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CN111006765B - 基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置及方法 - Google Patents

基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置及方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种快照式光谱成像装置，特别涉及一种基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置及方法，解决了现有快照式光谱成像装置难以满足对温室气体测量时，需要成像装置体积小、回访频率高、空间分辨率高和空间覆盖率高的技术问题。该装置的特殊在于：包括沿光路依次设置的成像物镜、光阑、准直物镜、滤光片、微干涉阵列、微光阑阵列、微透镜阵列及大靶面探测器；微干涉阵列是由m乘n个厚度不同的干涉调制单元组成的m行n列的干涉调制单元阵列；位于第一行第一列的干涉调制单元最薄，每一行从第一列至第n列厚度依次递增，从第2行起，该行第一列的厚度大于上一行最后一列的厚度；光阑单元及透镜单元与干涉调制单元一一对应。

Description

基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置及方法
技术领域
本发明涉及一种快照式光谱成像装置，特别涉及一种基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置及方法。
背景技术
温室气体(甲烷、二氧化碳等)是影响气候变化、引起全球变暖的重要因素，提高温室气体的测量精度，可以更加准确的分析其来源。目前，温室气体监测技术面临的技术挑战主要有两个：第一个是设计超紧凑的光学测量方案实现高稳定、高精度测量；第二个是提高监测的回访频率、空间分辨率和空间覆盖率。
快照式光谱成像技术能够同步获取目标随时间变化的二维空间信息、光谱信息，逐渐发展成为一项极具潜力的光谱测量手段。目前，常规的快照式光谱成像装置主要包括滤光型和干涉型两种。其中，滤光型快照式光谱成像装置由于受到镀膜工艺的限制，难以实现较高的光谱分辨率；而现有的干涉型快照式光谱成像装置由于受到信号采样点数的限制，光谱分辨率同样难以提高，且体积较大。因此，现有的快照式光谱成像装置均难以满足对温室气体测量时，需要成像装置体积小、回访频率高、空间分辨率高和空间覆盖率高的应用要求。
发明内容
本发明的目的是提供一种基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置及方法，以解决现有快照式光谱成像装置难以满足对温室气体测量时，需要成像装置体积小、回访频率高、空间分辨率高和空间覆盖率高的技术问题。
本发明所采用的技术方案是，一种基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置，其特殊之处在于：
包括沿光路依次设置的成像物镜、光阑、准直物镜、滤光片、微干涉阵列、微光阑阵列、微透镜阵列以及大靶面探测器；
所述微干涉阵列是由m乘n个干涉调制单元组成的m行n列的干涉调制单元阵列，其中m、n为大于等于2的自然数；所述干涉调制单元阵列的行方向与列方向均垂直于所述光路方向，所述干涉调制单元的厚度方向平行于所述光路方向，且m乘n个干涉调制单元靠近滤光片一侧的端面位于同一平面上；所述m乘n个干涉调制单元的厚度均不相同，其中，位于第一行第一列的干涉调制单元最薄，每一行从第一列至第n列厚度依次递增，且从第2行起，该行第一列的厚度大于上一行最后一列的厚度；
所述微光阑阵列中的光阑单元以及微透镜阵列的透镜单元均与微干涉阵列中的干涉调制单元一一对应；每个所述光阑单元的通光口径均小于对应的干涉调制单元和透镜单元的口径。
进一步地，为了数据处理方便，所述干涉调制单元为正方形。
进一步地，所述微干涉阵列由未镀膜的硅材料制成。
进一步地，所述微干涉阵列由经过镀膜工艺处理的玻璃材料制成。
同时，本发明还提供了一种基于上述基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置的成像方法，其特殊之处在于，包括以下步骤：
步骤1：来自待探测场景的入射光束经过成像物镜成像在光阑所在位置，确定目标视场，消除杂散光束，有效光束透过光阑后出射；
步骤2：从步骤1中光阑出射的光束经过准直物镜后，形成准直光束；
步骤3：步骤2形成的准直光束经过滤光片后，选通目标波段的光束透过滤光片出射，其它波段的光束被反射或吸收；
步骤4：从步骤3中滤光片出射的准直光束进入微干涉阵列，分别被微干涉阵列中不同厚度的干涉调制单元调制，引入连续分布的调制光程差，每束入射光被分裂为多束平行光出射；
步骤5：从步骤4中微干涉阵列出射的多束平行光被微光阑阵列中对应的光阑单元进行选通出射，遮挡不同干涉调制单元之间的串扰光束；
步骤6：被步骤5中所述光阑单元选通出射的光束经过微透镜阵列中对应的透镜单元后，会聚并成像在大靶面探测器的光敏面上；
步骤7：大靶面探测器根据步骤6中所述光敏面上的成像，捕获干涉图阵列信号，并从干涉图阵列信号中提取相同目标点的有效干涉信号；
步骤8：将所述基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置整体平移或旋转，完成一维成像扫描过程，在所述一维成像扫描过程中，多次重复步骤1至7，结合每次步骤7提取的相同目标点的有效干涉信号，获取更加细化的干涉信号，直接对所述细化的干涉信号进行分析，或者对细化的干涉信号进行数据反演，分析其复原光谱信号，监测入射光谱的变化情况。
进一步地，步骤7中，所述的有效干涉信号为光程差采样区间不包含且远离零光程差的干涉信号。
本发明的有益效果是：
(1)本发明的基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置及方法，由于采用了微干涉阵列、微光阑阵列以及微透镜阵列，使得结构十分紧凑，有利于成像装置小型化设计以及应用于小卫星搭载平台；同时，由于采用了微干涉阵列、微光阑阵列以及微透镜阵列，每次可获得m乘n个小图，相对于原来只有一张大图的成像装置，其空间分辨率、空间覆盖率以及回访频率均得到了提高；因此，本发明解决了现有快照式光谱成像装置难以满足对温室气体测量时，需要成像装置体积小、回访频率高、空间分辨率高和空间覆盖率高的技术问题。本发明在实现系统轻小型化的情况下缩短了温室气体的测量周期，提高了探测精度、空间分辨率和覆盖范围。
(2)本发明的基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置及方法，由于采用了微干涉阵列、微光阑阵列以及微透镜阵列，一次可采集多张小图，其有效干涉信号包络更多、更细，因此，在此基础上通过数据反演，分析其复原光谱信号的灵敏度提高。
(3)本发明的基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置及方法，可以同步高效地获取探测目标随时间变化的空间信息及光谱信息。
附图说明
图1是本发明基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置实施例的结构示意图；
图2是本发明实施例中微干涉阵列的结构示意图；
图3是采用本发明的基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置实施例获取的干涉图阵列示意图。
图中各标号的说明如下：
1-成像物镜，2-光阑，3-准直物镜，4-滤光片，5-微干涉阵列，6-微光阑阵列，7-微透镜阵列，8-大靶面探测器。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明进行详细说明。
参见图1，本发明一种基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置，包括包括沿光路依次设置的成像物镜1、光阑2、准直物镜3、滤光片4、微干涉阵列5、微光阑阵列6、微透镜阵列7以及大靶面探测器8。
参见图2，上述微干涉阵列5是由m乘n个干涉调制单元组成的m行n列的干涉调制单元阵列，其中m、n为大于等于2的自然数；干涉调制单元阵列的行方向与列方向均垂直于上述光路方向，上述干涉调制单元的厚度方向平行于上述光路方向，且m乘n个干涉调制单元靠近滤光片4一侧的端面位于同一平面上；上述m乘n个干涉调制单元的厚度均不相同，其中，位于第一行第一列的干涉调制单元最薄，每一行从第一列至第n列厚度依次递增，且从第2行起，该行第一列的厚度大于上一行最后一列的厚度。上述微光阑阵列6中的光阑单元以及微透镜阵列7的透镜单元均与微干涉阵列5中的干涉调制单元一一对应；每个上述光阑单元的通光口径均小于对应的干涉调制单元和透镜单元的口径，起到避免不同干涉调制单元之间光束串扰的作用。本实施例中，m、n均为7。
本实施例中，上述干涉调制单元为正方形。上述微干涉阵列5由未镀膜的硅材料制成；除了本实施例的采用未镀膜的硅材料外，也可以使用经过镀膜工艺处理的玻璃材料制成。
以温室气体中的CO2气体测量为例，基于上述基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置的成像方法，包括以下步骤：
步骤1：来自待探测场景的入射光束经过成像物镜1成像在光阑2所在位置，确定目标视场，消除杂散光束，有效光束透过光阑2后出射；
步骤2：从步骤1中光阑2出射的光束经过准直物镜3后，形成准直光束；
步骤3：步骤2形成的准直光束经过滤光片4后，选通目标波段的光束透过滤光片4出射，其它波段的光束被反射或吸收；在本实施例中，滤光片4选通中心波长为1.6μm的光束；
步骤4：从步骤3中滤光片4出射的准直光束进入微干涉阵列5，分别被微干涉阵列5中不同厚度的干涉调制单元调制，引入连续分布的调制光程差，每束入射光被分裂为多束平行光出射；在本实施例中，微干涉阵列5中干涉调制单元的数量为7×7，每个干涉调制单元均为正方形，其边长均为1920μm；
步骤5：从步骤4中微干涉阵列5出射的多束平行光被微光阑阵列6中对应的光阑单元进行选通出射，遮挡不同干涉调制单元之间的串扰光束；
步骤6：被步骤5中光阑单元选通出射的光束经过微透镜阵列7中对应的透镜单元后，会聚并成像在大靶面探测器8的光敏面上；本实施例中，大靶面探测器8的像素数量为1024×1024，像元尺寸为15μm；
步骤7：大靶面探测器8根据步骤6中光敏面上的成像，捕获干涉图阵列信号，参见图3，并从干涉图阵列信号中提取相同目标点的有效干涉信号；在本实施例中，每个干涉图阵列单元的像素数量为128×128；
步骤8：将上述基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置整体平移或旋转，完成一维成像扫描过程，在一维成像扫描过程中，多次重复步骤1至7，结合每次步骤7提取的相同目标点的有效干涉信号，获取更加细化的干涉信号，直接对细化的干涉信号进行分析，或者对细化的干涉信号进行数据反演，分析其复原光谱信号，监测入射光谱的变化情况。
上述步骤7中的有效干涉信号为光程差采样区间不包含且远离零光程差的干涉信号。
本发明的基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置及方法，可用于高效率、高分辨率、大幅宽温室气体监测中。

Claims (5)

1.一种基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置，其特征在于：
包括沿光路依次设置的成像物镜(1)、光阑(2)、准直物镜(3)、滤光片(4)、微干涉阵列(5)、微光阑阵列(6)、微透镜阵列(7)以及大靶面探测器(8)；
所述微干涉阵列(5)是由m乘n个干涉调制单元组成的m行n列的干涉调制单元阵列，其中m、n为大于等于2的自然数；所述干涉调制单元阵列的行方向与列方向均垂直于所述光路方向，所述干涉调制单元的厚度方向平行于所述光路方向，且m乘n个干涉调制单元靠近滤光片(4)一侧的端面位于同一平面上；所述m乘n个干涉调制单元的厚度均不相同，其中，位于第一行第一列的干涉调制单元最薄，每一行从第一列至第n列厚度依次递增，且从第2行起，该行第一列的厚度大于上一行最后一列的厚度；
所述微光阑阵列(6)中的光阑单元以及微透镜阵列(7)的透镜单元均与微干涉阵列(5)中的干涉调制单元一一对应；每个所述光阑单元的通光口径均小于对应的干涉调制单元和透镜单元的口径；
所述干涉调制单元为正方形。
2.根据权利要求1所述的基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置，其特征在于：所述微干涉阵列(5)由未镀膜的硅材料制成。
3.根据权利要求1所述的基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置，其特征在于：所述微干涉阵列(5)由经过镀膜工艺处理的玻璃材料制成。
4.一种基于权利要求1至3任一所述的基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置的成像方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1：来自待探测场景的入射光束经过成像物镜(1)成像在光阑(2)所在位置，确定目标视场，消除杂散光束，有效光束透过光阑(2)后出射；
步骤2：从步骤1中光阑(2)出射的光束经过准直物镜(3)后，形成准直光束；
步骤3：步骤2形成的准直光束经过滤光片(4)后，选通目标波段的光束透过滤光片(4)出射，其它波段的光束被反射或吸收；
步骤4：从步骤3中滤光片(4)出射的准直光束进入微干涉阵列(5)，分别被微干涉阵列(5)中不同厚度的干涉调制单元调制，引入连续分布的调制光程差，每束入射光被分裂为多束平行光出射；
步骤5：从步骤4中微干涉阵列(5)出射的多束平行光被微光阑阵列(6)中对应的光阑单元进行选通出射，遮挡不同干涉调制单元之间的串扰光束；
步骤6：被步骤5中所述光阑单元选通出射的光束经过微透镜阵列(7)中对应的透镜单元后，会聚并成像在大靶面探测器(8)的光敏面上；
步骤7：大靶面探测器(8)根据步骤6中所述光敏面上的成像，捕获干涉图阵列信号，并从干涉图阵列信号中提取相同目标点的有效干涉信号；
步骤8：将所述基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置整体平移或旋转，完成一维成像扫描过程，在所述一维成像扫描过程中，多次重复步骤1至7，结合每次步骤7提取的相同目标点的有效干涉信号，获取更加细化的干涉信号，直接对所述细化的干涉信号进行分析，或者对细化的干涉信号进行数据反演，分析其复原光谱信号，监测入射光谱的变化情况。
5.根据权利要求4所述的成像方法，其特征在于：步骤7中，所述的有效干涉信号为光程差采样区间不包含且远离零光程差的干涉信号。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111750997A (zh) * 2020-06-29 2020-10-09 中国科学院西安光学精密机械研究所 基于偏振分时光谱同步的光学成像探测装置
CN119688070B (zh) * 2025-02-26 2025-07-11 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 双阶梯法布里珀罗干涉快照成像光谱仪
CN119688071B (zh) * 2025-02-26 2025-07-04 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 棋盘格式法布里珀罗干涉快照成像光谱仪
CN119826978B (zh) * 2025-02-26 2025-09-23 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 基于法布里珀罗标准具阵列的快照像面干涉成像光谱仪
CN119714535B (zh) * 2025-02-26 2025-07-11 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 低精细度快照像面干涉成像光谱仪

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106456070A (zh) * 2014-06-26 2017-02-22 索尼公司 成像装置和方法
CN108088561A (zh) * 2017-12-15 2018-05-29 哈尔滨工业大学 一种快照式光场-光谱成像仪及成像方法
CN108151878A (zh) * 2017-12-20 2018-06-12 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 基于微成像镜阵列与阵列相位反射镜的快照成像光谱仪
CN109477758A (zh) * 2016-06-30 2019-03-15 国家航空与空间研究事务局 傅里叶变换多路光谱成像装置
CN211401425U (zh) * 2019-12-27 2020-09-01 中国科学院西安光学精密机械研究所 基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106456070A (zh) * 2014-06-26 2017-02-22 索尼公司 成像装置和方法
CN109477758A (zh) * 2016-06-30 2019-03-15 国家航空与空间研究事务局 傅里叶变换多路光谱成像装置
CN108088561A (zh) * 2017-12-15 2018-05-29 哈尔滨工业大学 一种快照式光场-光谱成像仪及成像方法
CN108151878A (zh) * 2017-12-20 2018-06-12 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 基于微成像镜阵列与阵列相位反射镜的快照成像光谱仪
CN211401425U (zh) * 2019-12-27 2020-09-01 中国科学院西安光学精密机械研究所 基于微干涉阵列的紧凑型快照式光谱成像装置

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