CN103057945A - 一种多层基板存储装置 - Google Patents
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Claims (10)
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201210279992.7A CN103057945B (zh) | 2012-08-08 | 2012-08-08 | 一种多层基板存储装置 |
| US13/638,028 US9144901B2 (en) | 2012-08-08 | 2012-08-27 | Storage device for multilayer substrate |
| PCT/CN2012/080613 WO2014023048A1 (zh) | 2012-08-08 | 2012-08-27 | 一种多层基板存储装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201210279992.7A CN103057945B (zh) | 2012-08-08 | 2012-08-08 | 一种多层基板存储装置 |
Publications (2)
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| CN103057945A true CN103057945A (zh) | 2013-04-24 |
| CN103057945B CN103057945B (zh) | 2015-07-15 |
Family
ID=48100895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN201210279992.7A Expired - Fee Related CN103057945B (zh) | 2012-08-08 | 2012-08-08 | 一种多层基板存储装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
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| CN112692804A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-04-23 | 友上智能科技(苏州)有限公司 | 提升仓储空间利用率的机器人用智能活动料架 |
| CN113351554A (zh) * | 2021-06-03 | 2021-09-07 | 伊斯特电子科技(东台)有限公司 | 一种线路板清洁除尘装置 |
| CN113693386A (zh) * | 2021-08-27 | 2021-11-26 | 武汉洛洛雨科技有限公司 | 一种智慧库存自动存取货一体化系统及其使用方法 |
| CN113562309A (zh) * | 2021-09-27 | 2021-10-29 | 徐州和润电子材料有限公司 | 一种通讯电子产品制造用硅晶片无损存储装置 |
| CN113562309B (zh) * | 2021-09-27 | 2021-12-14 | 徐州和润电子材料有限公司 | 一种通讯电子产品制造用硅晶片无损存储装置 |
| CN116110836A (zh) * | 2023-04-13 | 2023-05-12 | 北京锐洁机器人科技有限公司 | 半导体单片变多片晶圆搬运执行机构、机械手及操作方法 |
| CN116110836B (zh) * | 2023-04-13 | 2023-07-04 | 北京锐洁机器人科技有限公司 | 半导体单片变多片晶圆搬运执行机构、机械手及操作方法 |
| CN116280646A (zh) * | 2023-05-19 | 2023-06-23 | 苏州锐杰微科技集团有限公司 | 一种用于芯片封装的晶圆存储转运箱及工作方法 |
| CN116280646B (zh) * | 2023-05-19 | 2023-08-15 | 苏州锐杰微科技集团有限公司 | 一种用于芯片封装的晶圆存储转运箱及工作方法 |
| CN117049017A (zh) * | 2023-08-10 | 2023-11-14 | 福建新福兴玻璃智能科技有限公司 | 一种数码打印玻璃储片装置 |
| CN116946611A (zh) * | 2023-08-21 | 2023-10-27 | 上海广川科技有限公司 | 一种整体式调整层距的晶圆存储设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN103057945B (zh) | 2015-07-15 |
| WO2014023048A1 (zh) | 2014-02-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of invention: Storage device of multilayer substrates Effective date of registration: 20190426 Granted publication date: 20150715 Pledgee: Bank of Beijing Limited by Share Ltd. Shenzhen branch Pledgor: SHENZHEN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: 2019440020032 |
|
| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right |
Date of cancellation: 20201016 Granted publication date: 20150715 Pledgee: Bank of Beijing Limited by Share Ltd. Shenzhen branch Pledgor: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co.,Ltd. Registration number: 2019440020032 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20150715 |