CN103199034A - 真空处理系统 - Google Patents

Abstract

一种真空处理系统，包括第一腔室、第二腔室以及位于两者之间的阀门结构，阀门结构包括：背板，设置有多个开口，多个开口沿平行背板的第一直线方向间隔排列，用于连通第一腔室和第二腔室；多个阀门单元，装配于背板第一面上，多个阀门单元与多个开口相对应，阀门单元包括固定部和移动部；固定部固定于背板，其包括一与背板上的开口相对应的通孔和围绕通孔的垂直于背板的第一密封面；移动部，包括与第一密封面相对应的第二密封面，用于与第一密封面相配合密封通孔；驱动机构，用于同时驱动多个阀门单元的移动部向相应的固定部移动，使得第一密封面与第二密封面相接触，从而密封通孔。本发明真空处理系统中的阀门结构可靠性较高、可承受双向压力。

Description

真空处理系统

技术领域

本发明涉及一种真空技术领域，尤其涉及一种真空处理系统。

背景技术

薄膜太阳能电池是在玻璃、金属或塑料等基板上沉积很薄(几微米至几十微米)的光电材料形成的一种太阳能电池。薄膜太阳能电池在弱光条件下仍可发电，其生产过程能耗低，具备大幅度降低原料和制造成本的潜力，因此，市场对薄膜太阳能电池的需求正逐渐增长，而薄膜太阳能电池技术更成为近年来的研究热点。

一般而言，薄膜太阳能电池依次包括：基板、透明电极、p型掺杂硅薄膜、i层(非掺杂或本征的硅薄膜)、n型掺杂硅薄膜、以及背电极和保护板，其中p型掺杂硅薄膜、i层、n型掺杂硅薄膜组成一个光电单元，现有技术中薄膜太阳能电池通常还可以包括两个或多个叠加的光电单元。

等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition，PECVD)是最常用的沉积光电单元中各层硅薄膜的方法。沉积薄膜太阳能电池的真空处理系统包括：PECVD处理腔和与PECVD处理腔相连的传输腔，所述传输腔用于将基板传入或传出PECVD处理腔，所述PECVD处理腔和传输腔之间设置有阀门结构。

在专利号为US6647665的美国专利中公开了一种用于真空系统的阀门结构，所述真空系统1包括处理腔12和传输腔11，所述传输腔11和处理腔12之间的腔壁中设置有开口131，所述阀门结构13包括连通传输腔11和处理腔12的开口131，还包括覆盖所述开口131的密封部132，所述密封部132放置于传输腔11的一侧，并且所述密封部132的面积大于所述开口131的面积，从而可以完全覆盖所述开口131，进而起到阻隔传输腔11和处理腔12的作用，避免传输腔11和处理腔12之间漏气现象的发生。使所述密封部132露出所述开口131，可使传输腔11和处理腔12之间连通，传输腔11可以将基板传输至处理腔12中。

所述密封部132覆盖于所述开口131，所述密封部132与腔壁相接触处形成密封面，如图1所示，所述密封面与传输腔11和处理腔12之间气体流通方向相垂直，这样传输腔11和处理腔12之间的气压差所形成的压力差容易使密封部132与腔壁接触不够紧密从而造成阀门结构13密封不严的问题，从而使阀门结构13的密封性能下降，因而所述阀门结构13的可靠性较低。

发明内容

本发明解决的技术问题是提供一种可靠性高、可承受双向压力的真空处理系统。

为了解决上述问题，本发明提供一种真空处理系统，包括第一腔室、第二腔室以及位于所述第一腔室和第二腔室之间的阀门结构，所述阀门结构包括：

背板，位于所述第一腔室和所述第二腔室之间，所述背板上设置有多个开口，所述多个开口沿平行所述背板的第一直线方向间隔排列，用于连通所述第一腔室和所述第二腔室；

多个阀门单元，装配于背板的第一面上，所述多个阀门单元与所述多个开口相对应，所述阀门单元包括固定部和移动部；

所述固定部固定于所述背板，其包括一与所述背板上的开口相对应的通孔和围绕所述通孔的第一密封面，所述第一密封面与所述背板垂直；

所述移动部，包括与所述第一密封面相对应的第二密封面，用于与所述第一密封面相配合密封所述通孔；

驱动机构，与所述多个阀门单元的移动部连接，用于同时驱动所述多个阀门单元的移动部向相应的固定部移动，使得所述第一密封面与所述第二密封面相接触，从而密封所述通孔。

可选地，所述第一密封面包括第一密封部、第二密封部和两个连接密封面；所述第一密封部和所述第二密封部沿垂直所述背板的方向上错开；所述第一密封部的两端分别通过所述两个连接密封面与所述第二密封部的两端连接。

可选地，所述固定部为长条形的具有通孔的部件，所述通孔为狭缝；所述第一密封部处于所述狭缝沿着所述第一直线第一方向的一侧，所述第二密封部处于所述狭缝沿着所述第一直线第二方向的一侧；在垂直于背板的方向上，所述第二密封部靠近背板，所述第一密封部位于所述第二密封部远离背板的一侧；所述两个连接密封面位于所述狭缝的两端。

可选地，所述第一密封部的两端和所述第二密封部的两端分别平滑地过渡到所述两个连接密封面。

可选地，所述固定部包括一底板和一凸沿，所述狭缝为穿透所述底板的窄长缝，所述凸沿从所述狭缝第一直线第一方向侧背离所述背板的方向突出，所述凸沿朝向所述第一直线第二方向的面为第一密封部；所述底板朝向所述第一直线第二方向的面为第二密封部。

可选地，所述固定部包括位于所述狭缝第一直线第一方向侧的第一凸沿结构，还包括位于所述狭缝第一直线方向第二方向侧的第二凸沿结构；所述第一凸沿结构包括第一底座和第一凸起部，所述第一凸起部从所述第一底座朝背向所述背板的方向凸起，所述第一凸起部朝向所述第一直线第二方向的面为第一密封部；所述第二凸沿结构包括第二底座和第二凸起部，所述第二凸起部从所述第二底座朝背向所述背板方向凸起，所述第二凸起部朝向所述第一直线第二方向的面为第二密封部。

可选地，所述移动部为长条形部件；所述移动部包括底板和突起部，所述突起部从所述底板朝向所述背板方向突起；所述底板包括朝向所述第一直线第一方向的第一面，所述突起部包括朝向所述第一直线第一方向的第二面，所述第一面与所述第一密封部相配合，所述第二面与第二密封部相配合，以密封所述通孔。

可选地，所述驱动机构用于驱动所述移动部沿着平行所述第一直线第一方向移动，以密封所述通孔；所述驱动机构用于驱动所述移动部沿着所述第一直线第二方向移动，以打开所述通孔。

可选地，所述开口的形状为狭缝，所述通孔的形状也为狭缝。

可选地，所述第一密封部、第二密封部沿所述狭缝的延伸方向为波浪形。

可选地，所述第一密封部、第二密封部为平面。

可选地，所述驱动机构包括驱动杆和气缸，其中，所述驱动杆装配于背板的第一面上，并且与所述各阀门单元的移动部均连接；所述气缸位于第一腔室和第二腔室之外，且与所述驱动杆相连接，所述气缸驱动所述驱动杆沿所述第一直线的第一方向和第二方向运动。

可选地，所述移动部为长条形；所述驱动杆包括相互平行的第一驱动杆和第二驱动杆，所述移动部的两端分别与所述第一驱动杆和第二驱动杆连接。

可选地，所述驱动杆还包括平行于第一驱动杆、第二驱动杆的第三驱动杆，长条形的移动部的中部连接于所述第三驱动杆。

可选地，所述第一直线为竖直线，所述气缸用于驱动所述驱动杆，沿着所述竖直线进行上、下运动。

可选地，所述气缸与所述驱动杆的顶部相连，所述气缸产生自下而上的拉力，用于驱动所述驱动杆沿竖直线进行上、下运动。

可选地，所述气缸与所述驱动杆的底部相连，所述气缸产生自下而上的推力，用于驱动所述驱动杆沿竖直线进行上、下运动。

可选地，所述阀门结构还包括固定于背板上第一面上的一个或多个环形件，所述环形件沿第一直线方向排布；所述驱动杆穿过所述环形件，以装配于所述背板的第一面上。

可选地，所述阀门结构还包括连接部，用于连接所述移动部和所述驱动杆。

可选地，所述连接部包括用于夹持驱动杆的锁扣部件，所述锁扣部件通过铆接或卡扣方式使移动部、驱动杆连接在一起。

可选地，所述移动部还包括背向所述开口、与所述背板平行的表面，所述表面上设置有多个凹槽。

可选地，所述背板的第二面上设置有多个加强肋，所述多个加强肋位于各开口之间。

可选地，所述第二腔室为PECVD处理腔室，第一腔室为传输腔室，所述背板的第一面朝向所述传输腔室。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：

1.所述第一密封面和第二密封面均垂直于所述背板，所述第一密封面和第二密封面相接触形成的密封面与所述背板垂直，所述密封面与第一腔室和第二腔室之间气体的流通方向相平行，当所述移动部在所述第一腔室和第二腔室之间形成的压力差的作用下相对固定部发生移动时，所述密封面仍然可以起到良好的密封效果，提高了阀门结构的可靠性。

2.所述移动部和固定部之间形成垂直于背板的密封面，所述密封面和第一腔室、第二腔室之间压力的方向相平行，所述密封面可以承受第一腔室至第二腔室或第二腔室至第一腔室的双向压力，提高了阀门结构的使用范围。

3.可选地，所述第一密封部、第二密封部沿所述狭缝的延伸方向为波浪形，波浪形的所述第一密封部和第二密封部可以承受较强的力，进而可以增加阀门结构的寿命，此外，波浪形的所述第一密封部和第二密封部增大了密封面的面积，可以提高密封效果，从而提高了阀门结构的可靠性。

4.可选地，气缸与所述驱动杆的顶部相连，所述气缸产生自下而上的拉力，用于驱动所述驱动杆沿背板进行上、下运动，不会产生使驱动杆旋转的力矩，因此不会增大驱动杆与其邻近部件的摩擦力，从而减小了磨损，提高了驱动杆的寿命。

5.可选地，移动部为长条形，所述驱动杆包括分别与移动部两端相连接的第一驱动杆和第二驱动杆，还包括与长条形的移动部的中部相连接的第三驱动杆，所述第三驱动杆用于对密封部中部进行支撑，可以防止长条状密封部的中部向上弯曲而引起的变形，从而保证所述第一密封面和第二密封面之间紧密接触，提高密封性能，同时也能提高阀门结构的使用寿命。

6.可选地，所述第一腔室为传输腔室，所述第二腔室为PECVD处理腔室，所述阀门结构的大部分器件位于传输腔室中，可以避免气体对阀门结构的污染，提高了阀门结构的使用寿命。

7.可选地，背板朝向第二腔室的面上还设置有多个加强肋，可以防止背板因第一腔室和第二腔室之间的压力差而变形，从而提高了背板的使用寿命。

8.可选地，移动部背向所述开口的面上设置有多个凹槽，所述凹槽可以提供移动部受热膨胀的余量，从而防止移动部受热后变形，进而提高密封部的使用寿命。

9.可选地，气缸驱动所述驱动杆，使驱动杆沿着所述竖直线进行简单的上、下运动即可实现阀门结构的关闭和打开，驱动机构的结构较为简单。

附图说明

图1是现有技术真空处理系统中的阀门结构一实施例的示意图；

图2是本发明真空处理系统一实施例处于关闭状态时的立体图；

图3是图2所示真空处理系统处于打开状态时的立体图；

图4是图2所示阀门结构的局部放大图；

图5是图3所示阀门结构沿CC’方向的剖视图；

图6是图3所示阀门结构的局部立体图；

图7是图2所示阀门结构沿DD’方向的剖视图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

为了解决现有技术的问题，本发明提供一种真空处理系统，包括第一腔室、第二腔室以及位于所述第一腔室和第二腔室之间的阀门结构，所述阀门结构包括：背板，位于所述第一腔室和所述第二腔室之间，所述背板上设置有多个开口，所述多个开口沿平行所述背板的第一直线方向间隔排列，用于连通所述第一腔室和所述第二腔室；多个阀门单元，装配于背板的第一面上，所述多个阀门单元与所述多个开口相对应，所述阀门单元包括固定部和移动部；所述固定部固定于所述背板，其包括一与所述背板上的开口相对应的通孔和围绕所述通孔的第一密封面，所述第一密封面与所述背板垂直；所述移动部，包括与所述第一密封面相对应的第二密封面，用于与所述第一密封面相配合密封所述通孔；驱动机构，与所述多个阀门单元的移动部连接，用于同时驱动所述多个阀门单元的移动部向相应的固定部移动，使得所述第一密封面与所述第二密封面相接触，从而密封所述通孔。

本发明中所述第一密封面和第二密封面均垂直于所述背板，所述第一密封面和第二密封面相接触形成的密封面与所述背板垂直，所述密封面与第一腔室和第二腔室之间气体的流通方向相平行，当所述移动部在第一腔室和第二腔室之间形成的压力差的作用下相对固定部发生移动时，所述密封面仍然可以起到良好的密封效果，提高阀门结构的可靠性。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。

图2和图3分别示出了本发明真空处理系统一实施例关闭状态的立体图、打开状态的立体图。

在图2和图3中背板沿竖直面延伸，为了说明清楚，此处以第一直线沿竖直方向为例，所述多个开口沿竖直方向间隔排列，但是本发明对此不做限制。

所述真空处理系统包括第一腔室10、第二腔室20以及位于所述第一腔室10和第二腔室20之间的阀门结构30。本实施例中，所述第二腔室20包括多个子腔室(图未示)，所述阀门结构30位于第一腔室10和第二腔室20的多个子腔室之间，用于起到密封或连通第一腔室10与各子腔室的作用。

具体地，所述阀门结构30包括设置有开口300的背板301、装配于背板301上的多个阀门单元303、与所述阀门单元303相连的驱动机构304。以下对阀门结构30的各个组成部件进行详细说明。

背板301，位于所述第一腔室10和所述第二腔室之20间，所述背板301上设置有多个开口300，所述多个开口300沿竖直方向间隔排列，用于连通所述第一腔室10和所述第二腔室20的各子腔室。

多个阀门单元303，装配于背板301朝向第一腔室10的一面上，所述多个阀门单元303与所述多个开口300相对应。

为了使所述阀门单元303对每个开口300均进行密封或连通，优选地，所述多个阀门单元303与所述多个开口300的数量相同，并且所述阀门单元303分别位于相对应的所述开口300的位置处，但是本发明对此不做限制，在其他实施例中，所述阀门单元303与所述开口300的数量还可以不同。

所述阀门单元303包括固定部308和移动部302；所述固定部308为固定于背板301上露出开口300的部件，所述移动部302在所述驱动机构304的作用下相对所述固定部308沿竖直方向上下运动，以覆盖或者露出所述开口300，从而与所述固定部308相配合实现第一腔室10和第二腔室20之间的密封或连通。

本实施例中，所述固定部308为长条形的具有通孔311的部件，所述固定部308包括与所述背板301上的开口300相对应的通孔311和围绕所述通孔311的第一密封面312，所述第一密封面312与所述背板301垂直。

所述固定部308的通孔311露出所述开口300，本实施例中，所述开口300为沿水平方向延伸的狭缝，所述通孔311也为沿水平方向延伸的狭缝，所述通孔311的形状、尺寸和所述开口300的形状、尺寸相同，所述通孔311刚好可以完全露出所述开口300，但是本发明并不限制于此。

所述第一密封面312围绕所述通孔311一周，以形成围绕所述通孔311一周的密封面，以实现通过密封面密封所述通孔311进而密封所述开口300的目的。

结合参考图4，示出了图3所示阀门单元的放大图。具体地，所述第一密封面312包括位于通孔311上方的第一密封部3121，位于通孔311下方的第二密封部3122，以及位于狭缝状通孔311两端的两个连接密封面3123，所述第一密封部3121的两端分别通过两个连接密封面3123与所述第二密封部3122的两端连接。

所述第一密封部3121和所述第二密封部3122沿垂直所述背板301的方向上错开，本实施例中，在垂直于背板301的方向上，所述第二密封部3122靠近背板301，所述第一密封部3121位于所述第二密封部3122远离背板301的一侧。

本实施例中，所述固定部308的第一密封部3121和第二密封部3122朝下，所述第一密封部3121的两端和第二密封部3122的两端分别延伸至狭缝状的通孔311的两端，所述第一密封部3121和第二密封部3122在通孔311两端的位置处相接触，并经由连接密封面3123连接在一起。

所述第一密封部3121的两端和所述第二密封部3122的两端分别平滑地过渡到所述两个连接密封面3123。具体地，所述第一密封部3122、所述第二密封部3123的两端相接触的位置处具有一定的弧度，从而平滑地过渡到所述两个连接密封面3123。

所述移动部302为长条形的板状部件，包括沿竖直方向延伸的、用于覆盖所述通孔311的覆盖面，以及围绕所述覆盖面一周、垂直于背板301且与所述第一密封面312相对应的第二密封面313，所述第二密封面313用于与所述第一密封面312相配合密封所述通孔311。

具体地，所述第二密封面313包括与所述第一密封部3121相配合的第一面3131，与第二密封部3122相配合的第二面(图中未示出)。本实施例中，所述第一面3131和第二面均朝上。

为了实现密封，所述第一面3131的形状需与所述第一密封部3121的形状相匹配，所述第二面与所述第二密封部3122的形状相匹配。

继续参考图2和图3，本实施例中所述开口300为狭缝，所述第一密封部3121和第二密封部3122均为平面。但是本发明并不限制于此，所述第一密封部3121和第二密封部3122还可以为沿所述狭缝延伸方向的波浪形，所述波浪形的第一密封部3121和第二密封部3122可以承受较强的力，进而可以增加阀门结构30的寿命，此外，所述波浪形的第一密封部3121和第二密封部3122可以增大密封面的面积，从而进一步提高阀门结构30的可靠性。

驱动机构304，与所述多个阀门单元303的移动部302均连接，适于驱动所述移动部302沿着平行于背板301所在的竖直平面进行上、下移动。

本实施例中，所述移动部302在所述驱动机构304的驱动下向上移动，直至移动部302的第二密封面313与固定部308的第一密封面312相接触，从而形成垂直于所述背板301的密封面，所述密封面密封所述通孔311，从而实现阀门结构30的关闭，进而实现对第一腔室10和第二腔室20的各子腔室之间的隔离。

所述垂直于背板301的密封面与第一腔室10和第二腔室20之间气体的流通方向相平行，也就是说所述密封面与第一腔室10和第二腔室20之间的压力方向相平行，这样，当所述移动部302在压力差的作用下相对固定部308发生移动时，所述密封面仍然可以起到良好的密封效果，提高了阀门结构30的可靠性。

所述移动部302在所述驱动机构304的驱动下还可以向下移动，直至露出通孔11，从而露出所述开口300，进而连通第一腔室10和第二腔室20的各子腔室。

在其他实施例中，将所述固定部308沿背板301所在平面旋转180度装配在背板301上，并将移动部302沿背板301所在平面旋转180度与驱动杆305固定，那么所述移动部302还可以在所述驱动机构304的驱动下向上移动，以连通第一腔室10和第二腔室20的各子腔室，所述移动部302在所述驱动机构304的驱动下向下移动，以隔离第一腔室10和第二腔室20的各子腔室，本发明对此不做限制，本领域技术人员可以进行相应地修改、替换和变形。

继续参考图2和图3，本实施例中，驱动机构304包括驱动杆305和气缸(图未示)，其中，所述驱动杆305装配于背板301朝向第一腔室10的一面上，所述驱动杆305与各阀门单元303的移动部302均连接，所述驱动杆305在所述气缸所产生的驱动力的作用下沿平行于背板301的平面进行运动。

所述气缸位于第一腔室10和第二腔室20之外，所述气缸与所述驱动杆305相连接，所述气缸用于产生使驱动杆305沿平行于背板301所在平面运动的驱动力。

为了使所述驱动杆305沿竖直方向上下运动，所述气缸可以与驱动杆305的上端部相连，用于产生自下至上的拉力，所述拉力使所述驱动杆305进行上、下运动。所述气缸还可以与驱动杆305的下端部相连，用于产生自下至上的推力，所述推力可以使驱动杆305进行上、下运动。

需要说明的是，对于气缸与驱动杆305的下端部相连，用于产生自下至上的推力的实施例，由于驱动杆305本身具有一定的质量，驱动杆305本身的重力作用不可忽略，而驱动杆305的重力作用点位于所述驱动杆305的重心、且重力方向向下，而推力的作用点位于驱动杆305的下端部、且推力方向向上，所述推力的方向如果和所述重力的方向不重合，在与重力的共同作用下，会形成使驱动杆305旋转的力矩，从而增大驱动杆305与其邻近部件的之间的摩擦力。

而对于气缸可以与驱动杆305的上端部相连，用于产生自下至上的拉力的实施例，则不会产生使驱动杆305旋转的力矩，因此不会增大驱动杆305与其邻近部件的摩擦力。因此，气缸与驱动杆305的上端部相连，用于产生自下至上的拉力为优选的技术方案。

本发明通过驱动机构304带动移动部302进行简单的上、下运动，即可实现阀门单元303的关闭和打开，结构较为简单。

本实施例中驱动机构304包括气缸和驱动杆305，但是本发明并不限制于此，在其他实施例中，所述驱动机构304还可以包括其他制动装置和连动装置。

如图2和图3所示，本实施例中，所述移动部302为长条形的板状部件，所述驱动杆305包括沿竖直方向放置、相互平行的第一驱动杆和第二驱动杆，所述第一驱动杆和第二驱动杆分别与移动部302的两端固定连接。所述第一驱动杆和第二驱动杆在气缸驱动下，可以沿竖直方向进行同步地上、下运动，从而带动所述移动部302进行上、下运动。

本实施例以驱动杆305包括第一驱动杆和第二驱动杆为例，但是本发明并不限制于此，在其他实施例中，驱动杆305还可以包括平行于所述第一驱动杆、第二驱动杆的第三驱动杆，所述第三驱动杆与长条形的移动部302的中部相连接，所述第一驱动杆、第二驱动杆、第三驱动杆在气缸驱动下，可以沿竖直方向进行同步地上、下运动，通过所述第三驱动杆对移动部302中部进行支撑，可以防止长条状移动部302的中部向上弯曲而引起的变形，从而保证所述第一密封面312和第二密封面313之间的紧密接触，提高密封性能，同时还可以提高阀门结构30的使用寿命。

继续参考图2和图3，背板301的第一面上固定有一个或多个环形件306，所述环形件306用于将驱动杆305装配在背板301上，还用于限制驱动杆305的位置。

具体地，所述环形件306具有中心轴，所述环形件306按照所述中心轴沿竖直方向的方式固定于所述背板301上。所述多个环形件306沿竖直方向排布，所述驱动杆305穿过各环形件306，从而装配于所述背板301上。

所述沿竖直方向排布的环形件306还可以起到限制驱动杆305运动方向的作用，所述环形件306与气缸相配合，使驱动杆305沿竖直方向进行上、下运动。

继续参考图2，本发明真空处理系统中的阀门结构30还包括多个连接部307，用于连接驱动杆305和移动部302，本实施例中，驱动杆305包括第一驱动杆和第二驱动杆，移动部302的两端分别通过一连接部307与所述第一驱动杆和第二驱动杆固定在一起。

具体地，所述连接部307包括与驱动杆305(第一驱动杆、第二驱动杆)相匹配的锁扣部件，所述锁扣部件用于夹持固定所述驱动杆(第一驱动杆、第二驱动杆)，所述锁扣部件通过铆接或卡扣的方式将移动部302和驱动杆305连接在一起。

这样，驱动杆305(第一驱动杆、第二驱动杆)在上、下运动时带动移动部302沿着平行于背板301所在平面上、下运动，从而覆盖并密封固定部308的通孔311或露出固定部308的通孔311，以分别实现第一腔室10和第二腔室20之间的隔离或第一腔室10和第二腔室20之间的连通。

下面结合阀门单元的放大图，对阀门单元的技术方案做进一步说明。

如图3所示的实施例中，所述固定部308为长条形的具有通孔311的部件，所述通孔311为狭缝；所述固定部308包括一底板和一凸沿，所述狭缝为穿透所述底板的窄长缝，所述凸沿从所述狭缝上方背离所述背板301的方向突出，所述凸沿朝下的面为第一密封部3121；所述底板朝向下的面为第二密封部3122。

请参阅图5和图6，分别示出了在阀门单元在打开状态时的剖视图和立体图。如图5所示的剖视图中，所述固定部308还可以是包括被通孔311隔开的位于通孔311上方的第一凸沿结构3081、位于通孔311下方的第二凸沿结构3082。

所述第一凸沿结构3081包括第一底座321和第一凸起部322，所述第一凸起部322从所述第一底座321背向所述背板301方向凸起，本实施例中，所述第一凸起部322在所述通孔311上侧、沿背向所述背板301的方向从所述第一底座321突出，所述第一凸起部322从所述第一底座321突出从而形成向下的第一延伸面，所述第一延伸面为所述固定部308的第一密封部3121。

所述第二凸沿结构3082包括第二底座323和第二凸起部324，所述第二凸起部324从所述第二底座323背向所述背板301方向凸起，本实施例中，所述第二凸起部324在所述通孔311下侧、沿背向所述背板301的方向从所述第二底座323突出，所述第二凸起部324从所述第二底座323突出从而形成向下的第二延伸面，所述第二延伸面为所述固定部308的第二密封部3122。

具体地，所述第二凸沿结构3082的第二凸起部324背离背板301的平面与第一凸沿结构3081的第一底座321背离背板301的平面相齐平，所述第二凸沿结构3082的第二凸起部324与所述第一凸沿结构3081的第一底座321用于围成通孔311。

此外，所述第二凸沿结构3082的第二凸起部324远离背板301的平面与第一凸沿结构3081的第一底座321远离背板301的平面相齐平，从而使所述第二延伸面位于第一底座321靠近背板301的一侧，使所述第一延伸面位于第一底座321远离背板301的一侧，因此，所述第一延伸面和第二延伸面沿垂直于背板301的方向上错开，也就是说，所述第一密封部3121和第二密封部3122沿垂直于背板301的方向上错开，并且第二密封部3122靠近背板，而第一密封部3121位于第二密封部3122远离背板的一侧。

本实施例中，所述固定部308在第一凸沿结构3081的第一凸起部322的位置处、在第二凸沿结构3082的第二底座323的位置处均设置有垂直于背板301的螺孔，通过与所述螺孔相匹配的螺钉可以将所述固定部308固定在所述背板301上。

所述移动部302朝向所述通孔311的一侧呈台阶状，具体地，所述移动部302包括底板325和凸起部326，所述凸起部326从所述底板325朝向所述背板301方向凸起。

在本具体实施例中，阀门单元处于密封状态时，移动部302的底板325与所述第二凸沿结构3081的第二凸起部324背离背板301的平面、与所述第一凸沿结构3081的第一底座321背离背板301的平面均相接触，起到覆盖所述通孔311的作用，所述底板325朝向通孔311的面为移动部302的覆盖面。

本实施例中，所述底板325朝上的面为与所述第一密封部3121相配合的第一面3131，所述突起部324朝上的面为与所述第二密封部3122相配合的第二面3132。

结合参考图7，示出了图2所示真空处理系统沿DD’方向的剖示图，附图7以阀门结构30处于关闭状态的真空处理系统为例，附图7中同样示出了阀门单元局部区域放大图。

移动部302在驱动杆305的带动下移动至通孔311对应的位置处，所述移动部302中所述底板325朝向通孔311的面与固定部308的第二凸沿结构3082的第二凸起部324相贴合，并且与第一凸沿结构3081的第一底座321相贴合，从而覆盖通孔311，进而实现对开口300的覆盖。

而移动部302中所述底板325朝上的第一面3131与固定部308中第一凸起部322向下的第一延伸面相贴合，移动部302中突起部326朝上的第一面3132与固定部308第二凸起部324向下的延伸面相贴合，形成围绕所述通孔311一周的密封面，并且所述密封面与背板301相垂直。

所述垂直于背板301的密封面与第一腔室10和第二腔室20之间的气体的流向相平行，即使所述移动部302在第一腔室10和第二腔室20之间的压力差的作用下相对于固定部308发生移动时，所述密封面仍可以起到良好的密封效果，提高了可靠性。

由于第一腔室10和第二腔室20之间压力差也垂直于背板301，因此密封面的方向与第一腔室10和第二腔室20之间压力差的方向同向。所述密封面可以承受朝向第一腔室10或朝向第二腔室20的双向压力，提高了阀门结构30的使用范围。

需要说明的是，如图5、图6或图7所示，所述背板301朝向第二腔室20的一面上还设置有多个加强肋309，用于防止背板301因第一腔室10和第二腔室20之间的压力差而变形。本实施例中，所述加强肋309位于各开口300之间，在其他实施例中，所述加强肋309还可以位于部分开口300之间，本发明对此不做限制。

继续参考图2，较佳地，所述移动部302背离开口300的面上设置有多个凹槽310，用于提供移动部302受热膨胀的空间余量，从而防止移动部302因受热膨胀而变形。

需要说明的是，本发明真空处理系统中，较佳地，所述第一腔室10为传输腔室，所述第二腔室20为PECVD处理腔室，所述阀门结构30的大部分器件均位于传输腔室中，可以避免处理腔室内的气体对阀门结构30的污染，提高了使用寿命。

本发明虽然已以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本发明，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案做出可能的变动和修改，因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化及修饰，均属于本发明技术方案的保护范围。

Claims (23)

1.一种真空处理系统，包括第一腔室、第二腔室以及位于所述第一腔室和第二腔室之间的阀门结构，其特征在于，所述阀门结构包括：

背板，位于所述第一腔室和所述第二腔室之间，所述背板上设置有多个开口，所述多个开口沿平行所述背板的第一直线方向间隔排列，用于连通所述第一腔室和所述第二腔室；

多个阀门单元，装配于背板的第一面上，所述多个阀门单元与所述多个开口相对应，所述阀门单元包括固定部和移动部；

所述固定部固定于所述背板，其包括一与所述背板上的开口相对应的通孔和围绕所述通孔的第一密封面，所述第一密封面与所述背板垂直；

所述移动部，包括与所述第一密封面相对应的第二密封面，用于与所述第一密封面相配合密封所述通孔；

驱动机构，与所述多个阀门单元的移动部连接，用于同时驱动所述多个阀门单元的移动部向相应的固定部移动，使得所述第一密封面与所述第二密封面相接触，从而密封所述通孔。

2.如权利要求1所述的真空处理系统，其特征在于，

所述第一密封面包括第一密封部、第二密封部和两个连接密封面；

所述第一密封部和所述第二密封部沿垂直所述背板的方向上错开；

所述第一密封部的两端分别通过所述两个连接密封面与所述第二密封部的两端连接。

3.如权利要求2所述的真空处理系统，其特征在于，

所述固定部为长条形的具有通孔的部件，所述通孔为狭缝；

所述第一密封部处于所述狭缝沿着所述第一直线第一方向的一侧，所述第二密封部处于所述狭缝沿着所述第一直线第二方向的一侧；

在垂直于背板的方向上，所述第二密封部靠近背板，所述第一密封部位于所述第二密封部远离背板的一侧；

所述两个连接密封面位于所述狭缝的两端。

4.如权利要求2或3所述的真空处理系统，其特征在于，所述第一密封部的两端和所述第二密封部的两端分别平滑地过渡到所述两个连接密封面。

5.如权利要求3所述的真空处理系统，其特征在于，

所述固定部包括一底板和一凸沿，所述狭缝为穿透所述底板的窄长缝，所述凸沿从所述狭缝第一直线第一方向侧背离所述背板的方向突出，所述凸沿朝向所述第一直线第二方向的面为第一密封部；所述底板朝向所述第一直线第二方向的面为第二密封部。

6.如权利要求3所述的真空处理系统，其特征在于，

所述固定部包括位于所述狭缝第一直线第一方向侧的第一凸沿结构，还包括位于所述狭缝第一直线方向第二方向侧的第二凸沿结构；

所述第一凸沿结构包括第一底座和第一凸起部，所述第一凸起部从所述第一底座朝背向所述背板的方向凸起，所述第一凸起部朝向所述第一直线第二方向的面为第一密封部；

所述第二凸沿结构包括第二底座和第二凸起部，所述第二凸起部从所述第二底座朝背向所述背板方向凸起，所述第二凸起部朝向所述第一直线第二方向的面为第二密封部。

7.如权利要求5或6所述的真空处理系统，其特征在于，

所述移动部为长条形部件；

所述移动部包括底板和突起部，所述突起部从所述底板朝向所述背板方向突起；

所述底板包括朝向所述第一直线第一方向的第一面，所述突起部包括朝向所述第一直线第一方向的第二面，所述第一面与所述第一密封部相配合，所述第二面与第二密封部相配合，以密封所述通孔。

8.如权利要求6所述的真空处理系统，其特征在于，

所述驱动机构用于驱动所述移动部沿着平行所述第一直线第一方向移动，以密封所述通孔；

所述驱动机构用于驱动所述移动部沿着所述第一直线第二方向移动，以打开所述通孔。

9.如权利要求1所述的真空处理系统，其特征在于，所述开口的形状为狭缝，所述通孔的形状也为狭缝。

10.如权利要求9所述的真空处理系统，其特征在于，所述第一密封部、第二密封部沿所述狭缝的延伸方向为波浪形。

11.如权利要求9所述的真空处理系统，其特征在于，所述第一密封部、第二密封部为平面。

12.如权利要求1所述的真空处理系统，其特征在于，所述驱动机构包括驱动杆和气缸，其中，

所述驱动杆装配于背板的第一面上，并且与所述各阀门单元的移动部均连接；

所述气缸位于第一腔室和第二腔室之外，且与所述驱动杆相连接，所述气缸驱动所述驱动杆沿所述第一直线的第一方向和第二方向运动。

13.如权利要求12所述的真空处理系统，其特征在于，

所述移动部为长条形；

所述驱动杆包括相互平行的第一驱动杆和第二驱动杆，

所述移动部的两端分别与所述第一驱动杆和第二驱动杆连接。

14.如权利要求13所述的真空处理系统，其特征在于，所述驱动杆还包括平行于第一驱动杆、第二驱动杆的第三驱动杆，长条形的移动部的中部连接于所述第三驱动杆。

15.如权利要求12所述的真空处理系统，其特征在于，所述第一直线为竖直线，所述气缸用于驱动所述驱动杆，沿着所述竖直线进行上、下运动。

16.如权利要求15所述的真空处理系统，其特征在于，所述气缸与所述驱动杆的顶部相连，所述气缸产生自下而上的拉力，用于驱动所述驱动杆沿竖直线进行上、下运动。

17.如权利要求15所述的真空处理系统，其特征在于，所述气缸与所述驱动杆的底部相连，所述气缸产生自下而上的推力，用于驱动所述驱动杆沿竖直线进行上、下运动。

18.如权利要求12所述的真空处理系统，其特征在于，所述阀门结构还包括固定于背板上第一面上的一个或多个环形件，所述环形件沿第一直线方向排布；

所述驱动杆穿过所述环形件，以装配于所述背板的第一面上。

19.如权利要求12所述的真空处理系统，其特征在于，所述阀门结构还包括连接部，用于连接所述移动部和所述驱动杆。

20.如权利要求19所述的真空处理系统，其特征在于，所述连接部包括用于夹持驱动杆的锁扣部件，所述锁扣部件通过铆接或卡扣方式使移动部、驱动杆连接在一起。

21.如权利要求1所述的真空处理系统，其特征在于，所述移动部还包括背向所述开口、与所述背板平行的表面，所述表面上设置有多个凹槽。

22.如权利要求1所述的真空处理系统，其特征在于，所述背板的第二面上设置有多个加强肋，所述多个加强肋位于各开口之间。

23.如权利要求1所述的真空处理系统，其特征在于，所述第二腔室为PECVD处理腔室，第一腔室为传输腔室，所述背板的第一面朝向所述传输腔室。

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