转速围绕第三轴(x)相对于第一转子装置反平行地倾翻。第一耦合装置具有第一弹簧装置，通过该第一弹簧装置使第一转子装置和第二转子装置耦合，使得抑制围绕第二轴的平行倾翻并且能够实现围绕第二轴的反平行倾翻。此外，设置有第二耦合装置，通过该第二耦合装置使第一转子装置和第二转子装置耦合，使得抑制围绕第三轴的平行倾翻并且能够实现围绕第三轴的反平行倾翻，设置有用于感测第一和第二转子装置围绕第二轴的反平行倾翻的第一感测装置，并且设置有用于感测第一和第二转子装置围绕第三轴的反平行倾翻的第二感测装置。这种第一转速传感器装置可以稳固地制造。
根据另外的优选扩展方案，可直线驱动的第二转速传感器装置具有带着第一框架和第二框架的框架装置，其中，第二框架至少部分地由第一框架包围，其中，第一框架可以沿着第二轴振荡地被驱动，并且，其中，第二框架可以沿着第二轴相对于第一框架反相振荡地被驱动，并且，其中，第一和第二框架可以通过围绕第一轴的第三外部转速沿着第三轴反相振荡地偏移。此外，设置有第三耦合装置，通过该第三耦合装置使第一框架和第二框架耦合，使得抑制第一和第二框架沿着第三轴的同相偏移并且能够实现第一和第二框架沿着第三轴的反相偏移，并且设置有用于感测第一和第二框架沿着第三轴的反相偏移的第三感测装置。这种第二转速传感器装置可以与第一转速传感器装置良好地耦合。
根据另外的优选扩展方案，为了围绕第一轴反相振荡地驱动第一和第二转子装置，第一和第二框架与第一和第二转子装置通过第一耦合装置连接。这样能够实现简单的线性耦合。
根据另外的优选扩展方案，设置有用于驱动第一和第二框架的驱动框架装置，该驱动框架装置通过四个弹簧装置与第一框架和第二框架连接。这样能够使驱动区域与探测区域有效地解耦。
根据另外的优选扩展方案，为了围绕第一轴反相振荡地驱动第一和第二转子装置，驱动框架装置与第一和第二转子装置通过第一耦合装置连接。这样第一转速传感器装置也与直线的探测运动解耦。
根据另外的优选扩展方案，驱动框架装置具有第一驱动框架和第二驱动框架，所述第一驱动框架和第二驱动框架布置在第一框架的对置侧上，并且具有第三驱动框架，该第三驱动框架包围第二框架并且局部地通过第一框架引导，其中，第一和第二驱动框架通过第五弹簧装置与第三驱动框架连接。这能够实现第一和第二框架的对称的装入。
根据另外的优选扩展方案，驱动框架装置具有第一驱动框架和第二驱动框架，该第一驱动框架u形地包围第一框架和第二框架，该第二驱动框架叉形地导入第一框架和第二框架之间，其中，第一和第二驱动框架通过第六弹簧装置连接。这简化了制造过程。
根据另外的优选扩展方案，第一耦合装置具有第一接片和第二弹簧装置，它们将第一框架与第一转子装置连接，其中，第一耦合装置具有第二接片和第三弹簧装置。这样能够实现有效的线性耦合。
根据另外的优选扩展方案，第一耦合装置具有第三接片和第四接片，所述第三接片和第四接片与第一弹簧装置连接。这样能够实现关于反对称的行为方面的有效耦合。
根据另外的优选扩展方案，第二耦合装置具有第一摆杆和第二摆杆，该第一摆杆通过第七弹簧装置与第一和第二转子装置连接，该第二摆杆通过第八弹簧装置与第一和第二转子装置连接。这进一步改善了转子装置之间的耦合。
根据另外的优选扩展方案，第三耦合装置具有带着多个弹簧的第九弹簧装置。这种弹簧能够容易地制造并且可以良好地适配于所需要的特性。
根据另外的优选扩展方案，第一感测装置和第二感测装置分别具有多个电容式板状电极，这些板状电极布置在第一和第二转子装置下方。这导致转子装置的倾翻的可靠探测。
根据另外的优选扩展方案，第三感测装置具有多个电容式梳状电极，所述梳状电极布置在第一和第二框架内部。这种驱动装置是特别可靠和稳固的。
附图说明
在下面根据实施方式参照附图阐释本发明的其他特征和优点。
附图示出：
图1用于阐释根据本发明的第一实施方式的微机械转速传感器组件的示意性平面示图；
图2用于阐释根据本发明的第二实施方式的微机械转速传感器组件的示意性平面示图；
图3a)-c)用于阐释根据本发明的微机械转速传感器组件的弹簧耦合装置的示意性平面示图；
图4a)-c)用于阐释根据本发明的微机械转速传感器组件的另外的弹簧耦合装置的示意性平面示图；
图5a)-c)用于阐释根据本发明的微机械转速传感器组件的不同弹簧悬挂装置的示意性平面示图；
图6用于阐释根据本发明的第三实施方式的微机械转速传感器组件的示意性平面示图；和
图7用于阐释根据本发明的第四实施方式的微机械转速传感器组件的示意性平面示图。
在附图中，相同的附图标记表明相同或功能相同的元件。
具体实施方式
图1示出用于阐释根据本发明的第一实施方式的微机械转速传感器组件的示意性平面示图。
在图1中，附图标记100表明可以围绕第一轴(z轴)旋转振荡地被驱动的第一转速传感器装置以用于感测围绕第二轴(y轴)的第一外部转速和围绕第三轴(x轴)的第二外部转速。第一、第二和第三轴(z、y、x)相对彼此垂直地布置。
可旋转驱动的第一转速传感器装置100具有第一转子装置1a和第二转子装置1b，该第一转子装置可以围绕第一轴(z轴)振荡地被驱动，该第二转子装置可以围绕第一轴(z轴)相对于第一转子装置1a反相振荡地被驱动。
在当前的第一实施方式中，第一转子装置1a和第二转子装置1b盘形地构型，其中，在相应的中央缺口中分别布置并且锚固有配属的第一或第二悬挂装置A1a、A1b。
第一转子装置1a可以通过第一外部转速围绕第二轴(y轴)并且通过第二外部转速围绕第三轴(x轴)倾翻。第二转子装置1b可以通过第一外部转速围绕第二轴(y轴)并且通过第二外部转速围绕第三轴(x轴)相对于第一转子装置1a反平行地倾翻。
第一和第二转子装置1a、1b通过第一弹簧装置F12耦合，从而抑制围绕第二轴(y轴)的平行倾翻并且能够实现围绕第二轴(y轴)的反平行倾翻，更确切地说是由于各向异性的弹簧常数。
此外，弹簧装置F12是第一耦合装置的组成部分，该第一耦合装置将第一转速传感器装置100与第二转速传感器装置200连接，在下面还详细描述该第二转速传感器装置。
此外，设置有第二耦合装置K1、K2，通过所述第二耦合装置使第一转子装置1a和第二转子装置1b耦合，从而抑制围绕第三轴(x轴)的平行倾翻并且能够实现围绕第三轴(x轴)的反平行倾翻，更确切地说同样由于第二耦合装置K1、K2的各向异性的弹簧常数。
第二耦合装置K1、K2具有带着第一摆杆3a的第一部件K1，该第一摆杆在两侧通过各一个弹簧装置F1、F2与第一和第二转子装置1a、1b连接。第一摆杆3a具有第一弹性悬挂部A1，该第一弹性悬挂部锚固在(未示出的)衬底上。
此外，第二耦合装置K1、K2具有第二部件K2，该第二部件包括第二摆杆3b，该第二摆杆通过各一个弹簧装置F3、F4与第一和第二转子装置1a、1b连接。第二摆杆3b具有第二弹性悬挂部A2，该第二弹性悬挂部锚固在(未示出的)衬底上。
第一感测装置CPY、CNY、CPY’、CNY’用于感测第一和第二转子装置1a、1b围绕第二轴(y轴)的反平行倾翻。第二感测装置CPX、CNX、CPX’、CNX’用于感测第一和第二转子装置1a、1b围绕第三轴(x轴)的反平行倾翻。
第一感测装置CPY、CNY、CPY’、CNY’和第二感测装置CPX、CNX、CPX’、CNX’例如分别具有多个电容式板状电极，所述板状电极布置在第一和第二转子装置1a、1b下方，如在图1中通过相应的圆示意性表明的那样。
附图标记200表明可以沿着第二轴(y轴)直线振荡地被驱动的、用于感测围绕第一轴(z轴)的第三外部转速的第二转速传感器装置，为了围绕第一轴(z轴)振荡地驱动第一转速传感器装置100，该第二转速传感器装置与第一转速传感器装置100通过第一耦合装置S1、F5、S2、F6、SA、SB、F12连接，其中，如已经提到的那样，弹簧装置F12同时形成在第一转子装置1a和第二转子装置1b之间的耦合装置。
如已经提到的可直线驱动的第二转速传感器装置200具有带着第一框架R1和第二框架R2的框架装置R1、R2，其中，第二框架R2完全被第一框架R1包围或者说位于第一框架R1的缺口中。
通过仅以附图标记AT示意性标明的驱动装置可以沿着第二轴(y轴)振荡地驱动第一框架R1并且沿着第二轴(y轴)相对于第一框架R1反相振荡地驱动第二框架R2。具有附图标记AB的箭头标明第一框架R1和第二框架R2的相应的驱动运动。该驱动装置AT例如是本身已知的梳状电极驱动装置。
第一框架R1和第二框架R2通过围绕第一轴(z轴)的第三外部转速可以沿着第三轴(x轴)反相振荡地偏移，这通过作为探测运动的具有附图标记DB的箭头阐明。
第一框架R1和第二框架R2通过具有弹簧4a、4b的第三耦合装置耦合，使得抑制第一和第二框架R1、R2沿着第三轴(x轴)的同相偏移并且能够实现第一和第二框架R1、R2沿着第三轴(x轴)的反相偏移。这种特定的弹簧4a、4b同样具有各向异性的弹簧常数并且下面更详细地阐释。
如上面已经提到的那样，为了围绕第一轴(z轴)反相振荡地驱动第一和第二转子装置1a、1b，第一和第二框架R1、R2与第一和第二转子装置1a、1b通过第一耦合装置S1、F5、S2、F6、SA、SB、F12连接，其中，弹簧装置F12同样使第一和第二转子装置1a、1b围绕第二轴(y轴)的反平行倾翻变得可能。因此，驱动装置AT用作为用于第一和第二转速传感器装置100、200的共同的驱动装置。
该第一耦合装置尤其具有第一接片S1和另外的弹簧装置F5，该第一接片和另外的弹簧使第一框架R1与第一转子装置1a连接，以及具有第二接片S2和第三弹簧装置F6，该第二接片和第三弹簧装置使第一框架R1与第二转子装置1b连接。在该示例中，第一和第二接片S1、S2直接放置在第一框架R1的短边处。
此外，第一耦合装置具有第三接片SA和第四接片SB，所述第三接片和第四接片使第二框架R2与第一和第二转子装置1a、1b通过弹簧装置F12连接。
因为第二框架R2完全由第一框架R1包围，所以这两个接片SA、SB必须至少在标有附图标记5的区域中在比第一框架R1和第二摆杆3b更低的平面中走向。这例如可以通过相应蚀刻的缺口实现。
最后，第三感测装置EK1、EK2、EK3设置在第二转速传感器装置200上以用于感测第一和第二框架R1、R2沿着第三轴(x轴)的反相偏移(探测运动DB)。
在当前的第一实施方式中，第三感测装置EK1、EK2、EK3具有多个第一电容式梳状电极EK1、多个第二电容式梳状电极EK2和多个第三电容式梳状电极。
在此，多个第一电容式梳状电极EK1和多个第二电容式梳状电极EK2布置在第一框架R1的相应空出的区域中，更确切地说布置在第一框架R1的彼此对置的边缘区域，其中，多个第三电容式梳状电极EK3布置在第二框架R2的缺口内部。出于简化示图的原因，相应锚固在(未示出的)衬底中的电容式对应电极在附图中未示出。
适宜地，第一框架R1和第二框架R2的质量一样大并且几何形状由于共同的质心关于第二轴(y轴)和第三轴(x轴)是轴对称的。在这种设计中，微机械转速传感器组件针对外部的直线和旋转加速度是非常稳固的，即直线或旋转加速度不提供探测信号。
图2示出用于阐释根据本发明的第二实施方式的微机械转速传感器组件的示意性平面示图。
在第二实施方式中，第一转速传感器装置100类似于上面描述的第一实施方式地构造，而第二转速传感器装置201与已经描述的第一实施方式的转速传感器装置200不同。
可直线驱动的第二转速传感器装置201同样具有第一框架R1’和第二框架R2’，所述第一框架和第二框架类似于上面描述的第一框架R1和第二框架R2地构造。
不同于第一实施方式，第三耦合装置4a’-4d’具有四个各向异性的弹簧4a’、4b’、4c’、4d’，通过所述第三耦合装置使第一框架R1’和第二框架R2’耦合，所述弹簧如已经提到的那样优选使第一框架R1’和第二框架R2’的不对称的偏移变得可能。
附加于第一实施方式，在第二实施方式中设置有用于反相直线地驱动第一框架R1’和第二框架R2’的驱动框架装置RA1、RA2、RA3，所述驱动框架装置通过具有弹簧元件F11至F18的四个弹簧装置与第一框架R1’和第二框架R2’连接。
驱动框架装置RA1、RA2、RA3仅能够在驱动运动AB的方向上运动，而第一框架R1’和第二框架R2’既在驱动运动AB的方向上也在探测运动DB的方向上运动。用于驱动框架装置RA1、RA2、RA3的驱动装置AT’仅示意性地以附图标记AT’示出并且如上面提到的那样例如可以通过静电驱动梳实现。
驱动框架装置RA1、RA2、RA3尤其具有第一、第二和第三驱动框架RA1、RA2、RA3。第一驱动框架RA1和第三驱动框架RA3 u形地布置在第一框架R1’的相对置的窄侧。第三驱动框架RA3包围第二框架R2’并且局部地通过第一框架R1’引导到标有5a的区域中。第一驱动框架RA1和第三驱动框架RA3通过具有各向异性的弹簧6a、6b、6c、6d的第五弹簧装置6a-6d与第二驱动框架RA2连接。
与上面描述的第一实施方式不同，在第二实施方式中，为了围绕第一轴(z轴)反相振荡地驱动第一和第二转子装置1a、1b，驱动框架装置RA1、RA2、RA3与第一和第二转子装置1a、1b通过第一耦合装置S1、F5、S2、F6、SA、SB、F12连接。
在此，接片S2、S1与第一或第三驱动框架RA3或RA1连接，而接片SA、SB与第二驱动框架RA2连接。
图3a)-c)是用于阐释根据本发明的微机械转速传感器组件的弹簧耦合装置的示意性平面示图。
尤其地，图3a)-3c)示出根据图2的第三耦合装置的各向异性的弹簧4a’-4d’的放大示图。
弹簧4a’-4d’具有弹性的、薄的第一、第二和第三接片B1、B2、B3以及刚性的、较宽的连接接片SG。第一接片B1与第一框架R1’连接，而第三接片B3与第二框架R2’连接。第二接片B2锚固在(未示出的)衬底上。图3a)示出不偏移的状态，而图3b)示出在驱动运动AB中的偏移状态，并且图3c)示出在探测运动DB中的偏移状态。
图4a)-c)示出用于根据本发明的微机械转速传感器组件的另外的弹簧耦合装置的示意性平面示图。
尤其地，各向异性的弹簧40具有刚性的、宽的框架R，较薄的第一弹性接片B1’、较薄的第二弹性接片B2’和较薄的第三弹性接片B3’耦合到该框架上。第一弹性接片B1’与第一框架R1’连接，第二弹性接片B2’与(未示出的)衬底和框架R的内部连接，并且第三弹性接片B3’与第二框架R2’连接。类似于图3b)、c)，图4b)、4c)示出在驱动运动AB中或者在探测运动DB中的偏移状态。
图5a)-c)是用于阐释用于根据本发明的微机械转速传感器组件的不同弹簧悬挂装置的示意性平面示图。
在图5a)-c)中尤其示出第一和第二转子装置1a、1b的第一和第二悬挂装置A1a、A1b的三个不同的构型A’、A”和A”。
第一构型具有第一折叠弹簧L1，该第一折叠弹簧可以围绕第一轴(z轴)旋转并且可以第二轴(y轴)和第三轴(x轴)倾斜。
第二构型具有不同的折叠弹簧L2，所述折叠弹簧具有相同的机械特性。
第三构型A1”’具有弹性弹簧L3a、L3b、L3c的组合，这些弹性弹簧通过刚性的弯曲弧形元件RK1、RK2相互连接。第三构型A1”’也可以围绕第一轴(z轴)旋转并且围绕第二轴(y轴)和第三轴(x轴)倾斜。
悬挂装置A’、A”、A”’分别居中地锚固在(未示出的)衬底上。
图6示出用于阐释根据本发明的第三实施方式的微机械转速传感器组件的示意性平面示图。
在第三实施方式中，如在第二实施方式中那样，仅第二转速传感器装置202不同于已经描述的第二转速传感器装置200、201。
第一转速传感器装置100如在第一和第二实施方式中那样构型。
尤其地，根据第三实施方式的第二转速传感器装置202具有第一框架R1”和第二框架R2”，所述第一框架和第二框架通过第三耦合装置4a”、4b”(参见图3a)-c))相互连接。
第一框架R1”u形地构型，并且第二框架R2”在u形缺口中通过第三耦合装置的弹簧4a”、4b”悬挂在该第一框架上。框架R1”、R2”既可以在驱动运动AB的方向上也可以在探测运动DB的方向上运动。
设置有驱动框架装置RA1”、RA2”，它们具有u形地包围第一框架R1”和第二框架R2”的第一驱动框架RA1”。此外设置有第二驱动框架RA2”，该第二驱动框架叉形地导入第一框架R1”和第二框架R2”之间，其中，第一和第二驱动框架RA1”、RA2”通过各向异性的弹簧F20、F21相互连接。
第一驱动框架RA1”附加地通过各向异性的弹簧F24、F25、F26、F27与(未示出的)衬底连接。第二驱动框架RA2”附加地通过弹簧F22、F23与(未示出的)衬底连接。用于第一驱动框架RA1”和第二驱动框架RA2”的驱动装置AT”出于概要性的原因再次仅示意性地示出。
第一驱动框架RA1”通过弹簧F28、F29、F30、F31与第一框架R1”连接，并且第二驱动框架RA2”通过弹簧F32、F33、F34、F35与第二框架R2”连接。
在该实施方式中，接片S1、S2与第一驱动框架RA1”连接，而接片SA、SB与第二驱动框架RA2”连接。
在第三实施方式中，第一框架R1”和第一驱动框架RA1”是u形的，并且因此不必针对接片SA、SB设置下面通过的区域(参见上面的区域5)，这简化了制造。
仅仅需要在接片SA、SB和第二摆杆3b之间设置下面通过的区域5。
除此之外，第三实施方式的功能和构造类似于上面描述的第一和第二实施方式。
图7示出用于阐释根据本发明的第四实施方式的微机械转速传感器组件的示意性平面示图。
在第四实施方式中，第二摆杆3b省去悬挂装置A2和弹簧F3、F4，从而也可以省去在该区域中的下面通过的区域5。
该第四实施方式的优点是，不需要下面通过的部分或交叉部分并且因此可以取消一个机械层。
但是，在第四实施方式中旋转加速度稳固性降低。尽管如此，在彼此嵌入的部分振动器中的对于旋转加速度的敏感性小于在彼此并排的部分振动器中，因为质量与共同重心的间距减小。
尽管已经参照优选实施例描述本发明，但本发明不局限于此。所提到的材料和拓扑尤其仅是示例性的并且不局限于所阐释的示例。
在另外的未示出的实施方式中，同样可以省略锚固和接合到旋转质量上的第一摆杆或者也可以省略在转子装置之间的耦合弹簧装置。
所示出的第一和第二转速传感器装置的几何形状和对称性在上面的实施方式中仅是示例性的并且可以根据需要改变。

Claims (14)

1.微机械转速传感器组件，该微机械转速传感器组件具有：
能够围绕第一轴(z)旋转振荡地被驱动的第一转速传感器装置(100)，以用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，所述第一轴(z)、所述第二轴(y)和所述第三轴(x)彼此垂直地布置；和
能够通过驱动装置(AT；AT’；AT”)沿着所述第二轴(y)直线振荡地被驱动的第二转速传感器装置(200；201；202)，以用于感测围绕所述第一轴(z)的第三外部转速；
其中，为了通过所述驱动装置(AT；AT’；AT”)驱动所述第一转速传感器装置(100)，所述第二转速传感器装置(200；201；202)与所述第一转速传感器装置(100)通过第一耦合装置(S1、F5；S2、F6；SA、SB、F12)连接，其中，能旋转地被驱动的所述第一转速传感器装置(100)具有：
第一转子装置(1a)，该第一转子装置能够围绕所述第一轴(z)振荡地被驱动；
第二转子装置(1b)，该第二转子装置能够围绕所述第一轴(z)相对于所述第一转子装置(1a)反相振荡地被驱动；
其中，所述第一转子装置(1a)能够通过所述第一外部转速围绕所述第二轴(y)并且通过所述第二外部转速围绕所述第三轴(x)倾翻，并且，其中，所述第二转子装置(1b)能够通过所述第一外部转速围绕所述第二轴(y)并且通过所述第二外部转速围绕所述第三轴(x)相对于所述第一转子装置(1a)反平行地倾翻；
其中，所述第一耦合装置(S1、F5；S2、F6；SA、SB、F12)具有第一弹簧装置(F12)，通过该第一弹簧装置使所述第一转子装置(1a)和所述第二转子装置(1b)耦合，使得抑制围绕所述第二轴(y)的平行倾翻并且能够实现围绕所述第二轴(y)的反平行倾翻；
第二耦合装置(K1、K2)，通过该第二耦合装置使所述第一转子装置(1a)和所述第二转子装置(1b)耦合，使得抑制围绕所述第三轴(x)的平行倾翻并且能够实现围绕所述第三轴(x)的反平行倾翻；
用于感测所述第一转子装置(1a)和所述第二转子装置(1b)围绕所述第二轴(y)的反平行倾翻的第一感测装置(CPY、CNY；CPY’、CNY’)；和
用于感测所述第一转子装置(1a)和所述第二转子装置(1b)围绕所述第三轴(x)的反平行倾翻的第二感测装置(CPX、CNX；CPX’、CNX’)。
2.根据权利要求1所述的微机械转速传感器组件，其中，能被直线驱动的所述第二转速传感器装置(200；201；202)具有：
带着第一框架(R1；R1’；R1”)和第二框架(R2；R2’、R2”)的框架装置(R1、R2；R1’、R2’；R1”、R2”)；
其中，所述第二框架(R2；R2’；R2”)至少部分地由所述第一框架(R1；R1’；R1”)包围；
其中，所述第一框架(R1；R1’；R1”)能够沿着所述第二轴(y)振荡地被驱动，并且，其中，所述第二框架(R2；R2’；R2”)能够沿着所述第二轴(y)相对于所述第一框架(R1；R1’；R1”)反相振荡地被驱动；
其中，所述第一框架(R1；R1’；R1”)和所述第二框架(R2；R2’；R2”)能够通过围绕所述第一轴(z)的所述第三外部转速沿着所述第三轴(x)反相振荡地偏移；
第三耦合装置(4a、4b；4a’-4d’；4a”、4b”)，通过该第三耦合装置使所述第一框架(R1；R1’；R1”)和所述第二框架(R2；R2’；R2”)耦合，使得抑制所述第一框架(R1；R1’；R1”)和所述第二框架(R2；R2’；R2”)沿着所述第三轴(x)的同相偏移并且能够实现所述第一框架(R1；R1’；R1”)和所述第二框架(R2；R2’；R2”)沿着所述第三轴(x)的反相偏移；和
用于感测所述第一框架(R1；R1’；R1”)和所述第二框架(R2；R2’；R2”)沿着所述第三轴(x)的反相偏移的第三感测装置(EK1、EK2、EK3)。
3.根据权利要求2所述的微机械转速传感器组件，其中，为了围绕所述第一轴(z)反相振荡地驱动所述第一转子装置(1a)和所述第二转子装置(1b)，所述第一框架(R1)和所述第二框架(R2)与所述第一转子装置(1a)和所述第二转子装置(1b)通过所述第一耦合装置(S1、F5；S2、F6；SA、SB、F12)连接。
4.根据权利要求2所述的微机械转速传感器组件，其中，具有用于驱动所述第一框架(R1；R1’；R1”)和所述第二框架(R2；R2’；R2”)的驱动框架装置(RA1、RA2、RA3；RA1”、RA2”)，该驱动框架装置通过第四弹簧装置(F11-F18；F28-F35)与所述第一框架(R1；R1’；R1”)和所述第二框架(R2；R2’；R2”)连接。
5.根据权利要求4所述的微机械转速传感器组件，其中，为了围绕所述第一轴(z)反相振荡地驱动所述第一转子装置(1a)和所述第二转子装置(1b)，所述驱动框架装置(RA1、RA2、RA3；RA1”、RA2”)与所述第一转子装置(1a)和所述第二转子装置(1b)通过所述第一耦合装置(S1、F5；S2、F6；SA、SB、F12)连接。
6.根据权利要求4或5所述的微机械转速传感器组件，其中，所述驱动框架装置(RA1、RA2、RA3；RA1”、RA2”)具有第一驱动框架(RA1)和第二驱动框架(RA2)，所述第一驱动框架和所述第二驱动框架布置在所述第一框架(R1’)的对置侧上，并且所述驱动框架装置具有第三驱动框架(RA3)，该第三驱动框架包围所述第二框架(R2’)并且局部地通过所述第一框架(R1’)引导，其中，所述第一驱动框架(RA1)和所述第二驱动框架(RA2)通过第五弹簧装置(6a-6d)与所述第三驱动框架(RA3)连接。
7.根据权利要求4或5所述的微机械转速传感器组件，其中，所述驱动框架装置(RA1”、RA2”)具有第一驱动框架(RA1”)和第二驱动框架(RA2”)，该第一驱动框架u形地包围所述第一框架(R1”)和所述第二框架(R2”)，该第二驱动框架叉形地导入所述第一框架(R1”)和所述第二框架(R2”)之间，其中，所述第一驱动框架(RA1”)和所述第二驱动框架(RA2”)通过第六弹簧装置(F20、F21)连接。
8.根据权利要求3至5中任一项所述的微机械转速传感器组件，其中，所述第一耦合装置(S1、F5；S2、F6；SA、SB、F12)具有将所述第一框架(R1；R1’；R1”)与所述第一转子装置(1a)连接的第一接片(S1)和第二弹簧装置(F5)，并且，其中，所述第一耦合装置(S1、F5；S2、F6；SA、SB、F12)具有第二接片(S2)和第三弹簧装置(F6)。
9.根据权利要求8所述的微机械转速传感器组件，其中，所述第一耦合装置(S1、F5；S2、F6；SA、SB、F12)具有与所述第一弹簧装置(F12)连接的第三接片(SA)和第四接片(SB)。
10.根据权利要求1至5中任一项所述的微机械转速传感器组件，其中，所述第二耦合装置(K1、K2)具有第一摆杆(3a)和第二摆杆(3b)，该第一摆杆通过第七弹簧装置(F1、F2)与所述第一转子装置(1a)和所述第二转子装置(1b)连接，该第二摆杆通过第八弹簧装置(F3、F4)与所述第一转子装置(1a)和所述第二转子装置(1b)连接。
11.根据权利要求2至5中任一项所述的微机械转速传感器组件，其中，所述第三耦合装置(4a、4b；4a’-4d’；4a”、4b”)具有带着多个弹簧的第九弹簧装置(4a、4b；4a’-4d’；4a”、4b”)。
12.根据权利要求1至5中任一项所述的微机械转速传感器组件，其中，所述第一感测装置(CPY、CNY；CPY’、CNY’)和所述第二感测装置(CPX、CNX；CPX’、CNX’)分别具有多个电容式板状电极，这些板状电极布置在所述第一转子装置(1a)和所述第二转子装置(1b)下方。
13.根据权利要求2至5中任一项所述的微机械转速传感器组件，其中，所述第三感测装置(EK1、EK2、EK3)具有多个电容式梳状电极，这些梳状电极布置在所述第一框架(R1；R1’；R1”)和所述第二框架(R2；R2’；R2”)内部。
14.用于微机械转速传感器组件的制造方法，所述制造方法具有以下步骤：
形成能够围绕第一轴(z)旋转振荡地被驱动的第一转速传感器装置(100)以用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，所述第一轴(z)、所述第二轴(y)和所述第三轴(x)彼此垂直地布置；
形成能够沿着所述第二轴(y)直线振荡地被驱动的第二转速传感器装置(200；201；202)以用于感测围绕所述第一轴(z)的第三外部转速；并且
为了围绕所述第一轴(z)振荡地驱动所述第一转速传感器装置(100)，将所述第二转速传感器装置(200；201；202)与所述第一转速传感器装置(100)通过第一耦合装置(S1、F5；S2、F6；SA、SB、F12)连接，
其中，能旋转地被驱动的所述第一转速传感器装置(100)具有：
第一转子装置(1a)，该第一转子装置能够围绕所述第一轴(z)振荡地被驱动；
第二转子装置(1b)，该第二转子装置能够围绕所述第一轴(z)相对于所述第一转子装置(1a)反相振荡地被驱动；
其中，所述第一转子装置(1a)能够通过所述第一外部转速围绕所述第二轴(y)并且通过所述第二外部转速围绕所述第三轴(x)倾翻，并且，其中，所述第二转子装置(1b)能够通过所述第一外部转速围绕所述第二轴(y)并且通过所述第二外部转速围绕所述第三轴(x)相对于所述第一转子装置(1a)反平行地倾翻；
其中，所述第一耦合装置(S1、F5；S2、F6；SA、SB、F12)具有第一弹簧装置(F12)，通过该第一弹簧装置使所述第一转子装置(1a)和所述第二转子装置(1b)耦合，使得抑制围绕所述第二轴(y)的平行倾翻并且能够实现围绕所述第二轴(y)的反平行倾翻；
第二耦合装置(K1、K2)，通过该第二耦合装置使所述第一转子装置(1a)和所述第二转子装置(1b)耦合，使得抑制围绕所述第三轴(x)的平行倾翻并且能够实现围绕所述第三轴(x)的反平行倾翻；
用于感测所述第一转子装置(1a)和所述第二转子装置(1b)围绕所述第二轴(y)的反平行倾翻的第一感测装置(CPY、CNY；CPY’、CNY’)；和
用于感测所述第一转子装置(1a)和所述第二转子装置(1b)围绕所述第三轴(x)的反平行倾翻的第二感测装置(CPX、CNX；CPX’、CNX’)。
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