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CN103472603A - 一种支撑针及显示面板生产设备 - Google Patents

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CN103472603A CN2013104249822A CN201310424982A CN103472603A CN 103472603 A CN103472603 A CN 103472603A CN 2013104249822 A CN2013104249822 A CN 2013104249822A CN 201310424982 A CN201310424982 A CN 201310424982A CN 103472603 A CN103472603 A CN 103472603A
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王涛
郭光龙
丁振勇
张振宇
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    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
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Abstract

本发明公开了一种支撑针及显示面板生产设备，用以降低基板背面的静电离子，并且可以有效的防止摩擦产生的静电离子和颗粒。所述支撑针为中空结构，其顶端和/或侧面设置有开口，所述开口用于使流经所述支撑针内部的气体通过所述开口吹出，以消除与支撑针相邻的设备的静电。

Description

一种支撑针及显示面板生产设备
技术领域
本发明涉及显示器技术领域，尤其涉及一种支撑针及显示面板生产设备。
背景技术
在半导体和液晶行业中，运用外加离子气体中和基板在传送过程中产生的静电离子从而消除静电对产品造成的破坏是一种常用的方法。
通过吹送离子气体来消除静电效应是液晶行业广泛应用的用来降低和缓解静电的方法，现有技术中的离子气体装置一般都位于机台（Stage）上方，而静电离子主要由基板与支撑针（Lift Pin）或Stage摩擦或者在传送过程中产生，所以静电离子多位于基板下方。
如图1所示，现有技术中离子气体装置10位于机台（Stage）11上方，但静电离子主要位于基板12下方及Stage上，因此，现有技术的支撑针结构不能除掉基板12背面的静电离子，所以现有装置的除静电效果并不理想，会导致电路烧伤，良品率下降，并且在支撑针13升起过程中很容易与Stage通道发生摩擦产生额外的静电离子和大量的颗粒（Particle）。
综上所述，现有的外置离子气体装置对于除静电的效果不是很理想。
发明内容
本发明实施例提供了一种支撑针，用以降低基板背面的静电离子，并且可以有效的防止摩擦产生的静电离子和颗粒。本发明还提供了一种显示面板生产设备。
根据本发明一实施例，提供的一种支撑针，所述支撑针为中空结构，其顶端和/或侧面设置有开口，所述开口用于使流经所述支撑针内部的气体通过该开口吹出。
由本发明实施例提供的所述支撑针为中空结构，可以将气体通入到支撑针中，而该支撑针的顶端和/或侧面设置有开口，通过其开口可以将通入到支撑针中的气体吹出，这样可有效的去除机台和基板背面产生的静电离子，提高产品的良率。
较佳地，所述支撑针的侧面设置有多个开口。
这样，当侧面设置的多个开口吹出气体时，可以有效的防止支撑针在上升过程中与机台产生摩擦进而产生新的静电离子和大量颗粒。
较佳地，所述多个开口的大小相等。
这样，大小相等的开口可以保证支撑针吹出的气体均匀，且吹出的气体的流量大小容易控制，便于控制支撑针在升起过程中侧面与机台通道产生的相互作用力，进而有效的防止支撑针在上升过程中与机台产生摩擦。
较佳地，所述侧面设置的多个开口以该支撑针的中心轴对称分布。
这样，侧面设置的对称分布的多个开口可以使得支撑针两个侧面与机台通道产生的相互作用力相等，即容易控制支撑针在上升过程中与机台产生的摩擦力。
较佳地，所述支撑针的开口为圆形开口。
这样，圆形开口的设计在支撑针开口的设计中简单方便。
较佳地，所述顶端设置的开口的面积小于或等于1.7671平方毫米。
这样，由于支撑针的顶端设置有支撑针冒的结构，顶端设置的开口面积不宜过大，顶端设置的开口的面积设计为小于或等于1.7671平方毫米时，更有利于降低基板背面的静电离子。
较佳地，所述侧面设置的开口的面积小于或等于0.7854平方毫米。
这样，为了保证支撑针的强度，侧面设置的开口面积不宜过大，侧面设置的开口的面积设计为小于或等于0.7854平方毫米时，可以更加有效的防止摩擦产生的静电离子和颗粒。
较佳地，所述支撑针为中空的圆柱体。
这样，圆柱体的支撑针设置在机台部件的设计中简单且容易实现，同时通入中空的圆柱体的支撑针中的离子气体的气体流量容易控制。
本发明的实施例还提供了一种显示面板生产设备，所述设备包括：离子气体装置，以及多个上面所述的支撑针，所述离子气体装置设置有与每个支撑针一一对应的通气部件，用于将离子气体输出给对应的支撑针，并通过支撑针上设置的开口吹出。
由上述实施例提供的显示面板生产设备，由于所述显示面板生产设备包括以上所述的支撑针，所以，该显示面板生产设备能有效的降低基板背面的静电离子，并且可以有效的防止摩擦产生的静电离子和颗粒。
较佳地，每个支撑针与对应的通气部件密闭连接。
这样，密闭连接有利于将所需的离子气体完全输入到对应的支撑针内部，避免离子气体外漏，从而能够准确的控制输入到支撑针内的离子气体流量。
较佳地，所述通气部件为通气管道。
这样，当通气部件为通气管道时，较其它通气部件，通气管道更容易与所述支撑针密闭连接，且通气管道的设置也方便简单。
附图说明
图1为现有技术中的一种显示面板生产设备的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的一种支撑针的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的一种显示面板生产设备的结构示意图。
具体实施方式
本发明实施例提供了一种支撑针及显示面板生产设备，用以降低基板背面的静电离子，并且可以有效的防止摩擦产生的静电离子和颗粒。
下面给出本发明实施例提供的技术方案的详细介绍。
如图2所示，本发明实施例提供的一种用于生产显示面板的支撑针20，所述支撑针20为中空结构，其顶端和/或侧面设置有开口，所述开口用于使流经所述支撑针内部的气体通过该开口吹出。所述支撑针在侧壁上设置的开口用于避免支撑针的侧面和与其相邻的设备之间的摩擦，从而可以消除与支撑针相邻的设备的静电，同时侧壁上吹出的气流也有清除尘粒的作用，所述支撑针在顶部设置的开口用以有效的降低基板背面的静电离子，同时也可以用于清除尘粒。
较佳地，所述支撑针20的侧面设置有多个开口。其中，图2仅示出了所述支撑针侧面的开口21、22、23和24，实际支撑针侧面的开口不限于本发明实施例提供的侧面开口，可以根据实际生产需要进行侧面开口数量的设计。
较佳地，所述开口21、22、23和24的大小相等。
较佳地，所述侧面设置的开口21与23以该支撑针20的中心轴25对称分布，所述侧面设置的开口22与24以该支撑针20的中心轴25对称分布。
较佳地，所述开口21、22、23与24为圆形开口，当然所述开口的形状还可以设置为其它形状，而不限于本发明实施例提供的圆形。
较佳地，所述顶端设置的开口26的面积小于或等于1.7671平方毫米，其中，图2仅示出了所述支撑针顶端的开口26，实际支撑针顶端的开口也不限于本发明实施例提供的顶端开口，可以根据实际生产需要将其顶端开口设置为多个开口，其中，顶端开口同样也可以设计为圆形的开口，当顶端开口设计为圆形的开口时，圆形开口的半径设置为不大于0.75毫米，当然也可以设计为其它形状的开口。
较佳地，所述侧面设置的开口21、22、23与24的面积小于或等于0.7854平方毫米，开口21、22、23与24的半径设置为不大于0.5毫米。
较佳地，所述支撑针20为中空的圆柱体，其中，所述支撑针还可以是中空的长方体等其它形状，而不限于本发明实施例提供的圆柱体。
如图3所示，本发明实施例提供的一种显示面板生产设备，所述设备包括：离子气体装置30，以及以上所述的多个支撑针31，其中，具体所需的支撑针个数按照生产设备实际的需要设置，所述离子气体装置30设置有与每个支撑针31一一对应的通气部件32，用于将离子气体输出给对应的支撑针，并通过支撑针31上设置的开口吹出。
较佳地，所述支撑针31与其对应的通气部件32密闭连接，同样地，所述显示面板生产设备中的多个支撑针中的每一个支撑针均与对应的通气部件密闭连接，其中，图3仅示出了与所述每一个支撑针对应的通气部件的位置，并没有示出与支撑针具体连接的通气部件。
较佳地，所述通气部件32为通气管道。
如图3所示，将传统的支撑针设计为中空结构，并在支撑针内通以离子气体，可以去除机台34及基板33背面的静电离子，同时，在支撑针侧面设置的对称开口可以缓解支撑针上升过程中与机台通道产生的摩擦，进而可以有效的防止由摩擦而产生的静电离子和大量颗粒。
综上所述，本发明实施例提供的一种用于生产显示面板的支撑针及显示面板生产设备，其中，所述支撑针为中空结构，其顶端和/或侧面设置有开口，所述开口用于使流经所述支撑针内部的气体通过该开口吹出，用以降低基板在生产过程中产生的静电，并且可以有效的防止摩擦产生的静电离子和颗粒。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (11)

1.一种支撑针，其特征在于，所述支撑针为中空结构，其顶端和/或侧面设置有开口，所述开口用于使流经所述支撑针内部的气体通过该开口吹出。
2.根据权利要求1所述的支撑针，其特征在于，所述支撑针的侧面设置有多个开口。
3.根据权利要求2所述的支撑针，其特征在于，所述多个开口的大小相等。
4.根据权利要求2所述的支撑针，其特征在于，所述侧面设置的多个开口以该支撑针的中心轴对称分布。
5.根据权利要求1所述的支撑针，其特征在于，所述开口为圆形开口。
6.根据权利要求1所述的支撑针，其特征在于，所述顶端设置的开口的面积小于或等于1.7671平方毫米。
7.根据权利要求1所述的支撑针，其特征在于，所述侧面设置的开口的面积小于或等于0.7854平方毫米。
8.根据权利要求1所述的支撑针，其特征在于，所述支撑针为中空的圆柱体。
9.一种显示面板生产设备，其特征在于，所述设备包括：离子气体装置，以及多个权利要求1-8任一权项所述的支撑针，所述离子气体装置设置有与每个支撑针一一对应的通气部件，用于将离子气体输出给对应的支撑针，并通过支撑针上设置的开口吹出。
10.根据权利要求9所述的显示面板生产设备，其特征在于，每个支撑针与对应的通气部件密闭连接。
11.根据权利要求9所述的显示面板生产设备，其特征在于，所述通气部件为通气管道。
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103972013A (zh) * 2014-05-14 2014-08-06 京东方科技集团股份有限公司 一种真空设备
CN104409389A (zh) * 2014-11-07 2015-03-11 合肥京东方光电科技有限公司 一种机台
WO2015039437A1 (zh) * 2013-09-17 2015-03-26 京东方科技集团股份有限公司 一种支撑针及显示面板生产设备
JP2016025219A (ja) * 2014-07-22 2016-02-08 株式会社アルバック 真空処理装置
CN106154607A (zh) * 2016-08-26 2016-11-23 京东方科技集团股份有限公司 一种升降机构
CN106526908A (zh) * 2016-08-30 2017-03-22 武汉华星光电技术有限公司 一种气浮型的支撑顶针装置及方法
CN110729172A (zh) * 2018-07-16 2020-01-24 台湾积体电路制造股份有限公司 清洁方法及装置
CN110828342A (zh) * 2019-10-25 2020-02-21 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 烘烤装置及基板烘烤方法
CN113035682A (zh) * 2019-12-25 2021-06-25 中微半导体设备(上海)股份有限公司 一种下电极组件及其等离子体处理装置

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10163676B2 (en) 2013-06-27 2018-12-25 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Apparatus and system for preventing backside peeling defects on semiconductor wafers
CN206573826U (zh) * 2017-03-23 2017-10-20 惠科股份有限公司 一种顶升装置及配向紫外线照射机

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005268270A (ja) * 2004-03-16 2005-09-29 Sharp Corp 液晶ガラス基板用載置台およびこれを用いた液晶ガラス基板のクリーニング装置
CN1808280A (zh) * 2006-02-13 2006-07-26 友达光电股份有限公司 可去除基板上静电的方法及其机台以及基座

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1225776C (zh) * 2002-04-24 2005-11-02 华邦电子股份有限公司 晶片夹持系统
KR101105697B1 (ko) * 2010-03-02 2012-01-17 주식회사 엘지실트론 반도체 제조 장치
CN203021022U (zh) * 2012-11-29 2013-06-26 京东方科技集团股份有限公司 基板传送装置
US10163676B2 (en) * 2013-06-27 2018-12-25 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Apparatus and system for preventing backside peeling defects on semiconductor wafers
CN103472603A (zh) * 2013-09-17 2013-12-25 京东方科技集团股份有限公司 一种支撑针及显示面板生产设备

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005268270A (ja) * 2004-03-16 2005-09-29 Sharp Corp 液晶ガラス基板用載置台およびこれを用いた液晶ガラス基板のクリーニング装置
CN1808280A (zh) * 2006-02-13 2006-07-26 友达光电股份有限公司 可去除基板上静电的方法及其机台以及基座

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015039437A1 (zh) * 2013-09-17 2015-03-26 京东方科技集团股份有限公司 一种支撑针及显示面板生产设备
CN103972013B (zh) * 2014-05-14 2016-08-24 京东方科技集团股份有限公司 一种真空设备
US10312061B2 (en) 2014-05-14 2019-06-04 Boe Technology Group Co., Ltd. Vacuum apparatus for vacuum treating substrate
CN103972013A (zh) * 2014-05-14 2014-08-06 京东方科技集团股份有限公司 一种真空设备
JP2016025219A (ja) * 2014-07-22 2016-02-08 株式会社アルバック 真空処理装置
CN104409389B (zh) * 2014-11-07 2017-10-27 合肥京东方光电科技有限公司 一种机台
CN104409389A (zh) * 2014-11-07 2015-03-11 合肥京东方光电科技有限公司 一种机台
US10330963B2 (en) 2014-11-07 2019-06-25 Boe Technology Group Co., Ltd. Machine table
WO2016070547A1 (zh) * 2014-11-07 2016-05-12 京东方科技集团股份有限公司 机台
US10386661B2 (en) 2016-08-26 2019-08-20 Boe Technology Group Co., Ltd. Elevating mechanism
CN106154607B (zh) * 2016-08-26 2019-03-29 京东方科技集团股份有限公司 一种升降机构
CN106154607A (zh) * 2016-08-26 2016-11-23 京东方科技集团股份有限公司 一种升降机构
CN106526908A (zh) * 2016-08-30 2017-03-22 武汉华星光电技术有限公司 一种气浮型的支撑顶针装置及方法
CN110729172A (zh) * 2018-07-16 2020-01-24 台湾积体电路制造股份有限公司 清洁方法及装置
US11562898B2 (en) 2018-07-16 2023-01-24 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Cleaning method and apparatus
US11923187B2 (en) 2018-07-16 2024-03-05 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Cleaning method and apparatus
CN110828342A (zh) * 2019-10-25 2020-02-21 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 烘烤装置及基板烘烤方法
CN113035682A (zh) * 2019-12-25 2021-06-25 中微半导体设备(上海)股份有限公司 一种下电极组件及其等离子体处理装置
CN113035682B (zh) * 2019-12-25 2023-03-31 中微半导体设备(上海)股份有限公司 一种下电极组件及其等离子体处理装置

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Publication number Publication date
US20160268157A1 (en) 2016-09-15
WO2015039437A1 (zh) 2015-03-26

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