CN1163173A - 一种生产钼圆片的粉末冶金方法 - Google Patents
一种生产钼圆片的粉末冶金方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1163173A CN1163173A CN 96118122 CN96118122A CN1163173A CN 1163173 A CN1163173 A CN 1163173A CN 96118122 CN96118122 CN 96118122 CN 96118122 A CN96118122 A CN 96118122A CN 1163173 A CN1163173 A CN 1163173A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- molybdenum
- sintering
- powder
- metellurgical
- forging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 32
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 30
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 title claims abstract description 30
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims abstract description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 29
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000005242 forging Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000004663 powder metallurgy Methods 0.000 claims description 7
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 4
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000004080 punching Methods 0.000 claims description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 6
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract 1
- 238000009740 moulding (composite fabrication) Methods 0.000 abstract 1
- 229940095676 wafer product Drugs 0.000 abstract 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
本发明涉及一种生产钼圆片的粉末冶金方法，主要包括粉末压制成型、烧结、机加工等工艺过程，本发明的特征在于：还包括热锻和退火工艺过程，利用本发明生产钼圆片，与轧制法相比，工艺流程短，节省能耗70％，材料利用率提高40％左右，由于钼圆片在生产过程中，未经过反复轧制，材料内部组织呈各向同性。本发明与传统粉末冶金方法相比，由于增加了热锻过程，生产的钼圆片的密度大大提高，其相对密度达95～98％钼理论密度，强度＞750MPa。
Description
本发明涉及一种生产钼园片特别是半导体器件硅芯片支撑座用钼园片的粉末冶金方法。
钼园片主要是用作半导体器件硅芯片支撑座。目前，钼园片的生产方法主要有轧制法和传统的粉末冶金方法。轧制法工艺流程长，材料利用率低(低于50％)，产品成本高，同时，用该方法生产的钼园片，材料内部组织容易出现织构即各向异性，严重影响半导件器件的性能。传统的粉末冶金方法主要包括压制、烧结、机加工等步骤，此方法工艺流程短，能耗低，材料利用率高，特别是材料内部组织基本上不存在织构，但存在有材料密度低(为92％钼理论密度)，强度低(σbb在220MPa左右)，因而存在有导电率低的缺点，影响了最终产品-半导体器件的性能。
为了解决以上问题，本发明提供了一种生产钼园片的粉末冶金热锻新方法。
本发明主要包括粉末压制成型、烧结、热锻、退火以及机加工等工艺过程，下面对各工艺过程作详细的说明：
本发明采用Mo-1粉或Mo-2粉(国标)作原料，按下述步骤进行生产。
1.压型。压型在钢模中进行，压力为600～1000MPa。
2.烧结。将压制好的钼园片压坯放入烧结炉中进行烧结，烧结温度为1400～1600℃，保温1～2小时，烧结气氛为氢气或分解氨气(H2+N2)。
3.热锻。将烧结好的钼园片坯冷却后在摩擦压力机上进行热锻，热锻温度为1100～1250℃，时间为0.5～1.5小时，锻造压力≥200MPa，加热保护气氛为氢气或分解氨气(H2+N2)。
4.退火。经热锻后的钼园片坯件在850～900℃下保温1～2小时，以消除锻造应力。
5.机加工。退火处理后的坯件经机加工后便可得到钼园片产品。
利用本发明生产钼园片，与轧制法相比，工艺流程短，节省能耗70％，材料利用率提高40％左右，由于钼园片在生产过程中，未经过反复轧制，材料内部组织呈各向同性。本发明与传统粉末冶金方法相比，由于增加了热锻过程，生产的钼园片的密度大大提高，其相对密度达95～98％钼理论密度，强度＞750MPa。
附图说明：
图1.本发明工艺流程图；
图2.轧制法生产的钼园片显微组织图；
图3.本发明生产的钼园片显微组织图。
下面结合附图对本发明作进一步的描述。
采用Mo-1标准的钼粉作原料，即钼粉粒度为10～20μm，钼含量≥99.95％，粉末压型压力为630MPa，经压制后进行烧结，烧结温度为1520℃，保温2.5小时，烧结时采用氨分解保护气氛，锻造温度为1175℃，保温0.5小时，采用氨分解保护气氛，退火温度为875℃，保温2小时，经机加工后得钼园片产品。所得钼园片，钼含量为99.95％，密度为9.8，导电率≥28％I.A.C.S，抗弯强度≥750MPa，热膨胀系数为(5±0.2)×106/℃。
Claims (1)
1.一种生产钼园片的粉末冶金方法，主要包括粉末压制成型、烧结、机加工等工艺过程，其特征在于：本发明还包括热锻和退火工艺过程，其中：
a.压型在钢模中进行，压力为600～1000MPa，
b.压制好的压坯放入烧结炉中进行烧结，烧结温度为1400～1600℃，保温1～2小时，烧结气氛为氢气或分解氨气(H2+N2)，
c.烧结好的钼园片坯经冷却后在摩擦压力机上进行热锻，热锻温度为1100～1250℃，时间为0.5～1.5小时，锻造压力≥200MPa，加热保护气氛为氢气或分解氨气(H2+N2)，
d.经热锻后的钼园片坯件在850～900℃下保温1～2小时，以消除锻造应力。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 96118122 CN1163173A (zh) | 1996-04-23 | 1996-04-23 | 一种生产钼圆片的粉末冶金方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 96118122 CN1163173A (zh) | 1996-04-23 | 1996-04-23 | 一种生产钼圆片的粉末冶金方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1163173A true CN1163173A (zh) | 1997-10-29 |
Family
ID=5124812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 96118122 Pending CN1163173A (zh) | 1996-04-23 | 1996-04-23 | 一种生产钼圆片的粉末冶金方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN1163173A (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100410007C (zh) * | 2006-01-26 | 2008-08-13 | 宜兴市科兴合金材料有限公司 | 钼坯压延法制钼圆片工艺 |
| CN100554469C (zh) * | 2007-12-17 | 2009-10-28 | 金堆城钼业股份有限公司 | 一种Mo－Si－Al－K冷轧薄钼板带材的制备方法 |
| CN101839295A (zh) * | 2010-05-31 | 2010-09-22 | 山东金麒麟集团有限公司 | 一种高速列车粉末冶金刹车片及其制备工艺 |
| CN103161915A (zh) * | 2011-12-08 | 2013-06-19 | 现代自动车株式会社 | 剪式齿轮结构及其制造方法 |
| CN112792308A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-05-14 | 有研工程技术研究院有限公司 | 一种连续感应式快淬炉用辊轮及其制造方法 |
-
1996
- 1996-04-23 CN CN 96118122 patent/CN1163173A/zh active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100410007C (zh) * | 2006-01-26 | 2008-08-13 | 宜兴市科兴合金材料有限公司 | 钼坯压延法制钼圆片工艺 |
| CN100554469C (zh) * | 2007-12-17 | 2009-10-28 | 金堆城钼业股份有限公司 | 一种Mo－Si－Al－K冷轧薄钼板带材的制备方法 |
| CN101839295A (zh) * | 2010-05-31 | 2010-09-22 | 山东金麒麟集团有限公司 | 一种高速列车粉末冶金刹车片及其制备工艺 |
| CN103161915A (zh) * | 2011-12-08 | 2013-06-19 | 现代自动车株式会社 | 剪式齿轮结构及其制造方法 |
| CN112792308A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-05-14 | 有研工程技术研究院有限公司 | 一种连续感应式快淬炉用辊轮及其制造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101580923A (zh) | 改善tc4钛合金铸锭性能的锻造方法 | |
| CN1243120C (zh) | 一种超薄高平整度钼片加工方法 | |
| CN108311621A (zh) | 一种轮毂单元法兰盘的锻造工艺 | |
| CN1163173A (zh) | 一种生产钼圆片的粉末冶金方法 | |
| CN101862751B (zh) | 钨铜合金薄板的冷轧方法 | |
| Decheng et al. | Defects caused in forming process of rotary forged parts and their preventive methods | |
| CN1408485A (zh) | 铜－钼－铜三层复合板的制造方法 | |
| CN206701967U (zh) | 一种制备高性能板材的剪切挤压‑轧制复合成形装置 | |
| CN101549459A (zh) | 单体液压支柱活塞生产工艺 | |
| CN1310065A (zh) | 汽车发电机用爪极热锻冷挤成型工艺 | |
| CN204685799U (zh) | 冲裁修边模具 | |
| US4973368A (en) | Method of manufacturing steel elements designed to withstand high stress, such as roller bearing elements | |
| RU2381083C1 (ru) | Способ изготовления лопаточных заготовок | |
| GB1397818A (en) | Method for manufacturing an object from iron-based alloys | |
| CN2241696Y (zh) | 一种等温压平机 | |
| CN111570606B (zh) | 兼具整体强度和冲裁面加工硬化的精冲模具及精冲方法 | |
| CN85105163A (zh) | 压制和烧结钨制品的生产方法 | |
| BR9811300A (pt) | Processo de prensagem única e sinterização única para a produção de artigos sinterizados, ferramenta para compressão de pó metálico para formar compactos para sinterização, e, artigo sinterizado | |
| CN1116942C (zh) | 以热轧圆钢冷挤压无切削成形的调整螺杆加工方法 | |
| CN202278134U (zh) | 一种钛合金汽轮机叶片超塑性成形系统 | |
| CN223234980U (zh) | 一种用于压力机球头螺杆毛坯加工的冲压模具 | |
| CN116000300B (zh) | 一种粉末冶金高速钢的制备方法 | |
| CN1239685A (zh) | 农机刀片的制造技术 | |
| CN219025659U (zh) | 一种多工位冲压模具 | |
| EP1031632A3 (en) | Production method of ultra fine grain steel |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C01 | Deemed withdrawal of patent application (patent law 1993) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |