CN116951134A - 一种分流排阀 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种分流排阀，该分流排阀包括：分流组件与驱动分流组件的驱动组件；分流组件包括：自上而下同轴依次设置的入液筒与分液筒，入液筒开设纵向贯穿入液筒的入液管道，分液筒开设至少两个纵向贯穿分液筒的出液管道；通过驱动组件驱动入液筒绕入液筒所在中心轴线转动，由入液管道分别与不同出液管道对接形成供不同液体流通的排液管道。通过本发明，实现了不同类别工业废液的独立排放与收集，并保证了液体收集效率。

Description

一种分流排阀

技术领域

本发明涉及阀门技术领域，尤其涉及一种分流排阀。

背景技术

在半导体制造领域，晶圆的生产制造依赖于高质量标准的制造工艺(例如，化学机械抛光CMP)，进而会产生各种不同的工业废液。根据工业废液所含物质的不同，可将工业废液划分为有机废液与无机废液两大类别，而无论是有机废液还是无机废液均对环境具有较为严重的影响，因此如何实现对工业废液进行收集是亟需解决的技术问题。

为了避免有机废液与无机废液出现严重的液体混合的情况，需要将有机废液与无机废液单独收集，而为不同类型的工业废液独立配置收集通道与器件存在资源浪费的缺陷。为了减少资源的浪费，现有技术中还采用“一进多出”类阀件予以实现。该类阀件由一个阀体与多个气缸并排放置组成，而多个气缸依赖于同一阀件驱动，对于阀件的要求较高，存在成本较高的问题。同时，“一进多出”类阀件由一个管道组成，一个管道形成一个入口与多个出口，工业废液自入口流入管道内，并分别自不同出口流出管道，也即，不同类型的工业废液于同一管道内流动，因此为了避免不同类型工业废液大量接触所导致的安全问题，在一种工业废液排放并收集之后，需要对管道内部进行清洗，进而存在效率低下的问题。另外，现有技术中的气缸密封是通过气缸下压予以实现，而器件与器件的连接处容易产生缝隙，不仅密封效果不佳，而且对密封处的工艺要求较高。

有鉴于此，有必要对现有技术中的分流排阀予以改进，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于解决现有技术中由同一阀件驱动多个气缸所存在的成本较高的问题，“一进多出”类阀件在工业废液收集之后需要对管道进行清洗所存在的效率低下的问题，以及气缸下压密封所存在的密封效果不佳的问题。

为实现上述目的，本发明提供了一种分流排阀，包括：

分流组件与驱动所述分流组件的驱动组件；

所述分流组件包括：自上而下同轴依次设置的入液筒与分液筒，所述入液筒开设纵向贯穿入液筒的入液管道，所述分液筒开设至少两个纵向贯穿分液筒的出液管道；

通过驱动组件驱动入液筒绕入液筒所在中心轴线转动，由入液管道分别与不同出液管道对接形成供不同液体流通的排液管道。

作为本发明的进一步改进，所述分液筒内部形成供入液筒部分容置的中空腔体。

作为本发明的进一步改进，所述入液筒包括：容置于中空腔体的引流筒与设置于引流筒顶端且被所述驱动组件所驱动的第一驱动盖；

所述入液管道连续贯穿第一驱动盖与引流筒。

作为本发明的进一步改进，所述驱动组件包括：设置于分流组件侧部的驱动电机与设置于所述驱动电机顶端以被所述驱动电机所驱动的第二驱动盖；

所述第一驱动盖边缘处被构造出一圈第一齿轮，所述第二驱动盖边缘处被构造出一端与所述第一齿轮匹配的第二齿轮，由驱动电机驱动第二驱动盖转动以带动第一驱动盖转动。

作为本发明的进一步改进，所述引流筒容置于中空腔体内并与分液筒形成一定间隙。

作为本发明的进一步改进，所述分液筒还包括：凸设于分液筒面向入液筒端面的第三密封圈，所述第三密封圈呈围绕出液管道所形成的第一通道口设置。

作为本发明的进一步改进，所述分液筒面向入液筒的端面且呈围绕出液管道所形成的第一通道口凹设供第三密封圈部分容置的第三密封槽。

作为本发明的进一步改进，所述分液筒侧部开设连通中空腔体的第一孔洞与第二孔洞；

所述分流组件还包括：设置于分液筒侧部且连通第一孔洞的第一管道。

作为本发明的进一步改进，所述分液组件还包括：设置于第一管道侧部以分别连通第一孔洞与第一管道的第二管道。

作为本发明的进一步改进，所述出液管道被配置为三个，且自入液筒所在中心轴线呈对称设置，所述驱动电机被配置为三位旋转气缸。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

于入液筒开设纵向贯穿入液筒的入液管道，并与分液筒开设至少两个纵向贯穿分液筒的出液管道，驱动组件驱动入液筒绕入液筒所在中心轴线转动，由入液管道分别与不同出液管道对接形成供不同液体流通的排液管道以供不同类别液体进行排放，不同类别液体分别对应一个排放管道，无需对排液管道进行清洗，以保证了不同类别液体的收集效率。

附图说明

图1为本发明所示出的一种分流排阀于一种视角下的立体图；

图2为本发明所示出的一种分流排阀于另一种视角下的立体图；

图3为分流排阀的纵向剖视图；

图4为底座与分液筒于一种视角下的立体图；

图5为入液筒于一种视角下的立体图。

具体实施方式

下面结合附图所示的各实施方式对本发明进行详细说明，但应当说明的是，这些实施方式并非对本发明的限制，本领域普通技术人员根据这些实施方式所作的功能、方法、或者结构上的等效变换或替代，均属于本发明的保护范围之内。

需要说明的是，术语“纵向”是指沿入液筒11或者分液筒12或者驱动轴40所在中心轴线所在的方向，也即，图1所示出的轴线C所在的方向。术语“横向”是指垂直于“纵向”所在的方向。

请参图1至图5所示，本发明示出了一种分流排阀100的一种具体实施方式，该分流排阀100用于对同一工艺腔体内不同时段所排放的不同类别液体(例如，有机废液、无机废液以及清洗废液等)进行独立排放，并将其(即，不同类别液体)收集至不同容器中，以避免出现不同类型液体排放时出现大量混合所导致的不安全情况。示例性地，于入液筒11开设纵向贯穿入液筒11的入液管道13，于分液筒12开设至少两个纵向贯穿分液筒12的出液管道14，由驱动组件20驱动入液筒11绕其(即，入液筒11)所在中心轴线(即，轴线C)转动，以由入液管道13分别与不同出液管道14对接形成供不同类别液体流通的排液管道15，进而通过不同出液管道14实现对不同类别液体的排放。

具体而言，将分流排阀100与工艺腔体(未示出)实现有效链接配合，以由入液管道13所包含的入液口131与工艺腔体的排液口(未示出)形成对接，并将分流排阀100与分别供不同类别液体容置的不同容器实现有效链接配合，以由出液管道14所包含的第二通道口142与容器的进液口(未示出)形成对接。通过驱动组件20驱动入液筒11绕轴线C转动，以带动入液管道13所包含的出液口132分别与不同出液管道14所包含的第一通道口141形成对接，液体从工艺腔体内自入液口131流入入液管道13内，自出液口132流出入液管道13，并自第一通道口141流入出液管道14，自第二通道口142流出出液管道14，进而流入与第二通道口142对接的容器内，以最终实现对液体的收集。

需要说明的是，在本申请中，通过驱动组件20驱动入液筒11绕轴线C转动，以解决现有技术中由同一阀件驱动多个气缸所存在的成本较高的问题；由入液管道13分别与不同出液管道14对接形成不同的排液通道15，以由不同排液通道15实现对不同类别液体的独立排放，并由不同容器对不同类别液体进行独立收集，无需对排液通道15进行清洗，以提高了液体的收集效率，进而解决现有技术中“一进多出”类阀件在工业废液收集之后需要对管道进行清洗所存在的效率低下的问题；于分液筒12面向入液筒11端面凸设第三密封圈(未示出)，该第三密封圈呈围绕出液管道15所形成的第一通道口141设置，以通过第三密封圈保证入液管道13与出液管道14之间的密封性，进而解决现有技术中气缸下压密封所存在的密封效果不佳的问题。

参图1、图3至图5所示，分流排阀100包括：底座30，设置于底座30侧部的分流组件10，以及设置于底座30顶端以驱动分流组件10的驱动组件20。底座30设置于驱动组件20底端以对驱动组件20起到支撑作用。分流组件10包括：自上而下同轴依次设置的入液筒11与分液筒12，入液筒11开设纵向贯穿入液筒11的入液管道13，分液筒12开设至少两个纵向贯穿分液筒12的出液管道14；通过驱动组件20驱动入液筒11绕入液筒11所在中心轴线(即，轴线C)转动，以由入液管道13分别与不同出液管道14对接形成供不同类别液体流通的排液管道15。入液筒11自对称中心处开设第一贯穿孔114，分液筒12自对称中心处开设第二贯穿孔125，通过一驱动轴40连续贯穿第一贯穿孔114与第二贯穿孔125，以实现入液筒11与分液筒12的同轴装配，入液筒11所在中心轴线、分液筒12所在中心轴线以及驱动轴40所在中心轴线为同一轴线，也即，图1所示出的轴线C。

参图3所示，分流组件10还包括：设置于驱动轴40顶端的端盖41，端盖41设置于驱动轴40顶端以对驱动轴40顶端起到遮蔽作用，从而防止出现液体自驱动轴40顶端流入驱动轴40内部并对其造成损伤的情况，进而起到对驱动轴40的保护作用，并进一步保证了分流排阀100的使用寿命。对于端盖41与入液筒11的连接方式，端盖41与入液筒11呈可拆卸连接，并具体而言，端盖41开设至少第一连接孔42，入液筒11开设对应于第一连接孔42的第二连接孔115，通过一连接件(未示出，例如可以是螺钉)连续贯穿第一连接孔42与第二连接孔115以将端盖41可拆卸安装于入液筒11上，进而便于后续对端盖41的简单更换。

参图3至图5所示，入液筒11开设纵向贯穿入液筒11的入液管道13，分液筒12开设至少两个纵向贯穿分液筒12的出液管道14，通过驱动组件20驱动入液筒11绕入液筒11所在中心轴线(即，图1所示出的轴线C)转动，由入液管道13分别与不同出液管道14对接形成供不同液体流通的排液管道15，同一工艺腔体不同时段所排放的不同类别液体通过同一入液管道13流出并自不同出液管道14流出，也即，不同类别液体自不同排液管道15实现排放，不同类别液体分别对应不同的排液管道15，从而在某个类别液体排放之后不需对排液管道15进行清洗，进而解决了现有技术中“一进多出”类阀件在工业废液收集之后需要对管道进行清洗所存在的效率低下的问题。

需要说明的是，本申请中的排液管道15由同一入液管道13分别与不同出液管道14对接形成，换而言之，不同排液管道15共用同一入液管道13，入液管道13在驱动组件20的驱动组件下分别与不同出液管道14实现对接，进而由液体自入液管道13进入由出液管道14排出，也即，本申请中通过入液管道13引导不同类别液体流入不同出液管道14，进而实现对不同类别液体的独立收集。虽然不同排液管道15共用同一入液管道13，但由于入液管道13为纵向贯穿入液筒11设置，在液体自身重力的作用下，可有效避免液体于入液管道13内发生大量残留的情况；同时，于工艺角度可将入液筒11的纵向厚度设置得较小，进而缩短入液管道13内部的管道长度，以进一步避免液体于入液管道13内发生大量残留的情况。当然，对于入液管道13的纵向厚度，只要能够实现在驱动组件20的驱动作用下，由入液管道13分别与不同出液管道14对接形成排液管道15以供不同类别液体排放即可，本实施例对此不作具体限定。另外，本申请中通过驱动组件20驱动入液筒11绕轴线C转动，以形成不同排液管道15，对于驱动组件20的性能不作具体限定，只要能够实现驱动入液筒11转动即可，以解决现有技术中由同一阀件驱动多个气缸所存在的成本较高的问题。

参图1、图4以及图5所示，分液筒12内部形成供入液筒11部分容置的中空腔体A，入液筒11包括：容置于中空腔体A的引流筒111与设置于引流筒111顶端且被驱动组件20所驱动的第一驱动盖112，入液管道13连续贯穿第一驱动盖112与引流筒111；驱动组件20包括：设置于分流组件10侧部的驱动电机21与设置于驱动电机21顶端以被驱动电机21所驱动的第二驱动盖22。第一驱动盖112边缘处被构造出一圈第一齿轮113，第二驱动盖22边缘处被构造出一圈第二齿轮221，第一齿轮113与第二齿轮221相互匹配。通过驱动电机21驱动第二驱动盖22绕第二驱动盖22所在中心轴线(即，轴线D转动)，以在第一齿轮113与第二齿轮221相互匹配的作用下，带动第一驱动盖112绕轴线C转动，进而带动引流筒111绕轴线C转动，以带动入液筒11所开设的入液管道13绕轴线C转动。入液管道13所在中心点相对于中心轴线(即，轴线C)的垂直距离与出液管道14所在中心点相对于中心轴线(即，轴线C)的垂直距离相等，进而保证在入液管道13绕轴线C转动时，可由入液管道13与出液管道14形成对接，进而由入液管道13与出液管道14组合形成排液管道15以供液体排放。

需要说明的是，对于引流筒111与第一驱动盖112的设置方式，引流筒111与第一驱动盖112可呈一体式结构，也可呈分体式结构，当二者(即，引流筒111与第一驱动盖112)呈分体式结构时，可由连接件(未示出)将引流筒111与第一驱动盖112固定连接，以由引流筒111与第一驱动盖112装配时形成供液体流通的入液通道13。前述通过驱动组件20驱动第二驱动盖22绕轴线D转动，以通过第一齿轮113与第二齿轮221相互匹配的作用下，带动第一驱动盖112绕轴线C转动，以实现入液管道13分别与不同出液管道14的对接；也可将驱动组件20配置为马达配合齿轮齿条的驱动方式予以实现，只要能够实现在驱动组件20的驱动作用下带动入液管道13分别与不同出液管道14的对接以形成不同排液管道15即可。

将出液管道14配置为三个予以示范性说明，对于三个出液管道14的设置方式，可自分液筒12所在中心轴线(即，轴线C)呈对称设置，也可不呈对称设置，只要能够保证出液管道14所在中心点相对于轴线C的垂直距离与入液管道13所在中心点相对于中心轴线(即，轴线C)的垂直距离相等，进而保证入液管道13与出液管道14能够实现对接即可。此时，可将驱动电机21配置为三位旋转气缸，以实现入液管道13三个位置的转换，进而分别与不同出液管道14实现对接进而形成不同排液管道15。

参图3所示，入液筒11部分容置于分液筒12内(即，引流筒111容置于分液筒12内)，为了减少入液筒11在驱动组件20的驱动作用下绕轴线C转动时分液筒12内侧壁与驱动轴40的外侧壁对入液筒11所产生的阻力，入液筒11所包含的引流筒111容置于中空腔体A内并与分液筒12形成一定间隙(即，间隙126)，以保证引流筒111于分液筒12内转动的灵活性。

参图3与图4所示，分液筒12所开设的第二贯穿孔125边缘处形成纵向向上延伸的凸起部126，并于分液筒12面向入液筒11端面凹设呈包围凸起部126的第一密封槽127，于第一密封槽127内设置部分容置的第一密封圈(未示出)，以防止在入液筒11绕轴线C转动时，出现入液管道13内侧壁所残留的液体自间隙126流入驱动轴40内，并对驱动轴40造成损坏的情况。同理，入液筒11所开设的第一贯穿孔114内侧向外凹设第二密封槽141，并于第二密封槽141内设置第二密封圈(未示出)，以防止出现液体沿驱动轴40向上蔓延至驱动轴40顶端并对驱动轴40造成损坏的情况。

为了保证入液管道13与出液管道14对接处的密封性，分液筒12还包括：凸设于分液筒12面向入液筒11的端面的第三密封圈(未示出)，该第三密封圈呈围绕出液管道14所形成的第一通道口151设置，以通过第三密封圈对入液筒11与分液筒12所形成的间隙(即，间隙126)进行密封，进而保证入液管道13与出液管道14对接处的密封性，从而解决现有技术中气缸下压密封所存在的密封效果不佳的问题。分液筒12面向入液筒11端面凹设供第三密封圈部分容置的第三密封槽152，第三密封槽152呈围绕出液管道14所形成的第一通道口151设置，通过第三密封槽152部分容置第三密封圈以实现第三密封圈横向位置的固定，且第三密封圈部分容置于第三密封槽152中，通过部分突出于第三密封槽152的部分第三密封圈对入液筒11与分液筒12所形成的间隙(即，间隙126)进行密封，进而保证入液管道13与出液管道14对接处的密封性。

参图1、图2以及图4所示，分液筒12侧部开设连通中空腔体A的第一孔洞123与第二孔洞124，分流组件10还包括：设置于分液筒12侧壁且连通第一孔洞123的第一管道16，可通过第二孔洞124与第一管道16对入液筒11与分液筒12之间所形成的间隙126进行清洗。并具体为，清洗液(例如，去离子水)自第二孔洞124流入间隙126内，并自第一管道16排出间隙126内，以对在入液筒11转动过程中入液管道13内侧壁所残留的并流入间隙126的液体进行清洗。同时，在清洗过程中，分流排阀100可不间断对液体进行排放，以进一步提高了收集效率。

分流组件10还包括：设置于第一管道16侧部以分别连通第一孔洞123与第一管道16的第二管道17，在清洗液对间隙126清洗之后，可通过第二管道17与第二孔洞124对间隙126进行烘干，以保证间隙126内部干燥，进而防止出现清洗液与不同类别液体混合所造成的不安全情况。并具体为，将第一管道16作封闭处理，烘干气体(例如，氮气)自第二管道17进入间隙126，并可同时进行第一管道16内，自第二孔洞124排出，以实现对第一管道16与间隙126的烘干。

上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本发明的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本发明的保护范围，凡未脱离本发明技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本发明的保护范围之内。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (10)

1.一种分流排阀，其特征在于，包括：

分流组件与驱动所述分流组件的驱动组件；

所述分流组件包括：自上而下同轴依次设置的入液筒与分液筒，所述入液筒开设纵向贯穿入液筒的入液管道，所述分液筒开设至少两个纵向贯穿分液筒的出液管道；

通过驱动组件驱动入液筒绕入液筒所在中心轴线转动，由入液管道分别与不同出液管道对接形成供不同液体流通的排液管道。

2.根据权利要求1所述的分流排阀，其特征在于，所述分液筒内部形成供入液筒部分容置的中空腔体。

3.根据权利要求2所述的分流排阀，其特征在于，所述入液筒包括：容置于中空腔体的引流筒与设置于引流筒顶端且被所述驱动组件所驱动的第一驱动盖；

所述入液管道连续贯穿第一驱动盖与引流筒。

4.根据权利要求3所述的分流排阀，其特征在于，所述驱动组件包括：设置于分流组件侧部的驱动电机与设置于所述驱动电机顶端以被所述驱动电机所驱动的第二驱动盖；

所述第一驱动盖边缘处被构造出一圈第一齿轮，所述第二驱动盖边缘处被构造出一端与所述第一齿轮匹配的第二齿轮，由驱动电机驱动第二驱动盖转动以带动第一驱动盖转动。

5.根据权利要求3所述的分流排阀，其特征在于，所述引流筒容置于中空腔体内并与分液筒形成一定间隙。

6.根据权利要求5所述的分流排阀，其特征在于，所述分液筒还包括：凸设于分液筒面向入液筒端面的第三密封圈，所述第三密封圈呈围绕出液管道所形成的第一通道口设置。

7.根据权利要求6所述的分流排阀，其特征在于，所述分液筒面向入液筒的端面且呈围绕出液管道所形成的第一通道口凹设供第三密封圈部分容置的第三密封槽。

8.根据权利要求6所述的分流排阀，其特征在于，所述分液筒侧部开设连通中空腔体的第一孔洞与第二孔洞；

所述分流组件还包括：设置于分液筒侧部且连通第一孔洞的第一管道。

9.根据权利要求8所述的分流排阀，其特征在于，所述分液组件还包括：设置于第一管道侧部以分别连通第一孔洞与第一管道的第二管道。

10.根据权利要求4所述的分流排阀，其特征在于，所述出液管道被配置为三个，且自入液筒所在中心轴线呈对称设置，所述驱动电机被配置为三位旋转气缸。