CN118664409A - 一种密封圈槽的抛光方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种密封圈槽的抛光方法，所述抛光方法包括对密封圈槽表面依次进行第一砂纸处理、第二砂纸处理、第三砂纸处理和羊毛轮处理；所述羊毛轮处理中羊毛轮与密封圈槽表面的接触压力为0.01‑0.04MPa。通过对密封圈槽表面抛光过程的合理配置，采用多次砂纸抛光与羊毛轮抛光相配合，使得抛光后密封圈槽表面的粗糙度符合要求，并且纹路一致，从而使得O‑ring绳和O‑ring槽之间有良好的贴合效果，进而避免靶材在使用过程中O‑ring槽发生漏气问题。
Description
技术领域
本发明属于密封圈槽加工技术领域，涉及一种密封圈槽的抛光方法。
背景技术
磁控溅射是物理气相沉积的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤，其是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。
溅射靶材在磁控溅射镀膜的过程中需要注意以下五点：溅射准备，靶材清洁，靶材安装，短路及密封性检测，靶材预溅射。其中，冷却通道是否漏水是短路及密封性检测是否合格的关键因素。由于靶材的磁控溅射环境是真空的，一旦发生真空室内漏水或漏气，真空室内有挥发成分，都会导致杂质成分和靶材成分发生反应，引起溅射靶材中毒，生成黑色物质覆盖在溅射靶材表面，严重影响磁控溅射镀膜的成膜速度和成膜质量。
然而，长时间的磁控溅射，往往会使靶材产生大量的热量，如果不及时进行冷却，容易造成溅射靶材局部烧焦或呈现晶粒化现象。现有技术中，多是采用在靶座内设置冷却通道的方式，通过水冷降温。为了防止水渗漏，在靶材上面设计一个橡胶密封圈的安装槽，增加密封效果。
O-Ring绳(O-Ring圈)是一种截面是圆形或者说是O形的橡胶密封圈，其主要作用是密封，如气密封、水密封、油密封等。在溅射靶材对应的冷却通道进出水口处设有O-Ring槽，一般为燕尾槽或直槽，然后将O-Ring绳放进O-Ring槽内，再将水路连接。O-Ring槽的效果主要是在产品端面开槽后放入O-Ring绳，以此达到使用时防止端面漏气漏水的目的，O-Ring槽的尺寸和表面粗糙度极大地影响O-Ring绳装入后密封性的效果。
现有加工主要通过缩小O-ring槽的宽度或深度等尺寸，使得O-ring绳和O-ring槽有更紧实的填充效果，从而有效的预防靶材在使用过程中O-ring槽的漏气问题发生。但是这种调整不可避免的会导致O-ring绳在安装的过程中安装困难或者O-ring绳循环次数下降等问题。
综上所述，提供一种新型的O-ring槽表面处理方法，通过控制O-ring槽的表面粗糙度在适宜范围内，避免靶材在使用过程中O-ring槽发生漏气问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种密封圈槽的抛光方法，通过对密封圈槽表面抛光过程的合理配置，采用多次砂纸抛光与羊毛轮抛光相配合，使得抛光后密封圈槽表面的粗糙度符合要求，并且纹路一致，从而使得O-ring绳和O-ring槽之间有良好的贴合效果，进而避免靶材在使用过程中O-ring槽发生漏气问题。
为达到此发明目的，本发明采用以下技术方案：
本发明提供了一种密封圈槽的抛光方法，所述抛光方法包括对密封圈槽表面依次进行第一砂纸处理、第二砂纸处理、第三砂纸处理和羊毛轮处理；
所述羊毛轮处理中羊毛轮与密封圈槽表面的接触压力为0.01-0.04MPa，例如可以是0.015MPa、0.02MPa、0.025MPa、0.03MPa或0.035MPa等，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
本发明提供的抛光方法，通过对密封圈槽表面抛光过程的合理配置，采用多次砂纸抛光与羊毛轮抛光相配合，使得抛光后密封圈槽表面的粗糙度符合要求，并且纹路一致，从而使得O-ring绳和O-ring槽之间有良好的贴合效果，进而避免靶材在使用过程中O-ring槽发生漏气问题；并通过控制羊毛轮处理中接触压力为0.01-0.04MPa，使其充分抛光，避免了因接触压力过小或过大造成密封圈槽表面过抛或抛光不足的问题，均会导致密封圈槽表面的粗糙度不符合要求。
作为本发明优选的技术方案，所述密封圈槽包括O-Ring槽。
优选地，所述密封圈槽表面为密封圈槽与O-ring绳的接触部。
作为本发明优选的技术方案，所述抛光方法中密封圈槽的转速为300-400r/min，例如可以是310r/min、320r/min、330r/min、340r/min、350r/min、360r/min、370r/min或380r/min等，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
本发明中，在进行抛光过程中，采用夹具夹持密封圈槽以第一速度旋转。
优选地，所述第一砂纸处理、第二砂纸处理、第三砂纸处理和羊毛轮处理的抛光方向相同。
值得说明的是，整个抛光过程中需按着同一方向进行抛光，确保抛光后密封圈槽表面的纹路相同，进而提高O-ring绳和O-ring槽之间的贴合效果。
作为本发明优选的技术方案，所述第一砂纸处理采用第一砂纸对密封圈槽表面进行抛光。
优选地，所述第一砂纸的目数为200#-400#，例如可以是220-240#、220-250#、260-280#、280-300#、300-330#、320-340#、350-380#或380-400#等，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
优选地，所述第一砂纸包括层叠设置的基层、粘接层和磨料层。
优选地，所述基层包括牛皮基层。
优选地，所述粘接层包括树脂层。
优选地，所述磨料层由交错铺设的金刚砂和石英砂制成。
优选地，所述金刚砂和所述石英砂的粒径不同。
值得说明的是，磨料层由交错铺设的金刚砂和石英砂制成，使得第一砂纸的表面设置有大小不一的磨砂颗粒，有效降低密封圈槽表面的粗糙度，提高密封圈槽上表面纹路的均匀性，还提高打磨的效率，同时也增加了第一砂纸的耐磨性。
作为本发明优选的技术方案，所述第一砂纸处理的时间为60-120s，例如可以是65s、70s、75s、80s、85s、90s、95s、100s或110s等，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
作为本发明优选的技术方案，所述第二砂纸处理采用第二砂纸对密封圈槽表面进行抛光。
优选地，所述第二砂纸的目数为700#-900#，例如可以是720#、750#、760#、780#、800#、820#、850#或880#等，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
优选地，所述第二砂纸包括植绒砂纸。
优选地，所述第二砂纸处理的时间为60-120s，例如可以是65s、70s、75s、80s、85s、90s、95s、100s或110s等，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
作为本发明优选的技术方案，所述第三砂纸处理采用第三砂纸对密封圈槽表面进行抛光。
优选地，所述第三砂纸的目数为1100#-1300#，例如可以是1120#、1150#、1160#、1180#、1200#、1220#、1250#或1280#等，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
值得说明的是，抛光过程中使用目数依次递增的砂纸，具有梯度过渡优势，确保密封槽圈表面不易形成划伤，不仅加快了抛光效率，还便于控制抛光后密封槽圈表面的粗糙度值。
优选地，所述第三砂纸包括植绒砂纸。
优选地，所述第三砂纸处理的时间为120-240s，例如可以是130s、140s、150s、160s、170s、180s、190s、200s、210s、220s或230s等，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
作为本发明优选的技术方案，所述羊毛轮处理的时间为20-40s，例如可以是22s、25s、28s、30s、32s、35s、36s或38s等，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
值得说明的是，通过对抛光过程中各个处理过程中时间的进一步控制，进一步确保抛光后密封槽圈表面的粗糙度为0.2-0.35μm，进而避免靶材在使用过程中O-ring槽发生漏气问题。
作为本发明优选的技术方案，经所述羊毛轮处理后，密封圈槽表面的粗糙度为0.2-0.35μm，例如可以是0.22μm、0.25μm、0.26μm、0.28μm、0.3μm、0.32μm或0.34μm等，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
值得说明的是，若抛光后密封圈槽表面的粗糙度低于0.2μm时，因密封圈槽表面过于光滑，导致O-ring绳和O-ring槽之间贴合效果下降；若抛光后密封圈槽表面的粗糙度高于0.35μm时，因密封圈槽表面存在部分刮痕，导致O-ring绳和O-ring槽之间贴合不好，进而导致靶材在使用过程中O-ring槽发生漏气问题。
作为本发明优选的技术方案，所述抛光方法包括对密封圈槽表面依次进行第一砂纸处理、第二砂纸处理、第三砂纸处理和羊毛轮处理；
所述抛光方法中密封圈槽的转速为300-400r/min；所述第一砂纸处理、第二砂纸处理、第三砂纸处理和羊毛轮处理的抛光方向相同；
所述第一砂纸处理采用目数为200#-400#的第一砂纸对密封圈槽表面进行抛光60-120s；所述第一砂纸包括层叠设置的基层、粘接层和磨料层；所述基层包括牛皮基层；所述粘接层包括树脂层；所述磨料层由交错铺设的金刚砂和石英砂制成；所述金刚砂和所述石英砂的粒径不同；
所述第二砂纸处理采用目数为700#-900#的第二砂纸对密封圈槽表面进行抛光60-120s；所述第二砂纸包括植绒砂纸；
所述第三砂纸处理采用目数为1100#-1300#的第三砂纸对密封圈槽表面进行抛光120-240s；所述第三砂纸包括植绒砂纸；
所述羊毛轮处理中羊毛轮与密封圈槽表面的接触压力为0.01-0.04MPa；所述羊毛轮处理的时间为20-40s；
经所述羊毛轮处理后，密封圈槽表面的粗糙度为0.2-0.35μm。
相对于现有技术，本发明具有以下有益效果：
本发明提供的抛光方法，通过对密封圈槽表面抛光过程的合理配置，采用多次砂纸抛光与羊毛轮抛光相配合，并通过对抛光过程中各个处理过程中、砂纸目数、时间等参数的进一步控制，使得抛光后密封圈槽表面的粗糙度符合要求，并且纹路一致，从而使得O-ring绳和O-ring槽之间有良好的贴合效果，进而避免靶材在使用过程中O-ring槽发生漏气问题。
附图说明
图1为本发明实施例1提供的O-ring槽与O-ring绳安装示意图；
其中，1-O-ring槽，2-O-ring绳。
具体实施方式
下面通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。本领域技术人员应该明了，所述实施例仅仅是帮助理解本发明，不应视为对本发明的具体限制。
实施例1
本实施例提供了一种O-Ring槽的抛光方法，所述抛光方法包括对O-Ring槽表面依次进行第一砂纸处理、第二砂纸处理、第三砂纸处理和羊毛轮处理；
所述密封圈槽表面为O-Ring槽1与O-ring绳2的接触部(如图1所示)；
所述抛光方法中O-Ring槽1的转速为350r/min；所述第一砂纸处理、第二砂纸处理、第三砂纸处理和羊毛轮处理的抛光方向相同；
所述第一砂纸处理采用目数为280#-310#的第一砂纸对O-Ring槽1表面进行抛光90s；所述第一砂纸包括层叠设置的基层、粘接层和磨料层；所述基层为牛皮基层；所述粘接层为环氧树脂层；所述磨料层由交错铺设的金刚砂和石英砂制成；所述金刚砂和所述石英砂的粒径不同；
所述第二砂纸处理采用目数为800#的第二砂纸对O-Ring槽1表面进行抛光100s；所述第二砂纸为植绒砂纸；
所述第三砂纸处理采用目数为1200#的第三砂纸对O-Ring槽1表面进行抛光180s；所述第三砂纸为植绒砂纸；
所述羊毛轮处理中羊毛轮与O-Ring槽1表面的接触压力为0.02MPa；所述羊毛轮处理的时间为30s。
实施例2
本实施例提供了一种O-Ring槽的抛光方法，所述抛光方法包括对O-Ring槽表面依次进行第一砂纸处理、第二砂纸处理、第三砂纸处理和羊毛轮处理；
所述密封圈槽表面为O-Ring槽与O-ring绳的接触部；
所述抛光方法中O-Ring槽的转速为300r/min；所述第一砂纸处理、第二砂纸处理、第三砂纸处理和羊毛轮处理的抛光方向相同；
所述第一砂纸处理采用目数为340#-370#的第一砂纸对O-Ring槽表面进行抛光120s；所述第一砂纸包括层叠设置的基层、粘接层和磨料层；所述基层为牛皮基层；所述粘接层为环氧树脂层；所述磨料层由交错铺设的金刚砂和石英砂制成；所述金刚砂和所述石英砂的粒径不同；
所述第二砂纸处理采用目数为700#的第二砂纸对O-Ring槽表面进行抛光110s；所述第二砂纸为植绒砂纸；
所述第三砂纸处理采用目数为1100#的第三砂纸对O-Ring槽表面进行抛光220s；所述第三砂纸为植绒砂纸；
所述羊毛轮处理中羊毛轮与O-Ring槽表面的接触压力为0.04MPa；所述羊毛轮处理的时间为20s。
实施例3
本实施例提供了一种O-Ring槽的抛光方法，所述抛光方法包括对O-Ring槽表面依次进行第一砂纸处理、第二砂纸处理、第三砂纸处理和羊毛轮处理；
所述密封圈槽表面为O-Ring槽与O-ring绳的接触部；
所述抛光方法中O-Ring槽的转速为400r/min；所述第一砂纸处理、第二砂纸处理、第三砂纸处理和羊毛轮处理的抛光方向相同；
所述第一砂纸处理采用目数为220#-260#的第一砂纸对O-Ring槽表面进行抛光70s；所述第一砂纸包括层叠设置的基层、粘接层和磨料层；所述基层为牛皮基层；所述粘接层为环氧树脂层；所述磨料层由交错铺设的金刚砂和石英砂制成；所述金刚砂和所述石英砂的粒径不同；
所述第二砂纸处理采用目数为900#的第二砂纸对O-Ring槽表面进行抛光60s；所述第二砂纸为植绒砂纸；
所述第三砂纸处理采用目数为1300#的第三砂纸对O-Ring槽表面进行抛光130s；所述第三砂纸为植绒砂纸；
所述羊毛轮处理中羊毛轮与O-Ring槽表面的接触压力为0.01MPa；所述羊毛轮处理的时间为40s。
实施例4
本实施例提供了一种O-Ring槽的抛光方法，除了第一砂纸处理、第二砂纸处理、第三砂纸处理的抛光方向相同，而羊毛轮处理采用相反的抛光方向以外；其他条件均与实施例1相同。
实施例5
本实施例提供了一种O-Ring槽的抛光方法，除了第一砂纸为目数300#的植绒砂纸以外；其他条件均与实施例1相同。
实施例6
本实施例提供了一种O-Ring槽的抛光方法，除了第一砂纸的目数为500#-530#以外；其他条件均与实施例1相同。
实施例7
本实施例提供了一种O-Ring槽的抛光方法，除了第一砂纸处理的抛光时间为40s以外；其他条件均与实施例1相同。
实施例8
本实施例提供了一种O-Ring槽的抛光方法，除了第一砂纸处理的抛光时间为150s以外；其他条件均与实施例1相同。
实施例9
本实施例提供了一种O-Ring槽的抛光方法，除了第二砂纸的目数为1200#以外；其他条件均与实施例1相同。
实施例10
本实施例提供了一种O-Ring槽的抛光方法，除了第二砂纸处理的抛光时间为40s以外；其他条件均与实施例1相同。
实施例11
本实施例提供了一种O-Ring槽的抛光方法，除了第二砂纸处理的抛光时间为150s以外；其他条件均与实施例1相同。
实施例12
本实施例提供了一种O-Ring槽的抛光方法，除了第三砂纸的目数为1500#以外；其他条件均与实施例1相同。
实施例13
本实施例提供了一种O-Ring槽的抛光方法，除了第三砂纸处理的抛光时间为80s以外；其他条件均与实施例1相同。
实施例14
本实施例提供了一种O-Ring槽的抛光方法，除了第三砂纸处理的抛光时间为300s以外；其他条件均与实施例1相同。
实施例15
本实施例提供了一种O-Ring槽的抛光方法，除了羊毛轮处理的时间为10s以外；其他条件均与实施例1相同。
实施例16
本实施例提供了一种O-Ring槽的抛光方法，除了羊毛轮处理的时间为60s以外；其他条件均与实施例1相同。
对比例1
本对比例提供了一种O-Ring槽的抛光方法，除了羊毛轮处理中羊毛轮与O-Ring槽表面的接触压力为0.07MPa以外；其他条件均与实施例1相同。
对比例2
本对比例提供了一种O-Ring槽的抛光方法，除了未进行第一砂纸处理以外；其他条件均与实施例1相同。
对比例3
本对比例提供了一种O-Ring槽的抛光方法，除了未进行第二砂纸处理以外；其他条件均与实施例1相同。
对比例4
本对比例提供了一种O-Ring槽的抛光方法，除了未进行第三砂纸处理以外；其他条件均与实施例1相同。
对比例5
本对比例提供了一种O-Ring槽的抛光方法，除了未进行羊毛轮处理以外；其他条件均与实施例1相同。
对实施例和对比例抛光后的O-Ring槽采用粗糙度仪进行粗糙度检测，表面粗糙度结果以及纹路情况如表1所示。
表1
由表1可知：
(1)本发明实施例1-3提供的抛光方法，通过对O-ring槽表面抛光过程的合理配置，采用多次砂纸抛光与羊毛轮抛光相配合，并通过对抛光过程中各个处理过程中、砂纸目数、时间等参数的进一步控制，使得抛光后O-ring槽表面的粗糙度控制在0.2-0.35μm范围内，并且纹路一致，从而使得O-ring绳和O-ring槽之间有良好的贴合效果，进而避免靶材在使用过程中O-ring槽发生漏气问题；
(2)综合实施例1和实施例5对比可知，当第一砂纸选用植绒砂纸时，因磨砂粒径大小相同，不利于降低O-ring槽表面的粗糙度，同时还降低了打磨的效率，导致O-ring槽表面的粗糙度过大，靶材在使用过程中O-ring槽存在漏气问题；
(3)综合实施例1和实施例6、9和12对比可知，当选用各个砂纸的目数过大时，砂粒越细，打磨的表面越光滑，导致O-ring槽表面的粗糙度下降；由此表明：通过对多次砂纸抛光的砂纸目数参数进行严格控制，才能将抛光后O-ring槽与O-ring绳间接触部的粗糙度控制在0.2-0.35μm范围内，以避免靶材在使用过程中O-ring槽发生漏气问题；
(4)综合实施例1和实施例7-8、10-11和13-16对比可知，当各个砂纸处理或羊毛轮处理的时间过短或过长时，均会导致抛光后O-ring槽表面的粗糙度不在0.2-0.35μm范围内，使得O-ring绳和O-ring槽之间贴合效果变差，进而导致靶材在使用过程中O-ring槽发生漏气问题；由此表明：通过对多次砂纸抛光与羊毛轮抛光的时间参数进行严格控制，才能将抛光后O-ring槽与O-ring绳间接触部的粗糙度控制在0.2-0.35μm范围内，以避免靶材在使用过程中O-ring槽发生漏气问题；
(5)综合实施例1和对比例1对比可知，当羊毛轮处理的接触压力过大时，造成O-ring槽表面过抛的问题，均会导致O-ring槽的表面粗糙度增大，使得O-ring绳和O-ring槽之间贴合效果变差；
(6)综合实施例1和对比例2-5对比可知，当省略第一砂纸处理、第二砂纸处理、第三砂纸处理或羊毛轮处理时，均会导致O-ring槽的表面效果较差，使得O-ring绳和O-ring槽之间贴合效果变差；由此表明：通过多次砂纸抛光与羊毛轮抛光相配合，才能将抛光后O-ring槽与O-ring绳间接触部的粗糙度控制在特定范围内，以避免靶材在使用过程中O-ring槽发生漏气问题。
申请人声明，本发明通过上述实施例来说明本发明的详细结构特征，但本发明并不局限于上述详细结构特征，即不意味着本发明必须依赖上述详细结构特征才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本发明的任何改进，对本发明所选用部件的等效替换以及辅助部件的增加、具体方式的选择等，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。
Claims (10)
1.一种密封圈槽的抛光方法，其特征在于，所述抛光方法包括对密封圈槽表面依次进行第一砂纸处理、第二砂纸处理、第三砂纸处理和羊毛轮处理；
所述羊毛轮处理中羊毛轮与密封圈槽表面的接触压力为0.01-0.04MPa。
2.根据权利要求1所述的抛光方法，其特征在于，所述密封圈槽包括O-Ring槽；
优选地，所述密封圈槽表面为密封圈槽与O-ring绳的接触部。
3.根据权利要求1或2所述的抛光方法，其特征在于，所述抛光方法中密封圈槽的转速为300-400r/min；
优选地，所述第一砂纸处理、第二砂纸处理、第三砂纸处理和羊毛轮处理的抛光方向相同。
4.根据权利要求1-3任一项所述的抛光方法，其特征在于，所述第一砂纸处理采用第一砂纸对密封圈槽表面进行抛光；
优选地，所述第一砂纸的目数为200#-400#；
优选地，所述第一砂纸包括层叠设置的基层、粘接层和磨料层；
优选地，所述基层包括牛皮基层；
优选地，所述粘接层包括树脂层；
优选地，所述磨料层由交错铺设的金刚砂和石英砂制成；
优选地，所述金刚砂和所述石英砂的粒径不同。
5.根据权利要求1-4任一项所述的抛光方法，其特征在于，所述第一砂纸处理的时间为60-120s。
6.根据权利要求1-5任一项所述的抛光方法，其特征在于，所述第二砂纸处理采用第二砂纸对密封圈槽表面进行抛光；
优选地，所述第二砂纸的目数为700#-900#；
优选地，所述第二砂纸包括植绒砂纸；
优选地，所述第二砂纸处理的时间为60-120s。
7.根据权利要求1-6任一项所述的抛光方法，其特征在于，所述第三砂纸处理采用第三砂纸对密封圈槽表面进行抛光；
优选地，所述第三砂纸的目数为1100#-1300#；
优选地，所述第三砂纸包括植绒砂纸；
优选地，所述第三砂纸处理的时间为120-240s。
8.根据权利要求1-7任一项所述的抛光方法，其特征在于，所述羊毛轮处理的时间为20-40s。
9.根据权利要求1-8任一项所述的抛光方法，其特征在于，经所述羊毛轮处理后，密封圈槽表面的粗糙度为0.2-0.35μm。
10.根据权利要求1-9任一项所述的抛光方法，其特征在于，所述抛光方法包括对密封圈槽表面依次进行第一砂纸处理、第二砂纸处理、第三砂纸处理和羊毛轮处理；
所述抛光方法中密封圈槽的转速为300-400r/min；所述第一砂纸处理、第二砂纸处理、第三砂纸处理和羊毛轮处理的抛光方向相同；
所述第一砂纸处理采用目数为200#-400#的第一砂纸对密封圈槽表面进行抛光60-120s；所述第一砂纸包括层叠设置的基层、粘接层和磨料层；所述基层包括牛皮基层；所述粘接层包括树脂层；所述磨料层由交错铺设的金刚砂和石英砂制成；所述金刚砂和所述石英砂的粒径不同；
所述第二砂纸处理采用目数为700#-900#的第二砂纸对密封圈槽表面进行抛光60-120s；所述第二砂纸包括植绒砂纸；
所述第三砂纸处理采用目数为1100#-1300#的第三砂纸对密封圈槽表面进行抛光120-240s；所述第三砂纸包括植绒砂纸；
所述羊毛轮处理中羊毛轮与密封圈槽表面的接触压力为0.01-0.04MPa；所述羊毛轮处理的时间为20-40s；
经所述羊毛轮处理后，密封圈槽表面的粗糙度为0.2-0.35μm。
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Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107662083A (zh) * | 2016-07-27 | 2018-02-06 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 靶材溅射面的加工方法 |
| JP6397592B1 (ja) * | 2017-10-02 | 2018-09-26 | 住友化学株式会社 | スパッタリングターゲットの製造方法およびスパッタリングターゲット |
| CN111716156A (zh) * | 2020-06-30 | 2020-09-29 | 中国航发动力股份有限公司 | 一种动环密封面的加工方法 |
| CN113021125A (zh) * | 2021-03-04 | 2021-06-25 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 一种钛靶材溅射面的处理方法 |
| CN113967858A (zh) * | 2021-11-03 | 2022-01-25 | 江苏核电有限公司 | 一种核电站用阀门密封面研磨方法及装置 |
| CN114473817A (zh) * | 2022-02-21 | 2022-05-13 | 深圳市玉沣科技有限公司 | 一种工件密封面顺纹自动抛光的工艺及方法 |
| CN116787230A (zh) * | 2023-05-25 | 2023-09-22 | 巨力精密设备制造(东莞)有限公司 | 一种工件密封面顺纹抛光工艺 |
-
2024
- 2024-06-11 CN CN202410745856.5A patent/CN118664409A/zh active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107662083A (zh) * | 2016-07-27 | 2018-02-06 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 靶材溅射面的加工方法 |
| JP6397592B1 (ja) * | 2017-10-02 | 2018-09-26 | 住友化学株式会社 | スパッタリングターゲットの製造方法およびスパッタリングターゲット |
| CN111716156A (zh) * | 2020-06-30 | 2020-09-29 | 中国航发动力股份有限公司 | 一种动环密封面的加工方法 |
| CN113021125A (zh) * | 2021-03-04 | 2021-06-25 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 一种钛靶材溅射面的处理方法 |
| CN113967858A (zh) * | 2021-11-03 | 2022-01-25 | 江苏核电有限公司 | 一种核电站用阀门密封面研磨方法及装置 |
| CN114473817A (zh) * | 2022-02-21 | 2022-05-13 | 深圳市玉沣科技有限公司 | 一种工件密封面顺纹自动抛光的工艺及方法 |
| CN116787230A (zh) * | 2023-05-25 | 2023-09-22 | 巨力精密设备制造(东莞)有限公司 | 一种工件密封面顺纹抛光工艺 |
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