CN116119907B - 一种半导体石英板材无缝弯曲设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体石英板材无缝弯曲设备，炙烤装置包括设置在一对竖直支撑板的左部上方的炙烤组件；还包括弯曲装置和冷却装置；弯曲装置包括左右移动设置在一对竖直支撑板左部之间的“凵”字型的左右移动座；左右移动座的开口内竖直移动设置有“凵”字型的竖直移动座；竖直移动座的一对竖直部上端之间成型有弯曲导向辊；左右移动座的上端之间旋转设置有折弯组件；折弯组件包括旋转设置在左右移动座的上端之间的折弯支座和设置在折弯支座上的折弯驱动板；冷却装置设置在一对竖直支撑板的左上端之间并且用于冷却弯曲导向辊和水平状态的折弯驱动板。本发明具有使得加工所得的半导体石英板材的弯曲部分不留缝隙并且光滑的效果。

Description

一种半导体石英板材无缝弯曲设备

技术领域

本发明涉及石英板材加工的领域，尤其是涉及一种半导体石英板材无缝弯曲设备。

背景技术

在半导体设备中，有时候需要用到一些体积较大的石英部件，例如石英板材，而在具体应用时，有时候需要带有弯曲部分的石英板，目前获得此类板材一般通过将两块平直的石英板拼合焊接。

针对上述中的相关技术，发明人认为存在有以下缺陷：焊接过程中存在局部漏焊的情况，而石英部件在半导体设备中进行应用时要求必须完全密封；通过此方式得到的石英板在其焊接部位通常较为扭曲，后续需要对此部分进行机加工，这样既增加工序步骤，同时也存在加工破坏的风险。

发明内容

为了解决通过焊接方式得到的石英板存在漏焊和焊接部分还需再机加工的技术问题，本发明提供一种半导体石英板材无缝弯曲设备。

本发明提供的一种半导体石英板材无缝弯曲设备采用如下的技术方案：

一种半导体石英板材无缝弯曲设备，包括支架和炙烤装置；支架包括一对前后分布的竖直支撑板；半导体石英板材从一对所述竖直支撑板的右端开口进入；一对所述竖直支撑板的右上部之间旋转设置有若干驱动辊；所有的所述驱动辊处于同一水平面上；所述炙烤装置包括设置在一对所述竖直支撑板的左部上方的炙烤组件；所述炙烤组件用于竖直向下喷出高温火焰；还包括弯曲装置和冷却装置；所述弯曲装置包括左右移动设置在一对所述竖直支撑板左部之间的“凵”字型的左右移动座；所述左右移动座的开口内竖直移动设置有“凵”字型的竖直移动座；所述竖直移动座的一对竖直部上端之间成型有弯曲导向辊；所述左右移动座的上端之间旋转设置有折弯组件；所述折弯组件包括旋转设置在所述左右移动座的上端之间的折弯支座和设置在所述折弯支座上的折弯驱动板；所述折弯驱动板的长度方向与所述弯曲导向辊的轴向平行；所述冷却装置设置在一对所述竖直支撑板的左上端之间并且用于冷却所述弯曲导向辊和水平状态的所述折弯驱动板。

通过采用上述技术方案，半导体石英板材在旋转的驱动辊带动下自右向左移动，直到半导体石英板材的左端位于炙烤组件的下侧，然后炙烤组件工作对半导体石英板材的左端进行炙烤加热，然后左右移动座自左向右移动使得半导体石英板材的左端位于弯曲导向辊和折弯驱动板之间；然后弯曲导向辊上移抵靠住半导体石英板材的左端的下端面，然后折弯支座逆时针旋转一定角度，使得半导体石英板材的左端弯曲一定角度，接着弯曲导向辊和折弯驱动板回位，左右移动座自右向左移动回位到达冷却装置处，冷却装置对弯曲导向辊和折弯驱动板冷却，放置弯曲导向辊和折弯驱动板温度过高后续与半导体石英板材粘连，此时炙烤组件再次对半导体石英板材的左端进行炙烤加热，根据上述原理，进过多次加热和多次折弯，最终完成对半导体石英板材的左端的弯曲，这样生产所得的半导体石英板材的弯曲部分不会留下缝隙，满足半导体设备使用要求，同时弯曲位置光滑，无须后续机加工。

可选的，所述冷却装置包括设置在一对所述竖直支撑板的左上端之间的冷却座；所述冷却座的右端面上部成型有供折弯驱动板水平插入的上冷却槽、下部成型有供弯曲导向辊水平插入的下冷却槽；所述上冷却槽和所述下冷却槽的上侧壁、左侧壁和下侧壁上分别设置有若干均匀分布的空气喷嘴；所述空气喷嘴与外部的供气装置连接。

通过采用上述技术方案，位于折弯驱动板和弯曲导向辊周围的空气喷嘴同时对其进行喷气，使得折弯驱动板和弯曲导向辊冷却快速。

可选的，所述弯曲装置还包括间歇等角度旋转机构；所述间歇等角度旋转机构驱动所述折弯支座间歇等角度旋转。

通过采用上述技术方案，多次等角度折弯配合多次间歇加热，可避免半导体石英板材加热过头导致过度软化，最终弯曲后弯曲部过薄，容易断裂的情况。

可选的，所述折弯支座包括旋转设置在所述左右移动座的竖直部上端的折弯中心轴；所述折弯中心轴的外侧端固定有折弯从动齿轮；所述折弯中心轴的外侧端套设有扭簧；所述扭簧的一端固定在所述左右移动座的竖直部上、另一端固定在折弯从动齿轮上；一对所述竖直支撑板相互靠近的端面中部上端左右滑行设置有中心传递座；所述中心传递座的上下端面上分别成型有传递齿条；所述间歇等角度旋转机构包括一对分别固定在一对所述竖直支撑板的上端面上的折弯驱动电机；所述折弯驱动电机间歇等角度旋转；所述折弯驱动电机的输出轴上固定有主动齿轮；所述主动齿轮与上侧的所述传递齿条啮合；当中心传递座向左移动过程中，下侧的所述传递齿条与相应侧的所述折弯从动齿轮啮合。

通过采用上述技术方案，可以实现折弯驱动板等角度旋转以对半导体石英板材进行等角度折弯，同时在冷却完折弯驱动板在向右移动过程中，下侧的所述传递齿条带动折弯从动齿轮旋转，当左右移动座移动到位时，折弯驱动板可到达前一次折弯结束时的角度，方便后续继续等角度折弯。

可选的，所述折弯支座包括一对前后分布的折弯支撑板；所述折弯驱动板垂直移动设置在一对折弯支撑板之间。

通过采用上述技术方案，折弯驱动板在一对折弯支撑板之间的位置可调，以适应不同厚度的半导体石英板材。

可选的，所述折弯支撑板上成型有垂直移动槽；所述垂直移动槽的上下侧壁之间枢接有竖直驱动螺纹杆；所述折弯驱动板的前后端面上分别成型有与所述垂直移动槽配合的垂直移动块；所述垂直移动块螺接在所述竖直驱动螺纹杆上；所述竖直驱动螺纹杆的上端成型有正六边形状的竖直驱动块。

通过采用上述技术方案，通过同时旋转一对竖直驱动块带动一对竖直驱动螺纹杆旋转，这样一对竖直驱动螺纹杆驱动一对垂直移动块沿着垂直移动槽移动，即带动折弯驱动板移动。

可选的，一对所述竖直支撑板的右部之间设置有宽度限位机构；宽度限位机构包括固定在一对所述竖直支撑板的右部之间的矩形框状的支撑框；所述支撑框内前后移动设置有一对宽度限位座并且一对所述宽度限位座同步远离或者靠近设置；所述宽度限位座的上端面上成型有若干左右均匀分布的圆柱状的竖直导杆；所述竖直导杆竖直穿过一对相邻的所述驱动辊并且所述竖直导杆的上端高于所述驱动辊。

通过采用上述技术方案，一对宽度限位座的同步远离和靠近可以调节前后侧的竖直导杆之间的间距，以适用不同宽度的半导体石英板材。

可选的，所述竖直导杆的上端竖直套设并且旋转设置有导向套。

通过采用上述技术方案，导向套的存在可以减少半导体石英板材在左右方向的移动过程中的前后端面的磨损。

可选的，所述炙烤组件包括炙烤底座；所述炙烤底座的高度和左右位置可调设置；所述炙烤底座的上端面上前后移动有火焰喷枪支撑座；所述火焰喷枪支撑座的右端面上设置有若干前后均匀分布的火焰喷枪。

通过采用上述技术方案，炙烤底座的高度和左右位置可调设置、炙烤底座的上端面上前后移动有火焰喷枪支撑座可以调节火焰喷枪支撑座的位置以适用不同的半导体石英板材，控制火焰喷枪离半导体石英板材完全位置的间距。

可选的，每个所述火焰喷枪的进气管上均设置有气体阀门。

通过采用上述技术方案，控制气体阀门以控制火焰喷枪，这样可以根据半导体石英板材的宽度以增减使用的火焰喷枪，减少燃气等成本的浪费。

综上所述，本发明的有益效果为：

1.生产所得的半导体石英板材的弯曲部分不会留下缝隙，满足半导体设备使用要求；同时弯曲位置光滑，无须后续机加工。

2.适应不同尺寸的半导体石英板材。

附图说明

图1是本发明的左右移动座53处于最右端时的剖面的结构示意图。

图2是本发明的图1中A-A的剖面的结构示意图。

图3是本发明的图1中B-B的剖面的结构示意图。

图4是本发明的折弯组件56的剖面的结构示意图。

图5是本发明的图3中C的局部放大的结构示意图。

图6是本发明的左右移动座53处于最左端时的剖面的结构示意图。

附图标记说明：

10、竖直支撑板；100、左右滑行槽；11、下竖直支撑板；111、左右导柱；12、驱动辊；13、左右导轨；

20、宽度限位机构；21、支撑框；211、下竖直板；212、前后导柱；22、居中驱动电机；23、蜗杆；24、前后驱动杆；241、蜗轮；25、宽度限位座；251、竖直导杆；26、导向套；

30、炙烤装置；31、炙烤水平驱动电机；32、炙烤水平驱动螺纹杆；33、移动底座；331、左右滑块；34、竖直驱动电缸；35、炙烤底座；350、前后滑行槽；36、前后驱动电机；361、前后驱动螺纹杆；37、火焰喷枪支撑座；371、前后滑块；38、火焰喷枪；381、气体阀门；

40、半导体石英板材；

50、弯曲装置；51、平移驱动电机；52、平移螺纹杆；53、左右移动座；54、下电缸；55、弯曲导向辊；551、竖直移动座；56、折弯组件；561、折弯支撑板；5610、垂直移动槽；562、折弯中心轴；563、折弯驱动板；5631、垂直移动块；564、竖直驱动螺纹杆；5641、竖直驱动块；565、折弯从动齿轮；566、扭簧；57、间歇等角度旋转机构；571、折弯驱动电机；572、主动齿轮；573、中心传递座；574、传递齿条；

60、冷却装置；61、冷却座；610、上冷却槽；6100、下冷却槽；611、支撑连接板；612、冷却工作座；62、空气喷嘴。

具体实施方式

以下结合附图1-6对本发明作进一步详细说明。

本申请公开一种半导体石英板材无缝弯曲设备，参考图1，包括支架、宽度限位机构20、炙烤装置30、弯曲装置50和冷却装置60；支架包括一对前后分布的竖直支撑板10；一对竖直支撑板10的右上部之间旋转设置有若干驱动辊12；所有的驱动辊12处于同一水平面上；宽度限位机构20设置在一对竖直支撑板10的右部之间并且用于不同宽度的半导体石英板材40的居中限位；炙烤装置30设置在一对竖直支撑板10的左部并且用于对半导体石英板材40的左端进行加热；弯曲装置50设置在一对竖直支撑板10的左部之间并且用于对半导体石英板材40的左端进行折弯；冷却装置60设置在一对竖直支撑板10的左端之间并且冷却弯曲装置50。

参考图1和图2，宽度限位机构20包括固定在一对竖直支撑板10的右部之间的矩形框状的支撑框21和一对前后移动设置在支撑框21内的宽度限位座25；支撑框21的前后侧壁之间成型有一对左右分布的前后导柱212；支撑框21的前后侧壁中心之间枢接有前后驱动杆24；前后驱动杆24的中部成型有蜗轮241、前部和后部分别成型有外螺纹并且此对外螺纹部的旋向相反；一对宽度限位座25套设在一对前后导柱212上并且分别螺接在前后驱动杆24的不同的外螺纹部上；一对支撑框21的下端面左端中部和右端中部分别成型有下竖直板211；一对下竖直板211之间枢接有蜗杆23；右侧的下竖直板211的右端面上固定有居中驱动电机22；蜗杆23的右端与居中驱动电机22的输出轴固定连接；蜗杆23与蜗轮241啮合；宽度限位座25的上端面上成型有若干左右均匀分布的圆柱状的竖直导杆251；竖直导杆251竖直穿过一对相邻的驱动辊12并且竖直导杆251的上端高于驱动辊12；竖直导杆251的上端竖直套设并且通过轴承旋转连接有导向套26。

参考图1和图3，炙烤装置30包括一对移动底座33和炙烤组件；一对竖直支撑板10的中部成型有左右滑行槽100；左右滑行槽100的左右侧壁之间枢接有炙烤水平驱动螺纹杆32；竖直支撑板10的右端面上固定有炙烤水平驱动电机31；炙烤水平驱动螺纹杆32的右端与炙烤水平驱动电机31的输出轴固定连接；一对移动底座33相互靠近的端面上分别成型有与左右滑行槽100配合的左右滑块331；左右滑块331螺接在相应侧的炙烤水平驱动螺纹杆32上；移动底座33的上端面上固定有竖直驱动电缸34；炙烤组件包括固定在一对竖直驱动电缸34的活塞杆上端的炙烤底座35和前后移动设置在炙烤底座35的上端面上的火焰喷枪支撑座37；炙烤底座35的上端面上成型有前后滑行槽350；前后滑行槽350的前后侧壁之间枢接有前后驱动螺纹杆361；炙烤底座35的后端面上固定有前后驱动电机36；前后驱动螺纹杆361的后端与前后驱动电机36的输出轴固定连接；火焰喷枪支撑座37的下端面上成型有与前后滑行槽350配合的前后滑块371；前后滑块371螺接在前后驱动螺纹杆361上；火焰喷枪支撑座37的右端面上固定有若干前后均匀分布的火焰喷枪38；每个火焰喷枪38的进气管上均设置有气体阀门381。

参考图1、图3-图5，一对竖直支撑板10的左下部成型有一对左右分布的下竖直支撑板11；弯曲装置50包括左右移动设置在一对下竖直支撑板11之间的左右移动座53；一对下竖直支撑板11相互靠近的端面之间成型有一对前后对称的左右导柱111；一对下竖直支撑板11相互靠近的端面中心之间枢接有平移螺纹杆52；下竖直支撑板11的右端面上固定有平移驱动电机51；平移螺纹杆52的右端与平移驱动电机51的输出轴固定连接；左右移动座53的下部左右方向套设在一对左右导柱111上并且螺接在平移螺纹杆52上；左右移动座53的水平部的上端面上固定有一对前后分布的下电缸54；一对下电缸54的活塞杆上端固定有“凵”字型的竖直移动座551；竖直移动座551的一对竖直部上端之间成型有弯曲导向辊55；左右移动座53的上端之间旋转设置有折弯组件56；

折弯组件56包括折弯支座；折弯支座包括一对前后分布的折弯支撑板561；一对折弯支撑板561之间设置有折弯驱动板563；折弯驱动板563的长度方向与弯曲导向辊55的轴向平行；一对折弯支撑板561相互远离的端面下端分别成型有折弯中心轴562；一对折弯中心轴562分别通过轴承旋转设置在左右移动座53的一对竖直部上端；折弯中心轴562远离折弯支撑板561的一端固定有折弯从动齿轮565；折弯中心轴562上套设有扭簧566；扭簧566的一端固定在左右移动座53的竖直部上、另一端固定在折弯从动齿轮565上；

一对竖直支撑板10上设置有间歇等角度旋转机构57；间歇等角度旋转机构57驱动折弯支座间歇等角度旋转；

间歇等角度旋转机构57包括一对分别固定在一对竖直支撑板10的上端面上的折弯驱动电机571和一对中心传递座573；折弯驱动电机571间歇等角度旋转；折弯驱动电机571的输出轴上固定有主动齿轮572；一对竖直支撑板10相互靠近的端面中部上端分别成型有左右导轨13；左右导轨13的横截面呈T型；中心传递座573靠近竖直支撑板10的端面上成型有与左右导轨13配合的左右导槽；中心传递座573左右方向套设在相应侧的左右导轨13上；中心传递座573的上下端面上分别成型有传递齿条574；主动齿轮572与上侧的传递齿条574啮合；当中心传递座573向左移动过程中，下侧的传递齿条574与相应侧的折弯从动齿轮565啮合。

参考图4，折弯支撑板561上成型有垂直移动槽5610；垂直移动槽5610的上下侧壁之间枢接有竖直驱动螺纹杆564；折弯驱动板563的前后端面上分别成型有与垂直移动槽5610配合的垂直移动块5631；垂直移动块5631螺接在竖直驱动螺纹杆564上；竖直驱动螺纹杆564的上端成型有正六边形状的竖直驱动块5641。

参考图1和图3，冷却装置60包括冷却座61；冷却座61包括固定在一对竖直支撑板10的左上端之间的支撑连接板611；支撑连接板611的右端面上成型有冷却工作座612；冷却工作座612的右端面上部成型有供折弯驱动板563水平插入的上冷却槽610、下部成型有供弯曲导向辊55水平插入的下冷却槽6100；上冷却槽610和下冷却槽6100前后开口设置；上冷却槽610和下冷却槽6100的上侧壁、左侧壁和下侧壁上分别设置有若干均匀分布的空气喷嘴62；空气喷嘴62与外部的供气装置连接。

本申请的一种半导体石英板材无缝弯曲设备的工作原理为：

工作前首先根据半导体石英板材40的前后宽度调节前侧和后侧的竖直导杆251之间的间距；根据半导体石英板材40的厚度调节折弯驱动板563在一对折弯支撑板561之间的位置、控制气体阀门381以增减所需工作的火焰喷枪38的数量；调节炙烤底座35的上下位置使得火焰对于半导体石英板材40加热效率最高；根据半导体石英板材40的弯曲位置调节火焰喷枪支撑座37的前后位置和调节炙烤底座35的左右位置；这样设计实用不同尺寸的半导体石英板材40；

工作时，半导体石英板材40在旋转的驱动辊12带动下自右向左移动，直到半导体石英板材40的弯曲位置位于火焰喷枪38的正下方，然后火焰喷枪38工作对半导体石英板材40的弯曲位置进行炙烤加热，然后左右移动座53自左向右移动使得半导体石英板材40的左端位于弯曲导向辊55和折弯驱动板563之间；然后弯曲导向辊55上移抵靠住半导体石英板材40的弯曲位置的下端面，然后折弯支座逆时针旋转一定角度，使得半导体石英板材40的左端弯曲一定角度，接着弯曲导向辊55和折弯驱动板563回位，左右移动座53自右向左移动回位到达冷却装置60处，冷却装置60对弯曲导向辊55和折弯驱动板563冷却，放置弯曲导向辊55和折弯驱动板563温度过高后续与半导体石英板材40粘连，此时火焰喷枪38再次对半导体石英板材40的弯曲位置进行炙烤加热，根据上述原理，进过多次加热和多次折弯，最终完成对半导体石英板材40的左端的弯曲，这样生产所得的半导体石英板材的弯曲部分不会留下缝隙，满足半导体设备使用要求，同时弯曲位置光滑，无须后续机加工。

以上均为本发明的较佳实施例，并非依此限制本发明的保护范围，故：凡依本发明的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种半导体石英板材无缝弯曲设备，包括支架和炙烤装置（30）；支架包括一对前后分布的竖直支撑板（10）；半导体石英板材（40）从一对所述竖直支撑板（10）的右端开口进入；一对所述竖直支撑板（10）的右上部之间旋转设置有若干驱动辊（12）；所有的所述驱动辊（12）处于同一水平面上；所述炙烤装置（30）包括设置在一对所述竖直支撑板（10）的左部上方的炙烤组件；所述炙烤组件用于竖直向下喷出高温火焰；其特征在于：还包括弯曲装置（50）和冷却装置（60）；所述弯曲装置（50）包括左右移动设置在一对所述竖直支撑板（10）左部之间的“凵”字型的左右移动座（53）；所述左右移动座（53）的开口内竖直移动设置有“凵”字型的竖直移动座（551）；所述竖直移动座（551）的一对竖直部上端之间成型有弯曲导向辊（55）；所述左右移动座（53）的上端之间旋转设置有折弯组件（56）；所述折弯组件（56）包括旋转设置在所述左右移动座（53）的上端之间的折弯支座和设置在所述折弯支座上的折弯驱动板（563）；所述折弯驱动板（563）的长度方向与所述弯曲导向辊（55）的轴向平行；所述冷却装置（60）设置在一对所述竖直支撑板（10）的左上端之间并且用于冷却所述弯曲导向辊（55）和水平状态的所述折弯驱动板（563）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体石英板材无缝弯曲设备，其特征在于：所述冷却装置（60）包括设置在一对所述竖直支撑板（10）的左上端之间的冷却座（61）；所述冷却座（61）的右端面上部成型有供折弯驱动板（563）水平插入的上冷却槽（610）、下部成型有供弯曲导向辊（55）水平插入的下冷却槽（6100）；所述上冷却槽（610）和所述下冷却槽（6100）的上侧壁、左侧壁和下侧壁上分别设置有若干均匀分布的空气喷嘴（62）；所述空气喷嘴（62）与外部的供气装置连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体石英板材无缝弯曲设备，其特征在于：所述弯曲装置（50）还包括间歇等角度旋转机构（57）；所述间歇等角度旋转机构（57）驱动所述折弯支座间歇等角度旋转。

4.根据权利要求3所述的一种半导体石英板材无缝弯曲设备，其特征在于：所述折弯支座包括旋转设置在所述左右移动座（53）的竖直部上端的折弯中心轴（562）；所述折弯中心轴（562）的外侧端固定有折弯从动齿轮（565）；所述折弯中心轴（562）的外侧端套设有扭簧（566）；所述扭簧（566）的一端固定在所述左右移动座（53）的竖直部上、另一端固定在折弯从动齿轮（565）上；一对所述竖直支撑板（10）相互靠近的端面中部上端左右滑行设置有中心传递座（573）；所述中心传递座（573）的上下端面上分别成型有传递齿条（574）；所述间歇等角度旋转机构（57）包括一对分别固定在一对所述竖直支撑板（10）的上端面上的折弯驱动电机（571）；所述折弯驱动电机（571）间歇等角度旋转；所述折弯驱动电机（571）的输出轴上固定有主动齿轮（572）；所述主动齿轮（572）与上侧的所述传递齿条（574）啮合；当中心传递座（573）向左移动过程中，下侧的所述传递齿条（574）与相应侧的所述折弯从动齿轮（565）啮合。

5.根据权利要求1所述的一种半导体石英板材无缝弯曲设备，其特征在于：所述折弯支座包括一对前后分布的折弯支撑板（561）；所述折弯驱动板（563）垂直移动设置在一对折弯支撑板（561）之间。

6.根据权利要求5所述的一种半导体石英板材无缝弯曲设备，其特征在于：所述折弯支撑板（561）上成型有垂直移动槽（5610）；所述垂直移动槽（5610）的上下侧壁之间枢接有竖直驱动螺纹杆（564）；所述折弯驱动板（563）的前后端面上分别成型有与所述垂直移动槽（5610）配合的垂直移动块（5631）；所述垂直移动块（5631）螺接在所述竖直驱动螺纹杆（564）上；所述竖直驱动螺纹杆（564）的上端成型有正六边形状的竖直驱动块（5641）。

7.根据权利要求1所述的一种半导体石英板材无缝弯曲设备，其特征在于：一对所述竖直支撑板（10）的右部之间设置有宽度限位机构（20）；宽度限位机构（20）包括固定在一对所述竖直支撑板（10）的右部之间的矩形框状的支撑框（21）；所述支撑框（21）内前后移动设置有一对宽度限位座（25）并且一对所述宽度限位座（25）同步远离或者靠近设置；所述宽度限位座（25）的上端面上成型有若干左右均匀分布的圆柱状的竖直导杆（251）；所述竖直导杆（251）竖直穿过一对相邻的所述驱动辊（12）并且所述竖直导杆（251）的上端高于所述驱动辊（12）。

8.根据权利要求7所述的一种半导体石英板材无缝弯曲设备，其特征在于：所述竖直导杆（251）的上端竖直套设并且旋转设置有导向套（26）。

9.根据权利要求1所述的一种半导体石英板材无缝弯曲设备，其特征在于：所述炙烤组件包括炙烤底座（35）；所述炙烤底座（35）的高度和左右位置可调设置；所述炙烤底座（35）的上端面上前后移动有火焰喷枪支撑座（37）；所述火焰喷枪支撑座（37）的右端面上设置有若干前后均匀分布的火焰喷枪（38）。

10.根据权利要求1所述的一种半导体石英板材无缝弯曲设备，其特征在于：每个所述火焰喷枪（38）的进气管上均设置有气体阀门（381）。