CN116924498A - 一种半导体车间超纯水系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体车间超纯水系统，包括滤气机构，滤气机构的一侧连接有注氧机构，注氧机构的底端设置有底架，注氧机构上设置有溶氧机构；注氧机构包括第一三通管，且注氧机构通过第一三通管与滤气机构相连，第一三通管的两个输出端分别设置有第一电磁阀，且第一三通管的两个输出端分别紧密连接有密封储液仓，两个密封储液仓的同一侧内壁分别设置有排水口，且每个排水口上分别设置有第二电磁阀，两个密封储液仓的相对一侧内壁分别穿插有多个注氧头，且多个注氧头分为两组，每组注氧头分别连接有通气总管。本发明公开的半导体车间超纯水系统具有在流动水的处理过程中精准控制超纯水内的含氧量的效果。

Description

一种半导体车间超纯水系统

技术领域

本发明涉及超纯水处理技术领域，尤其涉及一种半导体车间超纯水系统。

背景技术

半导体芯片制造工艺对水质的要求极为严格，纯水质量对半导体芯片的性能、质量、成品率有极大的影响。

其中，超纯水又称UP水，是指电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素。可以用于超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程。

半导体芯片对于超纯水的含氧量也有一定需求，故超纯水在处理过程中也需要对其含氧量进行控制。一般的控制方式是利用脱气膜进行水内氧气的脱离，但含氧量的控制是通过保留部分氧气来使含氧量控制在一定范围。由此，含氧量的控制并不十分精准。

发明内容

本发明公开一种半导体车间超纯水系统，旨在解决超纯水内含氧量的控制并不十分精准的技术问题。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种半导体车间超纯水系统，包括滤气机构，所述滤气机构的一侧连接有注氧机构，注氧机构的底端设置有底架，注氧机构上设置有溶氧机构；

注氧机构包括第一三通管且注氧机构通过第一三通管与滤气机构相连，第一三通管的两个输出端分别设置有第一电磁阀且第一三通管的两个输出端分别紧密连接有密封储液仓，两个密封储液仓的同一侧内壁分别设置有排水口且每个排水口上分别设置有第二电磁阀，两个密封储液仓的相对一侧内壁分别穿插有多个注氧头且多个注氧头分为两组，每组注氧头分别连接有通气总管，两个通气总管同时通过第二三通管连接有注氧机且两个通气总管上分别设置有第三电磁阀，每个密封储液仓的顶端内壁分别贴合有感应板。

通过设置有注氧机构和滤气机构，经过过滤后的水通入滤气机构后，过滤掉其内部的空气后，通入注氧机构中，过程中，通过第一电磁阀的切换，顺序注入两个密封储液仓中，水面接触到感应板时停止，切换另一个密封储液仓使用，其中通过注氧机由多个注氧头向两个密封储液仓中注入氧气，由于密封储液仓的空间固定，通过调节注氧机的注氧量即可精准控制超纯水内的含氧量，由此，可实现在流动水的处理过程中精准控制超纯水内的含氧量的作用。

在一个优选的方案中，所述溶氧机构包括超声波发生器，超声波发生器同时固定在底架上，超声波发生器同时连接有多个超声波振动头且多个超声波振动头分别固定在两个密封储液仓的同侧内壁，每个所述密封储液仓的顶端内壁分别贴合有导热板且感应板位于导热板的中间位置，导热板的顶端外壁贴合有散热片，每个所述密封储液仓的顶端分别设置有方形孔，且散热片穿过方形孔，底架的顶端设置有多个导风扇且导风扇的出风口对应于散热片位置，每个密封储液仓的底端内壁分别设置有加热片。

通过设置有溶氧机构，当注氧机构向水内进行注氧时，基于热水的密度小于冷水的原理，密封储液仓内的水形成上下循环移位以及同步震荡，从而在注氧时有效提高溶氧效率。

在一个优选的方案中，所述滤气机构包括封闭外壳体且封闭外壳体的顶端内壁固定连接有多个负压吸引器，封闭外壳体内部设置有脱气膜组，且脱气膜组呈涡状设置，所述脱气膜组的一侧内壁紧密连接有多通注液管且多通注液管穿过封闭外壳体，脱气膜组的另一侧内壁紧密连接有多通出液管且多通出液管与第一三通管相连，所述脱气膜组包括软性支撑架且软性支撑架外包裹有脱气膜，包裹后的脱气膜呈空心状态，所述脱气膜之间等密度设置有多个隔断膜且多个隔断膜上分别设置有槽口，多个槽口呈上下交错设置。

通过设置有滤气机构，由于脱气膜组呈涡状设置，当水通入脱气膜组后，保障脱气膜组内的水可均匀蔓延及填充在脱气膜组内，当在负压吸引器的作用下，利用脱气膜过滤掉水内空气时，在此结构下可以保障流动水的同步空气过滤以及提高其过滤效率和空气的完全过滤，进一步保障注氧机构中氧气含量的精准控制。

由上可知，本发明提供的半导体车间超纯水系统具有在流动水的处理过程中精准控制超纯水内的含氧量的技术效果。

附图说明

图1为本发明提出的一种半导体车间超纯水系统的立体结构示意图。

图2为本发明提出的滤气结构内部结构示意图。

图3为本发明提出的滤气机构展开结构示意图。

图4为本发明提出的溶氧机构和注氧机构外观结构示意图。

图5为本发明提出的注氧机构拆分结构示意图。

图6为本发明提出的溶氧机构截面图。

图中：1、滤气机构；2、注氧机构；3、溶氧机构；4、注氧机；5、底架；101、封闭外壳体；102、多通注液管；103、负压吸引器；104、脱气膜组；105、多通出液管；106、软性支撑架；107、脱气膜；108、隔断膜；109、槽口；201、第一三通管；202、第一电磁阀；203、密封储液仓；204、第二电磁阀；205、排水口；206、注氧头；207、通气总管；208、第三电磁阀；209、第二三通管；210、感应板；301、方形孔；302、散热片；303、导风扇；304、超声波振动头；305、超声波发生器；306、导热板；307、加热片。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1、图4和图5，本实施例提供的一种半导体车间超纯水系统，包括滤气机构1，滤气机构1的一侧连接有注氧机构2，注氧机构2的底端设置有底架5，注氧机构2上设置有溶氧机构3。

其中，注氧机构2包括第一三通管201且注氧机构2通过第一三通管201与滤气机构1相连，第一三通管201的两个输出端分别设置有第一电磁阀202且第一三通管201的两个输出端分别紧密连接有密封储液仓203，两个密封储液仓203的同一侧内壁分别设置有排水口205且每个排水口205上分别设置有第二电磁阀204，两个密封储液仓203的相对一侧内壁分别穿插有多个注氧头206且多个注氧头206分为两组，每组注氧头206分别连接有通气总管207，两个通气总管207同时通过第二三通管209连接有注氧机4且两个通气总管207上分别设置有第三电磁阀208，每个密封储液仓203的顶端内壁分别贴合有感应板210。

参照图5在一个优选的实施方式中，溶氧机构3包括超声波发生器305，超声波发生器305同时固定在底架5上，超声波发生器305同时连接有多个超声波振动头304且多个超声波振动头304分别固定在两个密封储液仓203的同侧内壁。

参照图6在一个优选的实施方式中，每个密封储液仓203的顶端内壁分别贴合有导热板306且感应板210位于导热板306的中间位置，导热板306的顶端外壁贴合有散热片302。

参照图4和图6，在一个优选的实施方式中，每个密封储液仓203的顶端分别设置有方形孔301且散热片302穿过方形孔301，底架5的顶端设置有多个导风扇303且导风扇303的出风口对应于散热片302位置，每个密封储液仓203的底端内壁分别设置有加热片307。

参照图2，在一个优选的实施方式中，滤气机构1包括封闭外壳体101且封闭外壳体101的顶端内壁固定连接有多个负压吸引器103，封闭外壳体101内部设置有脱气膜组104，且脱气膜组104呈涡状设置。

参照图2，在一个优选的实施方式中，脱气膜组104的一侧内壁紧密连接有多通注液管102且多通注液管102穿过封闭外壳体101，脱气膜组104的另一侧内壁紧密连接有多通出液管105且多通出液管105与第一三通管201相连。

参照图3，在一个优选的实施方式中，脱气膜组104包括软性支撑架106且软性支撑架106外包裹有脱气膜107，包裹后的脱气膜107呈空心状态。

参照图3，在一个优选的实施方式中，脱气膜107之间等密度设置有多个隔断膜108且多个隔断膜108上分别设置有槽口109，多个槽口109呈上下交错设置。

本发明的工作原理：

经过过滤后的水通入滤气机构1后，过滤掉其内部的空气后，通入注氧机构2中，过程中，通过第一电磁阀202的切换，顺序注入两个密封储液仓203中，水面接触到感应板210时停止，切换另一个密封储液仓203使用，其中通过注氧机4由多个注氧头206向两个两个密封储液仓203中注入氧气，由于密封储液仓203的空间固定，通过调节注氧机4的注氧量即可精准控制超纯水内的含氧量，由此，可实现在流动水的处理过程中精准控制超纯水内的含氧量的作用；

当注氧机构向水内进行注氧时，超声波发生器305通过多个超声波振动头304向水内通入超声波，并在超声波的作用下产生震荡，同步的，散热片302和加热片307同步工作，位于上方的水与散热片302接触，通过导风扇303进行散热，相应的，下方的水通过加热片307加热，基于热水的密度小于冷水的原理，密封储液仓203内的水形成上下循环移位以及同步震荡，从而在注氧时有效提高溶氧效率；

另外，由于脱气膜组104呈涡状设置，当水通入脱气膜组104后，在有限的封闭外壳体101空间内，可达到较长的液体流通长度，再通过多个槽口109的交错设置，保障脱气膜组104内的水可均匀蔓延及填充在脱气膜组104内，当在负压吸引器103的作用下，利用脱气膜107过滤掉水内空气时，在此结构下可以保障流动水的同步空气过滤以及提高其过滤效率和空气的完全过滤，进一步保障注氧机构2中氧气含量的精准控制。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种半导体车间超纯水系统，其特征在于，包括滤气机构(1)，所述滤气机构(1)的一侧连接有注氧机构(2)，所述注氧机构(2)的底端设置有底架(5)，所述注氧机构(2)上设置有溶氧机构(3)；

所述注氧机构(2)包括第一三通管(201)且注氧机构(2)通过第一三通管(201)与滤气机构(1)相连，第一三通管(201)的两个输出端分别设置有第一电磁阀(202)且第一三通管(201)的两个输出端分别紧密连接有密封储液仓(203)，两个密封储液仓(203)的同一侧内壁分别设置有排水口(205)且每个排水口(205)上分别设置有第二电磁阀(204)，两个密封储液仓(203)的相对一侧内壁分别穿插有多个注氧头(206)且多个注氧头(206)分为两组，每组注氧头(206)分别连接有通气总管(207)，两个通气总管(207)同时通过第二三通管(209)连接有注氧机(4)且两个通气总管(207)上分别设置有第三电磁阀(208)，每个密封储液仓(203)的顶端内壁分别贴合有感应板(210)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体车间超纯水系统，其特征在于，所述溶氧机构(3)包括超声波发生器(305)，超声波发生器(305)同时固定在底架(5)上，超声波发生器(305)同时连接有多个超声波振动头(304)且多个超声波振动头(304)分别固定在两个密封储液仓(203)的同侧内壁。

3.根据权利要求2所述的一种半导体车间超纯水系统，其特征在于，每个所述密封储液仓(203)的顶端内壁分别贴合有导热板(306)且感应板(210)位于导热板(306)的中间位置，导热板(306)的顶端外壁贴合有散热片(302)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体车间超纯水系统，其特征在于，每个所述密封储液仓(203)的顶端分别设置有方形孔(301)，且散热片(302)穿过方形孔(301)，底架(5)的顶端设置有多个导风扇(303)，且导风扇(303)的出风口对应于散热片(302)位置，每个密封储液仓(203)的底端内壁分别设置有加热片(307)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体车间超纯水系统，其特征在于，所述滤气机构(1)包括封闭外壳体(101)且封闭外壳体(101)的顶端内壁固定连接有多个负压吸引器(103)，封闭外壳体(101)内部设置有脱气膜组(104)且脱气膜组(104)呈涡状设置。

6.根据权利要求5所述的一种半导体车间超纯水系统，其特征在于，所述脱气膜组(104)的一侧内壁紧密连接有多通注液管(102)且多通注液管(102)穿过封闭外壳体(101)，脱气膜组(104)的另一侧内壁紧密连接有多通出液管(105)且多通出液管(105)与第一三通管(201)相连。

7.根据权利要求6所述的一种半导体车间超纯水系统，其特征在于，所述脱气膜组(104)包括软性支撑架(106)且软性支撑架(106)外包裹有脱气膜(107)，包裹后的脱气膜(107)呈空心状态。

8.根据权利要求7所述的一种半导体车间超纯水系统，其特征在于，所述脱气膜(107)之间等密度设置有多个隔断膜(108)且多个隔断膜(108)上分别设置有槽口(109)，多个槽口(109)呈上下交错设置。