CN119404300A - 基板收纳容器及其盖体 - Google Patents

Abstract

本发明涉及基板收纳容器及其盖体。基板收纳容器(1)具备：容器主体(2)，在内部形成有能够收纳多个基板(W)的基板收纳空间(27)，在一端部具有形成有与基板收纳空间连通的容器主体开口部(21)的开口周缘部(28)；和盖体(3)，能够相对于容器主体开口部拆装，能够封闭容器主体开口部，具有密封构件安装部(311)和与开口周缘部对置的周缘部对置部(331)，盖体还具有密封构件(4)，密封构件具有：保持于密封构件安装部的基部(41)；从基部延伸并与开口周缘部抵接的周缘部抵接唇部(421)；以及从基部延伸并与周缘部对置部抵接的对置部抵接唇部(422)，周缘部对置部具有表示对置部抵接唇部的配置目标(PT)的非直平面的截面形状。

Description

基板收纳容器及其盖体

技术领域

本发明涉及收纳半导体晶片等基板的基板收纳容器及其盖体。

背景技术

作为收纳半导体晶片等基板的容器，一直以来已知有具备容器主体和盖体的构成的容器。

容器主体具有筒状的壁部，该筒状的壁部在一端部形成有容器主体开口部且另一端部被封闭。在容器主体内形成有基板收纳空间。基板收纳空间由壁部包围而形成，能够收纳多个基板。盖体能够相对于容器主体开口部拆装，能够封闭容器主体开口部。

在盖体的一部分且在封闭容器主体开口部时与基板收纳空间对置的部分设置有前部保持构件。在通过盖体封闭容器主体开口部时，前部保持构件能够支承多个基板的边缘部。另外，里侧基板支承部以与前部保持构件成对的方式设置在在壁部。里侧基板支承部能够支承多个基板的缘部。在通过盖体封闭容器主体开口部时，里侧基板支承部与前部保持构件协作来支承多个基板，从而在使相邻的基板彼此以规定的间隔分离并排列状态下保持多个基板。

另外，在盖体设置有密封构件。密封构件安装于盖体的密封构件安装部，以绕盖体的外周缘部一周的方式配置。在盖体安装于开口周缘部时，密封构件被容器主体的密封面与盖体的内表面夹持而弹性变形，盖体以将容器主体开口部密闭的状态封闭容器主体开口部。通过从开口周缘部卸下盖体，从而基板能够相对于容器主体内的基板收纳空间取出或放入(例如参照专利文献1)。

专利文献1：日本专利第4953690号公报

为了确保通过密封构件进行封闭时的气密性，需要将密封构件适当地安装于盖体的密封构件安装部，并配置于密封构件的配置目标。但是，将密封构件配置于配置目标并不容易。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基板收纳容器以及盖体，能够将密封构件适当地安装于盖体的密封构件安装部，并将密封构件配置于配置目标。

本发明涉及一种基板收纳容器，具备：容器主体，在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，在一端部具有形成有与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部的开口周缘部；以及盖体，能够相对于所述容器主体开口部拆装，能够封闭所述容器主体开口部，具有密封构件安装部以及与所述开口周缘部对置的周缘部对置部，所述盖体还具有密封构件，该密封构件安装于所述盖体的所述密封构件安装部，夹在所述开口周缘部与所述周缘部对置部之间并与所述开口周缘部以及所述周缘部对置部紧密地抵接，从而以气密状态封闭所述容器主体开口部，所述密封构件具有：保持于所述密封构件安装部的基部；从所述基部延伸并与所述开口周缘部抵接的周缘部抵接唇部；以及从所述基部延伸并与所述周缘部对置部抵接的对置部抵接唇部，所述周缘部对置部具有表示所述对置部抵接唇部的配置目标的非直平面的截面形状。

另外，优选为，所述周缘部对置部的非直平面的所述截面形状为相对于作为基准的直平面向所述对置部抵接唇部侧突出的突出形状。

另外，优选为，所述周缘部对置部的所述突出形状为平滑地突出的形状、多个直平面连结而成的形状、或者具有能够限制所述对置部抵接唇部的移动地局部突出的突起的形状。

另外，优选为，所述周缘部对置部的非直平面的所述截面形状具有相对于作为基准的直平面向远离所述对置部抵接唇部的一侧凹陷且所述对置部抵接唇部能够卡合的限制凹部。

另外，优选为，所述周缘部对置部的非直平面的所述截面形状设置成沿着所述盖体的周缘部分围绕一周。

另外，本发明涉及一种盖体，是基板收纳容器的盖体，具备：容器主体，在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，在一端部具有形成有与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部的开口周缘部；以及盖体，能够相对于所述容器主体开口部拆装，具有密封构件安装部以及与所述开口周缘部对置的周缘部对置部，能够封闭所述容器主体开口部，所述盖体还具有密封构件，该密封构件安装于所述盖体的所述密封构件安装部，夹在所述开口周缘部与所述周缘部对置部之间并与所述开口周缘部以及所述周缘部对置部紧密地抵接，从而与所述盖体一起以气密状态封闭所述容器主体开口部，所述密封构件具有：保持于所述密封构件安装部的基部；从所述基部延伸并与所述开口周缘部抵接的周缘部抵接唇部；以及从所述基部延伸并与所述周缘部对置部抵接的对置部抵接唇部，所述周缘部对置部具有表示所述对置部抵接唇部的配置目标的非直平面的截面形状。

根据本发明，能够提供容易将密封构件适当地安装于盖体的密封构件安装部并将密封构件配置于配置目标的基板收纳容器以及盖体。

附图说明

图1是表示本发明的第1实施方式所涉及的基板收纳容器1的分解立体图。

图2是表示在本发明的第1实施方式所涉及的基板收纳容器1中收纳有基板W的样子的分解立体图。

图3是表示在本发明的第1实施方式所涉及的基板收纳容器1中安装有密封构件4以及前部保持构件7的状态的盖体3的立体图。

图4是表示本发明的第1实施方式所涉及的基板收纳容器1的盖体3的密封构件4的立体图。

图5是表示在本发明的第1实施方式所涉及的基板收纳容器1中卸下了密封构件4以及前部保持构件7的状态的盖体3的后视图。

图6A是沿着图3以及图5的A-A线的剖视图。

图6B是图6A的局部放大图。

图6C是针对图6A表示密封构件4偏离配置目标的状态的图。

图7A是表示本发明的第2实施方式所涉及的基板收纳容器1的盖体3的剖视图(与图6A对应的图)。

图7B是图7A的局部放大图。

图8是表示本发明的第3实施方式所涉及的基板收纳容器1的盖体3的剖视图(与图6A对应的图)。

图9是表示本发明的第4实施方式所涉及的基板收纳容器1的盖体3的剖视图(与图6A对应的图)。

图10A是表示基板保持适配器8的俯视图。

图10B是表示通过基板保持适配器8保持基板W的状态的俯视图。

图10C是图10B的示意性中央纵剖视图。

具体实施方式

[第1实施方式]

以下，参照附图对本发明的第1实施方式的基板收纳容器1进行说明。图1是表示本发明的第1实施方式所涉及的基板收纳容器1的分解立体图。图2是表示本发明的第1实施方式所涉及的基板收纳容器1收纳于基板W的样子的分解立体图。图3是表示在本发明的第1实施方式所涉及的基板收纳容器1中安装有密封构件4以及前部保持构件7的状态的盖体3的立体图。图4是表示本发明的第1实施方式所涉及的基板收纳容器1的盖体3的密封构件4的立体图。图5是表示在本发明的第1实施方式所涉及的基板收纳容器1中卸下了密封构件4以及前部保持构件7的状态的盖体3的后视图。图6A是沿着图3以及图5的A-A线的剖视图。图6B是图6A的局部放大图。图6C是针对图6A表示密封构件4偏离配置目标的状态的图。

在此，为了便于说明，将后述的从容器主体2朝向盖体3的方向(图1中的从右上朝向左下的方向)定义为前方向D11，将其相反方向定义为后方向D12，将这两个方向定义为前后方向D1。另外，将后述的从下壁24朝向上壁23的方向(图1中的上方)定义为上方向D21，将其相反方向定义为下方向D22，将这两个方向定义为上下方向D2。另外，将后述的从第2侧壁26朝向第1侧壁25的方向(图1中的从右下朝向左上的方向)定义为左方D31，将其相反方向定义为右方D32，将这两个方向定义为左右方向D3。

另外，收纳在基板收纳容器1中的基板W(参照图2)是圆盘状的硅晶片、玻璃晶片、蓝宝晶片等，是在工业上应用的薄基板。本实施方式中的基板W是直径200mm～450mm的硅晶片。

如图1～图2所示，基板收纳容器1用于收纳由上述硅晶片构成的基板W，具有容器主体2、盖体3、作为侧方基板支承部的基板支承板状部5、里侧基板支承部(未图示)、以及作为盖体侧基板支承部的前部保持构件7。

如图1所示，容器主体2具有筒状的壁部20，该筒状的壁部20在一端部形成有容器主体开口部21且另一端部被封闭。在容器主体2内形成有基板收纳空间27。基板收纳空间27由壁部20包围而形成。在壁部20的一部分且形成基板收纳空间27的部分配置有基板支承板状部5。如图2所示，基板收纳空间27能够收纳多个基板W。

基板支承板状部5在基板收纳空间27内以沿着左右方向D3成对的方式设置于壁部20。在未通过盖体3封闭容器主体开口部21时，基板支承板状部5通过与多个基板W的缘部的侧部抵接，能够在使相邻的基板W彼此以规定的间隔分离并排列的状态下支承多个基板W的边缘部的侧部。在基板支承板状部5的里侧设置有里侧基板支承部(未图示)。

里侧基板支承部(未图示)在基板收纳空间27内以与前部保持构件7成对的方式设置于壁部20。在通过盖体3封闭容器主体开口部21时，里侧基板支承部(未图示)与多个基板W的缘部的后部抵接，由此能够支承多个基板W的边缘部的后部。

盖体3能够相对于形成容器主体开口部21的开口周缘部28拆装，并能够封闭容器主体开口部21。前部保持构件7设置于盖体3的一部分且在通过盖体3封闭容器主体开口部21时与基板收纳空间27对置的部分。前部保持构件7在基板收纳空间27的内部以在前后方向D1与里侧基板支承部(未图示)成对的方式配置。

在通过盖体3封闭容器主体开口部21时，前部保持构件7与多个基板W的缘部抵接，由此能够支承多个基板W的边缘部的前部。在通过盖体3封闭容器主体开口部21时，前部保持构件7与里侧基板支承部(未图示)协作来支承多个基板W，由此在使相邻的基板W彼此以规定的间隔分离并排列的状态下保持多个基板W。以下，对各部详细地进行说明。

如图1等所示，容器主体2的壁部20具有里壁22、上壁23、下壁24、第1侧壁25以及第2侧壁26。里壁22、上壁23、下壁24、第1侧壁25以及第2侧壁26由塑料材料等构成，在本实施方式中，通过聚碳酸酯一体成形而构成。

第1侧壁25与第2侧壁26对置，上壁23与下壁24对置。上壁23的后端、下壁24的后端、第1侧壁25的后端以及第2侧壁26的后端全都与里壁22连接。上壁23的前端、下壁24的前端、第1侧壁25的前端以及第2侧壁26的前端构成开口周缘部28，该开口周缘部28具有与里壁22对置的位置关系且形成呈大致长方形状的容器主体开口部21。

开口周缘部28设置在容器主体2的一端部，里壁22位于容器主体2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主体2的外形为箱状。壁部20的内表面、即里壁22的内表面、上壁23的内表面、下壁24的内表面、第1侧壁25的内表面以及第2侧壁26的内表面形成由它们包围而成的基板收纳空间27。形成在开口周缘部28的容器主体开口部21与由壁部20包围且形成在容器主体2的内部的基板收纳空间27连通。在基板收纳空间27中最多能够收纳25张基板W。

如图1、图2所示，在上壁23以及下壁24的一部分且是开口周缘部28的附近的部分形成有朝向基板收纳空间27的外方凹陷而成的闩锁卡合凹部231A、231B、241A、241B。闩锁卡合凹部231A、231B、241A、241B在上壁23以及下壁24的左右两端部附近各形成有1个、合计形成有4个。

如图1、图2所示，在上壁23的外表面中，与上壁23一体成形地设置有凸缘固定部(未图示)以及肋235A、235B。凸缘固定部(未图示)配置在上壁23的中央部。在凸缘固定部(未图示)固定有顶部凸缘236。顶部凸缘236配置在上壁23的中央部。顶部凸缘236是在AMHS(自动晶片搬运系统)、PGV(晶片基板搬运台车)等中悬吊基板收纳容器1时成为在基板收纳容器1中被勾挂而悬吊的部分的构件。

肋235A从顶部凸缘236大致向左方、右方分别延伸有多条。另外，肋235B从顶部凸缘236向前方向D11延伸有多条，另外，从顶部凸缘236向后方向D12延伸有多条。

在盖体3中设置有闩锁机构。闩锁机构设置在盖体3的左右两端部附近，如图1～图3以及图5所示，具备能够从盖体3的上边朝向上方向D21突出的两个上侧闩锁部32A、以及能够从盖体3的下边朝向下方向D22突出的两个下侧闩锁部32B。两个上侧闩锁部32A配置在盖体3的上边的左右两端附近，两个下侧闩锁部32B配置在盖体3的下边的左右两端附近。

在盖体3的外表面设置有操作部33。通过从盖体3的前侧对操作部33进行操作，能够成为使上侧闩锁部32A、下侧闩锁部32B从盖体3的上边、下边突出或者不使上侧闩锁部32A、下侧闩锁部32B从上边、下边突出的状态。上侧闩锁部32A从盖体3的上边向上方向D21突出而与容器主体2的闩锁卡合凹部231A、231B卡合，并且下侧闩锁部32B从盖体3的下边向下方向D22突出而与容器主体2的闩锁卡合凹部241A、241B卡合，由此盖体3固定于容器主体2的开口周缘部28。

在盖体3的盖体主体30的内侧固定地设置有前部保持构件7。在本实施方式中，前部保持构件7构成为在左右方向D3上分离。前部保持构件7具有前部保持构件基板承接部73。前部保持构件基板承接部73以在左右方向D3分开规定的间隔而成对的方式，在左右方向D3上各配置有两个。这样成对地各配置两个的前部保持构件基板承接部73以在上下方向D2上排列有25对的状态设置。通过将基板W收纳在基板收纳空间27内并将盖体3关闭，前部保持构件基板承接部73夹持并支承基板W的边缘部的端缘。

如图3～图5所示，盖体3具有与容器主体2的开口周缘部28的形状大致一致的大致长方形状。盖体3能够相对于容器主体2的开口周缘部28拆装，通过将盖体3安装在开口周缘部28，盖体3能够封闭容器主体开口部21。在盖体3的内表面(图1所示的盖体3的里侧的面)、且是与盖体3封闭容器主体开口部21时在紧随开口周缘部28的开口缘的后方向D12的位置形成的台阶部分的面(密封面281)对置的面，安装有环状的密封构件4。

在盖体3安装于开口周缘部28时，密封构件4的后述的唇部42被密封面281与构成盖体3的内表面的周缘部对置部331夹持而弹性变形，盖体3以将容器主体开口部21密闭的状态封闭容器主体开口部21。通过从开口周缘部28卸下盖体3，能够相对于容器主体2内的基板收纳空间27取出或放入基板W。

更详细地说，盖体3具有盖体主体30。盖体主体30形成呈大致长方形的盖体3的外部轮廓。因此，盖体主体30具有大致长方形状。盖体主体30具有内表面301(参照图3等)以及外表面302。内表面301在通过盖体3封闭容器主体开口部21时与基板收纳空间27对置。外表面302在通过盖体3封闭容器主体开口部21时向基板收纳容器1的外部露出。盖体主体30由塑料材料等构成，在本实施方式中，由聚碳酸酯成形而构成。

如图6A等所示，在盖体主体30的周缘的部分、且是与构成容器主体2的开口周缘部28的密封面281对置的部分，具有密封构件安装部311和周缘部对置部331。在密封构件安装部311形成有保持槽321。密封构件安装部311形成为以围绕盖体主体30的周缘的部分一周的方式存在，保持槽321也沿着密封构件安装部311以围绕盖体主体30的周缘的部分一周的方式存在。周缘部对置部331由与构成开口周缘部28的密封面281对置的盖体主体30的周缘的部分、且是比保持槽321靠盖体3的外方的部分构成。周缘部对置部331由盖体主体30的周缘的部分、且是在D2-D3平面扩展(与前后方向D1垂直)的板状的部分构成。

如图6A所示，保持槽321具有槽底面322以及一对槽侧面323。在与保持槽321延伸的方向正交的方向剖切而得的保持槽321的截面形状为大致矩形。在该截面中，从保持槽321的开口沿着保持槽321的深度方向延伸的面构成一对槽侧面323。槽底面322构成保持槽321的底。密封构件4的后述的基部41插入到保持槽321中。由此，密封构件4安装于盖体3的密封构件安装部311，密封构件4的唇部42能够与开口周缘部28以及周缘部对置部331抵接。

密封构件4由能够弹性变形的聚酯系、聚烯烃系等各种热塑性弹性体、氟橡胶制、硅橡胶制等构成。如图4所示，密封构件4具有长方形状的环状，以围绕盖体3的外周边缘部一周的方式配置。

密封构件4具有基部41和唇部42。如图6A以及图6C所示，与密封构件4的环状的周向正交的基部41的截面形状为在外周具有凹凸的大致矩形。基部41具有前端面411、从前端面411延伸的一对侧面412、以及位于侧面412延伸的前端的基端410。侧面412成为凹部以及凸部交替地排列延伸的凹凸面。在基部41，前端面411和一对侧面412插入到保持槽321中。插入到保持槽321中的基部41的一对侧面412与一对槽侧面323具有对置的位置关系。

在位于侧面412从基部41的前端面411延伸的前端的基端410，一体成形地设置有唇部42。唇部42从基部41的基端410朝向相对于侧面412从基部41的前端面411延伸的方向倾斜的方向延伸。如图6A等所示，唇部42从中途分支成两个，构成周缘部抵接唇部421和对置部抵接唇部422。在盖体3封闭容器主体开口部21时，周缘部抵接唇部421与容器主体2的开口周缘部28的密封面281抵接，对置部抵接唇部422与周缘部对置部331抵接。

如果以图6A所示的、盖体3的上方向D21侧的部位为例进行说明，则周缘部抵接唇部421以与开口周缘部28抵接的方式向后方向D12与上方向D21(D2-D3平面的外侧方向)之间的倾斜方向延伸。对置部抵接唇部422以与周缘部对置部331抵接的方式向前方向D11与上方向D21(D2-D3平面的外侧方向)之间的倾斜方向延伸。另外，周缘部抵接唇部421以及对置部抵接唇部422延伸的方向根据密封构件4在盖体3中的位置而不同，但是该延伸的方向大致能够称为D2-D3平面的外侧方向。

通过周缘部抵接唇部421向开口周缘部28的抵接、以及对置部抵接唇部422向周缘部对置部331的抵接，密封构件4的唇部42夹在开口周缘部28与周缘部对置部331之间并与开口周缘部28以及周缘部对置部331紧贴，与盖体3一起以气密状态封闭容器主体开口部21。

接下来，对周缘部对置部331的形状详细说明。如图6B所示，周缘部对置部331具有表示对置部抵接唇部422的配置目标PT的、非直平面的截面形状。周缘部对置部331中的非直平面的截面形状设置成沿着盖体3的周缘部分围绕一周。例如，在本实施方式中，如果密封构件4的基部41完全插入到盖体3的密封构件安装部311的保持槽321中(密封构件4的基部41的前端面411与保持槽321的槽底面322充分抵接)，则该状态的密封构件4配置于配置目标PT(参照图6A、图6B)。在该状态下，能够确保密封构件4封闭时的气密性。

另一方面，如图6C所示，如果密封构件4的基部41向盖体3的密封构件安装部311的保持槽321的插入不充分(典型地，密封构件4的基部41的前端面411未与保持槽321的槽底面322抵接)，则该状态的密封构件4未配置于配置目标PT(偏离)。在该状态下，不能确保密封构件4封闭时的气密性(不能保证确保气密性)。

这样，为了确保密封构件4封闭时的气密性，将密封构件4配置于配置目标PT是极为重要的。但是，在盖体3的制造过程中，不容易确认是否将密封构件4配置于密封构件安装部311的配置目标PT。另外，在基板收纳容器1中，为了防止污染，不能在密封构件安装部311附加例如通过附着物表示配置目标PT的标记。

与此相对，在本实施方式中，周缘部对置部331具有表示对置部抵接唇部422的配置目标PT的非直平面的截面形状。从另一角度来看，周缘部对置部331在后方向D12侧具有表示对置部抵接唇部422的配置目标的非直平面的面。如果是非直平面的截面形状(面)，则即使不附加标记等，也能够基于形状表示配置目标PT。

如图6B所示，周缘部对置部331中的非直平面的截面形状是相对于作为基准的直平面(基准平面)P向对置部抵接唇部422侧(后方向D12侧)突出的突出形状。作为基准的直平面P典型地是在要用直平面形成周缘部对置部331的情况下假想的直平面。

在第1实施方式中，周缘部对置部331中的突出形状为平滑地突出的形状。突出的部分的顶部表示配置目标PT。突出的部分可以是沿着盖体3的周缘部分(上下方向D2、左右方向D3)遍及整周地延伸的凸条，可以是局部地延伸的凸条，也可以是实质上不延伸的凸部。

根据上述构成的第1实施方式所涉及的基板收纳容器1，能够获得以下的效果。第1实施方式的基板收纳容器1具备：容器主体2，在内部形成有能够收纳多个基板W的基板收纳空间27，在一端部具有形成有与基板收纳空间27连通的容器主体开口部21的开口周缘部28；以及盖体3，能够相对于容器主体开口部21拆装，能够封闭容器主体开口部21，具有密封构件安装部311以及与开口周缘部28对置的周缘部对置部331。盖体3还具有密封构件4，该密封构件4安装于盖体3的密封构件安装部311，夹在开口周缘部28与周缘部对置部331之间并与开口周缘部28以及周缘部对置部331紧密地抵接，由此以气密状态封闭容器主体开口部21。密封构件4具有保持于密封构件安装部311的基部41、从基部41延伸并与开口周缘部28抵接的周缘部抵接唇部421、以及从基部41延伸并与周缘部对置部331抵接的对置部抵接唇部422。周缘部对置部331具有表示对置部抵接唇部422的配置目标PT的非直平面的截面形状。

因此，根据第1实施方式，参考周缘部对置部331的形状，能够容易地将对置部抵接唇部422配置于配置目标PT。基本上不会发生由于表示配置目标PT的手段而引起的污染。

[第2实施方式]

接下来，参照附图对本发明的第2实施方式进行说明。图7A是表示本发明的第2实施方式所涉及的基板收纳容器1的盖体3的剖视图(与图6A对应的图)。图7B是图7A的局部放大图。

如图7A所示，在第2实施方式中，与第1实施方式相比，周缘部对置部331的突出形状不同。关于第2实施方式中的其他构成，由于与第1实施方式相同，因此对同一构件标记同一附图标记，并省略说明。

在第2实施方式中，如图7A以及图7B所示，周缘部对置部331的突出形状是多个直平面P1、P2连结而成的形状。由多个直平面P1、P2形成的棱线表示配置目标PT。根据第2实施方式，能够获得与第1实施方式同样的效果。

[第3实施方式]

接下来，参照附图对本发明的第3实施方式进行说明。图8是表示本发明的第3实施方式所涉及的基板收纳容器1的盖体3的剖视图(与图6A对应的图)。

如图8所示，在第3实施方式中，与第1以及第2实施方式相比，周缘部对置部331的突出形状不同。关于第3实施方式中的其他构成，由于与第1实施方式相同，因此对同一构件标记同一附图标记，并省略说明。

在第3实施方式中，如图8所示，周缘部对置部331的突出形状为具有能够限制对置部抵接唇部422的移动地局部突出的突起332的形状。

根据第3实施方式，能够获得与第1实施方式同样的效果。另外，根据第3实施方式，周缘部对置部331的突出形状为具有能够限制对置部抵接唇部422的移动地局部突出的突起332的形状，因此，对置部抵接唇部422以与突起332抵碰的方式配置于配置目标PT。假设对置部抵接唇部422从配置目标PT向外侧偏离，则对置部抵接唇部422不与突起332抵碰，因此能够容易地判别是否配置于配置目标PT。一旦对置部抵接唇部422配置于配置目标PT，则对置部抵接唇部422容易与突起332抵碰，容易勾挂于突起332。因此，容易维持对置部抵接唇部422配置于配置目标PT的状态。

[第4实施方式]

接下来，参照附图对本发明的第4实施方式进行说明。图9是表示本发明的第4实施方式所涉及的基板收纳容器1的盖体3的剖视图(与图6A对应的图)。

如图9所示，在第4实施方式中，与第1～第3实施方式相比，周缘部对置部331中的非直平面的截面形状不同。关于第4实施方式中的其他构成，由于与第1实施方式相同，因此，对同一构件标记同一附图标记，并省略说明。

在第4实施方式中，如图9所示，周缘部对置部331中的非直平面的截面形状具有相对于作为基准的直平面P向远离对置部抵接唇部422的一侧(前方向D11侧)凹陷且对置部抵接唇部422能够卡合的限制凹部333。只要对置部抵接唇部422能够与限制凹部333卡合，限制凹部333的形状/大小就没有特别限制。

根据第4实施方式，能够获得与第1实施方式同样的效果。另外，根据第4实施方式，周缘部对置部331中的非直平面的截面形状具有相对于作为基准的直平面P向远离对置部抵接唇部422的一侧凹陷的限制凹部333、且是对置部抵接唇部422能够卡合的限制凹部333。因此，对置部抵接唇部422以与限制凹部333卡合的方式配置于配置目标PT。假设对置部抵接唇部422从配置目标PT向外侧偏离，则由于对置部抵接唇部422未与限制凹部333卡合，因此能够容易地判别是否配置于配置目标PT。一旦对置部抵接唇部422配置于配置目标PT，对置部抵接唇部422与限制凹部333卡合，因此容易维持对置部抵接唇部422配置于配置目标PT的状态。

本发明并不限定于上述实施方式，能够在权利要求所记载的技术范围内进行变形。

例如，在实施方式中，密封构件4的基部41以插入到保持槽321中的方式保持于密封构件安装部311，但保持于密封构件安装部311的方式并不限定于此。例如，密封构件4的基部41可以以被夹持或者被卡合的方式保持于密封构件安装部311。

在实施方式中，周缘部对置部331中的非直平面的截面形状设置成沿着盖体3的周缘部分围绕一周，但并不限定于此，可以在周向上局部地设置，也可以在周向上分开设置多个。

另外，容器主体2及盖体3的形状、容器主体2中能够收纳的基板W的张数及尺寸并不限定于本实施方式中的容器主体2及盖体3的形状、容器主体2中能够收纳的基板W的张数及尺寸。

能够使用基板保持适配器8将基板W收纳于基板收纳空间27。图10A是表示基板保持适配器8的俯视图。图10B是表示通过基板保持适配器8保持基板W的状态的俯视图。图10C是图10B的示意性的中央纵剖视图。基板保持适配器8是构成里侧基板支承部(未图示)、基板支承板状部5以及前部保持构件7的一部分的构件。基板保持适配器8还可以认为是将图1～图3所示的实施方式中的里侧基板支承部(未图示)、基板支承板状部5以及前部保持构件7向俯视中央(基板W的中心)侧延长的部分。

如图10A所示，基板保持适配器8具备圆环板状部81以及粘接片82。圆环板状部81由在俯视时呈大致O字状(外周边缘811以及内周缘812为大致圆状)的板状构件构成。圆环板状部81例如是金属(例如、SUS)制。粘接片82由具有粘接性的薄膜状的片构件构成，以堵塞圆环板状部81的内周缘812的内侧的区域的方式安装于圆环板状部81的上表面。如图10B以及图10C所示，粘接片82能够通过其粘接力保持基板W。基板W粘贴并保持于粘接片82中的、比圆环板状部81的内周缘812靠内侧的区域。

在图1～图3所示的实施方式中应用基板保持适配器8的情况下，通过前部保持构件7的前部保持构件基板承接部73支承圆环板状部81的缘部的前部，作为前部保持构件7的一部分的基板保持适配器8支承基板W的边缘部的前部。同样地，作为基板支承板状部5的一部分的基板保持适配器8在未通过盖体3封闭容器主体开口部21时支承基板W的缘部的侧部。同样地，作为里侧基板支承部(未图示)的一部分的基板保持适配器8在通过盖体3封闭容器主体开口部21时支承基板W的边缘部的后部。

在对收纳有基板W的基板收纳容器1施加振动、冲击等时，该振动、冲击等被粘接片82降低。因此，振动、冲击等难以传递到保持于粘接片82的基板W。因此，即使是在切片后经过追加加工而强度降低的基板W，在收纳于基板收纳容器1时，基板2也难以因振动、冲击而破损。

具备基板保持适配器8的基板收纳容器1能够在不收纳基板W而将基板保持适配器8配置于基板收纳空间27的状态下被搬运或保管而使用。

基板保持适配器8并不限定于俯视时呈圆环状的形态，也可以为(不闭合的)圆弧状的形态。

附图标记说明

1基板收纳容器

2容器主体

3盖体

4密封构件

20壁部

21容器主体开口部

27基板收纳空间

28开口周缘部

41基部

42唇部

311密封构件安装部

321保持槽

331周缘部对置部

332突起

333限制凹部

421周缘部抵接唇部

422对置部抵接唇部

P作为基准的直平面

P1、P2多个直平面

PT配置目标

W基板

Claims (10)

1.一种基板收纳容器，其特征在于，

所述基板收纳容器具备：

容器主体，在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，在一端部具有形成有与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部的开口周缘部；以及

盖体，能够相对于所述容器主体开口部拆装，能够封闭所述容器主体开口部，具有密封构件安装部以及与所述开口周缘部对置的周缘部对置部，

所述盖体还具有密封构件，该密封构件安装于所述盖体的所述密封构件安装部，夹在所述开口周缘部与所述周缘部对置部之间并与所述开口周缘部以及所述周缘部对置部紧密地抵接，从而以气密状态封闭所述容器主体开口部，

所述密封构件具有：保持于所述密封构件安装部的基部；从所述基部延伸并与所述开口周缘部抵接的周缘部抵接唇部；以及从所述基部延伸并与所述周缘部对置部抵接的对置部抵接唇部，

所述周缘部对置部具有表示所述对置部抵接唇部的配置目标的非直平面的截面形状。

2.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，

所述周缘部对置部的非直平面的所述截面形状为相对于作为基准的直平面向所述对置部抵接唇部侧突出的突出形状。

3.根据权利要求2所述的基板收纳容器，其特征在于，

所述周缘部对置部的所述突出形状为平滑地突出的形状、多个直平面连结而成的形状、或者具有能够限制所述对置部抵接唇部的移动地局部突出的突起的形状。

4.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，

所述周缘部对置部的非直平面的所述截面形状具有相对于作为基准的直平面向远离所述对置部抵接唇部的一侧凹陷且所述对置部抵接唇部能够卡合的限制凹部。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，

所述周缘部对置部的非直平面的所述截面形状设置成沿着所述盖体的周缘部分围绕一周。

6.一种盖体，是基板收纳容器的盖体，其特征在于，

所述基板收纳容器具备：

容器主体，在内部形成有能够收纳多个基板的基板收纳空间，在一端部具有形成有与所述基板收纳空间连通的容器主体开口部的开口周缘部；以及

盖体，能够相对于所述容器主体开口部拆装，具有密封构件安装部以及与所述开口周缘部对置的周缘部对置部，能够封闭所述容器主体开口部，

所述盖体还具有密封构件，该密封构件安装于所述盖体的所述密封构件安装部，夹在所述开口周缘部与所述周缘部对置部之间并与所述开口周缘部以及所述周缘部对置部紧密地抵接，从而与所述盖体一起以气密状态封闭所述容器主体开口部，

所述密封构件具有：保持于所述密封构件安装部的基部；从所述基部延伸并与所述开口周缘部抵接的周缘部抵接唇部；以及从所述基部延伸并与所述周缘部对置部抵接的对置部抵接唇部，

所述周缘部对置部具有表示所述对置部抵接唇部的配置目标的非直平面的截面形状。

7.根据权利要求6所述的盖体，其特征在于，

所述周缘部对置部的非直平面的所述截面形状为相对于作为基准的直平面向所述对置部抵接唇部侧突出的突出形状。

8.根据权利要求7所述的盖体，其特征在于，

所述周缘部对置部的所述突出形状为平滑地突出的形状、多个直平面连结而成的形状、或者具有能够限制所述对置部抵接唇部的移动地局部突出的突起的形状。

9.根据权利要求6所述的盖体，其特征在于，

所述周缘部对置部的非直平面的所述截面形状具有相对于作为基准的直平面向远离所述对置部抵接唇部的一侧凹陷且所述对置部抵接唇部能够卡合的限制凹部。

10.根据权利要求6至9中任一项所述的盖体，其特征在于，

所述周缘部对置部的非直平面的所述截面形状设置成沿着所述盖体的周缘部分围绕一周。