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CN103879146A - 液体喷射头、液体喷射头的制造方法以及液体喷射装置 - Google Patents

液体喷射头、液体喷射头的制造方法以及液体喷射装置 Download PDF

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CN103879146A
CN103879146A CN201310702130.5A CN201310702130A CN103879146A CN 103879146 A CN103879146 A CN 103879146A CN 201310702130 A CN201310702130 A CN 201310702130A CN 103879146 A CN103879146 A CN 103879146A
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Abstract

本发明涉及液体喷射头、液体喷射头的制造方法以及液体喷射装置。具体而言，提供能够提高液体的喷出特性的液体喷射头、以及具备该液体喷射头的液体喷射装置。具备：促动器基板(2)，排列有多个槽(6)；喷嘴板(4)，其具有与槽(6)连通的喷嘴孔(11)，其特征在于：在壁部(5)两侧面(5a、5b)设置：驱动电极(12(12a、12b))，其沿X方向延伸；以及绝缘膜(21、22)，其覆盖壁部(5)的两侧面(5a、5b)的一部分，驱动电极(12(12a、12b))在喷嘴孔(11)的周边设置于壁部(5)的表面，并且在X方向的两侧端部处在与壁部(5)之间隔着绝缘膜(21、22)而设置。

Description

液体喷射头、液体喷射头的制造方法以及液体喷射装置
技术领域
本发明涉及液体喷射头以及液体喷射装置。
背景技术
一直以来，作为将油墨等液体喷射于记录纸等被记录介质，以记录字符、图形等的装置，已知如下液体喷射记录装置，其具备从多个喷嘴孔朝被记录介质喷射液体的所谓喷墨(ink jet)方式的液体喷射头。
例如，专利文献1所记载的液体喷射头具备：喷嘴板，其具有喷射液体的喷嘴孔；压电板，其在一侧面具有细长的槽，在另一侧面接合喷嘴板；以及盖板，其具有对槽供给液体的液体供给孔和从槽排出液体的液体排出孔，且设置于压电板的一侧面。该液体喷射头以如下方式构成，即，通过对驱动电极施加电压而使壁部变形，并使槽的容量变化，从而从喷嘴孔喷射填充于槽内的液体，该喷嘴孔在槽的长度方向的中间部配置。
另外，用于对压电板施加电压的驱动电极在壁部的侧面处沿槽的长度方向形成。一般而言，驱动电极的一侧端部连接于在压电板的一侧面形成的端子部并连续地形成。另外，为了防止与在槽内相向的其他驱动电极的短路，驱动电极的另一侧端部与槽的另一侧端部相比配置于一侧的位置。
因而，一般而言，液体喷射头的驱动电极的形成范围在壁部的和与喷嘴孔对应的位置相比长度方向的一侧部分、以及和与喷嘴孔对应的位置相比长度方向的另一侧部分中各不相同。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2011-93200号公报。
发明内容
发明要解决的问题
在以往的液体喷射头中，在壁部的长度方向的一侧部分和长度方向的另一侧部分中，壁部的因驱动电极的形成范围不同而引起的能够变形的范围不同。因此，在对液体喷射头的驱动电极施加电压以使壁部变形时，在壁部的长度方向的一侧部分和长度方向的另一侧部分中，变形量各不相同，在填充于槽的液体内部传播的压力波也在长度方向的两侧中平衡不同。因而，在如下点上具有改善的余地，即，在填充于槽的液体内部，使长度方向的两侧分别平衡较好地传播压力波，提高液体的喷出特性。
因此，本发明的课题是提供能够提高液体喷出特性的液体喷射头、以及具备该液体喷射头的液体喷射装置。
用于解决问题的方案
为了解决上述问题，本发明的液体喷射头具备：促动器基板，所述促动器基板由壁部分隔，且排列有多个贯通第一主面和第二主面的槽，所述壁部由压电体形成；以及喷嘴板，所述喷嘴板以覆盖所述槽的所述第一主面侧的开口的方式设置于所述促动器基板，且具有喷嘴孔，所述喷嘴孔在所述槽的长度方向的中间部与所述槽连通，其特征在于，在所述壁部的侧面，设置：驱动电极，所述驱动电极从所述长度方向的一侧端部沿所述长度方向延伸至另一侧端部；以及绝缘膜，所述绝缘膜覆盖所述壁部的侧面的一部分，所述驱动电极在所述喷嘴孔的周边设置于所述壁部的表面，并且至少在所述长度方向的所述一侧端部处在与所述壁部之间隔着所述绝缘膜而设置。
根据本实施方式，由于驱动电极从壁部的所述长度方向的一侧端部设置至另一侧的端部，故能够在长度方向的另一侧端部处防止在槽内相向的驱动电极彼此短路，并且在对驱动电极施加电压以驱动液体喷射头时，能够抑制壁部的长度方向的另一侧端部变形。另外，由于驱动电极至少在长度方向的一侧端部处在与壁部之间隔着绝缘膜而设置，故在对驱动电极施加电压以驱动液体喷射头时，能够抑制壁部的长度方向的一侧端部变形。由此，在对驱动电极施加电压以驱动液体喷射头时，壁部的喷嘴孔的周边部分能够变形，并且能够抑制壁部的长度方向的两端部变形。另外，由于能够仅仅使壁部的喷嘴孔的周边部分变形，故在填充于槽的液体内部，能够将在壁部的变形时产生的压力波分别隔着喷嘴孔的中心轴朝长度方向的两侧平衡较好地传播。因而，能够提高液体的喷出特性。
另外，其特征在于，所述驱动电极与所述喷嘴板分离。
根据本发明，由于驱动电极与喷嘴板分离，故在壁部之中，能够仅仅使设置有驱动电极的区域驱动并弯曲变形。
另外，其特征在于，所述驱动电极在所述长度方向的两侧处在与所述壁部之间隔着所述绝缘膜而设置。
根据本发明，在对驱动电极施加电压以驱动液体喷射头时，能够可靠地抑制壁部的长度方向的两侧变形。由此，由于能够仅仅使壁部的喷嘴孔的周边部分变形，并且在填充于槽的液体内部，能够将压力波隔着喷嘴孔的中心轴朝长度方向的两侧传播，故能够进一步提高液体的喷出特性。
另外，其特征在于，所述驱动电极在与所述喷嘴孔对应的位置处在与所述壁部之间还隔着所述绝缘膜而设置。
根据本发明，在对驱动电极施加电压以驱动液体喷射头时，能够抑制壁部的与喷嘴孔对应的部分变形，并且能够使壁部的与喷嘴孔对应的部分以外的周边部分变形。由此，在填充于槽的液体内部，能够将在壁部的变形时产生的压力波分别隔着喷嘴孔的中心轴朝长度方向的两侧平衡较好地传播。而且，通过在与喷嘴孔对应的位置处，在与壁部之间还隔着绝缘膜来设置驱动电极，在对驱动电极施加电压时，能够防止在与喷嘴孔对应的位置处产生电场。因而，能够在维持良好的喷出特性的情况下降低消耗电力。
另外，其特征在于，在所述驱动电极之中，在与所述壁部之间未隔着所述绝缘膜的有效驱动电极区域以相对于假想面为面对称的方式设置，所述假想面与所述长度方向正交且包含所述喷嘴孔的中心轴。
根据本发明，由于在与壁部之间未隔着绝缘膜的有效驱动电极区域以相对于假想面为面对称的方式设置，故在对驱动电极施加电压以驱动液体喷射头时，能够使壁部以相对于假想面为面对称的方式变形。由此，在填充于槽的液体内部，能够将在壁部的变形时产生的压力波分别平衡较好地相对于假想面而面对称地传播。因而，能够显著提高液体的喷出特性。而且，由于壁部之中与有效驱动电极区域以外对应的部分不会被不需要地驱动，故在对驱动电极施加电压以驱动液体喷射头时，能够减少壁部的共振点。因而，由于能够抑制驱动液体喷射头时的壁部的共振，故能够提高液体的喷出特性。
另外，其特征在于，具备盖板，所述盖板以覆盖所述槽的所述第二主面侧的开口的方式设置于所述促动器基板，且具有对所述槽供给液体的液体供给室，在所述槽之中，为所述喷嘴孔的周边的区域且与所述液体供给室对应的区域以外的既定区域为泵区域，所述有效驱动电极区域的所述长度方向的两侧缘部配置于所述泵区域内。
根据本发明，通过将有效驱动电极区域的长度方向的两侧缘部配置于泵区域内，在对驱动电极施加电压以驱动液体喷射头时，能够仅仅驱动泵区域内的壁部。因而，由于泵区域外的壁部不会被不需要地驱动，故能够减少壁部的共振点，抑制壁部的共振。
另外，其特征在于，具备盖板，所述盖板以覆盖所述槽的所述第二主面侧的开口的方式设置于所述促动器基板，且具有对所述槽供给液体的液体供给室，在所述槽之中，为所述喷嘴孔的周边的区域且与所述液体供给室对应的区域以外的既定区域为泵区域，所述有效驱动电极区域的所述长度方向的两侧缘部以沿所述泵区域与非泵区域的边界的方式配置。
根据本发明，由于通过以沿泵区域与非泵区域的边界的方式配置有效驱动电极区域的两侧缘部，能够仅仅驱动与泵区域对应的壁部，并且泵区域以外的壁部不会被不需要地驱动，故能够抑制壁部的共振。
另外，其特征在于，所述盖板具备从所述槽排出液体的液体排出室，所述液体供给室与所述槽的所述长度方向的所述一侧连通，所述液体排出室与所述槽的所述长度方向的所述另一侧连通，并且在所述槽之中，与所述液体供给室和所述液体排出室之间对应的区域为所述泵区域。
根据本发明，能够将能够提高液体的喷出特性的上述构成适宜地适用于所谓通流类型的液体喷射头。
另外，其特征在于，多个所述槽由喷出槽和非喷出槽交替地排列而形成，所述液体供给室以及所述液体排出室与所述喷出槽连通。
根据本发明，能够将能够提高液体的喷出特性的上述构成适宜地适用于具备喷出槽和非喷出槽的通流类型的液体喷射头。
另外，其特征在于，形成所述绝缘膜的材料的相对介电常数比形成所述壁部的所述压电体的相对介电常数小。
根据本发明，由于形成绝缘膜的材料的相对介电常数比形成壁部的压电体的相对介电常数小，故在与壁部之间隔着绝缘膜而设置驱动电极时，能够减小隔着壁部而相向的绝缘膜间的静电电容。由此，在驱动液体喷射头时，能够可靠地防止壁部之中与绝缘膜对应的部分驱动。
另外，其特征在于，形成绝缘膜的材料以SiO2为主成分。
根据本发明，通过使用以SiO2为主成分的材料形成绝缘膜，能够形成绝缘膜与驱动电极的紧贴性优秀，且可靠性高的液体喷射头。
另外，本发明的液体喷射头的制造方法是上述液体喷射头的制造方法，其特征在于，具备：将绝缘膜用掩模设置于压电体基板的绝缘膜用掩模设置工序；将绝缘材料成膜于所述压电体基板的绝缘材料成膜工序；设置驱动电极用掩模的驱动电极用掩模设置工序，所述驱动电极用掩模的与所述驱动电极的成膜区域对应的部分开口；以及进行所述驱动电极的电极材料的成膜的驱动电极制膜工序。
根据本发明，能够制造能够提高液体的喷出特性的液体喷射头。
另外，本发明的液体喷射装置的特征在于，具备：移动机构，所述移动机构使所述液体喷射头与被记录介质相对地移动；液体供给管，所述液体供给管对所述液体喷射头供给液体；以及液体储罐，所述液体储罐对所述液体供给管供给所述液体。
根据本发明，由于具备能够提高液体的喷出特性的液体喷射头，故能够形成高性能的液体喷射装置。
发明效果
根据本发明，由于驱动电极从壁部的所述长度方向的一侧端部设置至另一侧的端部，故能够在长度方向的另一侧端部处防止在槽内相向的驱动电极彼此短路，并且在对驱动电极施加电压以驱动液体喷射头时，能够抑制壁部的长度方向的另一侧端部变形。另外，由于驱动电极至少在长度方向的一侧端部处在与壁部之间隔着绝缘膜而设置，故在对驱动电极施加电压以驱动液体喷射头时，能够抑制壁部的长度方向的一侧端部变形。由此，在对驱动电极施加电压以驱动液体喷射头时，壁部的喷嘴孔的周边部分能够变形，并且能够抑制壁部的长度方向的两端部变形。另外，由于能够仅仅使壁部的喷嘴孔的周边部分变形，故在填充于槽的液体内部，能够将在壁部的变形时产生的压力波分别隔着喷嘴孔的中心轴朝长度方向的两侧平衡较好地传播。因而，能够提高液体的喷出特性。
附图说明
图1是实施方式所涉及的液体喷射头的分解立体图。
图2是实施方式所涉及的液体喷射头的说明图。
图3是沿着图2(a)的A-A线的截面图。
图4是绝缘膜的成膜工序的说明图。
图5是驱动电极的成膜工序的说明图。
图6是绝缘膜以及驱动电极的成膜后的说明图。
图7是根据绝缘膜的有无的共振特性的图表。
图8是实施方式的第一变形例所涉及的液体喷射头的说明图。
图9是实施方式的第二变形例所涉及的液体喷射头的说明图。
图10是具备实施方式所涉及的液体喷射头的液体喷射装置的说明图。
具体实施方式
以下，使用附图说明本发明的实施方式。
图1是实施方式所涉及的液体喷射头1的分解立体图。
图2是实施方式所涉及的液体喷射头1的说明图，图2(a)是喷出槽6a的沿长度方向的侧视截面图，图2(b)是非喷出槽6b的沿长度方向的侧视截面图。此外，在图1以及图2中，为了易于理解，对驱动电极12施加交叉影线，对绝缘膜20施加点影线而图示。
如图1所示，实施方式的液体喷射头1具有促动器基板2、盖板3、和喷嘴板4。
促动器基板2被由压电体形成的壁部5分隔，排列有多个槽6，槽6贯通第一主面S1和第二主面S2，包含喷出槽6a以及非喷出槽6b。盖板3以覆盖槽6的第二主面S2侧的第二开口7的方式设置于促动器基板2，在槽6的长度方向的一侧具有对喷出槽6a供给液体的液体供给室9，在槽6的长度方向的另一侧具有从喷出槽6a排出液体的液体排出室10。喷嘴板4具备连通于喷出槽6a的喷嘴孔11，并以覆盖槽6的第一主面S1侧的第一开口8的方式设置于促动器基板2。
此外，在以下的说明中，设槽6延伸的长度方向为X方向，设配置液体供给室9的一侧为-X侧，设配置液体排出室10的另一侧为+X侧。另外，设槽6的与长度方向正交的宽度方向为Y方向，设图1中的纸面左侧为-Y侧，设图1中的纸面右侧为+Y侧。另外，设与X方向以及Y方向正交的方向为Z方向，设第一主面S1侧为-Z侧，设第二主面S2侧为+Z侧。以下，根据需要使用XYZ的正交坐标系进行说明。
(促动器基板)
以下详细地说明液体喷射头1的各构成部件。
促动器基板2利用在Z方向上实施了极化处理的压电体材料(例如PZT陶瓷等)而形成为大致矩形板状。
促动器基板2的槽6为喷出槽6a和非喷出槽6b沿Y方向交替地并列排列而形成。
如图2(a)所示，在喷出槽6a中，-X侧以及+X侧端部分别以从促动器基板2的-Z侧(第一主面S1侧)朝+Z侧(第二主面S2侧)上切的方式倾斜，且从与促动器基板2的-X侧端部2a以及盖板3的-X侧端部3a相比+X侧位置形成至与促动器基板2的+X侧端部2b相比-X侧的位置。
如图2(b)所示，在非喷出槽6b中，+X侧端部与喷出槽6a同样地以从促动器基板2的-Z侧朝+Z侧上切的方式倾斜。另外，非喷出槽6b的-X侧端部延伸至促动器基板２的-X侧端部2a，在-X侧端部2a附近，形成在底部残留促动器基板2的底面抬高部(上げ底部)15。底面抬高部15的+Z侧面15a相对于第一主面S1大致平行地形成，并且与第一主面S1相比配置于+Z侧。底面抬高部15以从-Z侧朝+Z侧上切的方式倾斜，并且连续地形成至底面抬高部15的+Z侧面15a。
如图1所示，在各壁部5的侧面，沿X方向延伸有驱动电极12。之后叙述驱动电极12的细节。
(盖板)
盖板3利用例如与促动器基板2为相同材料的PZT陶瓷等而形成为大致矩形板状。此外，形成盖板3的材料不限定于PZT陶瓷，还可以使用例如可加工陶瓷、其他陶瓷、玻璃等低电介质材料。但是，由于通过利用相同材料形成盖板3和促动器基板2，能够使热膨胀相等，故能够抑制液体喷射头1的对应于温度变化的翘曲、变形。
如图2(a)以及(b)所示，盖板3在促动器基板2的-X侧具备液体供给室9，在+X侧具备液体排出室10，在液体供给室9与液体排出室10之间具备本体部3c，且以覆盖喷出槽6a以及非喷出槽6b的方式配置。喷嘴板3例如利用粘接剂等而粘接固定于促动器基板2的第二主面S2。此时，如图2(a)所示，在形成喷出槽6a的壁部5之中，与盖板3的本体部3c对应的区域的+Z侧端部与盖板3的本体部3c紧贴并牢固地固定。
如图2(a)以及(b)所示，盖板3的X方向长度以比促动器基板2的X方向长度短的方式形成。盖板3以+X侧端部3b与促动器基板2的+X侧端部2b成为大致同一面的方式，且以-X侧端部3a与促动器基板2的-X侧端部2a相比位于+X侧的方式配置。由此，在促动器基板2的第二主面S2之中，与盖板3的-X侧端部3a相比-X侧的区域露出至外侧。
如图1所示，在液体供给室9，在其底部形成有多个第一狭缝14a。第一狭缝14a在与喷出槽6a对应的位置处由液体供给室9的底部沿Z方向贯通而形成，并沿X方向延伸，且沿Y方向排列设置。如图2(a)所示，液体供给室9经由第一狭缝14a与喷出槽6a的-X侧端部连通。此外，液体供给室9与非喷出槽6b未连通(参照图2(b))。
另外，如图1所示，在液体排出室10，在其底部形成有多个第二狭缝14b。第二狭缝14b在与喷出槽6a对应的位置处由液体排出室10的底部沿Z方向贯通而形成，并沿X方向延伸，且沿Y方向排列设置。如图2(a)所示，液体排出室10经由第二狭缝14b与喷出槽6a的+X侧端部连通。此外，液体排出室10与非喷出槽6b未连通(参照图2(b))。
供给至液体供给室9的液体经由第一狭缝14a流入喷出槽6a，经由第二狭缝14b从喷出槽6a排出至液体排出室10。即，本实施方式的液体喷射头1为所谓通流(through flow)类型的液体喷射头1。此外，如图2(b)所示，由于非喷出槽6b与液体供给室9以及液体排出室10未连通，故液体不会流入非喷出槽6b。
盖板3的厚度优选设定为例如0.3mm～1.0mm。这是因为，若使盖板3薄于0.3mm则强度降低，若厚于1.0mm则液体供给室9、液体排出室10、第一狭缝14a、第二狭缝14b等的加工需要时间，并且伴随材料使用量的增加，成本变高。
(喷嘴板)
如图2(a)所示，喷嘴板4为利用例如聚酰亚胺、聚丙烯等合成树脂材料、金属材料等而形成的薄膜状部件，在从Z方向看时，形成为与促动器基板2的外形对应的大致矩形状。
喷嘴板4以覆盖喷出槽6a以及非喷出槽6b的第一主面S1侧的第一开口8的方式，例如利用粘接剂等粘接固定于促动器基板2的第一主面S1。另外，喷嘴板4具有喷嘴孔11，喷嘴孔11在喷出槽6a的X方向中间部与喷出槽6a连通。喷嘴孔11以从+Z侧朝-Z侧直径逐渐变小的方式形成。
喷嘴板4的厚度优选设定为例如0.01mm～0.1mm。这是因为，若使喷嘴板4薄于0.01mm则强度降低，若厚于0.1mm则振动传递至相邻的喷嘴孔11，容易产生干扰。
在此，PZT陶瓷的杨氏模量为58.48GPa，聚酰亚胺的杨氏模量为3.4GPa。因此，通过使用PZT陶瓷作为盖板3，使用聚酰亚胺膜作为喷嘴板4，覆盖促动器基板2的第二主面S2的盖板3与覆盖第一主面S1的喷嘴板4相比刚性变高。
另外，优选地，盖板3的材质的杨氏模量例如不低于40GPa，优选地，喷嘴板4的材质为例如杨氏模量在1.5GPa～30GPa的范围。这是因为，在喷嘴板4中，若杨氏模量低于1.5GPa则在接触被记录介质时容易受损，可靠性降低，若超过30GPa则振动传递至相邻的喷嘴孔11，容易产生干扰。
(驱动电极)
如图1所示，在液体喷射头1的促动器基板2的壁部5的侧面，形成有驱动电极12。
驱动电极12包含公用电极12a和有源电极12b，公用电极12a在壁部5的侧面之中设置于面向喷出槽6a的侧面5a，有源电极12b在壁部5的侧面之中设置于面向非喷出槽6b的侧面5b。
公用电极12a从面向喷出槽6a的一对壁部5、5的侧面5a、5a的-X侧端部沿X方向延伸并大致带状地设置至与+X侧端部相比-X侧的位置。在喷出槽6a的侧面5a、5a形成的一对公用电极12a、12a分别相互电连接(参照图1)。
有源电极12b从面向非喷出槽6b的一对壁部5、5的侧面5b、5b的-X侧端部沿X方向延伸并大致带状地设置至与+X侧端部相比-X侧的位置。在非喷出槽6b的侧面5b、5b形成的一对有源电极12b、12b分别相互电分离(参照图1)。
如图2(a)以及图2(b)所示，公用电极12a以及有源电极12b分别以与喷嘴板4分离的方式设置，喷嘴板4构成喷出槽6a以及非喷出槽6b的底面。在本实施方式中，公用电极12a以及有源电极12b分别例如与底面抬高部15的+Z侧面15a相比设置于+Z侧。
如图1所示，在促动器基板2的第二主面S2之中，在与盖板3的-X侧端部3a相比-X侧的区域，设置与公用电极12a电连接的公用端子16a、与有源电极12b电连接的有源端子16b、和将在相邻的非喷出槽6b形成的有源电极12b相互电连接的布线16c。
公用端子16a以及有源端子16b是与未图示的柔性基板的布线电极连接的焊盘(land)。有源端子16b与如下有源电极12b电连接，该有源电极12b在隔着喷出槽6a的一对壁部5、5之中形成于一个(在本实施方式中为-Y侧)壁部5的面向非喷出槽6b的侧面5b。有源端子16b还经由沿促动器基板2的-X侧端部2a的缘部形成的布线16c与如下有源电极12b电连接，该有源电极12b形成于另一个(在本实施方式中为+Y侧)壁部5的面向非喷出槽6b的侧面5b。
如图2(a)所示，在形成喷出槽6a的壁部5之中，与盖板3的本体部3c对应的区域的+Z侧端部以及-Z侧端部分别紧贴并牢固地固定于盖板3的本体部3c以及喷嘴板4。因而，通过对公用端子16a以及有源端子16b施加驱动信号，在与盖板3的本体部3c对应的区域中，能够固定壁部5的Z方向两端部并且使Z方向中间部沿Y方向弯曲变形，因此能够使喷出槽6a内的液体产生压力波并从喷嘴孔11喷出液体。即，喷出槽6a之中为喷嘴孔11的周边区域且与盖板3的本体部3c对应的区域能够作为泵部而起作用。以下，将喷出槽6a之中与盖板3的本体部3c对应的区域(与液体供给室9以及液体排出室10之间对应的区域)定义为泵区域P。另外，将喷出槽6a之中与液体供给室9的第一狭缝14a对应的区域、以及与液体排出室10的第二狭缝14b对应的区域(泵区域P以外的区域)分别定义为非泵区域。
如图2(a)以及图2(b)所示，驱动电极12(12a、12b)分别在喷嘴孔11的周边设置于壁部5的表面，并且在X方向的两端部处在与壁部5之间隔着绝缘膜20而设置。
绝缘膜20例如是由以二氧化硅(SiO2)为主成分的材料形成的膜。此外，形成绝缘膜20的材料不限定于SiO2，是具有与形成促动器基板2的压电体的相对介电常数相比较小的相对介电常数的材料即可。具体而言，作为形成绝缘膜20的材料，除了SiO2之外，还可以是例如氮化硅(Si3N4)、氧化铝(Al2O3)等。
如图2(a)以及图2(b)所示，绝缘膜20包括在壁部5的两侧面5a、5b的-X侧端部分别设置的第一绝缘膜21、和在壁部5的两侧面5a、5b的+X侧端部分别设置的第二绝缘膜22。此外，在壁部5的面向喷出槽6a的侧面5a设置的第一绝缘膜21以及第二绝缘膜22、和在壁部5的面向非喷出槽6b的侧面5b设置的第一绝缘膜21以及第二绝缘膜22为相同构成。因而，以下，仅仅说明在壁部5的面向喷出槽6a的侧面5a设置的第一绝缘膜21以及第二绝缘膜22，对于在壁部5的面向非喷出槽6b的侧面5b设置的第一绝缘膜21以及第二绝缘膜22省略详细的说明。
图3是沿图2(a)的A-A线的截面图。
如图3所示，第一绝缘膜21设于公用电极12a与壁部5的侧面5a之间。如图2(a)所示，在第一绝缘膜21中，Z方向宽度与公用电极12a的Z方向宽度大致相同，或者与公用电极12a的Z方向宽度相比稍宽地形成，且沿X方向延伸。第一绝缘膜21的-X侧端部21a配置于与盖板3的-X侧端部3a对应的位置。另外，第一绝缘膜21的+X侧端部21b配置于与泵区域P和与第一狭缝14a对应的非泵区域的边界相比稍为+X侧的位置且配置于泵区域P内。
另外，在第二绝缘膜22中，-X侧端部22a设于公用电极12a的+X侧端部与壁部5的侧面5a之间，并且在+X侧端部22b露出的状态下设置。在第二绝缘膜22中，Z方向宽度与公用电极12a的Z方向宽度大致相同，或者与公用电极12a的Z方向宽度相比稍宽地形成，且沿X方向延伸。
第二绝缘膜22的-X侧端部22a配置于与泵区域P和与第二狭缝14b对应的非泵区域的边界相比稍为-X侧的位置且配置于泵区域P内。另外，第二绝缘膜22的+X侧端部22b配置于喷出槽6a的+X侧端部。
如图2(a)以及图2(b)所示，在驱动电极12(12a、12b)之中，在与壁部5之间未隔着绝缘膜21、22的区域为在对驱动电极12(12a、12b)施加电压时能够产生电场的有效驱动电极区域E。在此，在采用与X方向正交并且包含喷嘴孔11的中心轴的假想面F时，有效驱动电极区域E以相对于假想面F为面对称的方式设置。因而，在对驱动电极12施加电压以驱动液体喷射头1时，能够使壁部5以相对于假想面F为面对称的方式变形。
图4是绝缘膜20(参照图2)的成膜工序的说明图，图5是驱动电极12(参照图2)的成膜工序的说明图，图6是绝缘膜20以及驱动电极12的成膜后的说明图。此外，图4至图6是与图2(a)的A-A线相当的位置的截面图。
绝缘膜20(21、22)以及驱动电极12(12a、12b)例如通过斜向蒸镀法而成膜。
具体而言，如图4所示，例如通过光刻技术将绝缘膜用掩模51设置于形成有槽6的压电体基板50，绝缘膜用掩模51的与有效驱动电极区域E(参照图2)以外的区域对应的部分开口(绝缘膜用掩模设置工序)。然后，从相对于Z方向向Y方向倾斜既定角度+θ以及-θ的方向开始，朝压电体基板50的第二主面S2，通过蒸镀法蒸镀绝缘材料55(绝缘材料成膜工序)。此外，此时有效驱动电极区域E(参照图2)由于被绝缘膜用掩模51覆盖，故绝缘材料55不会成膜。
接着，如图5所示，例如通过光刻技术将驱动电极用掩模52重叠于绝缘材料55并设置于进行了绝缘材料55的成膜的压电体基板50，驱动电极用掩模52的与驱动电极12(参照图1)的成膜区域对应的部分开口(驱动电极用掩模设置工序)。然后，在与绝缘膜20的成膜时同样地，从相对于Z方向向Y方向倾斜既定角度+θ以及-θ的方向开始，朝压电体基板50的第二主面S2，通过蒸镀法蒸镀电极材料56(驱动电极制膜工序)。由此，在有效驱动电极区域E(参照图2)中，电极材料56直接成膜于壁部5的两侧面5a、5b，在有效驱动电极区域E以外的区域中，电极材料56隔着绝缘材料55而成膜于壁部5的两侧面5a、5b。
接着，如图6所示，例如通过光刻法去除绝缘膜用掩模51以及驱动电极用掩模52，并同时去除绝缘膜用掩模51上的绝缘材料55以及驱动电极用掩模52上的电极材料56。由此，堆积于壁5两侧面5a、5b的电极材料56分离并形成公用电极12a以及有源电极12b。而且，公用电极12a以及有源电极12b在X方向的两端部处在与壁部5之间隔着绝缘膜20而设置于壁部5的两侧面5a、5b。
液体喷射头1如下地动作。此外，在以下的液体喷射头1的作用的说明中，对于各部件的符号，不参照图1至图3。
对液体供给室9供给液体，从液体排出室10排出液体，使液体循环。然后，通过对公用端子16a和有源端子16b施加驱动信号，使构成喷出槽6a的一对壁部5、5分别厚度滑移变形。此时，在一对壁部5、5之中，与有效驱动电极区域E对应的壁部5的Z方向中间部例如朝喷出槽6a的内侧弯曲变形。由此，在喷出槽6a内的液体生成压力波并从连通于喷出槽6a的喷嘴孔11喷出液体。在本实施方式中，有效驱动电极区域E以相对于假想面F为面对称的方式设置。因而，在对公用端子16a和有源端子16b施加电压以驱动液体喷射头1时，由于使壁部5以相对于假想面F为面对称的方式变形，故在填充于喷出槽6a的液体内部，能够将在壁部5的变形时产生的压力波分别隔着喷嘴孔11的中心轴朝Y方向两侧平衡较好地传播。
图7是在设横轴为频率(Hz)，设纵轴为阻抗(Ω)时的，根据绝缘膜的有无的共振特性的图表。此外，阻抗急剧上升的点表示共振点。
图7中的单点划线的图表表示不设置图1所示的绝缘膜20(21、22)，在壁部5的两侧面5a、5b直接设置驱动电极12(12a、12b)时的液体喷射头的驱动时的频率－阻抗特性。另外，图7中的实线图表表示像上述实施方式那样，在X方向的两端部处，在与壁部5之间隔着绝缘膜20在壁部5的两侧面5a、5b设置驱动电极12(12a、12b)时的液体喷射头1的驱动时的频率－阻抗特性。
从图7可知，在不设置绝缘膜20(21、22)，在壁部5的两侧面5a、5b直接设置驱动电极12(12a、12b)的情况下(单点划线的图表)，存在多个阻抗急剧变高的共振点。与此相对，像实施方式的液体喷射头1那样，在与壁部5之间隔着绝缘膜20在壁部5的两侧面5a、5b设置驱动电极12(12a、12b)的情况(实线的图表)下，在固有频率以外的频带不存在共振点。
如此，在实施方式的液体喷射头1中，驱动电极12(12a、12b)在X方向的两端部处在与壁部5之间隔着绝缘膜20而设置于壁部5的两侧面5a、5b，在与壁部5之间未隔着绝缘膜21、22的有效驱动电极区域E以相对于假想面F为面对称的方式设置，假想面F包含喷嘴孔11的中心轴。因而，在液体喷射头1的驱动时，壁部5以相对于假想面F为面对称的方式变形。而且，在本实施方式中，由于将有效驱动电极区域E的X方向的两侧缘部配置于泵区域P内，故能够仅仅驱动泵区域P内的壁部5。因而，由于泵区域P外的壁部5不会被不需要地驱动，故能够减少壁部5的共振点，抑制壁部5的共振。
此外，在本实施方式中，由于在构成非喷出槽6b的两壁部5的各侧面5b、5b设置的有源电极12b分别电分离，故能够独立地驱动各喷出槽6a。如此，通过独立地驱动各喷出槽6a，具有能够实现高频驱动的优点。此外，还可以使液体排出室10与液体供给室9的功能相反，从液体排出室10供给液体，从液体供给室9排出液体。而且，还能够在接触液体的内壁形成保护膜。
(实施方式的效果)
根据本实施方式，由于驱动电极12(12a、12b)从壁部5的-X侧端部设置至与+X侧端部相比一侧的位置，故能够在+X侧端部处防止在槽6(6a、6b)内相向的驱动电极12(12a、12b)彼此短路，并且在对驱动电极12(12a、12b)施加电压以驱动液体喷射头1时，能够抑制壁部5的+X侧端部变形。另外，在X方向的两侧中，驱动电极12(12a、12b)分别在与壁部5之间隔着第一绝缘膜21以及第二绝缘膜22而设置，因而在对驱动电极12(12a、12b)施加电压以驱动液体喷射头1时，能够抑制壁部5的-X侧端部以及+X侧端部变形。由此，在对驱动电极12(12a、12b)施加电压以驱动液体喷射头1时，壁部5的喷嘴孔11的周边部分变形，并且能够抑制壁部的长度方向的两端部变形。另外，由于能够仅仅使壁部5的喷嘴孔11的周边部分变形，故在填充于喷出槽6a的液体的内部，能够将在壁部5的变形时产生的压力波分别隔着喷嘴孔11的中心轴朝X方向的两侧平衡较好地传播。因而，能够提高液体的喷出特性。
另外，在与壁部5之间未隔着绝缘膜21、22的有效驱动电极区域E以相对于假想面F为面对称的方式设置，因而在对驱动电极12(12a、12b)施加电压以驱动液体喷射头1时，能够使壁部5以相对于假想面F为面对称的方式变形。由此，在填充于喷出槽6a的液体内部，能够将在壁部5的变形时产生的压力波分别平衡较好地相对于假想面F面对称地传播。因而，能够显著提高液体的喷出特性。而且，由于壁部5之中与有效驱动电极区域E以外对应的部分不会被不需要地驱动，故在对驱动电极12(12a、12b)施加电压以驱动液体喷射头1时，能够减少壁部5的共振点。因而，由于能够抑制驱动液体喷射头1时的壁部5的共振，故能够提高液体的喷出特性。
另外，通过将有效驱动电极区域E的X方向的两侧缘部配置于泵区域P内，在对驱动电极12(12a、12b)施加电压以驱动液体喷射头1时，能够仅仅驱动泵区域P内的壁部5。因而，由于泵区域P外的壁部5不会被不需要地驱动，故能够减少壁部5的共振点以抑制壁部5的共振。
另外，由于形成绝缘膜21、22的材料的相对介电常数比形成促动器基板2的壁部5的压电体的相对介电常数小，故在与壁部5之间隔着绝缘膜21、22设置驱动电极12(12a、12b)时，能够减小隔着壁部5而相向的第一绝缘膜21、21之间以及第二绝缘膜22、22之间的静电电容。由此，在驱动液体喷射头1时，能够可靠地防止壁部5之中与绝缘膜21、22对应的部分驱动。特别地，通过利用以SiO2为主成分的材料形成绝缘膜21、22，能够形成绝缘膜21、22与驱动电极12(12a、12b)的紧贴性优秀且可靠性高的液体喷射头1。
(实施方式的第一变形例)
图8是实施方式的第一变形例所涉及的液体喷射头1的说明图，是喷出槽6a的沿X方向的侧视截面图。此外，在图8中，为了易于理解，对驱动电极12施加交叉影线，对绝缘膜20施加点影线。
接着，说明实施方式的第一变形例所涉及的液体喷射头1。
在实施方式所涉及的液体喷射头1中，驱动电极12(12a、12b)分别在-X侧端部处在与壁部5之间隔着第一绝缘膜21，在+X侧端部处在与壁部5之间隔着第二绝缘膜22而设置(参照图2(a))。
与此相对，如图8所示，在实施方式的第一变形例所涉及的液体喷射头1中，驱动电极12(12a、12b)分别在-X侧端部处在与壁部5之间隔着第一绝缘膜21，在+X侧端部处在与壁部5之间隔着第二绝缘膜22而设置，并且在与喷嘴孔11对应的位置处，在与壁部5之间还隔着第三绝缘膜23而设置，在这一点上，与实施方式不同。此外，对于与实施方式同样的构成部分省略详细说明，仅对不同的部分进行说明。
如图8所示，在为公用电极12a与壁部5的侧面5a之间且与喷嘴孔11对应的位置，设有第三绝缘膜23。第三绝缘膜23的Z方向宽度与公用电极12a的Z方向宽度大致相同或者稍宽地形成。另外，第三绝缘膜23在X方向上具有既定的长度，以相对于假想面F为面对称的方式形成。此外，虽然省略图示，但在为有源电极12b(参照图1)与壁部5的侧面5a之间且与喷嘴孔11对应的位置，与公用电极12a同样地设有第三绝缘膜23。
在驱动电极12(12a、12b)之中，在与壁部5之间未隔着绝缘膜21、22、23的区域为在对驱动电极12(12a、12b)施加电压时能够产生电场的有效驱动电极区域E。第一变形例的有效驱动电极区域E被一分为二为与第三绝缘膜23相比配置于-X侧的第一有效驱动电极区域E1、和与第三绝缘膜23相比配置于+X侧的第二有效驱动电极区域E2。第一有效驱动电极区域E1与第二有效驱动电极区域E2以相对于假想面F为面对称的方式设置。因而，在对驱动电极12施加电压以驱动液体喷射头1时，与实施方式同样地，能够使壁部5以相对于假想面F为面对称的方式变形。
(实施方式的第一变形例的效果)
根据实施方式的第一变形例，通过在为驱动电极12(12a、12b)与壁部5的侧面5a之间且与喷嘴孔11对应的位置设置第三绝缘膜23，在对驱动电极12(12a、12b)施加电压以驱动液体喷射头1时，抑制壁部5的与喷嘴孔11对应的位置变形，并且能够使壁部5的与喷嘴孔11对应的位置以外的周边部分变形。由此，在填充于喷出槽6a的液体内部，能够将在壁部5的变形时产生的压力波分别隔着喷嘴孔11的中心轴朝X方向的两侧平衡较好地传播。而且，通过在与喷嘴孔11对应的位置处，在与壁部5之间还隔着第三绝缘膜23来设置驱动电极，在驱动电极12(12a、12b)之中，能够使在与壁部5之间未隔着绝缘膜21、22、23的有效驱动电极区域E缩窄第三绝缘膜23的量。因而，能够在维持良好的喷出特性的情况下降低消耗电力。
(实施方式的第二变形例)
图9是实施方式的第二变形例所涉及的液体喷射头1的说明图，是喷出槽6a的沿X方向的侧视截面图。此外，在图9中，为了易于理解，对驱动电极12施加交叉影线，对绝缘膜20施加点影线。
接着，说明实施方式的第二变形例所涉及的液体喷射头1。
在实施方式所涉及的液体喷射头1中，驱动电极12(12a、12b)分别在-X侧端部处在与壁部5之间隔着第一绝缘膜21，在+X侧端部处在与壁部5之间隔着第二绝缘膜22而设置(参照图2(a))。
与此相对，如图9所示，实施方式的第二变形例所涉及的液体喷射头1在驱动电极12(12a、12b)分别在-X侧端部处在与壁部5之间仅仅隔着第一绝缘膜21而设置这一点上与实施方式不同。此外，对于与实施方式同样的构成部分省略详细说明，仅对不同的部分进行说明。
如图9所示，公用电极12a的+X侧端部配置于为与壁部5的X方向的+X侧端部相比-X侧的位置且以沿泵区域P的+X侧缘部的方式配置。
公用电极12a在-X侧端部处在与壁部5之间隔着第一绝缘膜21而设置。
第一绝缘膜21的+X侧端部21b以沿泵区域P和与第一狭缝14a对应的非泵区域的边界的方式配置。此外，虽然省略图示，但是有源电极12b(参照图1)的+X侧端部与公用电极12a同样地，以沿泵区域P的+X侧缘部的方式配置。另外，在公用电极12a与壁部5之间间置的第一绝缘膜21的+X侧端部21b与公用电极12a侧的第一绝缘膜21同样地，以沿泵区域P和与第一狭缝14a对应的非泵区域的边界的方式配置。
在驱动电极12(12a、12b)之中，在与壁部5之间未隔着第一绝缘膜21的区域为在对驱动电极12(12a、12b)施加电压时能够产生电场的有效驱动电极区域E。在第二变形例中，驱动电极12(12a、12b)之中与泵区域P对应的区域为有效驱动电极区域E。有效驱动电极区域E以相对于假想面F为面对称的方式设置。因而，在对驱动电极12施加电压以驱动液体喷射头1时，与实施方式同样地，能够使壁部5以相对于假想面F为面对称的方式变形。
(实施方式的第二变形例的效果)
根据实施方式的第二变形例，驱动电极12(12a、12b)的+X侧端部以沿泵区域P的+X侧缘部的方式配置，并且第一绝缘膜21的+X侧端部21b以沿泵区域P与非泵区域的边界的方式配置，因而仅仅通过设置第一绝缘膜21，就能够以相对于假想面F为面对称的方式设置有效驱动电极区域E。因而，由于与实施方式相比能够削减绝缘材料的成本，故能够低成本地形成能够提高液体的喷出特性的液体喷射头1。
(液体喷射装置)
图10是具备实施方式所涉及的液体喷射头1的液体喷射装置30的说明图。
如图10所示，液体喷射装置30具备：多个(在本实施方式中为4个)液体喷射头1、对液体喷射头1供给液体，且从液体喷射头1排出液体的流路部35(相当于权利要求的“液体供给管”。)、以及对流路部35供给液体的液体泵33以及多个(在本实施方式中为4个)液体储罐34。各液体喷射头1具备多个头芯片，从喷嘴孔11(参照图1)喷出液体。作为液体泵33，设置对流路部35供给液体的供给泵以及排出液体的排出泵中的至少任一方。另外，有时也设置未图示的压力传感器、流量传感器，控制液体的流量。液体喷射头1使用上述实施方式以及实施方式的各变形例所涉及的任一者。
另外，液体喷射装置30具备：沿主扫描方向搬送纸等被记录介质44的一对搬送部件41、42、载置液体喷射头1的滑架单元43、以及沿与主扫描方向正交的副扫描方向扫描液体喷射头1的移动机构40。未图示的控制部控制并驱动液体喷射头1、移动机构40以及搬送部件41、42。
一对搬送部件41、42具备沿副扫描方向延伸，在接触辊面的同时旋转的栅格辊(grid roller)和夹送辊(pinch roller)。通过未图示的电动机使栅格辊与夹送辊绕轴转移并沿主扫描方向搬送夹入在辊之间的被记录介质44。移动机构40具备沿副扫描方向延伸的一对导轨36、37、能够沿一对导轨36、37滑动的滑架单元43、连结滑架单元43并使其沿副扫描方向移动的无接头带38、和通过未图示的滑轮使该无接头带38旋转的电动机39。
滑架单元43载置多个液体喷射头1，喷出例如黄、洋红、青、黑这四种液体。液体储罐34储存对应颜色的液体，并经由液体泵33以及流路部35对液体喷射头1进行供给。各液体喷射头1根据驱动信号喷出各色液体。通过控制从液体喷射头1喷出液体的定时、驱动滑架单元43的电动机39的旋转以及被记录介质44的搬送速度，能够在被记录介质44上记录任意图案。
此外，虽然本实施方式是移动机构40使滑架单元43和被记录介质44移动并进行记录的液体喷射装置30，但是作为其替代，还可以是将滑架单元固定，移动机构使被记录介质二维地移动并进行记录的液体喷射装置。即，移动机构是使液体喷射头1与被记录介质相对地移动的机构即可。
此外，本发明的技术范围并不限于上述实施方式，能够在不脱离本发明的要旨的范围内加以各种变更。
在实施方式中，虽然以所谓通流类型的液体喷射头1为例进行了说明，但是本发明的适用不限定于通流类型的液体喷射头1。
在实施方式中，虽然驱动电极12在促动器基板2的壁部5的侧面处以与喷嘴板4分离的方式设置，但是驱动电极12的设置范围不限定于实施方式。例如，驱动电极12还可以以接近喷嘴板4的方式设置。
例如，关于本发明，能够使用在槽6的深度方向上层叠了极化方向在上下方向上相互反向的压电体材料的人字形(chevron)类型。在该情况下，通过遍及壁部5的侧面5a、5b整个面形成驱动电极12，利用压电滑移效应，以壁部5的高度方向中间位置为中心，壁部5的上下部分V字状地弯曲变形。由此，能够以低电压使壁部5变形。
在实施方式中，虽然在槽6中，喷出槽6a与非喷出槽6b交替地排列，但是槽6的形态不限定于此。例如，喷出槽6a与非喷出槽6b还可以不交替地排列，还可以不包含非喷出槽6b，仅仅以喷出通道6b形成通道列6。
在实施方式中，第一绝缘膜21的+X侧端部21b以及第二绝缘膜22的-X侧端部22a配置于泵区域P内，有效驱动电极区域E的X方向的两侧缘部配置于泵区域P内，从而有效驱动电极区域E相对于假想面F面对称地形成。
与此相对，例如，还可以通过第一绝缘膜21的+X侧端部21b以及第二绝缘膜22的-X侧端部22a分别以沿泵区域P与非泵区域的边界的方式配置，且有效驱动电极区域E配置于与泵区域P相同的区域，从而有效驱动电极区域E相对于假想面F面对称地形成。另外，例如，还可以通过第一绝缘膜21的+X侧端部21b以及第二绝缘膜22的-X侧端部22a稍配置于泵区域P的外侧，且有效驱动电极区域E的X方向的两侧缘部配置于泵区域P外，从而有效驱动电极区域E相对于假想面F面对称地形成。在任一情况下，通过有效驱动电极区域E相对于假想面F面对称地形成，都获得实施方式的作用效果。
另外，在不脱离本发明的主旨的范围内，能够适当地将上述实施方式中的构成要素替换为公知的构成要素。
符号说明
1 液体喷射头、2 促动器基板、3 盖板、4 喷嘴板、5 壁部、5a 侧面、5b 侧面、6 槽、6a 喷出槽(槽)、6b 非喷出槽(槽)、9 液体供给室、10 液体排出室、11 喷嘴孔、12 驱动电极、12a 公用电极、12b 有源电极、20 绝缘膜、21 第一绝缘膜(绝缘膜)、22 第二绝缘膜(绝缘膜)、23 第三绝缘膜(绝缘膜)、34 液体储罐、35 流路部(液体供给管)、40 移动机构、44 被记录介质、E 有效驱动电极区域、F 假想面、P 泵区域、S1 第一主面、S2 第二主面。

Claims (13)

1.一种液体喷射头，具备：
促动器基板，所述促动器基板由壁部分隔，且排列有多个贯通第一主面和第二主面的槽，所述壁部由压电体形成；以及
喷嘴板，所述喷嘴板以覆盖所述槽的所述第一主面侧的开口的方式设置于所述促动器基板，且具有喷嘴孔，所述喷嘴孔在所述槽的长度方向的中间部与所述槽连通，
其特征在于，在所述壁部的侧面，设置：
驱动电极，所述驱动电极从所述长度方向的一侧的端部沿所述长度方向延伸至另一侧的端部；以及
绝缘膜，所述绝缘膜覆盖所述壁部的侧面的一部分，
所述驱动电极在所述喷嘴孔的周边设置于所述壁部的表面，并且至少在所述长度方向的所述一侧的端部处在与所述壁部之间隔着所述绝缘膜而设置。
2.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于：
所述驱动电极与所述喷嘴板分离。
3.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于：
所述驱动电极在所述长度方向的两侧处在与所述壁部之间隔着所述绝缘膜而设置。
4.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于：
所述驱动电极在与所述喷嘴孔对应的位置处在与所述壁部之间还隔着所述绝缘膜而设置。
5.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于：
在所述驱动电极之中，在与所述壁部之间未隔着所述绝缘膜的有效驱动电极区域以相对于假想面为面对称的方式设置，所述假想面与所述长度方向正交且包含所述喷嘴孔的中心轴。
6.根据权利要求5所述的液体喷射头，其特征在于：
具备盖板，所述盖板以覆盖所述槽的所述第二主面侧的开口的方式设置于所述促动器基板，且具有对所述槽供给液体的液体供给室，
在所述槽之中，为所述喷嘴孔的周边的区域且与所述液体供给室对应的区域以外的既定区域为泵区域，
所述有效驱动电极区域的所述长度方向的两侧缘部配置于所述泵区域内。
7.根据权利要求5所述的液体喷射头，其特征在于：
具备盖板，所述盖板以覆盖所述槽的所述第二主面侧的开口的方式设置于所述促动器基板，且具有对所述槽供给液体的液体供给室，
在所述槽之中，为所述喷嘴孔的周边的区域且与所述液体供给室对应的区域以外的既定区域为泵区域，
所述有效驱动电极区域的所述长度方向的两侧缘部以沿所述泵区域与非泵区域的边界的方式配置。
8.根据权利要求6所述的液体喷射头，其特征在于：
所述盖板具备从所述槽排出所述液体的液体排出室，
所述液体供给室与所述槽的所述长度方向的所述一侧连通，所述液体排出室与所述槽的所述长度方向的所述另一侧连通，并且
在所述槽之中，与所述液体供给室和所述液体排出室之间对应的区域为所述泵区域。
9.根据权利要求8所述的液体喷射头，其特征在于：
多个所述槽由喷出槽和非喷出槽交替地排列而形成，
所述液体供给室以及所述液体排出室与所述喷出槽连通。
10.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于：
形成所述绝缘膜的材料的相对介电常数比形成所述壁部的所述压电体的相对介电常数小。
11.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于：
形成所述绝缘膜的材料以SiO2为主成分。
12.一种权利要求1所述的液体喷射头的制造方法，其特征在于，具备：
将绝缘膜用掩模设置于压电体基板的绝缘膜用掩模设置工序；
将绝缘材料成膜于所述压电体基板的绝缘材料成膜工序；
设置驱动电极用掩模的驱动电极用掩模设置工序，所述驱动电极用掩模的与所述驱动电极的成膜区域对应的部分开口；以及
进行所述驱动电极的电极材料的成膜的驱动电极制膜工序。
13.一种液体喷射装置，具备：
权利要求1所述的液体喷射头；
移动机构，所述移动机构使所述液体喷射头与被记录介质相对地移动；
液体供给管，所述液体供给管对所述液体喷射头供给液体；以及
液体储罐，所述液体储罐对所述液体供给管供给所述液体。
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