CN117534303A - 石英管制造方法及焊枪 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种石英管制造方法及焊枪，石英管制造方法包括如下步骤：采用带环形枪头的焊枪对石英管的应力集中部位喷火：所述环形枪头的内壁上设有多个沿环形枪头的周向间隔分布的出火口，环形枪头环绕在石英管的应力集中部位的外部，且石英管的应力集中部位位于环形枪头的中心处，环形枪头的出火口均向石英管的应力集中部位喷火，实现去除石英管的应力集中部位的应力。本石英管制造方法及焊枪，通过环形枪头的出火口向位于环形枪头中心处的石英管的应力集中部位喷火焰，实现去除石英管的应力集中部位处的应力，操作简单，能耗较低，有效降低了去应力作业的成本，并提高了作业效率及良品率。

Description

石英管制造方法及焊枪

技术领域

本发明涉及石英管加工技术领域，尤其涉及一种石英管制造方法及焊枪。

背景技术

石英管是半导体行业常用到的一种石英产品。为满足使用需求，在加工制造石英管过程中，需对石英管进行火焰抛光。而在火焰抛光过程中，又会导致石英管部分部位形成的应力较大。为此，现有技术通常会使用退火炉对管类产品进行退火，以去除应力。此种采用退火炉对石英管整体进行加热，以实现去应力的方式，一方面，所需能耗较高，导致去应力作业成本较高；另一方面，操作复杂，导致作业效率较低。

因此，有必要开发一种能降低成本、提高效率的石英管制造方法及去应力工具。

发明内容

本发明的目的在于提供一种石英管制造方法及焊枪，以解决现有技术中对石英管去应力作业时存在成本较高、效率较低的问题。

一方面，本发明提供一种石英管制造方法，包括如下步骤：

采用带环形枪头的焊枪对石英管的应力集中部位喷火：所述环形枪头的内壁上设有多个沿环形枪头的周向间隔分布的出火口，环形枪头环绕在石英管的应力集中部位的外部，且石英管的应力集中部位位于环形枪头的中心处，环形枪头的出火口向石英管的应力集中部位喷火，实现去除石英管的应力集中部位的应力。

本发明涉及的石英管制造方法，具有以下有益效果：

本石英管制造方法，通过环形枪头的出火口向位于环形枪头中心处的石英管的应力集中部位喷火焰，实现去除石英管的应力集中部位处的应力，即通过对石英管局部加热，实现去除石英管的应力集中部位处的应力，此种去应力方式，操作简单，效率较高，且耗能较低，所需成本较低，并能有效去除石英管的应力集中部位处的应力，提高了产品品质，也提高了产品良率。

优选地，在采用带环形枪头的焊枪对石英管的应力集中部位喷火步骤中，将环形枪头环绕在石英管的外部，移动环形枪头，直至环形枪头移动至与石英管的应力集中部位相对应位置，环形枪头的出火口向石英管的应力集中部位喷火，实现去除石英管的应力集中部位的应力。

优选地，所述石英管制造方法，还包括记录应力集中部位步骤，所述记录应力集中部位步骤，包括：记录下，在对石英管进行火焰抛光过程中，石英管开始被火焰抛光的部位及石英管停止被火焰抛光的部位，所记录下的部位均为石英管的应力集中部位；所述采用带环形枪头的焊枪对石英管的应力集中部位喷火步骤，包括：将环形枪头移动至所述记录应力集中部位步骤中所记录下的部位，实现将环形枪头移动至与石英管的应力集中部位相对应位置。

优选地，所述环形枪头包括环形管体，所述环形管体的侧壁上设有所述出火口，环形枪头的出火口向石英管的应力集中部位喷火时，通过环形管体的内腔向出火口供给燃烧用气体。此种结构的环形枪头结构简单，制造成本较低。

另一方面，本发明提供一种用于实现所述石英管制造方法的焊枪，包括环形枪头，所述环形枪头的内壁上设有多个沿环形枪头的周向间隔分布的出火口。

本发明涉及的焊枪，具有以下有益效果：

本焊枪，基于上述石英管制造方法，实现对石英管去应力作业，且操作简单，提高了对石英管去应力作业的效率，并能有效去除石英管应力集中处的应力，提高了产品质量，也提高了产品良率，且本焊枪结构简单，制造成本较低，耗能也较低，进而也降低了对石英管去应力作业的成本。

优选地，所述环形枪头由石英材料制成。由石英材质的环形枪头对石英管进行喷火及去应力作业，能有效减少出现如金属颗粒等异物对石英管造成污染的情况，提高了石英管的品质。

优选地，所述环形枪头包括环形管体，所述环形管体的侧壁上设有所述出火口，且所述出火口与环形管体的内腔相通。这样，通过环形管体的内腔即能实现对出火口供给燃烧用气体，满足向出火口供给燃烧用气体的需求，且此种结构简单，便于制造，成本较低。

优选地，所述焊枪，还包括进气直管，所述进气直管与所述环形管体相连通。通过该进气直管，向环形管体的内腔供给燃烧用气体，进而再通过环形管体的内腔向出火口供给燃烧用气体，满足需求的同时，结构简单，生产成本较低。

优选地，所述环形管体呈圆环形。此种结构简单，便于制造，且在对石英管去应力作业时，便于将环形管体调整至石英管位于环形管体中心处状态。

优选地，全部所述出火口沿环形管体的圆周方向均匀分布。这样，全部出火口均向石英管喷火焰时，能实现对石英管的应力集中部位均匀加热，保证去应力效果更好。

附图说明

图1为本发明实施例中焊枪的结构示意图。

图中标号：

1、环形枪头；11、出火口；12、环形管体；2、进气直管。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。

如图1所示，本实施例提供一种石英管制造方法，包括如下步骤：

采用带环形枪头1的焊枪对石英管的应力集中部位喷火：所述环形枪头1的内壁上设有多个沿环形枪头1的周向间隔分布的出火口11，环形枪头1环绕在石英管的应力集中部位的外部，且石英管的应力集中部位位于环形枪头1的中心处，环形枪头1的出火口11向石英管的应力集中部位喷火，实现去除石英管的应力集中部位的应力。

本石英管制造方法，通过环形枪头1的出火口11向位于环形枪头1中心处的石英管的应力集中部位喷火焰，实现去除石英管的应力集中部位处的应力，即通过对石英管局部加热，实现去除石英管的应力集中部位处的应力，此种去应力方式，操作简单，效率较高，且所需成本较低，并能有效去除石英管的应力集中部位处的应力，提高了产品品质，也提高了产品良率。

如图1所示，本实施例还提供一种用于实现所述石英管制造方法的焊枪，包括环形枪头1，环形枪头1的内壁上设有多个沿环形枪头1的周向间隔分布的出火口11。

本焊枪，基于上述石英管制造方法，实现对石英管去应力作业，且操作简单，提高了对石英管去应力作业的效率，并能有效去除石英管应力集中处的应力，提高了产品质量，也提高了产品良率，且本焊枪结构简单，制造成本较低，耗能也较低，进而也降低了对石英管去应力作业的成本。

本实施例在采用带环形枪头1的焊枪对石英管的应力集中部位喷火步骤中，将环形枪头1环绕在石英管的外部，移动环形枪头1，直至环形枪头1移动至与石英管的应力集中部位相对应位置，环形枪头1的出火口11向石英管的应力集中部位喷火，实现去除石英管的应力集中部位的应力。

本实施例中石英管制造方法，还包括记录应力集中部位步骤，所述记录应力集中部位步骤，包括：记录下，在对石英管进行火焰抛光过程中，石英管开始被火焰抛光的部位及石英管停止被火焰抛光的部位，所记录下的部位均为石英管的应力集中部位。采用带环形枪头1的焊枪对石英管的应力集中部位喷火步骤，包括：将环形枪头1移动至所述记录应力集中部位步骤中所记录下的部位，实现将环形枪头1移动至与石英管的应力集中部位相对应位置。

如图1所示，本实施例中环形枪头1包括环形管体12，环形管体12的侧壁上设有出火口11，出火口11与环形管体12的内腔相通，环形枪头1的出火口11向石英管的应力集中部位喷火时，通过环形管体12的内腔向出火口11供给燃烧用气体，满足向出火口11供给燃烧用气体的需求。此种结构的环形枪头1结构简单，制造成本较低。具体地，本实施例中环形管体12呈圆环形。此种结构简单，便于制造，且在对石英管去应力作业时，便于将环形管体12调整至石英管位于环形管体12中心处状态。且全部出火口11沿环形管体12的圆周方向均匀分布。这样，全部出火口11均向石英管喷火焰时，能实现对石英管的应力集中部位均匀加热，保证去应力效果更好。

本实施例中环形枪头1由石英材料制成。由石英材质的环形枪头1对石英管进行喷火及去应力作业，能有效减少出现如金属颗粒等异物对石英管造成污染的情况，提高了石英管的品质。

如图1所示，本实施例中焊枪，还包括进气直管2，进气直管2与环形管体12相连通。通过该进气直管2，向环形管体12的内腔供给燃烧用气体，进而再通过环形管体12的内腔向全部出火口11供给燃烧用气体，满足需求的同时，结构简单，生产成本较低。且进气直管2的中心轴线穿过环形管体12的中心。

本实施例中焊枪还可作为焊接工具，应用于石英制品生产加工中。本实施例中焊枪为氢气、氧气混合枪模式，即本实施例中燃烧用气体包括氢气和氧气。其环形枪头1采用石英材料制作，由车间自行加工，具有制作方便、纯度高，金属含有量低的特点，能有效减少金属颗粒对产品污染的优点。将本焊枪应用于半导体行业石英产品加工中，能显著提升石英产品的性能。

本实施例中石英管制造方法采用此种焊枪，实现对石英管局部加热及局部去应力，解决了采用退火炉对小管类产品进行整体退火、导致产品退火过程中容易产生裂纹的问题。且本实施例中石英管制造方法，无需占用退火炉，避免对其他大件产品的退火作业效率造成影响。同时，本实施例中石英管制造方法，采用环形枪头1对石英小管进行去应力作业，能将石英小管外观烧制的更均匀，省去进退火炉退应力的工序，提高作业效率和产品良率。另外，在对石英管抛光作业过程中，石英管的不同位置形成的工艺应力交接点就是石英管的应力集中部位，需要去除这些部位的应力，且工艺应力交接点是由于火焰开始和停止所形成的温差导致。本实施例中石英管具体可以是石英喷嘴、或石英TC管等。

相比于采用普通直线型单一出火口的枪头，本实施例采用环形枪头1对石英管进行去应力作业，能集中对石英管进行喷火作业。

虽然在上文中详细说明了本发明的实施方式，但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是，能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是，应理解，这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本发明的范围和精神之内。而且，在此说明的本发明可有其它的实施方式，并且可通过多种方式实施或实现。

Claims (10)

1.一种石英管制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

采用带环形枪头(1)的焊枪对石英管的应力集中部位喷火：所述环形枪头(1)的内壁上设有多个沿环形枪头(1)的周向间隔分布的出火口(11)，环形枪头(1)环绕在石英管的应力集中部位的外部，且石英管的应力集中部位位于环形枪头(1)的中心处，环形枪头(1)的出火口(11)向石英管的应力集中部位喷火。

2.根据权利要求1所述石英管制造方法，其特征在于，在采用带环形枪头(1)的焊枪对石英管的应力集中部位喷火步骤中，将环形枪头(1)环绕在石英管的外部，移动环形枪头(1)，直至环形枪头(1)移动至与石英管的应力集中部位相对应位置，环形枪头(1)的出火口(11)向石英管的应力集中部位喷火。

3.根据权利要求1所述石英管制造方法，其特征在于，还包括记录应力集中部位步骤，所述记录应力集中部位步骤包括：记录下在对石英管进行火焰抛光过程中，石英管开始被火焰抛光的部位及石英管停止被火焰抛光的部位，所记录下的部位均为石英管的应力集中部位；

所述采用带环形枪头(1)的焊枪对石英管的应力集中部位喷火步骤，包括：

将环形枪头(1)移动至所述记录应力集中部位步骤中所记录下的部位，实现将环形枪头(1)移动至与石英管的应力集中部位相对应位置。

4.根据权利要求1所述石英管制造方法，其特征在于，所述环形枪头(1)包括环形管体(12)，所述环形管体(12)的侧壁上设有所述出火口(11)，环形枪头(1)的出火口(11)向石英管的应力集中部位喷火时，通过环形管体(12)的内腔向出火口(11)供给燃烧用气体。

5.一种用于实现如权利要求1至4任一项所述石英管制造方法的焊枪，其特征在于，包括环形枪头(1)，所述环形枪头(1)的内壁上设有多个沿环形枪头(1)的周向间隔分布的出火口(11)。

6.根据权利要求5所述焊枪，其特征在于，所述环形枪头(1)由石英材料制成。

7.根据权利要求5所述焊枪，其特征在于，所述环形枪头(1)包括环形管体(12)，所述环形管体(12)的侧壁上设有所述出火口(11)，且所述出火口(11)与环形管体(12)的内腔相通。

8.根据权利要求7所述焊枪，其特征在于，还包括进气直管(2)，所述进气直管(2)与所述环形管体(12)相连通。

9.根据权利要求7所述焊枪，其特征在于，所述环形管体(12)呈圆环形。

10.根据权利要求9所述焊枪，其特征在于，全部所述出火口(11)沿环形管体(12)的圆周方向均匀分布。