CN116297844A - 一种超声扫描治具 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种超声扫描治具，包括底板，所述底板用于放置在超声扫描仪水箱中的支撑板上；所述底板上设置有第一限位块和第二限位块，所述第一限位块和第二限位块分别邻近底板的两侧壁，且所述第一限位块和第二限位块实现对固定塑封体的框架的两侧边框限位。本发明可解决因翘曲导致的无法扫描所需扫描部位的问题，减少重新扫描的次数，提高测试的效率，同时适用性强。

Description

一种超声扫描治具

技术领域

本发明涉及芯片封装技术领域，具体为一种超声扫描治具。

背景技术

在芯片封装完毕后，一般需要进行超声扫描，以判断各封装后芯片的塑封料内侧是否有孔洞；基岛与芯片之间的连接是否分层；键合线与芯片之间是否良好键合等。

目前对塑封体进行超声扫描的工作步骤大致为：将塑封完成后的框架平整放置在支撑板(亚克力板)上，选定一个塑封体进行扫描，根据反馈并显示在电脑上面的波形，判断出相应波形是塑封体、键合线、芯片或基岛部位的波形图，然后利用电脑框选所需检测部位的波形(这样在后续的扫描时，仅显示框选的波形，即只对所需的部位进行扫描)，然后对整个框架上的多个塑封体进行扫描，获得多个塑封体相应部位的情况，进而筛选出相应部位存在的缺陷情况。

由上述的工作过程可知，在实际进行扫描时，框架在支撑板上需要保持平整，这样在后续扫描时，才能完整的扫描整个框架上的塑封体。若存在翘曲或不平整的情况，则会导致在扫描时，多个塑封体的高度不在同一水平面上，无法扫描多个塑封体同一部位的情况(需要整体扫描完后，根据成像情况，才会判定出框架不平整)。就需要重新整平框架，重新选定基准的塑封体，进行重新框选波形等一系列的操作，且整体扫描本身需要几十分钟的时间，若因不平整导致重新操作，导致效率变低。

如图1所示，是现有支撑板的示意图，支撑板安装在超声扫描水箱中的支架上部，框架一般整体放置在支撑板的上部，由于框架的厚度基本在0.2-0.4mm的厚度，宽长在(50-100mm)*(70*300mm)范围内，本身较薄，且存在一定的中空部位，在拿取放置时，比较容易变形翘曲，变形翘曲后的框架，直接放置在支撑板上，无法纠正翘曲情况，出现如上所述的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种超声扫描治具，实现框架平整的放置在支撑板上，改善翘曲的情况。

为了解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种超声扫描治具，包括底板，所述底板用于放置在超声扫描仪水箱中的支撑板上；所述底板上设置有第一限位块和第二限位块，所述第一限位块和第二限位块分别邻近底板的两侧壁，且所述第一限位块和第二限位块实现对固定塑封体的框架的两侧边框限位。

进一步的，所述第一限位块和第二限位块相对一侧的下部与底板之间设置有容纳框架两侧边框的槽道。

进一步的，所述底板上设置有若干个贯穿孔。

进一步的，所述第一限位块可固定设置在底板上；

所述第二限位块可移动设置在底板上，且所述第二限位块可靠近或远离第一限位块。

进一步的，所述第二限位块的底部均布若干个滑块，所述底板上设置有若干滑槽；

所述滑块与滑槽数量相等、且位置对应，每一个所述滑块分别滑动设置在对应的滑块内。

进一步的，所述第二限位块上设置有推拉杆。

进一步的，所述第一限位块可活动设置在底板上，且第一限位块可上下移动；

所述第一限位块的底部设置有滑条，所述底板上设置有第一滑道，所述滑条滑动设置在第一滑道内；所述滑条的底部与第一滑道的底壁之间连接有多个弹簧；

所述底板的内部平行设置有若干第二滑道，所述第二滑道垂直且连通第一滑道；

所述第二限位块的底部均布有若干滑座，所述滑座与第二滑道数量相等、且位置对应，每一个所述滑座分别设置在对应的第二滑道内部；

每一个所述滑座上分别穿设有一根滑杆，滑座可沿着滑杆轴线方向移动；

各所述滑杆分别置于各第二滑道内部，且各所述滑杆的一端均设置在滑条上；

每一个所述第二滑道的同一侧侧壁上分别设置有一个容纳槽，所述容纳槽内至少设置有两块滑板，且每一块滑板均可从容纳槽内移出至第二滑道内。

进一步的，所述容纳槽内各滑板的厚度相等、长度自下而上依次递减；

所述底板的顶部平行设置有多个限位槽，所述限位槽与滑板数量相等，所述限位槽与容纳槽位置对应且连通容纳槽；

每一个所述滑板的一端分别设置有一个调节挡块，各所述调节挡块分别与各限位槽对应；

各调节挡块分别穿设在各限位槽内部，且调节挡块与限位槽相适配。

进一步的，所述滑座上贯穿有与滑杆相适配的滑孔。

与现有技术相比，本发明所达到的有益效果如下。

1、利用第一限位块和第二限位块对框架的两侧边框进行限位，可解决因翘曲导致的无法扫描所需扫描部位的问题，减少重新扫描的次数，提高测试的效率。

2、在底板上开设多个贯穿孔，方便底板与支撑板之间的气泡的排出，减少影响扫描的结果。

3、便于满足不同宽度、不同厚度的框架柱体的放置和限位。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。

图1是现有技术示意图。

图2是本发明实施例一的结构示意图

图3是本发明实施例二的结构示意图。

图4是本发明实施例三的结构示意图。

图5是本发明滑块的安装示意图。

图6是本发明实施例四的结构示意图。

图7是本发明滑杆、弹簧的安装示意图。

图8是本发明滑板的安装示意图。

图9是本发明滑板的叠加示意图。

图10是本发明第一限位块与滑条、第二限位块与滑座及滑杆与滑座的连接示意图。

图11是本发明第二限位块与滑座的连接示意图。

图中：1、底板；11、第一滑道；12、第二滑道；13、容纳槽；14、限位槽；15、槽道；16、滑槽；17、贯穿孔；2、第一限位块；21、第一限位卡槽；3、第二限位块；31、限位板；32、限位体；33、第二限位卡槽；34、推拉杆；4、滑座；41、滑孔；5、滑杆；6、调节挡块；61、滑板；7、滑条；8、弹簧；9、滑块；10、支撑板；101、框架。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一

请参阅图2，本发明提供技术方案：一种超声扫描治具，包括可放置在超声扫描仪水箱中的支撑板10上的底板1，底板1采用亚克力板材质制成，可支撑塑封后框架101；还包括固定设置在底板1邻近两侧壁位置处的第一限位块2和第二限位块3，在第一限位块2和第二限位块3相对的一侧下部与底板1之间设置有容纳框架101两侧边框的槽道15，第一限位块2和第二限位块3实现对用于固定塑封体的框架101两侧边框的限位。

在使用时，框架101通过槽道15推入到底板1的上部，利用第一限位块2和第二限位块3对框架101的两侧边框进行限位，由于进行限位，使得框架101的两侧边框无法形变，或者即使产生形变，产生的微弱形变量也不会影响后续的超声扫描；框架101推入槽道15后，框架101两侧边框处于第一限位块2和第二限位块3的内侧，即可将底板1整体放置在超声扫描仪水箱中的支撑板10上，进行后续的扫描。

框架101的宽度在一般在50mm-100mm之间，两个槽道15的边壁之间的距离略大于框架101整体的宽度(两侧边包括在内)，原则上控制在略大于0.1mm-1.5mm之间，随着框架101宽度的增加，其大于的尺寸也可逐渐增加；槽道15的厚度略大于边框厚度的0.05mm-0.2mm；应当理解的是，上述的数值范围，只是一个大致范围，随着技术的进步，若是框架101的宽度增加至更宽(大于100mm)，相应略大于的尺寸可以适度增加，并不完全局限在1.5mm以内。

实施例二

在进行超声扫描时，需要将待扫描产品整体没入超纯水中，然后才会进行扫描，在原有的技术中，由于塑封后框架101与引脚之间还具有一定的间隙，一般是通过挤压橡胶囊吹气的方式，使得超吹水发生扰动，将附着在框架101、塑封体表壁上的气泡排出若是存在气泡，则会影响扫描的效果；

如图3，在实施例一的基础上，底板1整体放置在支撑板10上后，底板1与支撑板10之间的气体难以排出，在后续扫描的深度达到支撑板10时，会影响扫描的结果，因此，可在底板1的中部开设多个贯穿孔17，以方便气泡的排出；应当理解的是，开设贯穿孔17的形式主要在上述情况下会使用，在正常扫描时，一般会控制扫描的深度达到底板1处即可，即大部分情况下，底板1下部的气泡并不会影响扫描的结果。

实施例三

在实际使用的过程中，实施例一仅能满足单一宽度框架101的使用，即在具体使用的过程中，一种治具适配一种款的框架101；而在实际的使用过程中，由于框架101的宽度普遍在50-100mm之间，这样的话，每个框架101均配置一个治具的话，就会导致成本过高；且治具的数量过多的情况下，也会增加使用时挑选治具的难度。

如图4-5，设计另一种治具，以满足多种宽度框架101的使用，具体地，该治具包括底板1，固定设置在底板1一侧的第一限位块2、可移动设置在底板1上的第二限位块3，且第二限位块3可向靠近或远离第一限位块2方向移动；第一限位块2和第二限位块3相对的一侧下部与底板1之间设置有容纳框架101两侧边框的槽道15；第二限位块3的底部均布若干个滑块9，底板1上设置有若干滑槽16；滑块9与滑槽16数量相等、且位置对应，每一个滑块9分别滑动设置在对应的滑块9内。

在具体使用时，将框架101放置在底板1的上部，并使得框架101的一侧边框与第一限位块2的槽道15侧壁接触，并将框架101的一侧边框限定在相应的槽道15中；然后推动第二限位块3，并在滑块9和滑槽16的配合下，使得第二限位块3的侧壁与框架101另一侧的边框接触，并将框架101另一侧的边框限定在相应的槽道15中，实现对框架101的限位。

在实际使用过程中，第二限位块3的移动，可在将底板1放在支撑板10上之前进行，这样限位操作相对方便；但是，在底板1转移的过程中，需要维持底板1处于大致的水平状态，以防止移动过程中，滑块9从滑槽16中滑落。

第二限位块3的移动，也可在底板1放置在支撑板10上之后进行，这样无需担心底板1移动过程中存在问题，在操作时，需要操作者带上防水手套，在超纯水中操作。

此外，为了方便移动第二限位块3，在第二限位块3远离第一限位块2的一侧安装有推拉杆34，操作者通过手持推拉杆34，即可进行移动；需要说明的是，框架101平放在底板1的上部，第二限位块3平移限位后，在滑动方向上并不会受力，因此，第二限位块3对框架101另一侧边框限位后，不需要对第二限位块3设置单独的固定结构。

实施例四

在实际使用的过程中，为满足不同宽度和不同厚度的框架101的使用，又一种治具，请参阅图6-图11，包括用于放置在超声扫描仪水箱中的支撑板10上的底板1，底板1上活动设置有第一限位块2和第二限位块3，第一限位块2和第二限位块3同样实现对用于固定塑封体的框架101两侧边框的限位。

第一限位块2的底部设置有滑条7，底板1上设置有第一滑道11，滑条7滑动设置在第一滑道11内；滑条7的底部与第一滑道11的底壁之间连接有多个弹簧8；底板1的内部平行设置有若干第二滑道12，第二滑道12垂直且连通第一滑道11，即第二滑道12的一端连通第一滑道11，而第二滑道12的另一端可贯穿底板1的一侧；第二限位块3的底部均布有若干滑座4，滑座4的数量可根据第二限位块3的长度来设置；滑座4与第二滑道12数量相等、且位置对应，每一个滑座4分别设置在对应的第二滑道12内部；每一个滑座4上分别穿设有一根滑杆5，滑座4可沿着滑杆5移动；具体地，滑座4上贯穿有与滑杆5相适配的滑孔41，通过滑孔41与滑杆5的配合实现滑座4沿滑杆5轴线方向移动，实现第二限位块3靠近或远离第一限位块2。

第一限位块2相对第二限位块3的一侧设置有第一限位卡槽21，第一限位卡槽21用于对框架101一侧边框的容纳和限位；第二限位块3包括限位板31，限位板31底部均布多个限位体32，限位体32与滑座4的数量相等且位置对应，每一个限位体32分别连接对应的滑座4；滑座4呈T型结构，具体地，限位体32与滑座4顶端相连接，且限位体32的端面与滑座4顶端端面轮廓一致；限位体32的宽度小于第二限位块3的宽度，滑座4和限位体32靠近第一滑块9的一侧与第二限位块3下部形成用于对框架101另一侧边框容纳限位的第二限位卡槽33。

各滑杆5分别置于各第二滑道12内部，且各滑杆5的一端均固定设置在滑条7上；每一个第二滑道12的同一侧侧壁上分别设置有一个容纳槽13，容纳槽13内至少设置有两块滑板61，且每一块滑板61均可从容纳槽13内移出至第二滑道12内。

容纳槽13内各滑板61的厚度相等、长度自下而上依次递减；如图8所示，滑板61数量为两个，位于上方的滑板61长度短于位于下方的滑板61长度；底板1的顶部平行设置有多个限位槽14，限位槽14与滑板61数量相等，限位槽14与容纳槽13位置对应且连通容纳槽13；每一个滑板61的一端分别设置有一个调节挡块6，各调节挡块6分别与各限位槽14对应；各调节挡块6分别穿设在各限位槽14内部，且调节挡块6与限位槽14相适配。

两个滑板61的厚度可设置为0.1mm，且当各滑板61均位于容纳槽13内部时，滑座4底部距离第二滑道12底壁之间间距设置为略大于容纳槽13内所有滑板61的厚度和；当通过向下按压第二限位块3，由于滑条7连接第一限位块2和滑杆5，同时滑杆5穿设在滑座4内部，因此带动第一限位块2和第二限位块3同步向下运动，此时弹簧8被压缩，优先地按压使得滑座4底部接触在第二滑道12的底壁上；与此同时，通过依次拨动位于所有上方滑板61对应的调节挡块6向靠近其邻近的第二滑道12方向移动，可实现位于上方的滑板61从容纳槽13移出至第二滑道12内部，并使得滑板61的一侧靠近或抵紧在滑座4的上部一侧，此时松开按压，在弹簧8的弹性作用下，驱动第一限位块2上移，带动第二限位块3、滑座4等上移，使得滑座4抵紧的滑板61上，即可适用对不同厚度的框架101的限位。

在上述按压过程中，同时拨动所有调节挡块6向靠近其邻近的第二滑道12方向移动，实现容纳槽13内各个滑板61的移出，松开按压作用时，滑座4抵紧接触在位于最下方滑板61的底部，即可实现对更小厚度的框架101的限位作用。

与此同时，由于滑座4与第二滑道12的配合作用，及滑杆5与滑孔41的配合作用，可移动第二限位块3以满足不同宽度的框架101的使用。

此外，底板1上设置贯穿孔17；且为方便实现对第二限位块3的按压或移动，第二限位块3远离第一限位块2的一侧同样设置推拉杆34。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种超声扫描治具，包括底板(1)，所述底板(1)用于放置在超声扫描仪水箱中的支撑板(10)上；其特征在于：

所述底板(1)上设置有第一限位块(2)和第二限位块(3)，所述第一限位块(2)和第二限位块(3)分别邻近底板(1)的两侧壁，且所述第一限位块(2)和第二限位块(3)实现对固定塑封体的框架(101)的两侧边框限位。

2.根据权利要求1所述的一种超声扫描治具，其特征在于：所述第一限位块(2)和第二限位块(3)相对一侧的下部与底板(1)之间设置有容纳框架(101)两侧边框的槽道(15)。

3.根据权利要求2所述的一种超声扫描治具，其特征在于：所述底板(1)上设置有若干个贯穿孔(17)。

4.根据权利要求3所述的一种超声扫描治具，其特征在于：所述第一限位块(2)可固定设置在底板(1)上；

所述第二限位块(3)可移动设置在底板(1)上，且所述第二限位块(3)可靠近或远离第一限位块(2)。

5.根据权利要求4所述的一种超声扫描治具，其特征在于：所述第二限位块(3)的底部均布若干个滑块(9)，所述底板(1)上设置有若干滑槽(16)；

所述滑块(9)与滑槽(16)数量相等、且位置对应，每一个所述滑块(9)分别滑动设置在对应的滑块(9)内。

6.根据权利要求5所述的一种超声扫描治具，其特征在于：所述第二限位块(3)上设置有推拉杆(34)。

7.根据权利要求1所述的一种超声扫描治具，其特征在于：所述第一限位块(2)可活动设置在底板(1)上，且第一限位块(2)可上下移动；

所述第一限位块(2)的底部设置有滑条(7)，所述底板(1)上设置有第一滑道(11)，所述滑条(7)滑动设置在第一滑道(11)内；所述滑条(7)的底部与第一滑道(11)的底壁之间连接有多个弹簧(8)；

所述底板(1)的内部平行设置有若干第二滑道(12)，所述第二滑道(12)垂直且连通第一滑道(11)；

所述第二限位块(3)的底部均布有若干滑座(4)，所述滑座(4)与第二滑道(12)数量相等、且位置对应，每一个所述滑座(4)分别设置在对应的第二滑道(12)内部；

每一个所述滑座(4)上分别穿设有一根滑杆(5)，滑座(4)可沿着滑杆(5)轴线方向移动；

各所述滑杆(5)分别置于各第二滑道(12)内部，且各所述滑杆(5)的一端均设置在滑条(7)上；

每一个所述第二滑道(12)的同一侧侧壁上分别设置有一个容纳槽(13)，所述容纳槽(13)内至少设置有两块滑板(61)，且每一块滑板(61)均可从容纳槽(13)内移出至第二滑道(12)内。

8.根据权利要求7所述的一种超声扫描治具，其特征在于：所述容纳槽(13)内各滑板(61)的厚度相等、长度自下而上依次递减；

所述底板(1)的顶部平行设置有多个限位槽(14)，所述限位槽(14)与滑板(61)数量相等，所述限位槽(14)与容纳槽(13)位置对应且连通容纳槽(13)；

每一个所述滑板(61)的一端分别设置有一个调节挡块(6)，各所述调节挡块(6)分别与各限位槽(14)对应；

各调节挡块(6)分别穿设在各限位槽(14)内部，且调节挡块(6)与限位槽(14)相适配。

9.根据权利要求7所述的一种超声扫描治具，其特征在于：所述滑座(4)上贯穿有与滑杆(5)相适配的滑孔(41)。

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