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CN116835339A - 金属粉末装料装置 - Google Patents

金属粉末装料装置 Download PDF

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CN116835339A
CN116835339A CN202310966109.XA CN202310966109A CN116835339A CN 116835339 A CN116835339 A CN 116835339A CN 202310966109 A CN202310966109 A CN 202310966109A CN 116835339 A CN116835339 A CN 116835339A
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CN
China
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metal powder
opening
lifting
charging device
base
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CN202310966109.XA
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Inventor
姚力军
李桂鹏
杨俊杰
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Tongchuang Lishui Special Materials Co ltd
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Tongchuang Lishui Special Materials Co ltd
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Abstract

本发明涉及半导体溅射靶材装料回收技术领域，尤其涉及一种金属粉末装料装置。该金属粉末装料装置包括料仓、转运车和升降车。料仓内盛装有氢化钽金属粉末，料仓呈倒锥形状，料仓的上端设置有第一开口，料仓的下端设置有第二开口，料仓上设置有阀门，阀门用于启闭第二开口。转运车用于转运料仓，转运车能够将料仓转运至下料处，以使第一开口连通氢化钽破碎装置的出料口。升降车上设置有计量称，计量称上放置有坩埚，升降车位置可调节地设置在料仓下方，以使第二开口正对坩埚，计量称用于称重坩埚内的氢化钽金属粉末的重量。该金属粉末装料装置无需人工将氢化钽金属粉末铲入坩埚中，减少了作业人员的劳动强度，提高工作效率，节约成本。

Description

金属粉末装料装置
技术领域
本发明涉及半导体溅射靶材装料回收技术领域，尤其涉及一种金属粉末装料装置。
背景技术
钽属于分布少，较为稀缺的金属元素，在地壳中的平均含量为1.7×10-6(克拉克值)。钽资源相对短缺，钽作为一种稀贵的战略物资，回收再利用钽具有重要的意义。
钽制品在加工过程中会产生一些边角料，这些含有钽元素的边角料是钽的重要回收资源之一。常用的回收工艺是氢化制粉工艺。钽金属在一定的温度和压力条件下，氢气分子会分解成单个的原子，而这些氢原子会进入钽原子之间的缝隙中，并与钽金属进行化学反应生成氢化钽，钽的氢化回收利用了氢化钽性脆的特征，可以使用破碎、研磨等方法，将钽金属制成氢化钽粉末，通过脱氢得到高纯钽粉末。
通常采用脱氢炉进行脱氢工艺，在脱氢工艺中为保证高纯金属粉末的纯度，需要将破碎完成的氢化金属粉末(氢化钽粉末)均匀的装入坩埚内并放置在坩埚支架上，然后再将装有氢化金属粉末的坩埚和支架悬空吊入脱氢炉完成脱氢处理。在装料时，传统的操作方法是将物料通过人工铲料的方式装入坩埚中，作业人员劳动强度较大，生产效率低下，增加成本。
因此，亟需设计一种金属粉末装料装置，来解决以上技术问题。
发明内容
本发明的目的在于提出一种金属粉末装料装置，无需人工将氢化钽金属粉末铲入坩埚中，减少了作业人员的劳动强度，提高工作效率。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
本发明提供一种金属粉末装料装置，包括：
料仓，所述料仓内盛装有氢化钽金属粉末，所述料仓呈倒锥形状，所述料仓的上端设置有第一开口，所述料仓的下端设置有第二开口，所述第一开口的孔径大于所述第二开口的孔径，所述料仓上设置有阀门，所述阀门用于启闭所述第二开口；
转运车，所述转运车用于转运所述料仓，所述转运车能够将所述料仓转运至下料处，以使所述第一开口连通氢化钽破碎装置的出料口；所述转运车能够将所述料仓吊挂至装料处；
升降车，所述升降车上设置有计量称，所述计量称上放置有坩埚，所述升降车位置可调节地设置在所述料仓下方，以使所述第二开口正对所述坩埚，所述计量称用于称重所述坩埚内的所述氢化钽金属粉末的重量。
作为一种金属粉末装料装置的可选技术方案，所述装料处设置有钩挂部，所述料仓上设置有吊装柱，所述吊装柱可拆卸地吊挂在所述钩挂部上。
作为一种金属粉末装料装置的可选技术方案，所述阀门包括法兰蝶阀或快装蝶阀。
作为一种金属粉末装料装置的可选技术方案，所述转运车包括第一底座、第一万向轮和第一推手，所述第一底座的下端面设置有所述第一万向轮，所述第一推手与所述第一底座连接。
作为一种金属粉末装料装置的可选技术方案，所述第一底座的上端面设置有支撑柱，所述支撑柱用于支撑所述料仓。
作为一种金属粉末装料装置的可选技术方案，所述第一底座上开设有避让孔，所述避让孔用于避让所述料仓的下端。
作为一种金属粉末装料装置的可选技术方案，所述升降车包括第二底座和升降平板，所述第二底座和所述升降平板之间设置有升降杆，所述升降杆能够驱动所述升降平板升降运动，所述计量称设置在所述升降平板上。
作为一种金属粉末装料装置的可选技术方案，所述升降杆包括电动推杆或液压推杆。
作为一种金属粉末装料装置的可选技术方案，所述升降车还包括第二万向轮和第二推手，所述第二万向轮设置在所述第二底座的下端面，所述第二推手与所述第二底座连接。
作为一种金属粉末装料装置的可选技术方案，所述第二推手倾斜设置，以使所述第二推手与所述第二底座之间形成避让部。
本发明的有益效果至少包括：
本发明提供一种金属粉末装料装置，该金属粉末装料装置包括料仓、转运车和升降车。其中，料仓内盛装有氢化钽金属粉末，料仓呈倒锥形状，料仓的上端设置有第一开口，料仓的下端设置有第二开口，第一开口的孔径大于第二开口的孔径，料仓上设置有阀门，阀门用于启闭第二开口。转运车用于转运料仓，转运车能够将料仓转运至下料处，以使第一开口连通氢化钽破碎装置的出料口；转运车能够将料仓吊挂至装料处。升降车上设置有计量称，计量称上放置有坩埚，升降车位置可调节地设置在料仓下方，以使第二开口正对坩埚，计量称用于称重坩埚内的氢化钽金属粉末的重量。通过料仓、转运车、升降车、计量称和坩埚的设置，使得该金属粉末装料装置无需人工将氢化钽金属粉末铲入坩埚中，减少了作业人员的劳动强度，提高工作效率，达到节约成本的目的。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对本发明实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本发明实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例所提供的金属粉末装料装置(未显示转运车)的结构示意图；
图2为本发明实施例所提供的料仓和转运车的结构示意图；
图3为本发明实施例所提供的料仓的结构示意图；
图4为本发明实施例所提供的转运车的结构示意图；
图5为本发明实施例所提供的升降车的结构示意图。
附图标记
100、料仓；110、第一开口；120、第二开口；130、阀门；140、吊装柱；
200、转运车；210、第一底座；220、第一万向轮；230、第一推手；240、支撑柱；250、避让孔；
300、升降车；310、计量称；320、坩埚；330、第二底座；340、升降平板；350、升降杆；360、第二万向轮；370、第二推手；380、避让部。
具体实施方式
为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
如图1-图5所示，本实施例提供一种金属粉末装料装置，该金属粉末装料装置主要包括料仓100、转运车200和升降车300。其中，料仓100内盛装有氢化钽金属粉末，料仓100呈倒锥形状，料仓100的上端设置有第一开口110，料仓100的下端设置有第二开口120，第一开口110的孔径大于第二开口120的孔径，料仓100上设置有阀门130，阀门130用于启闭第二开口120。转运车200用于转运料仓100，转运车200能够将料仓100转运至下料处，以使第一开口110连通氢化钽破碎装置的出料口；转运车200能够将料仓100吊挂至装料处。升降车300上设置有计量称310，计量称310上放置有坩埚320，升降车300位置可调节地设置在料仓100下方，以使第二开口120正对坩埚320，计量称310用于称重坩埚320内的氢化钽金属粉末的重量。
基于以上设计，在本实施例中，下料处设置有用于研磨破碎钽金属并形成氢化钽金属粉末的氢化钽破碎装置，在实际作业过程中，作业人员能够通过转运车200将料仓100转运至下料处，打开氢化钽破碎装置的出料口，关闭料仓100的阀门130，进而使得料仓100内盛装好氢化钽金属粉末，然后通过转运车200将料仓100转运至装料处，并且将料仓100吊挂在装料处，使得料仓100能够升起一定的高度。然后作业人员通过升降车300将计量称310和坩埚320推动至料仓100下方，料仓100的第二开口120正对坩埚320，打开阀门130，使得料仓100内的氢化钽金属粉末能够流动至坩埚320中，作业人员通过一边观察计量称310的数值，一边调节阀门130的开度，从而实现快速装料，节约成本，减少作业人员的劳动强度，从而避免了传统技术中人工铲料的操作步骤，提高工作效率。当然，本实施例中的阀门130还可以设置流量传感器，从而实现自动精确控制氢化钽金属粉末的装料量。需要指出的是，流量传感器属于现有技术中的标准件，此处对其工作原理和具体结构不做详细介绍。
可选地，本实施例中的阀门130可以设置为法兰蝶阀或快装蝶阀等等。
在一些可选的实施方式中，装料处设置有钩挂部，如图2-图3所示，料仓100上设置有吊装柱140，吊装柱140可拆卸地吊挂在钩挂部上。本实施例中的料仓100为倒锥形状，料仓100的外周侧设置有吊装柱140，从而有利于将料仓100吊挂起来，便于升降车300的升降动作。
如图4所示，在本实施例中，转运车200包括第一底座210、第一万向轮220和第一推手230，第一底座210的下端面设置有第一万向轮220，第一推手230与第一底座210连接，从而便于转运车200的移动。第一底座210的上端面设置有支撑柱240，支撑柱240用于支撑料仓100。且第一底座210上开设有避让孔250，避让孔250用于避让料仓100的下端，从而避免第一底座210与料仓100的下端发生碰撞，延长料仓100的使用寿命。通过转运车200能够实现对料仓100的转运，即实现料仓100在下料处和装料处之间的转运。
如图5所示，在本实施例中，升降车300包括第二底座330和升降平板340，第二底座330和升降平板340之间设置有升降杆350，升降杆350能够驱动升降平板340升降运动，计量称310设置在升降平板340上。通过升降杆350能够实现升降平板340的升降运动，从而使得坩埚320能够靠近第二开口120，避免氢化钽金属粉末掉落至坩埚320外部，提高装料效率。
可选地，本实施例中的升降杆350可以设置为电动推杆或液压推杆等等。
进一步地，在本实施例中，升降车300还包括第二万向轮360和第二推手370，第二万向轮360设置在第二底座330的下端面，第二推手370与第二底座330连接，从而便于升降车300的移动。
更进一步地，在本实施例中，第二推手370倾斜设置，以使第二推手370与第二底座330之间形成避让部380，从而有利于升降平台的升降运动，避免第二推手370与升降平台之间发生干涉现象。
可选地，本实施例中的金属粉末装料装置不局限于用于盛装并计量氢化钽金属粉末，还可以用于盛装并计量其他金属粉末，此处不再详述。
显然，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。
注意，在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

Claims (10)

1.金属粉末装料装置，其特征在于，包括：
料仓(100)，所述料仓(100)内盛装有氢化钽金属粉末，所述料仓(100)呈倒锥形状，所述料仓(100)的上端设置有第一开口(110)，所述料仓(100)的下端设置有第二开口(120)，所述第一开口(110)的孔径大于所述第二开口(120)的孔径，所述料仓(100)上设置有阀门(130)，所述阀门(130)用于启闭所述第二开口(120)；
转运车(200)，所述转运车(200)用于转运所述料仓(100)，所述转运车(200)能够将所述料仓(100)转运至下料处，以使所述第一开口(110)连通氢化钽破碎装置的出料口；所述转运车(200)能够将所述料仓(100)吊挂至装料处；
升降车(300)，所述升降车(300)上设置有计量称(310)，所述计量称(310)上放置有坩埚(320)，所述升降车(300)位置可调节地设置在所述料仓(100)下方，以使所述第二开口(120)正对所述坩埚(320)，所述计量称(310)用于称重所述坩埚(320)内的所述氢化钽金属粉末的重量。
2.根据权利要求1所述的金属粉末装料装置，其特征在于，所述装料处设置有钩挂部，所述料仓(100)上设置有吊装柱(140)，所述吊装柱(140)可拆卸地吊挂在所述钩挂部上。
3.根据权利要求1所述的金属粉末装料装置，其特征在于，所述阀门(130)包括法兰蝶阀或快装蝶阀。
4.根据权利要求1所述的金属粉末装料装置，其特征在于，所述转运车(200)包括第一底座(210)、第一万向轮(220)和第一推手(230)，所述第一底座(210)的下端面设置有所述第一万向轮(220)，所述第一推手(230)与所述第一底座(210)连接。
5.根据权利要求4所述的金属粉末装料装置，其特征在于，所述第一底座(210)的上端面设置有支撑柱(240)，所述支撑柱(240)用于支撑所述料仓(100)。
6.根据权利要求4所述的金属粉末装料装置，其特征在于，所述第一底座(210)上开设有避让孔(250)，所述避让孔(250)用于避让所述料仓(100)的下端。
7.根据权利要求1所述的金属粉末装料装置，其特征在于，所述升降车(300)包括第二底座(330)和升降平板(340)，所述第二底座(330)和所述升降平板(340)之间设置有升降杆(350)，所述升降杆(350)能够驱动所述升降平板(340)升降运动，所述计量称(310)设置在所述升降平板(340)上。
8.根据权利要求7所述的金属粉末装料装置，其特征在于，所述升降杆(350)包括电动推杆或液压推杆。
9.根据权利要求7所述的金属粉末装料装置，其特征在于，所述升降车(300)还包括第二万向轮(360)和第二推手(370)，所述第二万向轮(360)设置在所述第二底座(330)的下端面，所述第二推手(370)与所述第二底座(330)连接。
10.根据权利要求9所述的金属粉末装料装置，其特征在于，所述第二推手(370)倾斜设置，以使所述第二推手(370)与所述第二底座(330)之间形成避让部(380)。
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