CN118037160A - 半导体运输设备异常处理方法、装置和计算机设备 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种半导体运输设备异常处理方法、装置和计算机设备。所述方法包括：接收半导体运输设备上报的异常结束类型以及货物位置；当所述异常结束类型为目标异常结束类型，且货物位置表示货物位于所述半导体运输设备时，基于所述目标异常结束类型确定可选目的地；从所述可选目的地中确定目标目的地，并基于所述目标目的地生成所述半导体运输设备的货物运输指令；将所述货物运输指令发送至所述半导体运输设备，所述货物运输指令用于指示所述半导体运输设备将所述货物运输至所述目标目的地。采用本方法能够减少幽灵车数量，尽快释放车辆资源。

Description

半导体运输设备异常处理方法、装置和计算机设备

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，特别是涉及一种半导体运输设备异常处理方法、装置和计算机设备。

背景技术

随着集成电路在日常生活中的普遍应用，半导体在产品中开始扮演角色日益重要，其需求相对也大幅提升，因此促进全球半导体市场的蓬勃发展。为了满足集成电路的大量需求，大部分的半导体制造企业（晶片厂，Fabrication，Fab）都以提高产能及合格率为优先目标。在半导体制造企业中，晶片通常是采用批量的搬运方式，然而通过人力搬运不仅效率低，也容易发生危险、且搬运过程中存在芯片污染、芯片碰撞破碎等不确定因素。为解决人工搬运所带来的风险及不确定因素，自动物料搬运系统（AMHS：Automatic MaterialHandling System）应运而生，并且已经广泛应用在半导体制造行业中。

在晶片厂（Fabrication，Fab）中，物料控制系统(MCS: Material ControlSystem)接收上位系统下发的搬运任务，而后向运输设备控制系统发送搬运命令，以使运输设备执行搬运物品的任务。在搬运任务执行过程中，一旦出现运输设备与存储设备之间的通信故障或运输设备搬运过程中的故障等情况，则现场很有可能会出现幽灵车（即搭载货物，但是不能完成原搬运任务或无目的地巡游的运输设备）。

因此急需一种方案，其可以减少幽灵车数量，尽快释放车辆资源。

发明内容

基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够减少幽灵车数量，尽快释放车辆资源的半导体运输设备异常处理方法、装置和计算机设备。

第一方面，本申请提供一种半导体运输设备异常处理方法，所述方法包括：

接收半导体运输设备上报的异常结束类型以及货物位置；

当所述异常结束类型为目标异常结束类型，且所述货物位置表示货物位于所述半导体运输设备时，基于所述目标异常结束类型确定可选目的地；

从所述可选目的地中确定目标目的地，并基于所述目标目的地生成所述半导体运输设备的货物运输指令；

将所述货物运输指令发送至所述半导体运输设备，所述货物运输指令用于指示所述半导体运输设备将所述货物运输至所述目标目的地。

在其中一个实施例中，所述可选目的地包括托底存储列表中的第一存储设备、与放货位置对应的第二存储设备以及第三存储设备三种存储设备中任一种存储设备中的至少一个；所述第三存储设备为与所述放货位置之间的距离在距离阈值内的存储设备。

在其中一个实施例中，所述基于所述目标异常结束类型确定可选目的地，包括：

当所述目标异常结束类型为取货过程中异常时，获取所述托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地；

当所述目标异常结束类型为送货过程中异常时，获取所述托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地。

在其中一个实施例中，所述基于所述目标异常结束类型确定可选目的地，包括：

当所述目标异常结束类型为放货过程中的通信异常时，获取第一托底方式配置信息，当所述第一托底方式配置信息仅包括托底存储列表方式时，获取所述托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地；当所述第一托底方式配置信息包括托底存储列表方式和第三存储设备方式，且所述第三存储设备至少一个可用时，获取配置的与所述放货位置对应的第三存储设备作为可选目的地；

当所述第一托底方式配置信息包括托底存储列表方式和第三存储设备方式，且所述第三存储设备均不可用时，获取所述托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地。

在其中一个实施例中，所述基于所述目标异常结束类型确定可选目的地，包括：

当所述目标异常结束类型为放货过程中的二重搬入异常时，获取第二托底方式配置信息，当所述第二托底方式配置信息仅包括托底存储列表方式时，获取所述托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地；当所述第二托底方式配置信息包括托底存储列表方式和第二存储设备方式，且所述第二存储设备至少一个可用时，获取配置的与所述放货位置对应的第二存储设备作为可选目的地；

当所述第二托底方式配置信息包括托底存储列表方式和第二存储设备方式，且所述第二存储设备均不可用时，获取所述托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地。

在其中一个实施例中，所述方法还包括：

接收托底方式配置指令，所述托底方式配置指令携带有目标异常结束类型；

基于所述托底方式配置指令，配置所述目标异常结束类型对应的托底方式。

在其中一个实施例中，所述基于所述目标异常结束类型确定可选目的地之前，还包括：

接收存储设备配置指令，所述存储设备配置指令携带有第一存储设备或者所述存储设备配置指令携带有第三存储设备、第二存储设备两种存储设备中的任一种以及第一存储设备；

基于所述存储设备配置指令，配置第一存储设备或者所述存储设备配置指令携带有第三存储设备、第二存储设备两种存储设备中的任一种以及第一存储设备。

在其中一个实施例中，所述从所述可选目的地中确定目标目的地，包括：

确定各所述可选目的地的优先级；

基于所述优先级从所述可选目的地中确定当前目的地，并确定所述当前目的地的状态以及当前存储情况中的至少一个；

当基于所述当前目的地的状态以及当前存储情况中的至少一个确定所述当前目的地不可用时，基于所述优先级从所述可选目的地中获取下一目的地作为当前目的地，并继续执行确定所述当前目的地的状态以及当前存储情况中的至少一个的步骤，直至从所述可选目的地中确定出目标目的地。

在其中一个实施例中，所述接收半导体运输设备上报的异常结束类型以及货物位置之前，包括：

接收所述半导体运输设备上传的异常报警信息，所述异常报警信息用于指示用户进行异常处理，所述异常报警信息包括送货过程中的异常信息、放货过程中的通信异常信息以及抓货过程中的异常信息中的至少一个；

接收所述半导体运输设备的复位指令，并将所述复位指令发送至所述半导体运输设备，所述复位指令用于指示所述半导体运输设备上报异常结束类型以及货物位置。

在其中一个实施例中，所述接收半导体运输设备上报的异常结束类型以及货物位置之前，包括：

向所述半导体运输设备发送搬运指令，所述搬运指令用于指示所述半导体运输设备进行货物搬运，且在所述半导体运输设备到达目的存储设备时，检测所述目的存储设备是否为空，当所述目的存储设备不为空时，上报二重搬入的异常结束类型以及货物位置。

在其中一个实施例中，所述半导体运输设备还上报货物标识；所述将所述货物运输指令发送至所述半导体运输设备之后，包括：

当接收所述半导体运输设备返回的货物已运输至所述目标目的地的信息时，上报所述货物标识对应的货物位于所述目标目的地的信息。

第二方面，本申请还提供一种半导体运输设备异常处理装置，所述装置包括：

接收模块，用于接收半导体运输设备上报的异常结束类型以及货物位置；

可选目的地获取模块，用于当所述异常结束类型为目标异常结束类型，且所述货物位置表示货物位于所述半导体运输设备时，基于所述目标异常结束类型确定可选目的地；

目标目的地确定模块，用于从所述可选目的地中确定目标目的地，并基于所述目标目的地生成所述半导体运输设备的货物运输指令；

异常处理模块，用于将所述货物运输指令发送至所述半导体运输设备，所述货物运输指令用于指示所述半导体运输设备将所述货物运输至所述目标目的地。

第三方面，本申请还提供一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述的任意一个实施例中的方法的步骤。

第四方面，本申请还提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述的任意一个实施例中的方法的步骤。

第五方面，本申请还提供一种计算机程序产品，包括计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现上述的任意一个实施例中的方法的步骤。

上述半导体运输设备异常处理方法、装置和计算机设备，在接收到半导体设备上报的异常结束类型以及货物位置后，当异常结束类型为目标异常结束类型，且货物位置表示货物位于半导体运输设备时，则基于目标异常结束类型确定货物目的地确定方式；获取与货物目的地确定方式对应的可选目的地；从可选目的地中确定目标目的地，并基于目标目的地生成所述半导体运输设备的货物运输指令；将货物运输指令发送至半导体运输设备，从而半导体运输设备将货物运输至目标目的地，这样可以解决半导体运输设备载货空跑造成的车辆资源浪费以及货物不能及时到达目的地的问题，减少幽灵车数量，尽快释放车辆资源。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或相关技术中的技术方案，下面将对实施例或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为一个实施例中半导体运输设备异常处理方法的应用环境图；

图2为一个实施例中半导体运输设备异常处理方法中事件传输流程的示意图；

图3为一个实施例中半导体运输设备异常处理方法的流程示意图；

图4为一个实施例中取货异常场景的流程图；

图5为一个实施例中送货异常场景的流程图；

图6为一个实施例中放货过程中的通信异常场景的流程图；

图7为一个实施例中放货过程中的二重搬入异常场景的流程图；

图8为一个实施例中半导体运输设备异常处理装置的结构框图；

图9为一个实施例中计算机设备的内部结构图。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

本申请实施例提供的半导体运输设备异常处理方法，可以应用于如图1所示的应用环境中。其中，物料控制系统MCS（Material Control System）与半导体运输设备控制系统MSTC通信，半导体运输设备控制系统MSTC与半导体运输设备OHT（Overhead HoistTransport）通信。

其中，物料控制系统MCS接收到上位系统发送的搬运信息，并在搬运结束后上报货物信息至上位系统，物料控制系统MCS发送搬运指令给半导体运输设备控制系统MSTC，该搬运指令可以包括搬运信息，搬运信息包括但不限于半导体运输设备OHT需要去放货的点位、方向信息以及途径的重要点位。半导体运输设备控制系统MSTC将该搬运指令发送至路由模块，以使得路由模块进行路径规划，并将规划得到的搬运路径发送至半导体运输设备控制系统MSTC，半导体运输设备控制系统MSTC将接收到的搬运路径发送至半导体运输设备OHT，以使得半导体运输设备OHT根据搬运路径进行晶圆片的搬运。

其中，结合图2所示，物料控制系统MCS发送指令至半导体运输设备控制系统MSTC后，半导体运输设备控制系统MSTC控制对应的半导体运输设备OHT执行该指令，并接收半导体运输设备OHT上报的执行事件，然后将执行事件上报至物料控制系统MCS。其中各执行事件的定义在此不做具体限定，但是为了方便理解，一个正常的搬送流程中，物料控制系统MCS会收到半导体运输设备控制系统MSTC上报的以下事件：S2F49 Transfer：物料控制系统MCS下发命令至半导体运输设备控制系统MSTC、TransferInitiated搬送命令初始化操作事件、VehicleAssgined分配半导体运输设备进行搬送事件、Transferring半导体运输设备开始移动至初始点事件、VehicleArrived半导体运输设备到达初始点事件、VehicleAcquireStarted半导体运输设备开始抓货事件、CarrierInstalled半导体运输设备抓到货事件、VehicleAcquireCompleted半导体运输设备抓货完成事件、VehicleDeparted半导体运输设备驶离初始点事件、VehicleArrived半导体运输设备到达目的点事件、VehicleDepositStarted半导体运输设备开始放货事件、CarrierRemoved半导体运输设备进行放货动作事件、VehicleDepositCompleted半导体运输设备放货成功事件、VehicleUnassigned释放半导体运输设备事件以及TransferCompleted搬送命令完成事件。

当在一个正常的搬送流程时，半导体运输设备控制系统MSTC会实时上报上述的事件至物料控制系统MCS。但是实际中，由于存储设备等互相搬送间的放货异常或者半导体运输设备异常等会导致幽灵车，例如半导体运输设备取货异常（此处专指取到货物后半导体运输设备异常，即货物离开原始存储设备后），半导体运输设备在送货过程中异常、半导体运输设备在放货过程中异常（包括放货过程中的通信异常以及放货过程中的二重搬入异常中的至少一个），本申请正是对该些情况的处理。

在一个示例性的实施例中，如图3所示，提供了一种半导体运输设备异常处理方法，以该方法应用于图1中的物料控制系统MCS为例进行说明，包括以下步骤302至步骤306。其中：

S302：接收半导体运输设备上报的异常结束类型以及货物位置。

其中异常结束类型是指半导体运输设备出现的异常类型，其包括但不限于取货异常、送货异常以及放货异常。其中对于放货异常还可以包括但不限于放货通信异常以及放货二重搬入异常，对于每一种异常可以预先设置对应的异常类型，例如可以通过异常代码来实现对异常类型的区分。货物位置是指在发生异常时，货物所在的当前位置。

在其中一个可选的实施例中，半导体运输设备可以通过上报执行事件的方式上报异常结束类型以及货物位置。例如在半导体运输设备异常时或者半导体运输设备异常处理结束后，上报搬送命令完成事件，该搬运命令完成事件可以携带有异常结束类型对应的异常结束类型代码ResultCode(X)以及货物位置（CurrentLocation），其中该异常结束类型代码ResultCode(X)中X用于表示异常结束类型，其中，当X不为0时，则表示异常结束，且不同的X的取值表征不同的异常结束类型。货物位置CurrentLocation则是用于表示货物当前所在的位置，例如其可以为半导体搬运设备标识Y，即货物当前位于标识为Y的半导体搬运设备。其中需要说明一点是，X为0时表示正常结束，即正常结束时与异常结束时的搬送命令完成事件的代码格式是相同的，仅X的取值不同，在本申请中不考虑正常结束的情况。

S304：当异常结束类型为目标异常结束类型，且货物位置表示货物位于半导体运输设备时，基于目标异常结束类型确定可选目的地。

其中异常结束类型为目标异常结束类型，且货物位置表示货物位于半导体运输设备，也即半导体运输设备载货空跑，即本申请所定义的幽灵车。因此当接收到异常结束类型以及货物位置后，先基于异常结束类型以及货物位置判断半导体运输设备是否为本申请所要解决的幽灵车异常。

可选目的地是预先配置的，在出现幽灵车时所对应的货物托底处理方式中的货物的存储的位置，以使得半导体运输设备将货物存储至对应的存储设备，从而释放该半导体运输设备，减少幽灵车的存在。

在其中一个可选的实施例中，可选目的地包括托底存储列表中的第一存储设备、与放货位置对应的第二存储设备以及第三存储设备三种存储设备中任一种存储设备中的至少一个；第三存储设备为与放货位置之间的距离在距离阈值内的存储设备。在一个可选的实施例中，当配置了托底方式时，必然存在第一存储设备。在其他的可选的实施例中，在存在第一存储设备的前提下，还可以配置第二存储设备以及第三存储设备中的至少一个。

其中，本申请所涉及的存储设备包括机台EQ、存储设备stocker以及悬挂式暂存货架OHB（Over Head Buffer）；其中机台EQ主要包括加工机台、量测机台，如暂存机台、沉积机台、刻蚀机台、光刻机台、表面处理机台、曝光机台、显影机台等；存储设备stocker包括常规stocker、塔式stocker等；悬挂式暂存货架OHB包括单层OHB、多层OHB、货架可升降OHB等。在一些实施例中，机台EQ的前端设置有装载部Loadport，装载部Loadport用于装载货物，例如装载前开式晶圆盒，该前开式晶圆盒中的晶圆可被转移至机台EQ内进行工艺处理，并且在完成前述工艺处理后转移回该前开式晶圆盒。在本申请中托底存储列表中的第一存储设备可以包括悬挂式暂存货架OHB和/或存储设备stocker；与放货位置对应的第二存储设备包括悬挂式暂存货架OHB和/或存储设备stocker，其中，在本申请中物料控制系统MCS在配置每种存储系统时，都会为每一个存储系统配置多个备用的存储设备，一般称作AlternateStocker/OHB，其中后者为前者的备用位置，当前者存储容量达到最高水位线或前者设备异常时，物料控制系统MCS会自动为其选择一个最优的备用地点作为新的目的地。第三存储设备是为机台EQ配置的NearByStocker，其中NearByStocker由用户制定，原则上NearByStocker为距离当前机台最近的stocker。

其中本申请中预先为每一目标异常结束类型配置对应的可选目的地。在其中一个可选的实施例中，可以为目标异常结束类型配置对应的托底方式，每一托底方式配置有可选目的地。这样在获取到目标异常结束类型后，确定与目标异常结束类型对应的托底方式，然后获取该托底方式对应的可选目的地。例如托底方式为托底存储列表时，则获取托底存储列表中的第一存储设备为可选目的地；托底方式包括托底存储方式和第二存储设备时，则先获取第二存储设备为可选目的地，若所有的第二存储设备均不可用时，则获取托底存储列表中的第一存储设备为可选目的地；托底方式包括托底存储方式以及第三存储设备方式时，则获取第三存储设备为可选目的地，当所有的第三存储设备均不可用时，则获取托底存储列表中的第一存储设备为可选目的地。在其中一个可选的实施例中，为了降低用户配置过程的复杂度，当用户配置了第一存储设备时，则判定用户配置了托底方式，且托底方式为托底存储列表方式；当用户配置了第三存储设备时，则对应的目标异常结束类型中的托底方式包括托底存储方式以及第三存储设备方式，但第三存储设备方式的优先级高于托底存储方式的优先级，例如放货异常中的通信异常，即托底列表存储方式的优先级最低，因此先选取第三存储设备作为可选目的地，当所有的第三存储设备均不可用时，获取托底列表存储方式中的第一存储设备作为可选目的地；当用户配置了第二存储设备时，则对应的目标异常结束类型中的托底方式包括托底存储方式以及第二存储设备方式，但第二存储设备方式的优先级高于托底存储方式的优先级，例如放货异常中的二重搬入异常，即托底列表存储方式的优先级最低，因此先选取第二存储设备作为可选目的地，当所有的第二存储设备均不可用时，获取托底列表存储方式中的第一存储设备作为可选目的地。

S306：从可选目的地中确定目标目的地，并基于目标目的地生成半导体运输设备的货物运输指令。

其中获取到可选目的地后，当可选目的地的数量为1时，则直接作为目标目的地，当可选目的地的数量大于1时，则可以基于预先配置的目的地选择逻辑从可选目的地中确定目标目的地。其中该目的地选择逻辑包括但不限于存储设备的优先级以及各存储设备的当前存储情况。

在确定了目标目的地后，物料控制系统MCS基于目标目的地生成半导体运输设备的货物运输指令。

S308：将货物运输指令发送至半导体运输设备，货物运输指令用于指示半导体运输设备将货物运输至目标目的地。

物料控制系统MCS将货物运输指令发送至半导体运输设备，半导体运输设备接收到该货物运输指令后，将货物运输至对应的目标目的地，其中若在运输过程中或者是放货过程中仍出现异常，则按照上文中的方式进行处理，以尽可能地减少幽灵车的出现。

在其中一个可选的实施例中，半导体运输设备还上报货物标识；将货物运输指令发送至半导体运输设备之后，包括：当接收半导体运输设备返回的货物已运输至目标目的地的信息时，上报获取标识对应的货物位于目标目的地的信息。

其中，半导体运输设备正常处理该货物运输指令，且在将货物运输至目标目的地的信息后，则该货物运输指令处理完成，半导体运输设备上报货物位于目标目的地的信息至半导体运输设备控制系统MSTC，半导体运输设备控制系统MSTC上报货物位于目标目的地的信息至物料控制系统MCS，物料控制系统MCS上报货物位于目标目的地的信息至上位系统，以实时追踪货物的位置。

在其他的可选的实施例中，货物在目标目的地时，半导体运输设备需要上报的信息可以包括结束类型代码（此时的结束类型代码ResultCode(X)中，X=0，表征正常结束）、货物位置、货号，在其他的实施例中，半导体运输设备需要上报的信息还可以包括起始位置、目标位置（即目标目的地）等，在此不做具体限定。

上述半导体运输设备异常处理方法，在接收到半导体设备上报的异常结束类型以及货物位置后，当异常结束类型为目标异常结束类型，且货物位置为半导体运输设备时，则基于异常结束类型确定可选目的地；从可选目的地中确定目标目的地，并基于目标目的地生成半导体运输设备的货物运输指令；将货物运输指令发送至半导体运输设备，从而半导体运输设备将货物运输至目标目的地，这样可以解决半导体运输设备载货空跑造成的车辆资源浪费以及货物不能及时到达目的地的问题，减少幽灵车数量，尽快释放车辆资源。

在其中一个可选的实施例中，基于目标异常结束类型确定可选目的地之前，还包括：接收存储设备配置指令，存储设备配置指令携带有第一存储设备或存储设备配置指令携带有第三存储设备以及第二存储设备两种存储设备中的任一种以及第一存储设备；基于存储设备配置指令，配置第一存储设备或配置第三存储设备以及第二存储设备两种存储设备中的任一种以及第一存储设备。

在其中一个可选的实施例中，获取第一托底方式配置信息之前，还包括：接收托底方式配置指令，托底方式配置指令携带有目标异常结束类型；基于托底方式配置指令，配置目标异常结束类型对应的托底方式。

其中在本实施例中，可以预先基于目标异常结束类型配置对应的托底方式，例如取货异常配置对应的托底方式为托底存储列表；放货异常中的通信异常配置对应的托底方式为托底存储列表方式或托底存储列表方式和第三存储设备方式；放货异常中的二重搬入异常配置对应的托底方式为托底存储列表或托底存储列表方式和第二存储设备方式；送货异常配置对应的托底方式包括托底存储列表方式。以上托底方式的配置仅是为了说明，本领域技术人员可以基于需要配置其他的托底方式，在此不做具体限定。

其中，为了方便理解，给出一配置方法的完整的实施例中，在其中一个可选的实施例中，先接收配置指令，以配置托底存储列表，这样所有的目标异常结束类型都对应有托底存储列表方式。在其他的可选的实施例中，在配置了托底存储列表后，还可以配置第二存储设备方式和/或第三存储设备方式。这样目标异常结束类型为放货过程中的通信异常时，其托底方式包括托底存储列表方式和第三存储设备方式，且第三存储设备方式的优先级高于托底列表存储方式，从而在选择可选目的地时，先从第三存储设备中选取可选目的地，当所有的第三存储设备均不可用时，再选择第一存储设备。同样地，目标异常结束类型为放货过程中的二重搬入异常时，其托底方式包括托底存储列表方式和第二存储设备方式，且第二存储设备方式的优先级高于托底列表存储方式，从而在选择可选目的地时，先从第二存储设备中选取可选目的地，当所有的第二存储设备均不可用时，再选择第一存储设备。

在其中一个可选的实施例中，基于目标异常结束类型确定可选目的地，包括：当目标异常结束类型为取货过程中异常时，获取托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地；当目标异常结束类型为送货过程中异常时，获取托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地；当目标异常结束类型为放货过程中的通信异常时，获取第一托底方式配置信息，当第一托底方式配置信息仅包括托底存储列表方式时，获取托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地；当第一托底方式配置信息包括托底存储列表方式和第三存储设备方式，且第三存储设备至少一个可用时，获取配置的与放货位置对应的第三存储设备作为可选目的地；当目标异常结束类型为放货过程中的二重搬入异常时，获取第二托底方式配置信息，当第二托底方式配置信息仅包括托底存储列表方式时，获取托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地；当第二托底方式配置信息包括托底存储列表方式和第二存储设备方式，且第二存储设备至少一个可用时，获取配置的与放货位置对应的第二存储设备作为可选目的地

在其中一个可选的实施例中，当第一托底方式配置信息包括托底存储列表方式和第三存储设备方式，且第三存储设备均不可用时，获取托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地。

在其中一个可选的实施例中，当第二托底方式配置信息包括托底存储列表方式和第二存储设备方式，且第二存储设备均不可用时，获取托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地。

其中，为了方便，在本实施例中，可以预先对各种托底方式对应的存储设备进行配置，例如配置托底列表中的存储设备，其可以包括stocker或悬挂式暂存货架OHB，此列表由用户配置一个stocker或者悬挂式暂存货架OHB列表作为托底使用，选择规则为按照列表顺序从前到后选择，如果列表前面的stocker和悬挂式暂存货架OHB状态为Down（宕机状态）或者stocker和悬挂式暂存货架OHB的半导体运输设备入口为Down（不可用状态），则依次选择后者。

例如为每一机台EQ或存储设备stocker配置第三存储设备NearByStocker，其中第三存储设备NearByStocker由用户制定，原则上第三存储设备NearByStocker为距离当前机台最近的stocker，当放货出现通信异常E84Error后，物料控制系统半导体运输设备控制系统MSTC下命令，将货物搬送至第三存储设备NearbyStocker处，并将位置信息上报到上位系统处，方便下次机台使用。

例如配置每种存储系统时，为每一个存储系统配置多个备用的存储设备，一般称作Alternate Stocker/OHB，其中后者为前者的备用位置，当前者存储容量达到最高水位线或前者设备异常时，物料控制系统MCS会自动为其选择一个最优的第二存储设备作为新的目的地。其中配置规则由用户根据每个现场来制定。

其中需要说明的一点是第二存储设备和第三存储设备的优先级高于第一存储设备，当配置了第二存储设备和第三存储设备后，则优先从第二存储设备和第三存储设备中选择可选目的地，仅在第二存储设备和第三存储设备均不可用时，才会从第一存储设备中选择可选目的地。

上述实施例中，可以结合各个晶圆厂的布局由用户灵活确定半导体运输设备出现异常后的托底方案，以达到出现异常后能最快效率的使货物回到原定的步骤中进行货物处理，更加灵活的配置托底位置。一旦搬送出现异常后，可依据用户的配置规则选择出最优的目的地放至货物，缩短进入下一道制程的时间，大大提高了现场搬送效率。

在其中一个可选的实施例中，从可选目的地中确定目标目的地，包括：确定各可选目的地的优先级；基于优先级从可选目的地中确定当前目的地，并确定当前目的地的状态以及当前存储情况中的至少一个；当基于当前目的地的状态以及当前存储情况中的至少一个确定当前目的地不可用时，基于优先级从可选目的地中获取下一目的地作为当前目的地，并继续执行确定当前目的地的状态以及当前存储情况中的至少一个的步骤，直至从可选目的地中确定出目标目的地。

本实施例中给出了目标目的地的选择方式，其可以结合优先级和当前存储情况进行确定，在其他的实施例中还可以结合其他的参数进行确定，在此不做赘述。

本实施例中，各个可选目的地可以携带有优先级，例如各可选目的地的先后顺序。当前存储情况可以包括是否异常以及存储量。

以托底列表为例，其可以做如下设置AddGhostCarStockerList list1 STOCKER01|STOCKER02|STOCKER03......用户可以根据厂内情况设置优先级最高的Stocker，如果当前Stocker为异常状态或者高水位状态（即存储设备中存储位的占用量大于存储阈值），则选择第二个Stocker作为托底存储单位，并检测第二个Stocker状态以及当前存储情况中的至少一个，直至从可选目的地中确定出目标目的地。

以第三存储设备为例，用户可以为每个机台EQ设备配置第三存储设备NearByStocker，由于用户较为熟悉现场设备布局，所以可以为当前设备配置最优的第三存储设备NearByStocker，这样当出现幽灵车现象后，可以直接放到对应的第三存储设备里。此外，由于现场设备较多，用户可能无法针对每一个机台EQ配置对应的第三存储设备NearbyStocker，所以用户仍然可以选择已经配置好的托底列表GhostStockerList，当到达机台EQ的载有货物的半导体运输设备出现幽灵车情况时，直接从托底列表GhostList里面选择优先级较高的Stocker进行货物存储。

以第二存储设备为例，提前为每一个存储设备设置备用Stocker，且配置对应的优先级，随后针对异常放货的OHB，利用特定算法（例如结合优先级及当前存储情况）选择最优的备用Stocker进行存放。且该第二存储设备的列表可以由用户根据当前晶圆厂的布局来确定。

上述实施例中，预先配置了各种托底方式中存储设备的优先级等，以便于后续目标目的地的选择。

在其中一个可选的实施例中，接收半导体运输设备上报的异常结束类型以及货物位置之前，包括：接收半导体运输设备上传的异常报警信息，异常报警信息用于指示用户进行异常处理，异常报警信息包括送货过程中的异常信息、放货过程中的通信异常信息以及抓货过程中的异常信息中的至少一个；接收半导体运输设备的复位指令，并将复位指令发送至半导体运输设备，复位指令用于指示半导体运输设备上报异常结束类型以及货物位置。

在其中一个可选的实施例中，接收半导体运输设备上报的异常结束类型以及货物位置之前，包括：向半导体运输设备发送搬运指令，搬运指令用于指示半导体运输设备进行货物搬运，且在半导体运输设备到达第三存储设备时，检测第三存储设备是否为空，当第三存储设备不为空时，上报二重搬入的异常结束类型以及货物位置。

上述两个实施例分别针对不同的异常结束类型以及货物位置上报的触发场景。

在第一种场景中，在物料控制系统MCS下达指令至半导体运输设备控制系统MSTC后，半导体运输设备OHT正常接收搬运命令，随后进行取货、送货和放货，在取货、送货和放货中，半导体运输设备OHT出现异常并报警，在收到此异常后，将命令状态上报至物料控制系统MCS处理，其中异常报警信息包括送货过程中的异常信息、放货过程中的通信异常信息以及抓货过程中的异常信息中的至少一个。值班人员在处理完报警信息后，向半导体运输设备OHT发送复位指令，此时半导体运输设备OHT会上报TransferCompleted事件，并携带ResultCode(X)，并且货物位置（CurrentLocation）为半导体运输设备的标识。

在第二种场景中，在物料控制系统MCS下达指令至半导体运输设备控制系统MSTC后，半导体运输设备OHT正常接收搬运命令，搬走货物到悬挂式暂存货架OHB。半导体运输设备OHT正常抓取货物后，送至悬挂式暂存货架OHB存放。半导体运输设备OHT到达指定的悬挂式暂存货架OHB后，会先检查当前悬挂式暂存货架OHB是否为空，如果为空直接放置货物；如果不为空（可能由于半导体运输设备OHT扫描点未校准正确或人为误操作放置货物但未在软件系统建账等造成悬挂式暂存货架OHB不为空的现象），当半导体运输设备OHT到达指定的悬挂式暂存货架OHB后，半导体运输设备OHT会直接上报TransferCompleted事件，并携带ResultCode（X）告知物料控制系统MCS此次搬送出现“二重搬入”的异常，随后结束搬运，半导体运输设备OHT变为幽灵车。

为了方便理解，下文对整个搬运过程中可能出现幽灵车的场景进行说明，该场景主要包括：取货异常、送货异常、放货通信异常以及放货二重搬入异常。

对于取货异常，结合图4所示，图4为一个实施例中取货异常场景的流程图，在该实施例中，在物料控制系统MCS下达的指令到达半导体运输设备OHT后，半导体运输设备OHT正常接收搬运命令，半导体运输设备OHT到达初始存储设备，例如机台EQ、存储设备stocker等，会进行夹货动作，当夹货动作全部完成后，则表示夹货完成，半导体运输设备OHT开始送货。但是夹货过程中，如果出现夹到货物但夹货动作由于半导体运输设备OHT异常未全部完成的现象，半导体运输设备OHT则会异常报警，即向半导体运输设备控制系统MSTC发送异常报警信息，半导体运输设备控制系统MSTC将异常报警信息发送至物料控制系统MCS。现场值班人员看到异常报警信息后，处理该异常并解除报警。随后由于半导体运输设备OHT已经将货夹到身上，所以会变成带货巡游，即幽灵车，物料控制系统MCS向半导体运输设备OHT发送复位指令，半导体运输设备OHT接收到复位指令后，上传搬运完成事件，物料控制系统MCS收到搬运完成事件，基于搬运完成事件中的异常结束类型选择对应的托底方式，本实施例中的托底方式为托底存储列表方式，根据用户已经配置好的托底列表GhostStockerList信息，从托底列表GhsotList里面选择优先级较高的存储设备作为目标目的地，物料控制系统MCS通过导体运输设备控制系统MSTC向半导体运输设备OHT发送将货物搬运至目标目的地的指令，半导体运输设备OHT搬送完成后，通过导体运输设备控制系统MSTC上报搬运状态至物料控制系统MCS，物料控制系统MCS上报货物位置。

对于送货异常，结合图5所示，图5为一个实施例中送货异常场景的流程图，在该实施例中，在物料控制系统MCS下达的指令到达半导体运输设备OHT后，半导体运输设备OHT正常接收搬运命令，在送货的过程中，半导体运输设备OHT出现异常并报警。值班人员在处理完报警信息后，物料控制系统MCS向半导体运输设备OHT发送复位指令，半导体运输设备OHT接收到复位指令后，上传搬运完成事件TransferCompleted事件，并携带ResultCode(X)，并货物位置（CurrentLocation）为半导体运输设备OHT标识。由于此时，货物在半导体运输设备OHT上，整个命令已经结束处理，则物料控制系统MCS根据用户配置的托底列表选择需要到达的目标目的地，物料控制系统MCS通过导体运输设备控制系统MSTC向半导体运输设备OHT发送将货物搬运至目标目的地的指令，半导体运输设备OHT搬送完成后，通过导体运输设备控制系统MSTC上报搬运状态至物料控制系统MCS，物料控制系统MCS上报货物位置。

对于放货过程中的通信异常，结合图6所示，图6为一个实施例中放货过程中的通信异常场景的流程图，在该实施例中，在物料控制系统MCS下达的指令到达半导体运输设备OHT后，半导体运输设备OHT正常接收搬运命令，半导体运输设备OHT已经到达下货点，在下货的过程中出现了E84通讯错误后，导致货放不下去，半导体运输设备OHT则会异常报警，即向半导体运输设备控制系统MSTC发送异常报警信息，半导体运输设备控制系统MSTC将异常报警信息发送至物料控制系统MCS。现场值班人员看到异常报警信息后，处理该异常并解除报警，物料控制系统MCS向半导体运输设备OHT发送复位指令，半导体运输设备OHT接收到复位指令后，上传搬运完成事件。针对此种现象，该实施例为用户提供两种解决方案：

在初始化时，为每个存储设备，例如机台EQ设备配置第三存储设备NearByStocker，由于用户较为熟悉现场设备布局，所以可以为当前存储设备配置最优的第三存储设备NearByStocker，这样当出现幽灵车现象后，物料控制系统MCS可以直接获取到对应的第三存储设备NearByStocker，物料控制系统MCS通过导体运输设备控制系统MSTC向半导体运输设备OHT发送将货物搬运至目标目的地的指令，半导体运输设备OHT搬送完成后，并将位置上报至上位系统。待上位系统再次下发搬送命令进行送货时，可以最快的将货搬送至目的存储设备进行处理。

此外，由于现场设备较多，用户可能无法针对每一个机台EQ配置对应的第三存储设备NearbyStocker，所以用户仍然可以选择已经配置好的托底列表GhostStockerList，物料控制系统MCS可以直接从托底列表GhostList里面选择优先级较高的Stocker进行货物存储，物料控制系统MCS通过半导体运输设备控制系统MSTC向半导体运输设备OHT发送将货物搬运至目标目的地的指令，半导体运输设备OHT搬送完成后，并将位置上报至上位系统。

上述实施例中，开放多种异常处理机制，使用户灵活运用，加快出现异常情况之后，货物的搬运效率。

对于放货过程中的二重搬入异常，结合图7所示，图7为一个实施例中放货过程中的二重搬入异常场景的流程图，在该实施例中，在物料控制系统MCS下达的指令到达半导体运输设备OHT后，半导体运输设备OHT正常接收搬运命令，搬走货物到悬挂式暂存货架OHB。半导体运输设备OHT到达指定的悬挂式暂存货架OHB后，会先检查当前悬挂式暂存货架OHB是否为空，如果为空直接放置货物；如果不为空，半导体运输设备OHT到达指定的悬挂式暂存货架OHB后，半导体运输设备OHT会直接上报TransferCompleted事件，并携带ResultCode（X）告知物料控制系统MCS此次搬送出现“二重搬入”的异常，随后结束搬运，半导体运输设备OHT变为幽灵车。本实施例中针对此种半导体运输设备OHT异常放货的处理方案为：提前为每一个存储设备设置备用Stocker，且配置对应的优先级，随后针对异常放货的悬挂式暂存货架OHB，利用特定算法（例如结合优先级及当前存储情况）选择最优的备选Stocker进行存放。且该第二存储设备列表由用户根据当前晶圆厂的布局来确定。

上述各个实施例中，可以结合各个晶圆厂的布局由用户灵活确定半导体运输设备OHT出现异常后的托底方案，以达到出现异常后能最快效率的使货物回到原定的步骤中进行送货处理。

应该理解的是，虽然如上的各实施例所涉及的流程图中的各个步骤按照箭头的指示依次显示，但是这些步骤并不是必然按照箭头指示的顺序依次执行。除非本文中有明确的说明，这些步骤的执行并没有严格的顺序限制，这些步骤可以以其它的顺序执行。而且，如上的各实施例所涉及的流程图中的至少一部分步骤可以包括多个步骤或者多个阶段，这些步骤或者阶段并不必然是在同一时刻执行完成，而是可以在不同的时刻执行，这些步骤或者阶段的执行顺序也不必然是依次进行，而是可以与其它步骤或者其它步骤中的步骤或者阶段的至少一部分轮流或者交替地执行。

基于同样的发明构思，本申请实施例还提供了一种用于实现上述所涉及的半导体运输设备异常处理方法的半导体运输设备异常处理装置。该装置所提供的解决问题的实现方案与上述方法中所记载的实现方案相似，故下面所提供的一个或多个半导体运输设备异常处理装置实施例中的具体限定可以参见上文中对于半导体运输设备异常处理方法的限定，在此不再赘述。

在一个示例性的实施例中，如图8所示，提供了一种半导体运输设备异常处理装置，包括：接收模块801、可选目的地获取模块802、目标目的地确定模块803和异常处理模块804，其中：

接收模块801，用于接收半导体运输设备上报的异常结束类型以及货物位置；

可选目的地获取模块802，用于当异常结束类型为目标异常结束类型，且货物位置表示货物位于半导体运输设备时，基于目标异常结束类型确定可选目的地；

目标目的地确定模块803，用于从可选目的地中确定目标目的地，并基于目标目的地生成半导体运输设备的货物运输指令；

异常处理模块804，用于将货物运输指令发送至半导体运输设备，货物运输指令用于指示半导体运输设备将货物运输至目标目的地。

在其中一个可选的实施例中，可选目的地包括托底存储列表中的第一存储设备、与放货位置对应的第二存储设备以及第三存储设备三种存储设备中任一种存储设备中的至少一个；第三存储设备为与放货位置之间的距离在距离阈值内的存储设备。

在其中一个可选的实施例中，上述可选目的地获取模块802还用于当目标异常结束类型为取货过程中异常时，获取托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地；当目标异常结束类型为送货过程中异常时，获取托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地；当目标异常结束类型为放货过程中的通信异常时，获取第一托底方式配置信息，当第一托底方式配置信息仅包括托底存储列表方式时，获取托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地；当第一托底方式配置信息包括托底存储列表方式和第三存储设备方式，且第三存储设备至少一个可用时，获取配置的与放货位置对应的第三存储设备作为可选目的地；当目标异常结束类型为放货过程中的二重搬入异常时，获取第二托底方式配置信息，当第二托底方式配置信息仅包括托底存储列表方式时，获取托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地；当第二托底方式配置信息包括托底存储列表方式和第二存储设备方式，且第二存储设备至少一个可用时，获取配置的与放货位置对应的第二存储设备作为可选目的地。

在其中一个可选的实施例中，上述可选目的地获取模块802还用于当第一托底方式配置信息包括托底存储列表方式和第三存储设备方式，且第三存储设备均不可用时，获取托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地。

在其中一个可选的实施例中，上述可选目的地获取模块802还用于当第二托底方式配置信息包括托底存储列表方式和第二存储设备方式，且第二存储设备均不可用时，获取托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地。

在其中一个可选的实施例中，上述装置还包括：存储设备配置模块，用于接收存储设备配置指令，存储设备配置指令携带有第一存储设备或者存储设备配置指令携带有第三存储设备、第二存储设备两种存储设备中的任一种以及第一存储设备；基于存储设备配置指令，配置第一存储设备或配置第二存储设备、第二存储设备两种存储设备中的任一种以及第一存储设备。

在其中一个可选的实施例中，上述装置还包括：托底方式配置模块，用于接收托底方式配置指令，托底方式配置指令携带有目标异常结束类型；基于托底方式配置指令，配置目标异常结束类型对应的托底方式。

在其中一个可选的实施例中，上述目标目的地获取模块还用于确定各可选目的地的优先级；基于优先级从可选目的地中确定当前目的地，并确定当前目的地的状态以及当前存储情况中的至少一个；当基于当前目的地的状态以及当前存储情况中的至少一个确定当前目的地不可用时，基于优先级从可选目的地中获取下一目的地作为当前目的地，并继续执行确定当前目的地的状态以及当前存储情况中的至少一个的步骤，直至从可选目的地中确定出目标目的地。

在其中一个可选的实施例中，上述装置还包括：第一异常处理模块804，用于接收半导体运输设备上传的异常报警信息，异常报警信息用于指示用户进行异常处理，异常报警信息包括送货过程中的异常信息、放货过程中的通信异常信息以及抓货过程中的异常信息中的至少一个；接收半导体运输设备的复位指令，并将复位指令发送至半导体运输设备，复位指令用于指示半导体运输设备上报异常结束类型以及货物位置。

在其中一个可选的实施例中，上述装置还包括：第二异常处理模块804，用于向半导体运输设备发送搬运指令，搬运指令用于指示半导体运输设备进行货物搬运，且在半导体运输设备到达第三存储设备时，检测第三存储设备是否为空，当第三存储设备不为空时，上报二重搬入的异常结束类型以及货物位置。

在其中一个可选的实施例中，半导体运输设备还上报货物标识；上述装置还包括：货物位置上报模块，用于当接收半导体运输设备返回的货物已运输至目标目的地的信息时，上报货物标识对应的货物位于目标目的地的信息。

上述半导体运输设备异常处理装置中的各个模块可全部或部分通过软件、硬件及其组合来实现。上述各模块可以硬件形式内嵌于或独立于计算机设备中的处理器中，也可以以软件形式存储于计算机设备中的存储器中，以便于处理器调用执行以上各个模块对应的操作。

在一个示例性的实施例中，提供了一种计算机设备，该计算机设备可以是服务器，其内部结构图可以如图9所示。该计算机设备包括处理器、存储器、输入/输出接口(Input/Output，简称I/O）和通信接口。其中，处理器、存储器和输入/输出接口通过系统总线连接，通信接口通过输入/输出接口连接到系统总线。其中，该计算机设备的处理器用于提供计算和控制能力。该计算机设备的存储器包括非易失性存储介质和内存储器。该非易失性存储介质存储有操作系统、计算机程序和数据库。该内存储器为非易失性存储介质中的操作系统和计算机程序的运行提供环境。该计算机设备的数据库用于存储货物位置等数据。该计算机设备的输入/输出接口用于处理器与外部设备之间交换信息。该计算机设备的通信接口用于与外部的终端通过网络连接通信。该计算机程序被处理器执行时以实现一种半导体运输设备异常处理方法。

本领域技术人员可以理解，图9中示出的结构，仅仅是与本申请方案相关的部分结构的框图，并不构成对本申请方案所应用于其上的计算机设备的限定，具体的计算机设备可以包括比图中所示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者具有不同的部件布置。

在一个实施例中，还提供了一种计算机设备，包括存储器和处理器，存储器中存储有计算机程序，该处理器执行计算机程序时实现上述各方法实施例中的步骤。

在一个实施例中，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现上述各方法实施例中的步骤。

在一个实施例中，提供了一种计算机程序产品，包括计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现上述各方法实施例中的步骤。

本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中，该计算机程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，本申请所提供的各实施例中所使用的对存储器、数据库或其它介质的任何引用，均可包括非易失性和易失性存储器中的至少一种。非易失性存储器可包括只读存储器（Read-OnlyMemory，ROM）、磁带、软盘、闪存、光存储器、高密度嵌入式非易失性存储器、阻变存储器（ReRAM）、磁变存储器（Magnetoresistive Random Access Memory，MRAM）、铁电存储器（Ferroelectric Random Access Memory，FRAM）、相变存储器（Phase Change Memory，PCM）、石墨烯存储器等。易失性存储器可包括随机存取存储器（Random Access Memory，RAM）或外部高速缓冲存储器等。作为说明而非局限，RAM可以是多种形式，比如静态随机存取存储器（Static Random Access Memory，SRAM）或动态随机存取存储器（Dynamic RandomAccess Memory，DRAM）等。本申请所提供的各实施例中所涉及的数据库可包括关系型数据库和非关系型数据库中至少一种。非关系型数据库可包括基于区块链的分布式数据库等，不限于此。本申请所提供的各实施例中所涉及的处理器可为通用处理器、中央处理器、图形处理器、数字信号处理器、可编程逻辑器、基于量子计算的数据处理逻辑器等，不限于此。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (13)

1.一种半导体运输设备异常处理方法，其特征在于，所述方法包括：

接收半导体运输设备上报的异常结束类型以及货物位置；

当所述异常结束类型为目标异常结束类型，且所述货物位置表示货物位于所述半导体运输设备时，基于所述目标异常结束类型确定可选目的地；

从所述可选目的地中确定目标目的地，并基于所述目标目的地生成所述半导体运输设备的货物运输指令；

将所述货物运输指令发送至所述半导体运输设备，所述货物运输指令用于指示所述半导体运输设备将所述货物运输至所述目标目的地。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述可选目的地包括托底存储列表中的第一存储设备、与放货位置对应的第二存储设备以及第三存储设备三种存储设备中任一种存储设备中的至少一个；所述第三存储设备为与所述放货位置之间的距离在距离阈值内的存储设备。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述目标异常结束类型确定可选目的地，包括：

当所述目标异常结束类型为取货过程中异常时，获取所述托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地；

当所述目标异常结束类型为送货过程中异常时，获取所述托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述目标异常结束类型确定可选目的地，包括：当所述目标异常结束类型为放货过程中的通信异常时，获取第一托底方式配置信息，当所述第一托底方式配置信息仅包括托底存储列表方式时，获取所述托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地；

当所述第一托底方式配置信息包括托底存储列表方式和第三存储设备方式，且所述第三存储设备至少一个可用时，获取配置的与所述放货位置对应的第三存储设备作为可选目的地；

当所述第一托底方式配置信息包括托底存储列表方式和第三存储设备方式，且所述第三存储设备均不可用时，获取所述托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地。

5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述目标异常结束类型确定可选目的地，包括：

当所述目标异常结束类型为放货过程中的二重搬入异常时，获取第二托底方式配置信息，当所述第二托底方式配置信息仅包括托底存储列表方式时，获取所述托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地；

当所述第二托底方式配置信息包括托底存储列表方式和第二存储设备方式，且所述第二存储设备至少一个可用时，获取配置的与所述放货位置对应的第二存储设备作为可选目的地；

当所述第二托底方式配置信息包括托底存储列表方式和第二存储设备方式，且所述第二存储设备均不可用时，获取所述托底存储列表中的第一存储设备作为可选目的地。

6.根据权利要求3至5任意一项所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

接收托底方式配置指令，所述托底方式配置指令携带有目标异常结束类型；

基于所述托底方式配置指令，配置所述目标异常结束类型对应的托底方式。

7.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述目标异常结束类型确定可选目的地之前，还包括：

接收存储设备配置指令，所述存储设备配置指令携带有第一存储设备或者所述存储设备配置指令携带有第三存储设备、第二存储设备两种存储设备中的任一种以及第一存储设备；

基于所述存储设备配置指令，配置第一存储设备或配置第三存储设备、第二存储设备两种存储设备中的任一种以及第一存储设备。

8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述从所述可选目的地中确定目标目的地，包括：

确定各所述可选目的地的优先级；

基于所述优先级从所述可选目的地中确定当前目的地，并确定所述当前目的地的状态以及当前存储情况中的至少一个；

当基于所述当前目的地的状态以及当前存储情况中的至少一个确定所述当前目的地不可用时，基于所述优先级从所述可选目的地中获取下一目的地作为当前目的地，并继续执行确定所述当前目的地的状态以及当前存储情况中的至少一个的步骤，直至从所述可选目的地中确定出目标目的地。

9.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述接收半导体运输设备上报的异常结束类型以及货物位置之前，包括：

接收所述半导体运输设备上传的异常报警信息，所述异常报警信息用于指示用户进行异常处理，所述异常报警信息包括送货过程中的异常信息、放货过程中的通信异常信息以及抓货过程中的异常信息中的至少一个；

接收所述半导体运输设备的复位指令，并将所述复位指令发送至所述半导体运输设备，所述复位指令用于指示所述半导体运输设备上报异常结束类型以及货物位置。

10.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述接收半导体运输设备上报的异常结束类型以及货物位置之前，包括：

向所述半导体运输设备发送搬运指令，所述搬运指令用于指示所述半导体运输设备进行货物搬运，且在所述半导体运输设备到达目的存储设备时，检测所述目的存储设备是否为空，当所述目的存储设备不为空时，上报二重搬入的异常结束类型以及货物位置。

11.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述半导体运输设备还上报货物标识；所述将所述货物运输指令发送至所述半导体运输设备之后，包括：

当接收所述半导体运输设备返回的货物已运输至所述目标目的地的信息时，上报所述货物标识对应的货物位于所述目标目的地的信息。

12.一种半导体运输设备异常处理装置，其特征在于，所述装置包括：

接收模块，用于接收半导体运输设备上报的异常结束类型以及货物位置；

可选目的地获取模块，用于当所述异常结束类型为目标异常结束类型，且所述货物位置表示货物位于所述半导体运输设备时，基于所述目标异常结束类型确定可选目的地；

目标目的地确定模块，用于从所述可选目的地中确定目标目的地，并基于所述目标目的地生成所述半导体运输设备的货物运输指令；

异常处理模块，用于将所述货物运输指令发送至所述半导体运输设备，所述货物运输指令用于指示所述半导体运输设备将所述货物运输至所述目标目的地。

13.一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至11中任一项所述的方法的步骤。