CN114576169A - 一种高速真空泵 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种高速真空泵，包括泵体，内设异向同步转动且相互啮合的第一转子部件和第二转子部件，第一转子部件一端设有第一轴承部件和第一传动轮部件，第一轴承部件内圈与第一转子部件连接，外圈与第一传动轮部件连接，第二转子部件一端设有与第一传动轮部件传动连接的第二传动轮部件，第一传动轮部件大于第二传动轮部件，第一传动轮部件能以第一转子部件转轴为轴转动。本申请采用传动轮组改变驱动部件转动主轴和转子部件间转速比，以机械方式提高转速，主动传动轮部件可转动套设在被动转动转子部件上有效降低真空泵尺寸，同时使其之间产生同向转动，降低传动轮部件内轴承部件外圈和内圈间的相对转速，降低摩擦发热，延长使用寿命。

Description

一种高速真空泵

技术领域

本发明涉及真空泵技术领域，尤其涉及一种高速真空泵。

背景技术

罗茨真空泵和螺杆真空泵都是属于一种容积式真空泵，通过两个相互啮合的转子部件转动来实现泵腔内气体的转移。比如，罗茨真空泵以泵腔内成对啮合的转子进行同步旋转，该啮合转子的结构形状能够在旋转时封闭进气口和排气口的连接，从而啮合转子旋转一圈可以排出泵腔内扣除转子容积以外的气体的容积。该体积就是罗茨真空泵的基础抽气能力，同样对于螺杆真空泵来说，其泵腔内成对啮合螺杆转子进行同步旋转，该螺杆转子的第一级螺环对腔体内的气体进行封闭，然后通过螺旋传递到排气口，第一级螺环所带走的气体，也就是螺环旋转一圈可以排出第一级螺环对应的螺杆泵腔扣除螺环转子容积以外的气体的容积，该体积就是螺杆真空泵的基础抽气能力。

因此通过上述描述我们可以看出，罗茨真空泵和螺杆真空泵的基础抽气能力主要就是以泵腔的容积和啮合转子转速来决定的(而实际抽气能力则是小于基础抽气能力，主要影响因素是啮合转子之间的间隙，泵腔与啮合转子的间隙，以及进气口与排气口的压差导致的间隙返流，从而造成抽气效率比，该效率比在85-90％左右，一般无法改变)。

在实际应用中，所有的客户和制造者都希望需求的是，该罗茨真空泵或螺杆真空泵属于较小的外形尺寸，但又能满足非常大的抽气能力。从客户角度来说，同等抽气能力下的真空泵，体积越小，则使用布置起来则更加的方便，占用的空间就越小，后续的维护，安装，更换也就更加的方便。尤其现在越来越多的工业应用中采用真空技术的系统都是模块花集成构造，当真空泵的体积越小，则对工艺系统模块化设计上则更可以利用空间效率。而对于制造者来说，同等抽气能力下的真空泵，体积越小，则必然减少了耗用的原材料和加工耗时，更会降低了装配的人工量，大幅降低了生产成本的同时还提高了产品的竞争优势。

那么在同等抽气能力的真空泵，只有通过提高转速，才可以满足抽气能力的同时减小真空泵的外形尺寸。例如，同等抽气能力罗茨真空泵或螺杆真空泵若是可以提高1.5倍转速，则其外形尺寸会小16％，整体的重量会降低25％，材料成本会直接降20％左右，低若是可以提高到2.0倍的转速，则其外形尺寸会小25％，整体的重量会降低35％，材料成本会直接降27％左右。

现在所有的提高罗茨真空泵或者螺杆真空泵都是采用电气变频控制的方式，很多制造商都是利用变频器对电机转速进行调速提高来实现真空泵的高速运转。该方式虽然可以很简单的提高罗茨真空泵或者螺杆真空泵转速，但是存在两个非常大的隐患问题，首先，配备变频器相当于在机械真空泵上增加一个小的完整电气柜(要有控制开关，变频器，固定箱体，电缆，信号控制等)，成本上非常昂贵，尤其现阶段，电器元件的价格越来越贵，往往一个集成的变频器的电气柜的成本几乎达到了真空泵本身40％的成本了。而且变频器本身需要散热，且无法防爆，即使再小的变频器也要额外占用真空泵外的空间，因此反而使得真空泵占用空间变大。其次，采用变频器提高泵的电机转速后，真空泵内的部分机械结构是不能满足高转速的要求的，例如轴封，一般唇形密封，机械密封，都对转速有一定的限制，一般都不允许超过3000rpm，若是转速过快，达到了4500rpm或者6000rpm，则摩擦量大幅增大，磨损严重加剧，不仅发热量增加，还会导致使用寿命大幅降低，最终出现严重漏油。还例如电机，一般真空泵配备的电机都是普通电机，最高转速在3000rpm，通过变频器调速到了4500rpm或者6000rpm，不仅电机输出扭矩大幅降低，同时其轴承也很难承受如此高的转速，使用寿命大幅降低，且电机轴的动平衡也不能满足其高速的要求。若是换成定制的高速电机，则造成大幅增加成本，进而背离泵体积小转速高，成本具有竞争优势的制造理念。

因此，结合上述存在的技术问题，有必要提出一种新的技术方案。

发明内容

本发明的目的在于解决背景技术中提供的现有技术中存在的问题，提供了一种高转速的真空泵，通过采用传动轮组改变驱动部件转动主轴和转子部件之间的转速比，进而以机械的方式提高转速，同时，较大尺寸的主动传动轮部件可转动套设在被动转动的转子部件上，可以有效降低真空泵尺寸，同时，还可以使该传动轮部件与被动转动的转子部件之间产生同向转动，进而降低传动轮部件内轴承部件在外圈和内圈间的相对转速，进而降低摩擦发热，延长轴承部件的使用寿命。

为了实现发明目的，本发明提供一种高速真空泵，其包括泵体，所述泵体内设置有相互啮合的第一转子部件和第二转子部件，所述第一转子部件和第二转子部件之间同步转动，所述第一转子部件和第二转子部件之间的转动方向相反，所述第一转子部件的一端设置有第一轴承部件和第一传动轮部件，所述第一轴承部件的内圈与所述第一转子部件连接，所述第一轴承部件的外圈与所述第一传动轮部件连接，所述第二转子部件的一端设置有第二传动轮部件，所述第二传动轮部件与所述第一传动轮部件之间传动连接，所述第一传动轮部件的直径大于所述第二传动轮部件的直径，所述第一传动轮部件能够被驱动的以所述第一转子部件的转轴为轴转动。

进一步的，所述第一转子部件的轴向和所述第二转子部件的轴向分别与所述泵体的长度方向一致，所述泵体内具有内腔，所述第一转子部件和所述第二转子部件分别设置在所述内腔内，所述第一转子部件的两端分别与所述泵体长度方向的两端可转动连接，所述第二转子部件的两端分别与所述泵体长度方向的两端可转动连接。

进一步的，所述第一转子部件轴线方向的两端分别为第一同步端和配合端，所述第一同步端和所述配合端分别贯穿所述泵体长度方向的两端，所述第一同步端上设置有第三传动轮部件，所述第一轴承部件的内圈与所述配合端连接；所述第二转子部件轴线方向的两端分别为第二同步端和从动端，所述第二同步端和所述从动端分别贯穿所述泵体长度方向的两端，所述第二同步端上设置有第四传动轮部件，所述第二传动轮部件与所述从动端连接；所述第三传动轮部件与所述第四传动轮部件之间传动连接。

进一步的，所述第一轴承部件的内圈套设在所述配合端上，所述第一传动轮套设在所述第一轴承部件的外圈上。

进一步的，所述第一传动轮部件和所述第二传动轮部件之间齿轮传动连接；和/或所述第三传动轮部件和所述第四传动轮部件之间齿轮传动连接，所述第三传动轮部件和所述第四传动轮部件之间直径相同。

进一步的，所述第一同步端和/或所述配合端与所述泵体之间通过第二轴承部件可转动连接；和/或所述第二同步端和/或所述从动端与所述泵体之间通过第二轴承部件可转动连接。

进一步的，其还包括密封箱部件、传动轴和驱动部件，所述密封箱部件设置在所述泵体设有所述第一传动轮部件和所述第二传动轮部件的一侧，所述密封箱部件内设置有第一容置腔，所述密封箱部件朝向所述泵体的一侧具有第一开口，所述第一开口与所述第一容置腔连通，所述第一传动轮部件和所述第二传动轮部件均位于所述第一容置腔内；所述密封箱部件上设置有轴孔，所述轴孔的轴线方向与所述泵体的长度方向一致，所述轴孔与所述第一转子部件对应设置，所述轴孔的一端与所述第一容置腔连通，另一端贯穿所述密封箱部件；所述驱动部件设置在所述密封箱部件远离所述泵体的一侧，所述传动轴位于所述轴孔内，所述传动轴的两端分别与所述第一传动轮部件和所述驱动部件的转动主轴连接。

进一步的，所述传动轴上设置有通孔，所述通孔的一端与所述第一轴承部件连通，所述通孔的另一端与所述传动轴的外部连通。

进一步的，所述轴孔的侧壁设置有凹槽结构，所述凹槽结构内设置有骨架油封。

进一步的，其还包括端盖，所述端盖设置在所述泵体设有所述第三传动轮部件和所述第四传动轮部件的一侧，所述端盖内设置有第二容置腔，所述端盖朝向所述泵体的一侧具有第二开口，所述第二开口与所述第二容置腔连通，所述第三传动轮部件和所述第四传动轮部件均位于所述第二容置腔内。

与现有技术相比，本申请的高转速的真空泵至少具有如下一个或多个有益效果：

本申请的高转速的真空泵，其两个相互啮合的转子部件之间同步转动设计，使得在驱动任意一个转子部件转动时即可实现两个转子部件之间做转速相同、方向相反的运动；其中一个转子部件与驱动部件的转动主轴之间采用传动轮组传动，通过改变传动轮组中传动轮部件之间的直径比即可改变转动主轴与转子部件之间的转速比，在需要高速转动时，只需要选择较大尺寸的主动传动轮或较小尺寸的被动传动轮，即可实现以机械的方式提高转速，而不需要设置变频器、电气柜等价格昂贵的元器件，进而可以有效降低成本，且有利于真空泵小型化设计；采用机械变速方式，可以使驱动电机的转轴在不需要较大转速的情况下也可以实现转子部件的高速转动，在满足高速抽气的同时，还不会对一些比如轴封等机械结构造成损伤或过载运行，进而提高真空泵的使用寿命和稳定性；主动传动轮采用套设在被动转动的转子部件上的方式，结构简单，可以降低零件数量，并有效降低真空泵的轴向尺寸，同时，还可以使该传动轮部件与被动转动的转子部件之间产生同向转动，进而降低传动轮部件内轴承部件在外圈和内圈间的相对转速，进而降低摩擦发热，延长轴承部件的使用寿命；安装方式简洁方便，不仅定位精确，而且可以在不更换其它任何部件下更换不同的尺寸的传动轮实现不同的转速变化。

附图说明

图1为本申请实施例提供的高速真空泵在水平方向的轴向剖视结构示意图；

图2为图1中I处的放大示意图；

图3为本申请实施例提供的高速真空泵在密封箱部件处竖直方向的径向剖视结构示意图；

图4为本申请实施例提供的高速真空泵在端盖处竖直方向的径向剖视结构示意图。

其中，10-泵体，11-泵体主体，12-轴承端盖，20-第一转子部件，21-第一同步端，22-配合端，23-轴承套设部，24-第一止挡面，25-紧固件，30-第二转子部件，31-第二同步端，32-从动端，40-第一轴承部件，50-第一传动轮部件，51-环形凹槽，52-第二止挡面，53-轴承压板，60-第二传动轮部件，70-第三传动轮部件，80-第四传动轮部件，90-第二轴承部件，100-密封箱部件，101-凹槽结构，110-传动轴，111-通孔，120-驱动部件，121-转动主轴，130-骨架油封，140-端盖。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如下。

实施例

本实施例提供一种高速真空泵，其包括泵体10，所述泵体10内设置有相互啮合的两个转子部件，分别定义其为第一转子部件20和第二转子部件30，如图1示。图中示意性展示了一种泵体10，其主要由中空的泵体主体11和设置在所述泵体主体11两端的轴承端盖12构成，所述泵体主体11内形成内腔，所述第一转子部件20和所述第二转子部件30分别设置在所述内腔内。所述第一转子部件20的轴向和所述第二转子部件30的轴向分别与所述泵体10的长度方向一致，所述第一转子部件20的两端分别与所述泵体10长度方向的两端即两端的轴承端盖12可转动连接，所述第二转子部件30的两端分别与所述泵体10长度方向的两端即两端的轴承端盖12可转动连接。进一步的，所述第一转子部件20轴线方向的两端分别定义为第一同步端21和配合端22，所述第一同步端21和所述配合端22分别贯穿所述泵体10长度方向的两端，即两端的轴承端盖12，且所述第一同步端21和所述配合端22分别与所述泵体10的两个轴承端盖12之间通过轴承部件可转动连接。所述第二转子部件30轴线方向的两端分别定义为第二同步端31和从动端32，所述第二同步端31和所述从动端32分别贯穿所述泵体10长度方向的两端，即两端的轴承端盖12，且所述第二同步端31和所述从动端32分别与所述泵体10的两个轴承端盖12之间通过轴承部件可转动连接。定义该轴承部件为第二轴承部件90，不过需要说明的是，所述第二轴承部件90应作广义理解，为一统称，而并非限定为同一型号的轴承部件，比如所述第一转子部件20和第二转子部件30与所述轴承端盖12之间既可以采用相同型号的轴承部件，也可以采用不同型号的轴承部件；又比如，所述第一转子部件20或所述第二转子部件30与两个轴承端盖12之间既可以采用相同型号的轴承部件，也可以采用不同型号的轴承部件。另外，还需说明的是，图1中仅是展示了所述第一转子部件20和所述第二转子部件30的示意结构，其具体结构可以在具体的真空泵中根据需要进行设计，比如在罗茨真空泵中，所述第一转子部件20和所述第二转子部件30可以分别为相互啮合的叶轮轴，而在螺杆真空泵中，所述第一转子部件20和所述第二转子部件30又可以分别为相互啮合的螺杆。

所述第一转子部件20和第二转子部件30之间同步转动，所述第一转子部件20和第二转子部件30之间的转动方向相反。如图1和图4所示，图中示意性展示了一种同步转动方式。在所述第一同步端21和所述第二同步端31贯穿所述轴承端盖12的部分上分别设置有传动轮部件，定义其分别为第三传动轮部件70和第四传动轮部件80，所述第三传动轮部件70与所述第四传动轮部件80之间传动连接，所述第三传动轮部件70和所述第四传动轮部件80之间直径相同。优选的，所述第三传动轮部件70和所述第四传动轮部件80分别为形状大小一致的齿轮结构，所述第三传动轮部件70和所述第四传动轮部件80之间齿轮传动连接，这样，在所述第一转子部件20或所述第二转子部件30任意一个转动时，均可带动另外一个转子部件做转速相同，转向相反的啮合运动。当然，所述第三传动轮部件70和所述第四传动轮部件80不限于齿轮，也为其他传动轮结构，比如带轮或链轮等等，同样可以实现同步逆向转动。当然，所述第三传动轮部件70和所述第四传动轮部件80既可以采用套设在转子部件上的方式，比如采用键槽或胀紧的方式与两个转子部件实现紧固，也可以采用在转子部件同步端的端部侧通过螺钉等紧固件紧固或焊接等方式实现固定连接。

如图1至图3所示，所述第一转子部件20的配合端22设置有轴承部件和传动轮部件，分别定义其为第一轴承部件40和第一传动轮部件50。所述第一轴承部件40的内圈与所述第一转子部件20的配合端22连接，所述第一轴承部件40的外圈与所述第一传动轮部件50连接。优选的，在所述第一转子部件20的配合端22处设置一台阶状结构，即所述配合端22靠近端部处的直径较小，定义其为轴承套设部23，其与所述配合端22远离端部的其他处之间形成径差，进而形成一止挡面，定义其为第一止挡面24，如图2所示。所述第一轴承部件40的内圈套设在所述轴承套设部23上，之后可在所述第一轴承部件40远离所述第一止挡面24一侧通过螺母等紧固件25将所述第一轴承部件40的内圈牢牢抵触锁紧在所述第一止挡面24上，进而将所述第一轴承部件40牢牢固定在所述第一转子部件20上。当然，所述第一轴承部件40的内圈也可以在所述第一转子部件20的配合端22的端部侧通过螺钉等紧固件紧固或焊接等方式实现固定连接。

所述第一传动轮部件50优选套设在所述第一轴承部件40的外圈上。如图2所示，在所述第一传动轮部件50中心通孔的内壁开设一环形凹槽51，所述环形凹槽51贯穿所述第一传动轮部件50朝向所述泵体10的一侧，使得所述第一传动轮部件50中心通孔的内壁形成一台阶结构，进而形成一止挡面，定义其为第二止挡面52。所述环形凹槽51的形状和尺寸与所述第一轴承部件40的外圈相匹配，当所述第一传动轮部件50套设在所述第一轴承部件40上时，所述第一轴承部件40位于所述环形凹槽51内。对应的，在所述第一传动轮部件50朝向所述泵体10的一侧设置一轴承压板53，所述轴承压板53可以与所述第一传动轮部件50之间通过螺钉等紧固件实现固定连接。所述轴承压板53延伸至所述第一轴承部件40的外圈一侧，进而实现将所述第一轴承部件40的外圈牢牢的固定在所述环形凹槽51内，即将所述第一传动轮部件50牢牢的套设在所述第一轴承部件40的外圈上。当然，所述第一传动轮部件50也可以在所述第一轴承部件40的外圈一侧通过螺钉等紧固件紧固或焊接等方式实现固定连接。

如图1所示，所述第二转子部件30的从动端32设置有传动轮部件，定义其为第二传动轮部件60。所述第二传动轮部件60与所述从动端32固定连接。所述第二传动轮部件60与所述第一传动轮部件50之间传动连接。所述第一传动轮部件50的直径大于所述第二传动轮部件60的直径。优选的，所述第一传动轮部件50和所述第二传动轮部件60之间齿轮传动连接，即所述第一传动轮部件50为尺寸较大的齿轮，而所述第二传动轮部件60为尺寸较小的齿轮，这样，在所述第一传动轮部件50转动时，可带动所述第二传动轮部件60较快的转动，而在不需要任何电气元件(变频器)控制，就可以提供在原有基础能力下0.6-2倍的定速抽气能力，实现原有泵的抽气范围的拓宽。当然，所述第一传动轮部件50和所述第二传动轮部件60不限于齿轮，也为其他传动轮结构，比如带轮或链轮等等。当然，所述第二传动轮部件60既可以采用套设在第二转子部件30上的方式，比如采用键槽或胀紧的方式与两个转子部件实现紧固，也可以采用在第二转子部件30的从动端32的端部侧通过螺钉等紧固件紧固或焊接等方式实现固定连接。

在进一步的实施例中，高速真空泵还包括有密封箱部件100、传动轴110和驱动部件120，如图1所示。所述密封箱部件100设置在所述泵体10设有所述第一传动轮部件50和所述第二传动轮部件60的一侧。所述密封箱部件100内设置有第一容置腔，所述密封箱部件100朝向所述泵体10的一侧具有第一开口，所述第一开口与所述第一容置腔连通，所述第一传动轮部件50和所述第二传动轮部件60均位于所述第一容置腔内。所述密封箱部件100上设置有轴孔，所述轴孔的轴线方向与所述泵体10的长度方向一致，所述轴孔与所述第一转子部件20对应设置，且所述轴孔的一端与所述第一容置腔连通，另一端贯穿所述密封箱部件100。所述驱动部件120优选为电机，其设置在所述密封箱部件100远离所述泵体10的一侧，所述传动轴110位于所述轴孔内，所述传动轴110的两端分别与所述第一传动轮部件50和所述驱动部件120的转动主轴121连接。这样在所述驱动部件120的转动主轴121转动时，在所述传动轴110的传动下，所述第一传动轮部件50将以所述第一转子部件20的转轴为轴进行转动。在所述传动轴110上设置有通孔111，所述通孔111的一端与所述第一轴承部件40连通，所述通孔111的另一端与所述传动轴110的外部连通，通过该通孔111，可以给所述第一轴承部件40添加润滑油等。

在所述轴孔的侧壁还设置有凹槽结构101，作为密封油腔，用来盛放密封油，给所述驱动部件120的转动主轴121起到润滑。对应的，为了防止所述密封油腔内的密封油泄漏，在所述凹槽结构101内还设置有骨架油封130，用于密封所述凹槽结构101与所述传动轴110之间的间隙。如图1和图2所示，为了便于安装和添加密封油，所述凹槽结构101采用分体式设计，即所述凹槽结构101朝向所述驱动部件120的一侧壁为分体可拆卸结构。

进一步的，在所述泵体10设有所述第三传动轮部件70和所述第四传动轮部件80的一侧还设置有端盖140用于密封所述第三传动轮部件70和所述第四传动轮部件80。所述端盖140内设置有第二容置腔，所述端盖140朝向所述泵体10的一侧具有第二开口，所述第二开口与所述第二容置腔连通，所述第三传动轮部件70和所述第四传动轮部件80均位于所述第二容置腔内。

需要说明的是，如果不是采用上述第一传动轮部件50的设置方式，而采用另外一种额外传动轮安装法的话，即在作为主动传动轮的第一传动轮部件50两端配独立的轴承且独立固定。这样的话该主动传动轮和作为从动传动轮的第二传动轮部件60的中心距与作为同步传动轮的第三传动轮部件70和第四传动轮部件80的中心距可以是不同的，也可以相同，而且主动传动轮可以放置在任何位置，位置度上相对比较灵活，但是为了确保主动传动轮的支撑和中心距的固定，则增加一个额外的驱动轴，该驱动轴是与主动传动轮安装在一起，前后需要轴承固定，为了安装轴承，需要再增加一个额外的盖板，该盖板与原有的轴承端盖12进行连接，并确保位置度，安装盖板后，安装前侧轴承，再安装驱动轴，再安装主动传动轮，再安装后侧轴承，最后再安装密封箱部件100，连接驱动部件120。这种方式可以看出结构非常复杂，零件非常多，而且增加安装主动传动轮的盖板会导致原有真空泵的电机侧拉长非常多，同时新增的盖板必然会对轴承端盖12中轴承的润滑造成影响。更为关键的是，若是客户需要调传动比，若是不改变传动轮的中心距，则主动传动轮和从动传动轮的大小必然改变，则原有的盖板可能就无法使用，若是改变中心距，则位置度必然改变，则盖板亦然不能使用。因此该主动传动轮部件的安装方式不适合小体积，高转速，可变速的应用。而本实施例提供的主动传动轮的安装方式，主动传动轮与从动传动轮的中心距与两个转子部件的中心距是完全一致。主动传动轮被精确的安装在一根啮合转子部件上，因为通过轴承固定，因此主动传动轮与啮合转子部件具有极高的同心度。而从动传动轮是固定在另一个啮合的转子部件上的，如果采用齿轮结构作为传动轮，则可使两个转子部件的中心距位置是被完全确定的，且精度非常高，两个变速传动轮的位置度也会非常精确。

在实际转动过程中，安装在主动传动轮的第一轴承部件40，比如球轴承，其内圈与外圈旋转是不同步的。我们可以这样理解，轴承部件的基础的作用就是轴承部件的内圈随着轴在高速旋转的同时，外圈是固定在轴承腔内而不旋转。现在安装在主动传动轮内的第一轴承部件40其内圈随着第一转子部件20在高速旋转，其旋转的速度是等同于转子部件转动的速度，等同于同步传动轮的转速，等同于从动传动轮的转速。安装在主动传动轮内的第一轴承部件40其外圈则随着主动传动轮旋转，且该第一轴承部件40的内圈与外圈的两个旋转的方向是一致的，此时，我们把主动传动轮旋转看成是相对静止的话，则其安装在内的第一轴承部件40内圈旋转速度就是变速齿轮的差速。相对于固定静止不动轴承外圈，其轴承部件的相对转速要比固定在轴承腔端盖内的轴承部件要低得多。因此本实施例中的第一轴承部件40所产生的摩擦发热量也相对低了很多，使用寿命也相对比较长。

而传动轴110是一根独立的轴，一侧与主动传动轮通过同心圆位置固定，采用螺栓固定，实现同心同步旋转，另一侧则是与驱动部件120的转动主轴121嵌套在内，通过电机的键实现同步旋转。由于传动轴110一侧是固定在主动传动轮上，主动传动轮则是被第一轴承部件40定位，确保了与转子部件的同心度，另一侧则是与转动主轴121同心嵌套且与转动主轴121进行键固定，而驱动部件120则可以通过法兰圆盘等与密封箱部件100一侧固定连接，可以通过定位销等方式来确定驱动部件120的安装方位，从而确保了转动主轴121、传动轴110、主动传动轮与第一转子部件20同轴设置，从而确保了高速旋转时高度同心。

由于驱动部件120的转速与传动轴110的转速是一致的，与转子部件的转动速度是不一致的，一般电机转速在3000rpm，而转子部件的转速通过传动轮组变速则可达到4500-6000rpm。而传动轴110也就是采用轴封的转速则只有3000rpm，从而使得在提高转子部件转速的同时轴封处的转速依然保持较低，从而确保了密封不会因提高转速而降低使用寿命。

相比较现有技术，本申请的高转速的真空泵，其两个相互啮合的转子部件之间同步转动设计，使得在驱动任意一个转子部件转动时即可实现两个转子部件之间做转速相同、方向相反的运动；其中一个转子部件与驱动部件120的转动主轴121之间采用传动轮组传动，通过改变传动轮组中传动轮部件之间的直径比即可改变转动主轴121与转子部件之间的转速比，在需要高速转动时，只需要选择较大尺寸的主动传动轮或较小尺寸的被动传动轮，即可实现以机械的方式提高转速，而不需要设置变频器、电气柜等价格昂贵的元器件，进而可以有效降低成本，且有利于真空泵小型化设计；采用机械变速方式，可以使驱动电机的转轴在不需要较大转速的情况下也可以实现转子部件的高速转动，在满足高速抽气的同时，还不会对一些比如轴封等机械结构造成损伤或过载运行，进而提高真空泵的使用寿命和稳定性；主动传动轮采用套设在被动转动的转子部件上的方式，结构简单，可以降低零件数量，并有效降低真空泵的轴向尺寸，同时，还可以使该传动轮部件与被动转动的转子部件之间产生同向转动，进而降低传动轮部件内轴承部件在外圈和内圈间的相对转速，进而降低摩擦发热，延长轴承部件的使用寿命；安装方式简洁方便，不仅定位精确，而且可以在不更换其它任何部件下更换不同的尺寸的传动轮实现不同的转速变化。

在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，除了包含所列的那些要素，而且还可包含没有明确列出的其他要素。

在本文中，所涉及的前、后、上、下等方位词是以附图中零部件位于图中以及零部件相互之间的位置来定义的，只是为了表达技术方案的清楚及方便。应当理解，所述方位词的使用不应限制本申请请求保护的范围。

在不冲突的情况下，本文中上述实施例及实施例中的特征可以相互结合。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种高速真空泵，其特征在于，其包括泵体(10)，所述泵体(10)内设置有相互啮合的第一转子部件(20)和第二转子部件(30)，所述第一转子部件(20)和第二转子部件(30)之间同步转动，所述第一转子部件(20)和第二转子部件(30)之间的转动方向相反，所述第一转子部件(20)的一端设置有第一轴承部件(40)和第一传动轮部件(50)，所述第一轴承部件(40)的内圈与所述第一转子部件(20)连接，所述第一轴承部件(40)的外圈与所述第一传动轮部件(50)连接，所述第二转子部件(30)的一端设置有第二传动轮部件(60)，所述第二传动轮部件(60)与所述第一传动轮部件(50)之间传动连接，所述第一传动轮部件(50)的直径大于所述第二传动轮部件(60)的直径，所述第一传动轮部件(50)能够被驱动的以所述第一转子部件(20)的转轴为轴转动。

2.根据权利要求1所述的高速真空泵，其特征在于，所述第一转子部件(20)的轴向和所述第二转子部件(30)的轴向分别与所述泵体(10)的长度方向一致，所述泵体(10)内具有内腔，所述第一转子部件(20)和所述第二转子部件(30)分别设置在所述内腔内，所述第一转子部件(20)的两端分别与所述泵体(10)长度方向的两端可转动连接，所述第二转子部件(30)的两端分别与所述泵体(10)长度方向的两端可转动连接。

3.根据权利要求2所述的高速真空泵，其特征在于，所述第一转子部件(20)轴线方向的两端分别为第一同步端(21)和配合端(22)，所述第一同步端(21)和所述配合端(22)分别贯穿所述泵体(10)长度方向的两端，所述第一同步端(21)上设置有第三传动轮部件(70)，所述第一轴承部件(40)的内圈与所述配合端(22)连接；

所述第二转子部件(30)轴线方向的两端分别为第二同步端(31)和从动端(32)，所述第二同步端(31)和所述从动端(32)分别贯穿所述泵体(10)长度方向的两端，所述第二同步端(31)上设置有第四传动轮部件(80)，所述第二传动轮部件(60)与所述从动端(32)连接；

所述第三传动轮部件(70)与所述第四传动轮部件(80)之间传动连接。

4.根据权利要求3所述的高速真空泵，其特征在于，所述第一轴承部件(40)的内圈套设在所述配合端(22)上，所述第一传动轮套设在所述第一轴承部件(40)的外圈上。

5.根据权利要求3所述的高速真空泵，其特征在于，所述第一传动轮部件(50)和所述第二传动轮部件(60)之间齿轮传动连接；和/或

所述第三传动轮部件(70)和所述第四传动轮部件(80)之间齿轮传动连接，所述第三传动轮部件(70)和所述第四传动轮部件(80)之间直径相同。

6.根据权利要求3所述的高速真空泵，其特征在于，所述第一同步端(21)和/或所述配合端(22)与所述泵体(10)之间通过第二轴承部件(90)可转动连接；和/或

所述第二同步端(31)和/或所述从动端(32)与所述泵体(10)之间通过第二轴承部件(90)可转动连接。

7.根据权利要求5所述的高速真空泵，其特征在于，其还包括密封箱部件(100)、传动轴(110)和驱动部件(120)，所述密封箱部件(100)设置在所述泵体(10)设有所述第一传动轮部件(50)和所述第二传动轮部件(60)的一侧，所述密封箱部件(100)内设置有第一容置腔，所述密封箱部件(100)朝向所述泵体(10)的一侧具有第一开口，所述第一开口与所述第一容置腔连通，所述第一传动轮部件(50)和所述第二传动轮部件(60)均位于所述第一容置腔内；

所述密封箱部件(100)上设置有轴孔，所述轴孔的轴线方向与所述泵体(10)的长度方向一致，所述轴孔与所述第一转子部件(20)对应设置，所述轴孔的一端与所述第一容置腔连通，另一端贯穿所述密封箱部件(100)；

所述驱动部件(120)设置在所述密封箱部件(100)远离所述泵体(10)的一侧，所述传动轴(110)位于所述轴孔内，所述传动轴(110)的两端分别与所述第一传动轮部件(50)和所述驱动部件(120)的转动主轴(121)连接。

8.根据权利要求7所述的高速真空泵，其特征在于，所述传动轴(110)上设置有通孔(111)，所述通孔(111)的一端与所述第一轴承部件(40)连通，所述通孔(111)的另一端与所述传动轴(110)的外部连通。

9.根据权利要求7所述的高速真空泵，其特征在于，所述轴孔的侧壁设置有凹槽结构(101)，所述凹槽结构(101)内设置有骨架油封(130)。

10.根据权利要求5所述的高速真空泵，其特征在于，其还包括端盖(140)，所述端盖(140)设置在所述泵体(10)设有所述第三传动轮部件(70)和所述第四传动轮部件(80)的一侧，所述端盖(140)内设置有第二容置腔，所述端盖(140)朝向所述泵体(10)的一侧具有第二开口，所述第二开口与所述第二容置腔连通，所述第三传动轮部件(70)和所述第四传动轮部件(80)均位于所述第二容置腔内。

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