CN115815181B - 硅加工擦拭装置及清洁吸盘吸附端面的擦拭系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种硅加工擦拭装置，包括壳体、无尘布夹紧组件、无尘布按压组件、第一动力组件和第二动力组件，壳体的底部设置压力传感器，无尘布夹紧组件安装在壳体上通过第一动力组件驱动后将无尘布的第一端夹紧，无尘布按压组件安装在壳体上通过第二动力组件将无尘布压紧在擦拭目标处，通过无尘布夹紧组件将无尘布夹紧后再沿着擦拭目标面拉拽移动、以及无尘布按压组件将无尘布以合适的压力与擦拭目标面接触进行擦拭实现机械化，使得擦拭效率提高，在擦拭过程中通过压力传感器达到预设的压力和擦拭目标面接触，实现了对擦拭目标进行擦拭后使擦拭端面的洁净度达到一致的目的。本发明还公开一种清洁吸盘吸附端面的擦拭系统。

Description

硅加工擦拭装置及清洁吸盘吸附端面的擦拭系统

技术领域

本发明涉及硅加工技术领域，尤其涉及一种硅加工擦拭装置及清洁吸盘吸附端面的擦拭系统。

背景技术

在单晶硅加工业界，在硅环、硅圆进行机械加工或抛光的加工过程、或者对硅环、硅圆进行测量的过程中，均需要吸盘将硅环、或硅片吸附固定后操作进行。吸盘对硅环、硅圆吸附的牢靠程度受到吸盘吸附端面清洁度的影响，即吸盘吸附端面的清洁度越高，该吸盘对硅环或硅圆的吸附固定能力越好；相反，吸盘吸附端面的清洁度越低，该吸盘的吸附能力越低，这种吸附力较低的吸盘吸附硅环或硅片后，在机械加工或抛光过程中会出现抛光度不达标，在测量过程中会出现测量不准确的现象。

为了使吸盘的吸附端面清洁，使用者常常手持几张无尘布将吸盘的吸附端面粘接的切削液、以及尘埃等擦拭干净，这种手工方式虽然能够提高吸盘的吸附能力，但是，随着自动化生产以及无人车间的发展，对吸盘的吸附端面的洁净度要求更高，上述人工擦拭的方式存在擦拭效率低、擦拭后的洁净度不一致的问题，导致吸盘对吸附固定的硅环或硅片进行后续的加工及检测也存在很大的差异，达不到生产工艺的需求。

发明内容

本发明主要目的在于提供一种硅加工擦拭装置，以解决现有技术中人工擦拭吸盘过程中效率低以及擦拭吸盘后洁净度不一致的问题。

本发明还提供一种清洁吸盘吸附端面的擦拭系统。

一种硅加工擦拭装置，包括壳体、无尘布夹紧组件、无尘布按压组件、第一动力组件和第二动力组件，壳体的顶部设置连接部，无尘布按压组件的底部设置压力传感器，第一动力组件安装在壳体上与无尘布夹紧组件连接，无尘布夹紧组件安装在壳体上通过第一动力组件驱动后将无尘布的第一端夹紧，第二动力组件安装在壳体上与无尘布按压组件连接，无尘布按压组件安装在壳体上通过第二动力组件将已夹紧的无尘布压紧在擦拭目标处，通过无尘布夹紧组件将无尘布夹紧后再沿着擦拭目标面拉拽移动、以及无尘布按压组件将无尘布以合适的压力与擦拭目标面接触进行擦拭。

优选的，无尘布夹紧组件包括第一偏心夹紧组件和第二偏心夹紧组件，第一偏心夹紧组件和第二偏心夹紧组件均安装在壳体内，第一偏心夹紧组件包括第一齿轮和第一夹持件，第一齿轮和第一动力组件的动力输出端相连接传输动力，第二偏心夹紧组件包括第二齿轮和第二夹持件，第二齿轮和第一齿轮相啮合形成动力传递，第一动力组件驱动第一齿轮转动使第一齿轮带动第二齿轮同时转动，第一齿轮带动第二齿轮同时转动使第一夹持件和第二夹持件相互靠近形成夹持状态将无尘布夹持固定，第一动力组件驱动第一齿轮工作并带动第二齿轮同时运转使第一夹持件和第二夹持件由相互靠近形成夹持状态到相互远离形成释放状态便于将无尘布取出。

优选的，第一动力组件和第二动力组件均为伺服电机或步进电机，第一动力组件的动力输出端和第二动力组件的动力输出端为伺服电机的输出轴或步进电机的输出轴，无尘布夹紧组件还包括固定件，固定件安装在壳体内，固定件上设置第一固定孔和第二固定孔；第一偏心夹紧组件还包括第一转动件和第一传动轴，第一转动件上设置第三固定孔和第一驱动杆，第一驱动杆的轴线和第三固定孔的轴线相平行，第一传动轴安装在第一固定孔中，第一齿轮和第一转动件分别安装在第一传动轴的两端，第一齿轮和第一转动件位于固定件的两侧，第一齿轮和第一动力组件的输出端相连接，第一夹持件的第一端设置第一插销孔，第一驱动杆插入至第一插销孔中；第二偏心夹紧组件还包括第二转动件和第二传动轴，第二转动件上设置第四固定孔和第二驱动杆，第二驱动杆的轴线和第四固定孔的轴线相平行，第二传动轴安装在第二固定孔中，第二齿轮和第二转动件分别安装在第二传动轴的两端，第二齿轮和第二转动件位于固定件的两侧，第二夹持件的第一端设置第三插销孔，第二驱动杆插入至第三插销孔中。

优选的，无尘布夹持组件还包括第一导轨和第一滑动件，第一导轨安装在壳体内，第一滑动件安装在第一导轨上，第一滑动件的下端朝下延伸形成竖向的引导杆，第一夹持件的第二端设置第二插销孔，第一插销孔的轴线和第二插销孔的轴线相互垂直，第二插销孔套置在引导杆上，第二夹持件的第二端设置第四插销孔，第四插销孔套置在引导杆上。

优选的，壳体包括底壳、左壳体和右壳体，左壳体和右壳体对接，底壳的上端面分别和左壳体和右壳体的下端面对接，右壳体的前端面安装第一动力组件，第一动力组件的传动轴和第一齿轮相连接，固定件安装在左壳体内壁上，左壳体上设置容纳箱，右壳体设置无尘布进入口，第一夹持件和第二夹持件形成的夹持空间和无尘布进入口正对设置，无尘布进入无尘布进入口后通过第一夹持件和第二夹持件相互靠近后将无尘布夹持固定，连接部位于左壳体的顶部，第二动力组件的传动轴和无尘布按压组件相连接。

优选的，第一夹持件为长条形柱或圆形柱，第二夹持件为长方形柱或圆形柱。

优选的，无尘布按压组件包括滑动调节组件和转动按压组件；滑动调节组件包括第二导轨、第二滑动件、第三齿轮和直齿条，第二导轨安装在壳体上且位于第一齿轮的上方，第二滑动件安装在第二导轨上并能沿着第二导轨滑动，第二滑动件和直齿条固定连接，直齿条位于第二滑动件和第一齿轮之间，第二动力组件的输出端和第三齿轮连接，第三齿轮和直齿条啮合，第三齿轮驱动直齿条使直齿条伸出使转动按压组件朝下转动，或第三齿轮驱动直齿条使直齿条缩回使转动按压组件朝上转动，第二导轨上设置第一支撑臂，第二滑动件上设置第二支撑臂；转动按压组件包括第一连接件、第二连接件、第三连接件和按压件，第一连接件的第一端和第一支撑臂转动连接，第一连接件的第二端和第二连接件的中间位置处转动连接，第二连接件的第一端和第二支撑臂转动连接，第三连接件的第一端和第二支撑臂转动连接，第二连接件的第一端和第三连接件的第一端以错位和预留间距的方式安装在第二支撑臂上，第二连接件的第二端和按压件转动连接，第三连接件的第二端和按压件转动连接，第二连接件的第二端和第三连接件的第二端以错位和预留间距的方式安装在按压件上。

优选的，滑动调节组件还包括第三导轨和第三滑动件，第三导轨安装在壳体上，第三导轨和第二导轨并排设置，第三滑动件安装在第三导轨上并能沿着第三导轨滑动，第三导轨上设置第三支撑臂，第三滑动件上设置第四支撑臂；转动按压组件还包括第四连接件、第五连接件和第六连接件，第四连接件的第一端和第三支撑臂转动连接，第四连接件的第二端和第五连接件的中间位置处转动连接，第五连接件的第一端和第四支撑臂转动连接，第六连接件的第一端和第四支撑臂转动连接，第五连接件的第一端和第六连接件的第一端以错位和预留间距的方式安装在第四支撑臂上，第五连接件的第二端和按压件转动连接，第六连接件的第二端和按压件转动连接，第五连接件的第二端和第六连接件的第二端以错位和预留间距的方式安装在按压件上，第一连接件和第四连接件平行设置，第二连接件和第五连接件平行设置，第三连接件和第六连接件平行设置。

优选的，按压件的前端面为倒置的T字形，按压件的前端面设置第一固定柱和第二固定柱，第一固定柱和第二固定柱竖直对齐设置在按压件的前端面上，按压件的后端面上设置第三固定柱和第四固定柱，第三固定柱和第四固定柱竖直对齐设置在按压件的后端面上，第一固定柱的轴心和第三固定柱的轴心对齐，第二固定柱的轴心和第四固定柱的轴心对齐，第二连接件两端的轴孔之间的距离和第三连接件两端的轴孔之间的距离相等，第四连接件两端的轴孔之间的距离和第六连接件两端的轴孔之间的距离相等，第一固定柱和第三连接件第二端的轴孔相结合，第二固定柱和第二连接件第二端的轴孔相结合第三固定柱和第六连接件第二端的轴孔相结合，第四固定柱和第五连接件第二端的轴孔相结合。

本发明还提供一种清洁吸盘吸附端面的擦拭系统，清洁吸盘吸附端面的擦拭系统包括机器人、无尘布存放盒、以及上述所述的硅加工擦拭装置，机器人上设置机械手臂，机械手臂和连接部相连接，无尘布存放盒设置在预设位置处并存储若干张无尘布，无尘布存放盒上设置无尘布取出口，无尘布通过无尘布取出口朝外延伸，机器人通过机械手臂将无尘布夹紧组件靠近无尘布存放盒的无尘布取出口处，无尘布夹紧组件将露出无尘布存放盒外的无尘布夹紧后再将无尘布取出，机器人的机械手臂将硅加工擦拭装置移动至擦拭目标的上方后再将硅加工擦拭装置逐渐向擦拭目标靠近，无尘布夹紧组件夹紧无尘布并将无尘布放置在擦拭端面上，无尘布按压组件在第一动力组件的驱动下将无尘布压紧在擦拭端面上，压力传感器和机器人的控制器电信连接。

在上述硅加工擦拭装置中，无尘布夹紧组件将无尘布夹紧并将无尘布放置至擦拭目标的擦拭端面后，无尘布按压组件将无尘布压紧使无尘布和擦拭目标的擦拭端面紧密接触，接着通过无尘布夹紧组件拉拽无尘布沿着擦拭目标的擦拭端面移动对擦拭端面进行擦拭，通过硅加工擦拭装置使擦拭目标的过程实现机械化，使得擦拭效率提高，同时在擦拭过程中通过压力传感器获取压力数值使无尘布达到预设的压力和擦拭目标面接触，实现了硅加工擦拭装置对擦拭目标进行擦拭后使擦拭端面的洁净度达到一致的目的。

附图说明

图1是硅加工擦拭装置的立体图。

图2是硅加工擦拭装置未组装动力组件和右壳体的俯视图。

图3是图2中A-A处的剖视图。

图4是无尘布夹紧组件、第二导轨、第二滑动件和直齿条相互配合的立体图。

图5是图4的另一角度立体图。

图6是第一导轨、第二导轨、第三导轨安装在壳体上的立体结构图。

图7是硅加工擦拭装置的部分组装后加持无尘布的状态图。

图8是第二导轨和第二滑动件组装立体结构图。

图9是第二滑动件立体结构图。

图10是壳体分解状态的立体结构图。

图11是清洁吸盘吸附端面的擦拭系统的立体结构图。

图中：硅加工擦拭装置100、壳体10、连接部11、压力传感器12、底壳13、左壳体14、容纳箱141、右壳体15、无尘布进入口151、无尘布夹紧组件20、第一偏心夹紧组件21、第一齿轮211、第一夹持件212、第一插销孔2121、第二插销孔2122、第一转动件213、第三固定孔2131、第一驱动杆2132、第一传动轴214、第二偏心夹紧组件22、第二齿轮221、第二夹持件222、第三插销孔2221、第四插销孔2222、第二转动件223、第二传动轴224、固定件23、第一固定孔231、第二固定孔232、第四固定孔2231、第二驱动杆2232、安装孔233、第一导轨24、第一滑动件25、引导杆251、无尘布按压组件30、滑动调节组件31、第二导轨311、第一支撑臂3111、滑槽3112、第二滑动件312、第二支撑臂3121、凸块3122、稳定板3123、直齿条313、第三齿轮314、第三导轨315、第三支撑臂3151、第三滑动件316、第四支撑臂3161、转动按压组件32、第一连接件321、第二连接件322、第三连接件323、按压件324、第一固定柱3241、第二固定柱3242、第三固定柱3243、第四固定柱3244、第四连接件325、第五连接件326、第六连接件327、第一动力组件40、第二动力组件50、无尘布200、机器人300、机械手臂301、无尘布存放盒400、无尘布取出口401、吸盘500、上端面501、工作台600。

具体实施方式

以下结合本发明的附图，对发明实施例的技术方案及技术效果做进一步的详细阐述。

请参阅图1至图11，硅加工擦拭装置100包括壳体10、无尘布夹紧组件20、无尘布按压组件30、第一动力组件40和第二动力组件50，壳体10的顶部设置连接部11，无尘布按压组件30的底部设置压力传感器12，第一动力组件40安装在壳体10上与无尘布夹紧组件20连接，无尘布夹紧组件20安装在壳体10上通过第一动力组件40驱动后将无尘布200的第一端夹紧，第二动力组件50安装在壳体10上与无尘布按压组件30连接，无尘布按压组件30安装在壳体10上通过第二动力组件50将已加持的无尘布200压紧在擦拭目标处。无尘布夹紧组件20将无尘布200夹紧并将无尘布200放置至擦拭目标的擦拭端面后，无尘布按压组件30将无尘布200压紧使无尘布200和擦拭目标的擦拭端面紧密接触，接着通过无尘布夹紧组件20拉拽无尘布200沿着擦拭目标的擦拭端面移动对擦拭端面进行擦拭，通过硅加工擦拭装置100使擦拭目标的过程实现机械化，使得擦拭效率提高 ，同时在擦拭过程中通过压力传感器12获取压力数值使无尘布200达到预设的压力和擦拭目标面接触，实现了采用硅加工擦拭装置100对擦拭目标进行擦拭后使擦拭端面的洁净度达到一致的目的。

进一步的，无尘布夹紧组件20包括第一偏心夹紧组件21和第二偏心夹紧组件22，第一偏心夹紧组件21和第二偏心夹紧组件22均安装在壳体10内，第一偏心夹紧组件21包括第一齿轮211和第一夹持件212，第二偏心夹紧组件22包括第二齿轮221和第二夹持件222，第一偏心夹紧组件21的第一齿轮211和第一动力组件40的动力输出端相连接传输动力，第二偏心夹紧组件22的第二齿轮221和第一偏心夹紧组件21的第一齿轮211相啮合形成动力传递，第一动力组件40驱动第一齿轮211转动使第一齿轮211带动第二齿轮221同时转动，第一齿轮211带动第二齿轮221同时转动使第一夹持件212和第二夹持件222相互靠近形成夹持状态将无尘布200夹持固定，完成无尘布200夹持固定后对擦拭目标进行擦拭，擦拭结束后，第一动力组件40启动再次驱动第一齿轮211工作并带动第二齿轮221同时运转使第一夹持件212和第二夹持件222由相互靠近形成夹持状态到相互远离形成释放状态，当第一夹持件212和第二夹持件222相互远离形成释放状态后工作人员可将使用后的无尘布200从无尘布夹紧组件20上取下。

进一步的，第一动力组件40为伺服电机或步进电机，第一动力组件40的动力输出端为伺服电机的输出轴或步进电机的输出轴，无尘布夹紧组件20还包括固定件23，固定件23安装在壳体10内，固定件23上设置第一固定孔231和第二固定孔232；第一偏心夹紧组件21还包括第一转动件213和第一传动轴214，第一转动件213上设置第三固定孔2131和第一驱动杆2132，第一驱动杆2132的轴线和第三固定孔2131的轴线相平行，第一驱动杆2132的轴线和第三固定孔2131的轴线之间设置第一预设距离，第一传动轴214安装在第一固定孔231中，第一齿轮211和第一转动件213分别安装在第一传动轴214的两端，第一齿轮211和第一转动件213位于固定件23的两侧，第一齿轮211转动后使第一转动件213跟随第一齿轮211一起转动，即第一齿轮211的转速和第一驱动杆2132的转速相同，第一齿轮211和第一动力组件40的输出端相连接，第一夹持件212的第一端设置第一插销孔2121，第一驱动杆2132插入至第一插销孔2121中；第二偏心夹紧组件22还包括第二转动件223和第二传动轴224，第二转动件223上设置第四固定孔2231和第二驱动杆2232，第二驱动杆2232的轴线和第四固定孔2231的轴线相平行，第二驱动杆2232的轴线和第四固定孔2231的轴线之间设置第二预设距离，第二传动轴224安装在第二固定孔232中，第二齿轮221和第二转动件223分别安装在第二传动轴224的两端，第二齿轮221和第二转动件223位于固定件23的两侧，第二齿轮221转动后使第二转动件223跟随第二齿轮221一起转动，即第二齿轮221的转速和第二驱动件的转速相同，第二夹持件222的第一端设置第三插销孔2221，第二驱动杆2232插入至第三插销孔2221中；第一齿轮211和第二齿轮221相互啮合，第一齿轮211带动第二齿轮221转动使第一转动件213和第二转动件223跟随转动，相互转动的第一转动件213、第二转动件223带动的第一驱动杆2132、第二驱动杆2232转动，第一驱动杆2132和第二驱动杆2232转动过程中由相互靠近到相互远离重复循环，第一驱动杆2132和第二驱动杆2232相互靠近时带动第一夹持件212和第二夹持件222相互靠近将无尘布200夹住形成夹持状态，第一驱动杆2132和第二驱动杆2232相互远离时带动第一夹持件212和第二夹持件222相互远离形成张开状态将使用后的无尘布200释放。

进一步的，无尘布夹持组件20还包括第一导轨24和第一滑动件25，第一导轨24安装在壳体10内，第一滑动件25安装在第一导轨24上，第一滑动件25的下端朝下延伸形成竖向的引导杆251，第一夹持件212的第二端设置第二插销孔2122，第一插销孔2121的轴线和第二插销孔2122的轴线相互垂直，第二插销孔2122套置在引导杆251上，第二夹持件222的第二端设置第四插销孔2222，第三插销孔2221的轴线和第四插销孔2222的轴线相互垂直，第四插销孔2222套置在引导杆251上。由于引导杆251从第二插销孔2122穿过后又穿过第四插销孔2222，使得第一夹持件212和第二夹持件222在相互靠近或远离的过程中带动引导杆251移动，引导杆251移动的过程中带动第一滑动件25沿着第一导轨24滑动，相反第二插销孔2122和第四插销孔2222沿着引导杆251相互靠近滑动进而引导第一夹持件212的第二端和第二夹持件222的第二端相互靠近后使第一夹持件212和第二夹持件222之间加持无尘布200的加持力更加均匀，同时防止第一夹持件212和第二夹持件222在转动过程中出现晃动使夹持的无尘布200从第一夹持件212和第二夹持件222之间脱离。

进一步的，壳体10包括底壳13、左壳体14和右壳体15，左壳体14和右壳体15对接，底壳13的上端面分别和左壳体14和右壳体15的下端面对接，右壳体15的前端面安装第一动力组件40，第一动力组件40的传动轴和第一齿轮211相连接，固定件23安装在左壳体14上，固定件23为板体状，左壳体14上设置容纳箱141，直齿条313远离右壳体15后进入容纳箱141内，第一导轨24、第二导轨311、第三导轨315均设置在左壳体14的内壁上；右壳体15设置无尘布进入口151，第一夹持件212和第二夹持件222形成的夹持空间和无尘布进入口151正对设置，无尘布200进入无尘布进入口151后通过第一夹持件212和第二夹持件222相互靠近后将无尘布200夹持固定，连接部11位于左壳体14的顶部。为了使转动按压组件32能够顺畅转动，右壳体15在对应第二导轨311、第三导轨315、第一导轨24的延伸方向设置第一避让口152和第二避让口153，第二导轨311的一端穿过第一避让口152从右壳体15内延伸出来，使第二滑动件312朝右壳体15移动靠近过程中防止322碰触到转动右壳体15阻碍322的转动，第三导轨315的一端和第一导轨24的一端穿过第二避让口153从右壳体15内延伸出来，使第三滑动件316朝右壳体15移动靠近过程中防止326碰触到右壳体15阻碍326的转动。进一步为了增大第二支撑臂3121、第四支撑臂3161的行程，左壳体14的底壁上设置第三避让口142和第四避让口143，第三避让口142和第一避让口152相对应设置并连通，第四避让口143和第二避让口153对应设置并连通。

进一步的，第一夹持件212为长方形柱或圆形柱，第二夹持件222为长方形柱或圆形柱。由于长方形柱的第一夹持件212和长方形柱的第二夹持件222夹持无尘布200的面积更大，所以其夹持固定效果更好。圆形柱的第一夹持件212和圆形柱的第二夹持件222也可将夹持无尘布200夹持固定。

进一步的，无尘布按压组件30包括滑动调节组件31和转动按压组件32；滑动调节组件31包括第二导轨311、第二滑动件312、直齿条313和第三齿轮314，第二导轨311安装在壳体10上且位于第一齿轮211的上方，第二滑动件312安装在第二导轨311上并能沿着第二导轨311滑动，第二滑动件312和直齿条313固定连接，直齿条313位于第二滑动件312和第一齿轮211之间，第二动力组件50的输出端和第三齿轮314连接，第三齿轮314和直齿条313啮合，第三齿轮314驱动直齿条313使直齿条313伸出使转动按压组件32朝下转动将夹紧的无尘布200压紧，或第三齿轮314驱动直齿条313使直齿条313缩回使转动按压组件朝上转动便于将无尘布200取出，直齿条313在缩回后可进入容纳箱141内；第二导轨311上设置第一支撑臂3111，第二滑动件312上设置第二支撑臂3121；转动按压组件32包括第一连接件321、第二连接件322、第三连接件323和按压件324，第一连接件321的第一端和第一支撑臂3111转动连接，第一连接件321的第二端和第二连接件322的中间位置处转动连接，第二连接件322的第一端和第二支撑臂3121转动连接，第三连接件323的第一端和第二支撑臂3121转动连接，第二连接件322的第一端和第三连接件323的第一端以错位和预留间距的方式安装在第二支撑臂3121上，第二连接件322的第二端和按压件324转动连接，第三连接件323的第二端和按压件324转动连接，第二连接件322的第二端和第三连接件323的第二端以错位和预留间距的方式安装在按压件324上。

进一步的，滑动调节组件31还包括第三导轨315和第三滑动件316，第三导轨315安装在壳体10上，第三导轨315和第二导轨311并排设置，第三滑动件316安装在第三导轨315上并能沿着第三导轨315滑动，第三导轨315上设置第三支撑臂3151，第三滑动件316上设置第四支撑臂3161；转动按压组件32还包括第四连接件325、第五连接件326和第六连接件327，第四连接件325的第一端和第三支撑臂3151转动连接，第四连接件325的第二端和第五连接件326的中间位置处转动连接，第五连接件326的第一端和第四支撑臂3161转动连接，第六连接件327的第一端和第四支撑臂3161转动连接，第五连接件326的第一端和第六连接件327的第一端以错位和预留间距的方式安装在第四支撑臂3161上，第五连接件326的第二端和按压件324转动连接，第六连接件327的第二端和按压件324转动连接，第五连接件326的第二端和第六连接件327的第二端以错位和预留间距的方式安装在按压件324上，第一连接件321和第四连接件325平行设置，第二连接件322和第五连接件326平行设置，第三连接件323和第六连接件327平行设置。

进一步的，按压件324的前端面为倒置的T字形，该形状的按压件324将无尘布200压紧在擦拭目标处能够增大擦拭面积，进而提高擦拭的效率，按压件324的前端可套置橡胶套增加摩擦力，增大按压件324和无尘布200的摩擦力，按压件324的前端面设置第一固定柱3241和第二固定柱3242，第一固定柱3241和第二固定柱3242竖直对齐设置在按压件324的前端面上，按压件324的后端面上设置第三固定柱3243和第四固定柱3244，第三固定柱3243和第四固定柱3244竖直对齐设置在按压件324的后端面上，第一固定柱3241的轴心和第三固定柱3243的轴心对齐，第二固定柱3242的轴心和第四固定柱3244的轴心对齐，第二连接件322两端的轴孔之间的距离和第三连接件323两端的轴孔之间的距离相等，第四连接件325两端的轴孔之间的距离和第六连接件327两端的轴孔之间的距离相等，第一固定柱3241和第三连接件323第二端的轴孔相结合，第二固定柱3242和第二连接件322第二端的轴孔相结合第三固定柱3243和第六连接件327第二端的轴孔相结合，第四固定柱3244和第五连接件326第二端的轴孔相结合。

进一步的，第二导轨311设置滑槽3112，第二滑动件312的左端面或右端面均为T字形状，对应的滑槽3112的左端面或右端面也均为T字形状，第二滑动件312中间位置处设置凸块3122，第二支撑臂3121的下端设置稳定板3123，第二滑动件312以滑动的方式安装在滑槽3112内，凸块3122穿过滑槽3112到达第二导轨311的前端面和第二支撑臂3121以转动的方式连接，稳定板3123贴靠在第二导轨311的下端面，第二滑动件312在滑槽3112内移动时带动第二支撑臂3121同步移动，第二支撑臂3121在稳定板3123贴靠第二导轨311的下端面滑动的限制下使第二支撑臂3121跟随第二滑动件312稳定的移动，确保第二支撑臂3121提供给转动按压组件32升降过程中的稳定支撑作用，能够使转动按压组件32下压完成压紧无尘布200的目的、以及使转动按压组件32上升完成释放无尘布200的目的。

进一步的，第一导轨24、第三导轨315均和第二导轨311的结构相同，次处不在详细描述；第一滑动件25和第二滑动件312结构类似，第一滑动件25和第二滑动件312的区别是：第一滑动件25的下端设置引导杆251；第三滑动件316和第二滑动件312的结构相同，次处不在详细描述，第三滑动件316和第二滑动件312共同配合将转动按压组件32完成转动后下压或转动后抬升，实现将无尘布200压紧至擦拭端面上，或者第三滑动件316和第二滑动件312共同配合将转动按压组件32完成转动后抬升，方便将无尘布200从擦拭端面上取出。

本申请还提供一种清洁吸盘吸附端面的擦拭系统，清洁吸盘吸附端面的擦拭系统还包括机器人300和无尘布存放盒400，机器人300上设置机械手臂301，机械手臂301和连接部11相连接，无尘布存放盒400设置在预设位置处并存储若干张无尘布200，无尘布存放盒400上设置无尘布取出口401，机器人300通过机械手臂301将无尘布夹紧组件20靠近无尘布存放盒400的无尘布取出口401处，无尘布200通过无尘布取出口401朝外延伸，无尘布200以类似抽纸的方式放置在无尘布存放盒400内，以方便无尘布200的多次取出，无尘布夹紧组件20将露出无尘布存放盒400外的无尘布200夹紧后再将无尘布200取出。此处的机器人300是智能制造领域的成熟技术，属于现有技术，具体的结构不需在本次申请中详细叙述。

在上述描述中，擦拭目标为吸盘500，擦拭端面为吸盘500的上端面501，吸盘500固定放置在工作台600上；在其他具体应用中，擦拭目标为其他的工件，该工件的擦拭端面为光滑面，该光滑面位于同一平面内。

使用时，第一动力组件40带动无尘布夹紧组件20将无尘布200的一端夹紧后移动至擦拭目标的上方，然后下降将无尘布放置在擦拭目标的擦拭面上，第二动力组件50工作后带动第三齿轮314转动，第三齿轮314驱动直齿条313朝远离按压件324的方向滑动，由于直齿条313和第二滑动件312固定连接，使直齿条313带动第二滑动件312沿着第二导轨311移动逐渐收回至容纳箱内，第二滑动件312带动第二连接件322和第三连接件323朝着左壳体14移动，同时由于第一支撑臂3111固定不动，使得第二连接件322带动第一连接件321的第二端朝底壳13的下端面转动，在第一连接件321、第二连接件322、第三连接件323、第一支撑臂3111以及第二支撑臂3121的共同作用下使按压件324逐渐朝下转动下压将无尘布200以合适的压力压紧在擦拭目标的擦拭端面上，接着通过机械手臂301将拖动连接部11使整个硅加工擦拭装置100沿着擦拭目标的擦拭端面转动进行擦拭，擦拭过程中无尘布夹紧组件20始终位于无尘布按压组件30的前方。擦拭结束后，第二动力组件50再次启动工作后带动第三齿轮314反向转动，第三齿轮314驱动直齿条313朝按压件324滑动，由于直齿条313和第二滑动件312固定连接，使直齿条313带动第二滑动件312沿着第二导轨311朝按压件324移动，第二滑动件312带动第二连接件322和第三连接件323朝着按压件324移动，同时由于第一支撑臂3111固定不动，使得第二连接件322带动第一连接件321的第二端朝第二导轨311的上端面转动，在第一连接件321、第二连接件322、第三连接件323、第一支撑臂3111以及第二支撑臂3121的共同作用下使按压件324逐渐朝上转动升起后将无尘布取出。

Claims (7)

1.一种硅加工擦拭装置，其特征在于：包括壳体、无尘布夹紧组件、无尘布按压组件、第一动力组件和第二动力组件，壳体的顶部设置连接部，无尘布按压组件的底部设置压力传感器，第一动力组件安装在壳体上与无尘布夹紧组件连接，无尘布夹紧组件安装在壳体上通过第一动力组件驱动后将无尘布的第一端夹紧，第二动力组件安装在壳体上与无尘布按压组件连接，无尘布按压组件安装在壳体上通过第二动力组件将无尘布压紧在擦拭目标处，通过无尘布夹紧组件将无尘布夹紧后再沿着擦拭目标面拉拽移动、以及无尘布按压组件将无尘布以合适的压力与擦拭目标面接触进行擦拭；无尘布夹紧组件包括第一偏心夹紧组件和第二偏心夹紧组件，第一偏心夹紧组件和第二偏心夹紧组件均安装在壳体内，第一偏心夹紧组件包括第一齿轮和第一夹持件，第一齿轮和第一动力组件的动力输出端相连接传输动力，第二偏心夹紧组件包括第二齿轮和第二夹持件，第二齿轮和第一齿轮相啮合形成动力传递，第一动力组件驱动第一齿轮转动使第一齿轮带动第二齿轮同时转动，第一齿轮带动第二齿轮同时转动使第一夹持件和第二夹持件相互靠近形成夹持状态将无尘布夹持固定，第一动力组件驱动第一齿轮工作并带动第二齿轮同时运转使第一夹持件和第二夹持件由相互靠近形成夹持状态到相互远离形成释放状态便于将无尘布取出；第一动力组件为伺服电机或步进电机，第一动力组件的动力输出端为伺服电机的输出轴或步进电机的输出轴，无尘布夹紧组件还包括固定件，固定件安装在壳体内，固定件上设置第一固定孔和第二固定孔；第一偏心夹紧组件还包括第一转动件和第一传动轴，第一转动件上设置第三固定孔和第一驱动杆，第一驱动杆的轴线和第三固定孔的轴线相平行，第一传动轴安装在第一固定孔中，第一齿轮和第一转动件分别安装在第一传动轴的两端，第一齿轮和第一转动件位于固定件的两侧，第一齿轮和第一动力组件的输出端相连接，第一夹持件的第一端设置第一插销孔，第一驱动杆插入至第一插销孔中；第二偏心夹紧组件还包括第二转动件和第二传动轴，第二转动件上设置第四固定孔和第二驱动杆，第二驱动杆的轴线和第四固定孔的轴线相平行，第二传动轴安装在第二固定孔中，第二齿轮和第二转动件分别安装在第二传动轴的两端，第二齿轮和第二转动件位于固定件的两侧，第二夹持件的第一端设置第三插销孔，第二驱动杆插入至第三插销孔中；无尘布夹持组件还包括第一导轨和第一滑动件，第一导轨安装在壳体内，第一滑动件安装在第一导轨上，第一滑动件的下端朝下延伸形成竖向的引导杆，第一夹持件的第二端设置第二插销孔，第一插销孔的轴线和第二插销孔的轴线相互垂直，第二插销孔套置在引导杆上，第二夹持件的第二端设置第四插销孔，第四插销孔套置在引导杆上。

2.如权利要求1所述的硅加工擦拭装置，其特征在于：壳体包括底壳、左壳体和右壳体，左壳体和右壳体对接，底壳的上端面分别和左壳体和右壳体的下端面对接，右壳体的前端面安装第一动力组件，第一动力组件的传动轴和第一齿轮相连接，固定件安装在左壳体内壁上，左壳体上设置容纳箱，右壳体设置无尘布进入口，第一夹持件和第二夹持件形成的夹持空间和无尘布进入口正对设置，无尘布进入无尘布进入口后通过第一夹持件和第二夹持件相互靠近后将无尘布夹持固定，连接部位于左壳体的顶部，左壳体的前端面安装第二动力组件，第二动力组件的传动轴和无尘布按压组件相连接。

3.如权利要求1至2任意一项所述的硅加工擦拭装置，其特征在于：第一夹持件为长条形柱或圆形柱，第二夹持件为长方形柱或圆形柱。

4.如权利要求1所述的硅加工擦拭装置，其特征在于：第二动力组件为伺服电机或步进电机，第二动力组件的动力输出端为伺服电机的输出轴或步进电机的输出轴，无尘布按压组件包括滑动调节组件和转动按压组件；滑动调节组件包括第二导轨、第二滑动件、第三齿轮和直齿条，第二导轨安装在壳体上且位于第一齿轮的上方，第二滑动件安装在第二导轨上并能沿着第二导轨滑动，第二滑动件和直齿条固定连接，直齿条位于第二滑动件和第一齿轮之间，第二动力组件的输出端和第三齿轮连接，第三齿轮和直齿条啮合，第三齿轮驱动直齿条使直齿条伸出使转动按压组件朝下转动，或第三齿轮驱动直齿条使直齿条缩回使转动按压组件朝上转动，第二导轨上设置第一支撑臂，第二滑动件上设置第二支撑臂；转动按压组件包括第一连接件、第二连接件、第三连接件和按压件，第一连接件的第一端和第一支撑臂转动连接，第一连接件的第二端和第二连接件的中间位置处转动连接，第二连接件的第一端和第二支撑臂转动连接，第三连接件的第一端和第二支撑臂转动连接，第二连接件的第一端和第三连接件的第一端以错位和预留间距的方式安装在第二支撑臂上，第二连接件的第二端和按压件转动连接，第三连接件的第二端和按压件转动连接，第二连接件的第二端和第三连接件的第二端以错位和预留间距的方式安装在按压件上。

5.如权利要求4所述的硅加工擦拭装置，其特征在于：滑动调节组件还包括第三导轨和第三滑动件，第三导轨安装在壳体上，第三导轨和第二导轨并排设置，第三滑动件安装在第三导轨上并能沿着第三导轨滑动，第三导轨上设置第三支撑臂，第三滑动件上设置第四支撑臂；转动按压组件还包括第四连接件、第五连接件和第六连接件，第四连接件的第一端和第三支撑臂转动连接，第四连接件的第二端和第五连接件的中间位置处转动连接，第五连接件的第一端和第四支撑臂转动连接，第六连接件的第一端和第四支撑臂转动连接，第五连接件的第一端和第六连接件的第一端以错位和预留间距的方式安装在第四支撑臂上，第五连接件的第二端和按压件转动连接，第六连接件的第二端和按压件转动连接，第五连接件的第二端和第六连接件的第二端以错位和预留间距的方式安装在按压件上，第一连接件和第四连接件平行设置，第二连接件和第五连接件平行设置，第三连接件和第六连接件平行设置。

6.如权利要求5所述的硅加工擦拭装置，其特征在于：按压件的前端面为倒置的T字形，按压件的前端面设置第一固定柱和第二固定柱，第一固定柱和第二固定柱竖直对齐设置在按压件的前端面上，按压件的后端面上设置第三固定柱和第四固定柱，第三固定柱和第四固定柱竖直对齐设置在按压件的后端面上，第一固定柱的轴心和第三固定柱的轴心对齐，第二固定柱的轴心和第四固定柱的轴心对齐，第二连接件两端的轴孔之间的距离和第三连接件两端的轴孔之间的距离相等，第四连接件两端的轴孔之间的距离和第六连接件两端的轴孔之间的距离相等，第一固定柱和第三连接件第二端的轴孔相结合，第二固定柱和第二连接件第二端的轴孔相结合第三固定柱和第六连接件第二端的轴孔相结合，第四固定柱和第五连接件第二端的轴孔相结合。

7.一种清洁吸盘吸附端面的擦拭系统，其特征在于：该清洁吸盘吸附端面的擦拭系统包括如权利要求1至6任意一项所述的硅加工擦拭装置，该清洁吸盘吸附端面的擦拭系统还包括机器人和无尘布存放盒，机器人上设置机械手臂，机械手臂和硅加工擦拭装置的连接部相连接，无尘布存放盒设置在预设位置处并存储若干张无尘布，无尘布存放盒上设置无尘布取出口，无尘布通过无尘布取出口朝外延伸，机器人通过机械手臂将无尘布夹紧组件靠近无尘布存放盒的无尘布取出口处，无尘布夹紧组件将露出无尘布存放盒外的无尘布夹紧后再将无尘布取出，机器人的机械手臂将硅加工擦拭装置移动至擦拭目标的上方后再将硅加工擦拭装置逐渐向擦拭目标靠近，无尘布夹紧组件夹紧无尘布并将无尘布放置在擦拭端面上，无尘布按压组件在动力组件的驱动下将无尘布压紧在擦拭端面上，压力传感器和机器人的控制器电信连接。