CN119816108B - 显示面板的制作方法、显示面板和显示装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种显示面板的制作方法、显示面板和显示装置，制作方法包括步骤：提供一衬底基板；在衬底基板上形成像素定义层，并图案化像素定义层形成多个开口区，在像素定义层上形成悬垂结构；在多个第一开口区依次沉积底电极材料、第一颜色发光功能层材料和顶电极材料以形成第一颜色发光单元；在多个第二开口区依次沉积底电极材料、第二颜色发光功能层材料和顶电极材料以形成第二颜色发光单元；在多个第三开口区依次沉积底电极材料、第三颜色发光功能层材料和顶电极材料以形成第三颜色发光单元。本申请通过设置悬垂结构，使得发光单元中的底电极通过悬垂结构整面沉积，提升了发光单元的发光效率，提升了显示面板的品质。

Description

显示面板的制作方法、显示面板和显示装置

技术领域

本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种显示面板的制作方法、显示面板和显示装置。

背景技术

OLED(Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管)显示器件由于具有轻巧、广视角、响应快、耐低温、发光效率高，且能制备弯曲的柔性显示屏，被广泛应用在各个领域。由于量产技术日益成熟，使得OLED显示面板逐渐成为主流现实面板。

现有的有机发光显示面板主要包括两类，一种是正置的有机发光显示面板，其中正置的有机发光显示面板中的发光单元包括从衬底基板上依次层叠设置的阳极、发光功能层和阴极；另一种是倒置的有机发光显示面板，其中包括从衬底基板依次层叠设置的阴极、发光功能层和阳极。以正置的有机发光显示面板来说，阴极中的活性金属容易受到水氧侵蚀，造成显示面板的寿命降低，对于倒置的有机发光显示面板而言，阴极中的活性金属也容易在制程中被氧化或存在制程残留等问题，造成倒置的有机发光显示面板的发光效率低。对此，本领域亟需一种解决上述问题的方案。

发明内容

本申请的目的是提供一种显示面板的制作方法、显示面板和显示装置，通过设置悬垂结构，使得发光单元中的底电极通过悬垂结构整面沉积，而不需要刻蚀步骤，降低了底电极中的活性金属在制程中被氧化或存在制程残留的可能性，提升了发光单元的发光效率，提升了显示面板的品质。

本申请公开了一种显示面板的制作方法，包括步骤：

提供一衬底基板；

在所述衬底基板上形成像素定义层，并图案化所述像素定义层形成多个开口区，其中，所述开口区包括第一开口区，第二开口区和第三开口区；

在所述像素定义层上形成悬垂结构；

在多个所述第一开口区依次沉积底电极材料、第一颜色发光功能层材料和顶电极材料以形成第一颜色发光单元；

在多个所述第二开口区依次沉积底电极材料、第二颜色发光功能层材料和顶电极材料以形成第二颜色发光单元；以及

在多个所述第三开口区依次沉积底电极材料、第三颜色发光功能层材料和顶电极材料以形成第三颜色发光单元；

其中，所述第一颜色发光单元的底电极、所述第二颜色发光单元的底电极、所述第三颜色发光单元的底电极通过所述悬垂结构隔断。

可选的，所述第一颜色发光单元的底电极、所述第二颜色发光单元的底电极和所述第三颜色发光单元的底电极采用相同的材料，在不同制程中形成。

可选的，所述在所述衬底基板上形成像素定义层，并图案化所述像素定义层形成多个开口区的步骤中包括：

在所述衬底基板上沉积阴极辅助电极材料，图案化后在所述第一开口区、所述第二开口区和所述第三开口区分别形成阴极辅助电极；

在所述阴极辅助电极上沉积并图案化形成像素定义层，相邻两个所述阴极辅助电极通过所述像素定义层隔开，多个所述阴极辅助电极分别从所述第二开口区、所述第二开口区和所述第三开口区裸露。

可选的，所述在所述像素定义层上形成悬垂结构的步骤中包括：

依次沉积整面的导电部材料和隔断部材料；

通过图案化工艺去除开口区的隔断部材料，在非开口区形成隔断部；

以隔断部为保护层，对导电部进行刻蚀，使得导电部的宽度小于隔断部的宽度以形成悬垂结构。

可选的，所述在多个所述第一开口区依次沉积底电极材料、第一颜色发光功能层材料和顶电极材料以形成第一颜色发光单元的步骤中包括：

依次整面蒸镀底电极材料、第一颜色发光功能层材料和顶电极材料；

去除所述第二开口区和所述第三开口区的底电极材料、第一颜色发光功能层材料和顶电极材料，保留所述第一开口区的底电极材料、第一颜色发光功能层材料和顶电极材料以形成第一颜色发光单元；

所述在多个所述第二开口区依次沉积底电极材料、第二颜色发光功能层材料和顶电极材料以形成第二颜色发光单元的步骤中包括：

依次整面蒸镀底电极材料、第二颜色发光功能层材料和顶电极材料；

去除所述第一开口区和所述第三开口区的底电极材料、第二颜色发光功能层材料和顶电极材料，保留所述第二开口区的底电极材料、第二颜色发光功能层材料和顶电极材料以形成第二颜色发光单元；

所述在多个所述第三开口区依次沉积底电极材料、第三颜色发光功能层材料和顶电极材料以形成第三颜色发光单元的步骤中包括：

依次整面蒸镀底电极材料、第三颜色发光功能层材料和顶电极材料；

去除所述第一开口区和所述第二开口区的底电极材料、第二颜色发光功能层材料和顶电极材料，保留所述第三开口区的底电极材料、第二颜色发光功能层材料和顶电极材料以形成第三颜色发光单元；

所述第一开口区的顶电极、所述第二开口区的顶电极和所述第三开口区的顶电极通过所述导电部相互电性连接。

可选的，所述去除所述第二开口区和所述第三开口区底电极材料、第一颜色发光功能层材料和顶电极材料的步骤之前还包括：

在所述第一开口区的顶电极材料上形成刻蚀保护层；

所述去除所述第一开口区和所述第三开口区底电极材料、第二颜色发光功能层材料和顶电极材料的步骤之前还包括：

在所述第二开口区的顶电极材料上形成刻蚀保护层；

所述去除所述第一开口区和所述第二开口区底电极材料、第二颜色发光功能层材料和顶电极材料的步骤之前还包括：

在所述第三开口区的顶电极材料上形成刻蚀保护层。

可选的，所述第一颜色发光单元、所述第二颜色发光单元和第三颜色发光单元分别包括底电极和顶电极，所述顶电极为阳极，所述底电极为阴极；所述底电极为透光电极，采用镁材料、银材料中的一种或两种形成，所述顶电极采用反射金属材料形成；

可选的，所述底电极的厚度大于等于100埃米小于等于300埃米；所述第一颜色发光功能层、所述第二颜色发光功能层和所述第三颜色发光功能层分别包括电子传输层、空穴传输层，所述电子传输层设置在靠近所述阴极的一侧，所述空穴传输层设置在靠近所述阳极的一侧，所述电子传输层设置在所述阴极上，所述空穴传输层设置在所述电子传输层上，所述阳极设置在所述空穴传输层上。

本申请还公开了一种如上述的显示面板的制作方法形成的显示面板，所述显示面板包括衬底基板、像素定义层、悬垂结构、第一第一颜色发光单元、第二颜色发光单元和第三颜色发光单元；所述像素定义层设置在所述衬底基板上，且形成有多个开口区，所述开口区包括第一开口区，第二开口区和第三开口区；所述悬垂结构设置在所述像素定义层上，且位于非开口区；所述第一颜色发光单元设置在所述第一开口区；所述第二颜色发光单元设置在所述第二开口区；所述第三颜色发光单元设置在所述第三开口区；其中，所述第一颜色发光单元的底电极、所述第二颜色发光单元的底电极、所述第三颜色发光单元的底电极通过所述悬垂结构隔断。

本申请还公开了一种显示装置，包括驱动电路和上述的显示面板，其中，所述驱动电路用于驱动所述显示面板显示。

本申请中，在形成发光单元的底电极时，利用悬垂结构将多个发光单元的底电极之间进行隔断，形成多个独立互不连接的底电极，在完成底电极制程后，不需要采用刻蚀工艺，可直接在底电极上形成发光单元的发光功能层，减少了刻蚀工艺对底电极造成的影响。特别是在底电极中包括活性金属材料时，避免了活性金属被氧化以及刻蚀中存在的残留问题，改善了底电极与发光功能层之间的膜层界面，提升了发光单元的发光效率，提高了显示面板的显示效果。

附图说明

所包括的附图用来提供对本申请实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本申请的实施方式，并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：

图1是本申请的显示面板的制作方法的步骤示意图；

图2是本申请的显示面板的制作流程示意图；

图3是本申请的显示面板的示意图；

图4是本申请的倒置的发光单元的示意图；

图5是本申请又一实施例的显示面板的制作方法的步骤示意图；

图6是本申请又一实施例的显示面板的制作流程示意图；

图7是本申请的显示装置的示意图。

其中，100、显示面板；101、开口区；101a、第一开口区；101b、第二开口区；101c、第二开口区；102、非开口区；110、衬底基板；111、像素定义层；120、悬垂结构；121、导电部；122、隔断部；130R、第一颜色发光单元；130G、第二颜色发光单元；130B、第三颜色发光单元；131、阳极；132、发光功能层；1321、电子传输层；1322、发光层；1323、空穴传输层；1324、电子注入层；1325、空穴阻挡层；1326、电子阻挡层；1327、空穴注入层；133、阴极；134、阴极辅助电极；135、刻蚀保护层；150、像素驱动层；200、显示装置；210、驱动电路。

具体实施方式

需要理解的是，这里所使用的术语、公开的具体结构和功能细节，仅仅是为了描述具体实施例，是代表性的，但是本申请可以通过许多替换形式来具体实现，不应被解释成仅受限于这里所阐述的实施例。

在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示相对重要性，或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，除非另有说明，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征；“多个”的含义是两个或两个以上。另外，“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、等指示的方位或位置关系的术语，是基于附图所示的方位或相对位置关系描述的，仅是为了便于描述本申请的简化描述，而不是指示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

下面参考附图和可选的实施例对本申请作详细说明。

图1是本申请的显示面板的制作方法的步骤示意图，图2是本申请的显示面板的制作流程示意图，参见图1至图2所示，本申请公开了一种显示面板的制作方法，包括步骤：

S10：提供一衬底基板；

S20：在所述衬底基板上形成像素定义层，并图案化所述像素定义层形成多个开口区，其中，所述开口区包括第一开口区，第二开口区和第三开口区；

S30：在所述像素定义层上形成悬垂结构；

S40：在多个所述第一开口区依次沉积底电极材料、第一颜色发光功能层材料和顶电极材料以形成第一颜色发光单元；

S50：在多个所述第二开口区依次沉积底电极材料、第二颜色发光功能层材料和顶电极材料以形成第二颜色发光单元；以及

S60：在多个所述第三开口区依次沉积底电极材料、第三颜色发光功能层材料和顶电极材料以形成第三颜色发光单元；

其中，所述第一颜色发光单元的底电极、所述第二颜色发光单元的底电极、所述第三颜色发光单元的底电极通过所述悬垂结构隔断。

本申请中，在形成发光单元的底电极时，利用悬垂结构将多个发光单元的底电极之间进行隔断，形成多个独立互不连接的底电极，在完成底电极制程后，不需要采用刻蚀工艺，可直接在底电极上形成发光单元的发光功能层，减少了刻蚀工艺对底电极造成的影响。特别是在底电极中包括活性金属材料时，避免了活性金属被氧化以及刻蚀中存在的残留问题，改善了底电极与发光功能层之间的膜层界面，提升了发光单元的发光效率，提高了显示面板的显示效果。

其中，第一颜色发光单元可为红色发光单元，所发出光线为红色光线；第二颜色发光单元可为绿色发光单元，所发出光线为绿色光线；第三颜色发光单元可为蓝色发光单元，所发出光线为蓝色光线。红色发光单元、绿色发光单元和蓝色发光单元的主要区别在于发光功能层中的材料存在区别，使得不同颜色的发光单元在空穴和电子的激发下发出不同颜色的光线。

可以理解的是，本申请的红色发光单元、绿色发光单元和蓝色发光单元的制程顺序并不限定，可以选择任一种颜色的发光单元先制程，然后依次形成其他颜色的发光单元。当然，本申请的发光单元的颜色并不限定上述的红色、绿色和蓝色，例如白色、黄色等发光单元同样适用。对于第一开口区、第二开口区和第三开口区来说，仅以该开口区内的发光单元的发光颜色进行区分，在多个的第一开口区内设置有相同颜色的发光单元，并不以“第一”、“第二”和“第三”来限定开口区的顺序、大小等。

图3是本申请的显示面板的示意图，参见图3所示，本申请还公开了一种显示面板100，所述显示面板100采用上述显示面板100的制作方法形成，所述显示面板100包括衬底基板110、像素定义层111、悬垂结构120、第一第一颜色发光单元130R、第二颜色发光单元130G和第三颜色发光单元130B；所述像素定义层111设置在所述衬底基板110上，且形成有多个开口区101，所述开口区101包括第一开口区101a，第二开口区101b和第三开口区101c；所述悬垂结构120设置在所述像素定义层111上，且位于非开口区102；所述第一颜色发光单元130R设置在所述第一开口区101a；所述第二颜色发光单元130G设置在所述第二开口区101b；所述第三颜色发光单元130B设置在所述第三开口区101c；其中，所述第一颜色发光单元130R的底电极、所述第二颜色发光单元130G的底电极、所述第三颜色发光单元130B的底电极通过所述悬垂结构120隔断；悬垂结构120包括导电部121和隔断部122。

图4是本申请的倒置的发光单元的示意图，参见图4所示，本实施例中的发光单元是一种倒置的有机发光单元，其中，第一颜色发光单元130R包括底电极、第一颜色发光功能层和顶电极，第二颜色发光单元130G包括底电极、第二颜色发光功能层和顶电极，第三颜色发光单元130B包括底电极、第三颜色发光功能层和顶电极，第一颜色发光功能层、第二颜色发光功能层和第三颜色发光功能层分别倒置设置，其区别主要在于发光层材料不同，而膜层结构皆一致，具有发光功能层的基本膜层。具体来说，底电极为阴极133，顶电极为阳极131，发光功能层132包括电子传输层1321、发光层1322和空穴传输层1323，所述电子传输层1321设置在所述阴极133上，所述发光层1322设置在所述电子传输层1321上，所述空穴传输层1323设置在所述发光层1322上，所述阳极131设置在所述空穴传输层1323上。电子传输层1321设置在靠近阴极133的一侧，空穴传输层1323设置在靠近阳极131的一侧。与正置的有机发光显示面板100的发光单元130中的发光功能层132完全相反。本实施例中的电子传输层1321通过电子注入层1324与阴极133连接，电子传输层1321与发光层1322之间还设置有空穴阻挡层1325。空穴传输层1323通过空穴注入层1327与阳极131连接，空穴传输层1323与发光层1322之间还设置有电子阻挡层1321。第二颜色发光功能层、第三颜色发光功能层与上述第一颜色发光功能层结构基本相同，仅在于发光层所使用的材料不同，例如红色发光单元则使用的是红色发光层，绿色发光单元则采用的是绿色发光层，蓝色发光单元则采用的是蓝色发光层。

本申请的倒置的有机发光单元可以采用顶发光或底发光技术，当选择底发光技术时，则需要使得下方的阴极透明，使得上方的阳极具有高反射能力。本实施例中的倒置的有机发光单元为底发光类型的发光单元时，具有更好的出光效率。此时的出光方向由阴极朝向衬底基板110的方向，从而实现从衬底基板110的背面进行出光显示。相对来说，倒置的底发光显示面板100中的发光单元的发光效率受到阴极、阳极的功函数影响。一般来说，阳极的功函数相对较高，阴极的功函数相对较低时，发光单元具有较高的发光效率。但是当选择阳极为反射电极、阴极为透光电极时，会造成阳极的功函数降低，阴极的功函数升高，造成倒置的底发光显示面板100的发光效率较低的问题。

因此，本实施例中的阴极需要增加透光的活性金属，从而降低阴极的功函数，使得阴极的功函数与阳极的功函数相匹配，实现较好的出光效果。

具体地，本申请的底电极为阴极，底电极材料为镁材料、银材料中的一种或两种形成，所述顶电极采用反射金属材料形成。可以理解的是，本实施例中的所述第一颜色发光单元130R、所述第二颜色发光单元130G和第三颜色发光单元130B分别包括底电极和顶电极，该不同颜色的发光单元所使用的底电极和顶电极材料分别一致，在后续描述中，其底电极、顶电极的限定分别适用于不同颜色的发光单元中，在此不再赘述。

当然，本实施例还适用于第一颜色发光单元130R、第二颜色发光单元130G和第三颜色发光单元130B都为同一种颜色的发光单元，例如白色发光单元，在此情况下，可以同时形成底电极，即在同一制程下形成。而对于不同颜色，如上述第一颜色发光单元130R可为红色发光单元，第二颜色发光单元130G可为绿色发光单元，第三颜色发光单元130B可为蓝色发光单元的情况下，三种不同颜色的底电极可以分别在不同制程中形成，即完成红色发光单元的阴极、红色发光功能层和阳极之后，在完成绿色发光单元的阴极、绿色发光功能层和阳极之后，最后形成蓝色发光单元的阴极、蓝色发光功能层和阳极，从而依次完成发光单元的制程。

当阴极采用镁材料、银材料中的一种或两种形成时，需要考虑两个方面，第一方面需要考虑金属材料的透光性，金属的透光性与其晶格有关，晶格结构是指金属原子按照特定的规律排列的方式。当金属的晶格结构足够紧密，没有足够的空间让光子穿过时，金属就会呈现出不透明的特性。而如果金属的厚度降低到一定程度，光子就有可能穿过金属的晶格结构，使得金属变得透光。另一方面还需要考虑功函数，在考虑透光性对厚度进行设置的同时，还需要兼顾功函数，其厚度对功函数也有影响。一般来说，以阴极采用活性金属材料形成，活性金属材料为镁或银为例，阴极的厚度需要比阳极中的反射金属层的厚度小，以实现较高的发光效率。但是，当阴极采用的活性金属材料较薄时，例如在100埃米至300埃米时，在制程中的沉积、刻蚀步骤容易出现被氧化；具体在刻蚀制程中，还存在光刻胶残留以及刻蚀问题等，都会影响阴极的功函数，从而造成倒置的底发光显示面板100的发光效率较低。因而，在形成发光单元的阴极时，利用悬垂结构120将多个发光单元的阴极之间进行隔断，形成多个独立互不连接的阴极，在完成阴极制程后，不需要采用刻蚀工艺，可直接在阴极上形成发光功能层，减少了刻蚀工艺对阴极造成的影响。特别是在阴极中包括活性金属材料且较薄时，避免了活性金属被氧化以及刻蚀中存在的残留问题，改善了阴极与发光功能层之间的膜层界面，提升了发光单元的发光效率，提高了显示面板100的显示效果。

图5是本申请又一实施例的显示面板的制作方法的步骤示意图，图6是本申请又一实施例的显示面板的制作流程示意图，参见图5至图6所示，具体地，在S20的步骤中包括：

S201：在所述衬底基板上沉积阴极辅助电极材料，图案化后在所述第一开口区、所述第二开口区和所述第三开口区分别形成阴极辅助电极；

S202：在所述阴极辅助电极上沉积并图案化形成像素定义层，相邻两个所述阴极辅助电极通过所述像素定义层隔开，多个所述阴极辅助电极分别从所述第二开口区、所述第二开口区和所述第三开口区裸露。

为了进一步改善倒置底发光显示面板的出光效率，通过在阴极下方设置有阴极辅助电极134，阴极辅助电极134的材料可以为透明金属氧化物，其中，透明金属氧化物可以为氧化铟锡材料(ITO)或氧化铟锌材料(IZO)形成，该类材料的透光率高。该阴极辅助电极134还通过过孔与像素驱动层150的像素主动开关连接，实现对发光单元的发光强度控制。一般像素驱动层设置在发光单元与衬底基板之间，像素驱动层150一般包括发光单元的像素驱动电路，例如像素主动开关、数据驱动线、扫描驱动线等，每一发光单元的阴极通过阴极辅助电极连接至像素主动开关上，通过数据驱动线和扫描驱动线的控制阴极的电极以及关断。

在本实施例中，对于第一开口区101a的红色发光单元、第二开口区101b的绿色发光单元和第三开口区101c的蓝色发光单元而言，其阴极辅助电极可以在同一制程中形成，分别在第一开口区101a、第二开口区101b和第三开口区101c形成阴极辅助电极134。可以先采用物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)形成整面的阴极辅助电极，通过光刻胶保护后进行光刻刻蚀获得阴极辅助电极图案。

具体地，在S30的步骤中包括：

S301：依次沉积整面的导电部材料和隔断部材料；

S302：通过图案化工艺去除开口区的隔断部材料，在非开口区形成隔断部；

S303：以隔断部为保护层，对导电部进行刻蚀，使得导电部的宽度小于隔断部的宽度以形成悬垂结构。

本实施例中，形成悬垂结构的步骤在形成底电极之前，依次沉积整面的导电部材料和隔断部材料，利用隔断部为保护层，采用湿刻工艺对导电部进行刻蚀，由于湿刻过程中是各向同性的，即使导电部和隔断部采用的是相同图案的光刻胶，其下部分导电部会发生侧蚀，从而形成导电部的宽度小于隔断部的宽度。其中，隔断部材料的刻蚀可选用为干刻工艺。具体材料而言，导电部材料可为金属材料，例如Al、Mo、Ag等金属，厚度一般在0.1um至1.5um之间。隔断部可以采用金属或非金属材料，例如Ti、ITO、IZO、SiOx、SiNx、SiOxNy等材料，厚度一般在0.03um至0.2um之间。值得一提的是，悬垂结构的隔断能力主要与导电部的厚度相关，当悬垂结构需要隔断的膜层较厚时，则需要选择更厚的导电部。

在S40的步骤中包括：

S401：依次整面蒸镀底电极材料、第一颜色发光功能层材料和顶电极材料；

S402：去除所述第二开口区和所述第三开口区的底电极材料、第一颜色发光功能层材料和顶电极材料，保留所述第一开口区的底电极材料、第一颜色发光功能层材料和顶电极材料以形成第一颜色发光单元。

在S50的步骤中包括：

S501：依次整面蒸镀底电极材料、第二颜色发光功能层材料和顶电极材料；

S502：去除所述第一开口区和所述第三开口区的底电极材料、第二颜色发光功能层材料和顶电极材料，保留所述第二开口区的底电极材料、第二颜色发光功能层材料和顶电极材料以形成第二颜色发光单元。

在S60的步骤中包括：

S601：依次整面蒸镀底电极材料、第三颜色发光功能层材料和顶电极材料；

S602：去除所述第一开口区和所述第二开口区的底电极材料、第二颜色发光功能层材料和顶电极材料，保留所述第三开口区的底电极材料、第二颜色发光功能层材料和顶电极材料以形成第三颜色发光单元。

其中，所述第一开口区的顶电极、所述第二开口区的顶电极和所述第三开口区的顶电极通过所述导电部相互电性连接。

本实施例中，通过悬垂结构将相邻发光单元的阴极、发光功能层和顶电极分别进行隔断，从而形成隔离的多个发光单元。在本方案中，在不同开口区形成发光单元的过程中，在蒸镀阴极时，需要控制蒸镀角度，以使得阴极不与悬垂结构的导电部接触，防止阴极与悬垂结构接触发生电性串扰的问题。而阳极需要与悬垂结构中的导电部接触，从而相邻发光单元的阳极之间通过导电部连接，从而形成整面电性连接的网状阳极，由此来克服阻降等问题。

值得一提的是，在形成第一颜色发光功能层、第二颜色发光功能层和第三颜色发光功能层时，包括依次真空蒸镀电子注入层、电子传输层、空穴阻挡层、发光层、电子阻挡层、空穴传输层和空穴注入层等。本实施例中，整面沉积工艺主要采用的真空蒸镀技术，在整个真空蒸镀过程中，阴极、发光功能层和阳极等都是在真空隔绝水氧的环境中形成，避免了金属薄膜的氧化等劣化的可能，提高了金属阴极、阳极的稳定性和一致性，进而提供了OLED发光单元的制作良率。

在上述制程步骤中，在完成第一颜色发光单元制程后，还需要对第一颜色发光单元进行保护后，即设置有刻蚀保护层135，在去除冗余的第一颜色发光单元，从而使得在对应开口区形成对应颜色的发光单元。在S401的步骤之前还包括在所述第一开口区的顶电极材料上形成刻蚀保护层。在完成第二颜色发光单元制程后，通过在第二开口区位置设置刻蚀保护层135，从而去除第一开口区和第二开口区上的第二颜色发光单元的冗余材料。在S501的步骤之前还包括在所述第二开口区的顶电极材料上形成刻蚀保护层。第三颜色发光单元的形成过程也类似，在S601的步骤之前还包括在所述第三开口区的顶电极材料上形成刻蚀保护层。

图7是本申请的显示装置的示意图，参见图7所示，本申请还公开了一种显示装置，显示装置200包括驱动电路210和上述实施例中的显示面板100，其中，所述驱动电路210用于驱动所述显示面板100显示。

本申请中，在形成发光单元的底电极时，利用悬垂结构将多个发光单元的底电极之间进行隔断，形成多个独立互不连接的底电极，在完成底电极制程后，不需要采用刻蚀工艺，可直接在底电极上形成发光单元的发光功能层，减少了刻蚀工艺对底电极造成的影响。特别是在底电极中包括活性金属材料时，避免了活性金属被氧化以及刻蚀中存在的残留问题，改善了底电极与发光功能层之间的膜层界面，提升了发光单元的发光效率，提高了显示面板的显示效果。

需要说明的是，本申请的发明构思可以形成非常多的实施例，但是申请文件的篇幅有限，无法一一列出，因而，在不相冲突的前提下，以上描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例，各实施例或技术特征组合之后，将会增强原有的技术效果。

以上内容是结合具体的可选实施方式对本申请所作的进一步详细说明，不能认定本申请的具体实施只局限于这些说明。对于本申请所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本申请的保护范围。

Claims (5)

1.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括步骤：

提供一衬底基板；

在所述衬底基板上形成像素定义层，并图案化所述像素定义层形成多个开口区，其中，所述开口区包括第一开口区，第二开口区和第三开口区，包括：在所述衬底基板上沉积阴极辅助电极材料，图案化后在所述第一开口区、所述第二开口区和所述第三开口区分别形成阴极辅助电极；在所述阴极辅助电极上沉积并图案化形成像素定义层，相邻两个所述阴极辅助电极通过所述像素定义层隔开，多个所述阴极辅助电极分别从所述第二开口区、所述第二开口区和所述第三开口区裸露；

在所述像素定义层上形成悬垂结构，包括：依次沉积整面的导电部材料和隔断部材料；通过图案化工艺去除开口区的隔断部材料，在非开口区形成隔断部；以隔断部为保护层，对导电部进行刻蚀，使得导电部的宽度小于隔断部的宽度以形成悬垂结构；

依次整面蒸镀底电极材料、第一颜色发光功能层材料和顶电极材料；去除所述第二开口区和所述第三开口区的底电极材料、第一颜色发光功能层材料和顶电极材料，保留所述第一开口区的底电极材料、第一颜色发光功能层材料和顶电极材料以形成第一颜色发光单元；

依次整面蒸镀底电极材料、第二颜色发光功能层材料和顶电极材料；去除所述第一开口区和所述第三开口区的底电极材料、第二颜色发光功能层材料和顶电极材料，保留所述第二开口区的底电极材料、第二颜色发光功能层材料和顶电极材料以形成第二颜色发光单元；

依次整面蒸镀底电极材料、第三颜色发光功能层材料和顶电极材料；去除所述第一开口区和所述第二开口区的底电极材料、第二颜色发光功能层材料和顶电极材料，保留所述第三开口区的底电极材料、第二颜色发光功能层材料和顶电极材料以形成第三颜色发光单元；

所述第一开口区的顶电极、所述第二开口区的顶电极和所述第三开口区的顶电极通过所述导电部相互电性连接；

其中，所述第一颜色发光单元的底电极、所述第二颜色发光单元的底电极、所述第三颜色发光单元的底电极通过所述悬垂结构隔断，所述顶电极为阳极，所述底电极为阴极。

2.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述第一颜色发光单元的底电极、所述第二颜色发光单元的底电极和所述第三颜色发光单元的底电极采用相同的材料，在不同制程中形成。

3.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述去除所述第二开口区和所述第三开口区的底电极材料、第一颜色发光功能层材料和顶电极材料的步骤之前还包括：

在所述第一开口区的顶电极材料上形成刻蚀保护层；

所述去除所述第一开口区和所述第三开口区的底电极材料、第二颜色发光功能层材料和顶电极材料的步骤之前还包括：

在所述第二开口区的顶电极材料上形成刻蚀保护层；

所述去除所述第一开口区和所述第二开口区的底电极材料、第二颜色发光功能层材料和顶电极材料的步骤之前还包括：

在所述第三开口区的顶电极材料上形成刻蚀保护层。

4.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述底电极为透光电极，采用镁材料、银材料中的一种或两种形成，所述顶电极采用反射金属材料形成。

5.根据权利要求4所述的显示面板的制作方法，其特征在于，

所述底电极的厚度大于等于100埃米小于等于300埃米；

所述第一颜色发光功能层、所述第二颜色发光功能层和所述第三颜色发光功能层分别包括电子传输层、空穴传输层，所述电子传输层设置在靠近所述阴极的一侧，所述空穴传输层设置在靠近所述阳极的一侧，所述电子传输层设置在所述阴极上，所述空穴传输层设置在所述电子传输层上，所述阳极设置在所述空穴传输层上。