CN102989238B - 排气捕集器 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种排气捕集器。本发明的排气捕集器具备：流入口，该流入口使来自处理装置的废气流入，该处理装置为使用处理气体对基板实施规定处理的装置；流出口，该流出口使从上述流入口流入的上述废气流出；以及多块挡板，该挡板具有：一个或多个具有第一开口尺寸的第一开口部、以及多个具有比上述第一开口尺寸小的第二开口尺寸的第二开口部，在上述流入口与上述流出口之间该挡板被配置为与从上述流入口流向上述流出口的上述废气的流动方向相交叉，上述多块挡板中的一块挡板的上述第一开口部与相邻挡板的上述第一开口部相对于上述流动方向相互错位，上述多块挡板中相邻的两块挡板的间隔在上述第二开口尺寸的0.5倍至2倍的范围内。

Description

排气捕集器

技术领域

本发明依据2011年9月13日申请之日本专利申请第2011-199622号之优先权，将该日本申请的全部内容作为参考文献引用于文中。

本发明涉及被用于对基板进行气体处理的处理装置的排气捕集器。

背景技术

在半导体装置与平板显示器（FPD）的制造工序中，成膜、热处理、干蚀刻、清洁等这样的工序都是在真空处理室中，使用规定气体进行的。

例如，采用CVD（化学气相沉积）法进行成膜的成膜装置具有：反应室，该反应室能将内部排气成真空；基板支承部，该基板支承部被配置于该反应室内，支承半导体晶片等的基板；基板加热部，该基板加热部对被基板支承部支承的基板进行加热；真空泵等排气装置，该真空泵等排气装置经由规定的排气管道与反应室连接，对反应室排气；以及原料供给系统，该原料供给系统向反应室供给原料气体。在此类成膜装置中，被从原料供给系统向反应室供给的原料气体因被基板加热部加热的基板的热而在气相中或基板面上进行热分解或化学反应，从而生成反应生成物，该反应生成物堆积在基板上，由此形成薄膜。

从反应室中排出的废气中，包含即使其生成也不会有助于薄膜的成膜的反应生成物与反应副生成物。在这样的反应生成物与反应副生成物中，凝聚而成为粒子状的生成物在废气沿排气管道内流动时会出现堆积在排气管道和真空泵的内壁的情况。如堆积此类堆积性的物质，则可能出现排气能力低下与真空泵故障。因此，通常使用捕集废气中的堆积性物质、防止其流向下游侧的排气捕集器。

排气捕集器中有如下的类型，即、将翅片的多块板配置于内部，加长实际的气体流路，通过长时间地使废气接触该板面，来捕集废气中的堆积性物质。另外，还有如下的类型，即、不设置翅片板，而是设置有多块有开口的挡板，通过使废气多次碰撞挡板面来捕集废气中的堆积性物质。

对于上述排气捕集器而言，基本上都是使废气中的堆积性物质堆积于挡板和翅片板的表面上进行捕集，因此有时会因为挡板和翅片板的配置与配置间隔，而使大量的堆积性物质堆积于表面上，堵塞流路，或者，即便难以堵塞流路，堆积性物质的捕集效率也很难提高。

发明内容

本发明提供既能提高捕集效率又能减少堵塞的排气捕集器。

根据本发明的一个方式，提供一种排气捕集器，具备：流入口，该流入口使来自处理装置的废气流入；流出口，该流出口使从上述流入口流入的上述废气流出；以及多块挡板，该多块挡板具有：一个或多个具有第一开口尺寸的第一开口部、以及多个具有比上述第一开口尺寸小的第二开口尺寸的第二开口部，在上述流入口与上述流出口之间，该多块挡板被配置为与从上述流入口流向上述流出口的上述废气的流动方向相交叉，上述多块挡板中的一块挡板的上述第一开口部与相邻挡板的上述第一开口部相对于上述流动方向相互错位，上述多块挡板中相邻的两块挡板的间隔在上述第二开口尺寸的0.5倍至2倍的范围内。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的排气捕集器以及使用该排气捕集器的成膜装置的示意图。

图2是表示本发明的实施方式的排气捕集器的示意剖视图。

图3是表示被配置于图2的排气捕集器内的挡板的示意俯视图。

图4是表示挡板、对挡板进行定位的杆、调节挡板间隔的垫片之间关系的示意图。

图5是说明相邻两块挡板的位置关系的俯视图。

图6是说明被配置于图2的排气捕集器上的过滤器单元的过滤器的构造的俯视图。

图7A~图7C是说明通过图2的排气捕集器去除废气中的堆积性物质的原理的说明图。

图8A及图8B是说明图2的排气捕集器的适当间隔尺寸的说明图。

图9A及图9B是说明图2的排气捕集器的小口径孔的适当间隔的说明图。

具体实施方式

以下根据附图对本发明的实施方式的成膜方法以及成膜装置进行详述。图1是表示本发明的实施方式的排气捕集器以及使用该排气捕集器的成膜装置的示意图。如图所示，成膜装置20具有处理容器22，该处理容器22能够收纳多片被处理体亦即半导体晶片W。该处理容器22由纵向长的内管24和纵向长的外管26构成，该内管24具有有顶的圆筒体形状；该外管26具有顶的圆筒体形状。外管26被配置为在内管24的外周与外管26的内周之间留有规定间隔地包围内管24。另外，内管24与外管26例如都由石英形成。

在外管26的下端部经由O型环等密封部件30气密地连接有具有圆筒体形状例如为不锈钢材质的歧管28。利用该歧管28支承外管26的下端部。另外，该歧管28被未图示的底板支承。另外，在歧管28的内壁设置有具有环形形状的支承台32，内管24的下端部被该支承台32支承。

在处理容器22的内管24内，收纳有作为晶片保持部的晶舟34。作为被处理体的多个晶片W被以固定的间距保持于晶舟34。在本实施方式中，具有300mm直径的例如50~100片左右的晶片W以大致相等的间距被晶舟34保持为多级。晶舟34能够以如后所述的方式升降，且通过歧管28的下部开口，从处理容器22的下方被收纳于内管24内，或从内管24被取出。晶舟34例如由石英制作。

另外，在收纳晶舟34时，处理容器22的下端亦即歧管28的下部开口利用例如由石英、不锈钢板构成的盖部36密闭。在处理容器22的下端部与盖部36之间，为了保持气密性，例如夹设有O型环等密封部件38。晶舟34经由石英制的保温筒40被载置于工作台42上，该工作台42被支承于旋转轴44的上端部，该旋转轴44贯通于盖部36，该盖部36对歧管28的下端开口进行开闭。

在旋转轴44与盖部36上供旋转轴44贯通的孔之间，例如设置有磁流体密封件46，由此旋转轴44被气密地密封，并可旋转地被支承。旋转轴44例如安装于被舟升降机等升降机构48支承的臂50的前端。晶舟34及盖部36能够一体式地升降。另外，还可以将工作台42固定设置于盖部36一侧，不使晶舟34旋转，对晶片W实施成膜处理。此外，在处理容器22的侧部设置有包围处理容器22的例如由碳精金属丝制加热器构成的加热部（未图示），由此位于其内侧的处理容器22及其中的晶片W被加热。

另外，成膜装置20中设置有供给原料气体的原料气体供给源54、供给反应气体的反应气体供给源56以及供给惰性气体以作为吹扫气体的吹扫气体供给源58。

原料气体供给源54存储有硅烷（SiH4）气体、二氯甲硅烷（DCS）气体等含硅气体，且经由设置有流量控制器及开闭阀（未图示）的配管而与气体喷嘴60连接。气体喷嘴60气密地贯通歧管28，在处理容器22内弯曲为L字形状，且在内管24内的整个高度方向上延伸。在气体喷嘴60以规定的间距形成有多个气体喷射孔60A，能够从横向对被晶舟34支承的晶片W供给原料气。气体喷嘴60例如能够由石英制作。

反应气体供给源56存储例如氨（NH₃）气，经由设置有流量控制器及开闭阀（未图示）的配管而与与气体喷嘴64连接。气体喷嘴64气密地贯通歧管28，在处理容器22内弯曲成L字形状，且在内管24内的整个高度方向上延伸。在气体喷嘴60以规定的间距形成有多个气体喷射孔64A，能够从横向对被晶舟34支承的晶片W供给反应气。气体喷嘴64例如能够由石英制作。

吹扫气体供给源58存储扫吹气体，经由设置有流量控制器及开关阀（无图示）的配管，与气体喷嘴68连接。气体喷嘴68气密地贯通歧管28，在处理容器22内，弯曲为L字形状，在内管24内的整个高度方向延伸。在气体喷嘴68以规定的间距形成有多个气体喷射孔68A，能够从横向对被晶舟34支承的晶片W供给扫吹气体。气体喷嘴68例如能够以石英制作。另外，作为扫吹气体，例如能够使用Ar、He等稀有气体和氮气等惰性气体。

另外，将各气体喷嘴60、64、68设置为集合于内管24内的一侧（在图示例中，因空间关系，将喷嘴68记载于相对于其他的气体喷嘴60、64的相反侧），在与该各气体喷嘴60、64、68对置的内管24的侧壁上，沿上下方向形成有多个气体流通孔72。因此，被从气体喷嘴60、64、68供给的气体通过晶片间而在水平方向上流动，并通过气体流通孔72，被引导入内管24与外管26之间的间隙74。

另外，在歧管28的上部侧，形成有与内管24及外管26之间的间隙74连通的排气口76，且在该排气口76设置有对处理容器22进行排气的排气系统78。

排气系统78具有与排气口76连接的配管80，在配管80的中途，依次设置有压力调节阀80B和真空泵82，该压力调节阀80B能够调节阀芯的开度，并通过改变该阀芯的开度来调节处理容器22内的压力。由此，能够对处理容器22内的环境进行压力调节并排气直至达到规定压力。另外，在配管80且在真空泵82的下游侧设置有本发明的实施方式所涉及的排气捕集器10、连结于排气捕集器10的上部的过滤器单元14。由此，通过真空泵82从处理容器22进行排气，被从真空泵82排出的废气流入排气捕集器10。另外，在过滤器单元14的下游侧，配管80被连接于排气设备（未图示）。由此，在排气捕集器10去除了堆积性物质后的废气流向排气设备，在此处，去除废气中所含的例如未分解的氨气等有毒气体后将其排放到大气中。

其次参考图2至图5，说明排气捕集器10。

如图2所示，排气捕集器10具有：主体11，该主体11具有上端开口、底部密封的圆筒状形状；顶板11a，该顶板11a密封主体11的上端开口；多块挡板12，该挡板12在主体11内沿高度方向上以规定间隔配置。在主体11的侧周部的下方部分设置有气体流入口11b，在顶板11a设置有气体流出口11c。顶板11a经由O型环、金属密封部件等密封部件（未图示），被固定于主体11的上端开口边缘，由此，主体11与顶板11a之间被密封。另外，在主体11内设置有杆11e，该杆11e从底部中央与底部几乎垂直地延伸。杆11e如后所述，具有对挡板12进行定位的功能。

另外，在主体11的侧周部，从中央到上方部分设置有冷却套管13。在冷却套管13的下方部分设置有流体流入口13a，在上方部分设置有流体流出口13b。使被冷机单元（未图示）调节温度的流体以如下的方式循环流动，即、从流体流入口13a向冷却套管13内供给，并从流体流出口13b流出，返回冷机单元的方式，由此，能够将主体11维持于规定的温度。来自成膜装置20的废气被高温加热的情况很多，因此，主体11与挡板12也被加热。由此，堆积性物质的附着系数降低。但是，通过冷机单元将主体11维持于规定温度，由此能够防止挡板12被加热，从而能够提高附着系数。即，通过设置有冷却套管13，并利用冷机单元调节主体11的温度，能够增加捕集量。

参照图3，挡板12具有圆板状的上表面形状，例如，以不锈钢等金属形成。挡板12的厚度优选设定为在挡板12上附着有堆积性物质时，挡板12能够承受堆积性物质的重量。例如，挡板12的厚度例如可以是从0.5mm到5.0mm，在本实施方式中，约为1mm。另外，对于挡板12的外径而言，只要是挡板12能够设置于本体11内的范围内，则优选为尽可能接近主体11的内径的数值，在本实施方式中约为200mm。

挡板12具有4个大口径孔12a、多个（在图示例中为38个）小口径孔12b以及位于中央的导向孔12c。4个大口径孔12a的中心位于与挡板12的外周圆同心的圆的圆周上，以约45°的角度间隔彼此分离。大口径孔12a的内径优选设定为能够在挡板12形成例如4个大口径孔12a。例如，大口径孔12a的内径可以是从42mm到76mm，在本实施方式中约为50mm。

另外，多个小口径孔12b在4个大口径孔12a以外的部分，被以规定的规律性或随机地配置。在图示的例子中，在导向孔12c的周围，以60°的角度间隔设置有6个小口径孔12b，在相邻的两个大口径孔12a之间，在挡板12的半径方向上以几乎相等的间隔设置有4个小口径孔12b。另外，小口径孔12b的内径比大口径孔12a的内径小，例如，优选从10mm到20mm，在本实施方式中，约为12mm。

导向孔12c具有比上述杆11e的外径略大的内径，通过将杆11e插入导向孔12c，来对挡板12进行定位。具体而言，如图4所示，挡板12与供杆11e插入的圆筒状的垫片12s在上下方向上交替地插入于杆11e，由此挡板12在上下方向及水平方向上被定位。通过垫片12s的高度，能够适当调节挡板12的间隔，在本实施方式中大约为10mm。即，挡板12以大约11mm的间距（挡板12的厚度1mm与间隔10mm）被配置。

图5是示意性表示被配置于排气捕集器10的主体11内的多块挡板12中的，在上下方向上相邻的任意两块挡板12的俯视图。图中，以实线表示上方的挡板12U，以虚线表示下方的挡板12D。如图示所示，上方挡板12U的大口径孔12au的位置为，相对于下方挡板12D的大口径孔12ad，以大约45°的角度错位。根据此类配置，穿过下方的挡板12D的大口径孔12ad的废气主要穿过上方挡板12U的小口径孔12bu。即废气不是仅穿过大口径孔12a，而是能够穿过小口径孔12b至少一次。

如后所述，小口径孔12b具有捕集包含于沿排气捕集器10内流动的废气中的堆积性物质的功能。另外，大口径孔12a具有：与小口径孔12b同样捕集堆积性物质的功能、以及在小口径孔12b堵塞的情况下提供废气流路的功能。

再次参照图2，在主体11的顶板11a上，气密地配置有过滤器单元14。排气捕集器10的内部空间与过滤器单元14的内部空间经由顶板的气体流出口11c相互连通。在过滤器单元14内，在上下方向上以规定的间隔配置有多个网板14a。过滤器单元14具有与排气捕集器10的本体11几乎相等的内径，与此相对应，网板14a还具有与挡板12几乎相等的外径。

参照图6，网板14a具有圆板状的上表面形状。另外，网板14a具有十字状的支承部件14b、被支承部件14b支承的网眼部14c、形成于网眼部14c的开口14d以及形成于中央的导向孔14e。网眼部14c例如由不锈钢制成，优选具有比挡板12的小口径孔12b的内径小的网眼（开口尺寸）。网眼优选例如为5mm~10mm。通过网板14a，从排气捕集器10流入的废气中残留的堆积性物质的微小粒子与废气中的反应副生成物等被捕集。另外，为了在网眼部14c堵塞的情况下废气仍然流动，设置有开口14d。此外，为了通过插入导杆14f（图2）对网板14a进行定位而设置有导向孔14e。

下面参照图1、以及从图7A~图7C至图9A与图9B，对废气中的堆积性物质怎样通过发明的实施方式的排气捕集器10被捕集加以说明。另外，图7A~图7C分别是，从图5的成膜装置20（图1）排气并从气体流入口11b流入本体11内的废气的流动方向虽然因挡板12的挡板面（没有孔12a及12b的部分）略微改变，但是还是沿主体11内从下向上流动（参照箭头A）。即，在主体11内，与沿挡板12的表面方向的流动相比，朝向挡板12流动而穿过大口径孔12a及小口径孔12b的流动是主导性的。废气穿过大口径孔12a及小口径孔12b时，废气中的堆积性物质吸附于大口径孔12a及小口径孔12b的内边缘（边缘）。于是，吸附于边缘的堆积性物质成为核，相对于该核，废气中的堆积性物质进一步吸附，以核为中心，堆积性物质成长下去。其结果是，如图7B所示，具有几乎为圆形的截面的堆积物DP以孔12a及12b的边缘为中心形成（该堆积物DP沿大口径孔12a及小口径孔12b的圆形的边缘成长下去，因此具有环形的形状）。如此，能够从废气中有效捕集堆积性物质。

如果该堆积物DP进一步成长下去，则如图7C所示，会变成例如在最下面的挡板12，从边缘成长的堆积物DP使小口径孔12b堵塞的状况。但是，即使在这种情况下，因为该挡板12的大口径孔12a（图示省略）没有堵塞，因此废气还会穿过大口径孔12a朝向上一块挡板12流动（参照箭头B）。进而穿过上一块挡板12的小口径孔12b（参照箭头C）。此时，如上所述，废气中残留的堆积性物质在小口径孔12b的边缘堆积、成长下去，因此堆积性物质被从废气中有效地捕集。

另外，在图7C中，如果堆积性物质被进一步捕集，则在从下方计数的第二块挡板12的大口径孔12a的边缘堆积的堆积物会与在最下方的挡板12的小口径孔12b的边缘堆积的堆积物接触。于是，会被认为该大口径孔12a被堆积物包围堵塞。但是，即使在这种情况下，废气也能够通过该大口径孔12a而流动。图7C表示沿图5的Ⅰ-Ⅰ线的截面，下方的挡板12（12D）的小口径孔12b（12bu）位于上方的挡板12（12U）的大口径孔12a（12au）的下方，但是在偏离Ⅰ-Ⅰ线的截面中，在大口径孔12a（12au）的边缘的下方，没有小口径孔12b（12bu）。因此，在上方的挡板12（12U）的大口径孔12a（12au）的边缘的堆积物与下方的挡板12（12D）之间，存在间隙，废气能够通过该间隙与上方的挡板12（12U）的大口径孔12a（12au）向上方流动。

另外，如从图8A中所看到的，小口径孔12b堵塞时，堆积物DP的圆形状截面的半径r几乎等于小口径孔12b的内径d的约二分之一。换言之，到堆积于小口径孔12b的边缘的堆积物DP的半径r变为小口径孔12b的内径d的二分之一时为止，都能够通过小口径孔12b的边缘捕集堆积性物质。此处，如图8B所示，挡板12的间隔g比小口径孔12b的内径d的二分之一窄，小口径孔12b在与相邻的挡板12的挡板面对置的情况下，堆积于小口径孔12b的边缘的堆积物DP在小口径孔12b堵塞前，会与相邻的挡板12的挡板面接触，阻碍废气的流通。于是，堆积物DP无法进一步成长。即，该小口径孔12b即使还能够捕集废气中的堆积性物质，也无法进行捕集了。为了避免出现该状况，挡板12的间隔g优选比小口径孔12b的内径d的约二分之一大。

但是，从捕集量的观点出发，优选在废气捕集器10的主体11内配置多块挡板12，因此使挡板12的间隔g过大不是上策。例如，小口径孔12b堵塞时，其周围的电导减小，因此会有气体的流速降低，捕集效率降低的问题。如果将挡板12的间隔g设定为小口径孔12b的内径d的约两倍，则即便在上下相连的两块挡板12的各自小口径孔12b的位置上下一致，且彼此的小口径孔12b被堆积物堵塞的情况下，在两块挡板12的上下方向上也能留有足够的间隔。因此，能够抑制堵塞的小口径孔12b的周围的导电降低。其结果是还能够抑制捕集效率降低。

另外，小口径孔12b被堆积物堵塞时的堆积物的半径如上所述为小口径孔12b的内径d的二分之一。因此，上下相邻的两块挡板12的间隔如果是小口径孔12b的内径d的约两倍，则在小口径孔12b堵塞的情况下，在上下相邻的两块挡板12之间残留的间隙（堆积物间的间隔）几乎与小口径孔12b的内径d相等。

另外，挡板12的间隔g还可以与小口径孔12b的内径d相等。即使在这种情况下，在上下相邻的两块挡板12的各自小口径孔12b的位置上下一致的情况下，在小口径孔12b堵塞之前，在这两块挡板12之间仍留有间隙，能够确保通过小口径孔12b的气体流路。

另外，如图9A所示，优选以如下的方式形成两个小口径孔12b，即、使在小口径孔12b堵塞时，一个小口径孔12b的边缘的堆积物DP与其相邻的小口径孔12b的边缘的堆积物DP接触（参照图中的箭头E）。换言之，优选调节小口径孔12b的间隔L，以使在小口径孔12b堵塞时，在相邻两个小口径孔12b的边缘的堆积物DP之间不形成间隙G。具体而言，因为小口径孔12b堵塞时的堆积物的半径r为小口径孔12b的内径d的约二分之一，因此优选在一块挡板12上，相邻的两个小口径孔12b的间隔L不大于小口径孔12b的内径d。如此，通过缩小小口径孔12b的间隔L，能够高密度地形成小口径孔12b，因此能够增加捕集量。

另外，作为挡板12的厚度，从在大口径孔12a及小口径孔12b的边缘成核，以核为中心形成具有圆形截面形状的堆积物的观点出发，在挡板12具有能够承受堆积物的重量的强度的范围内，优选薄的厚度，如上所述，例如优选从0.5mm到5mm。

下面，对相对于成膜装置20使用排气捕集器10求取捕集量的结果进行说明。在使用的排气捕集器10中，设定：

·挡板12的张数：19张

·挡板12的间隔：10mm

·大口径孔12a的数量：4个

·大口径孔12a的内径：50mm

·小口径孔12b的数量：38个

·小口径孔12b的内径：12mm

进而，使成膜装置20运转42天，求取捕集了多少氮化硅（实施例）。作为含硅气体使用DCS气体，作为氮化气体使用氨。

另外，为了比较，准备了比较例的排气捕集器。该排气捕集器在具有与挡板12不同的挡板方面，与排气捕集器10不同，在其他构成方面，与排气捕集器10相同。该排气捕集器中收纳着17张仅有4个内径相等的孔的挡板、以及两张挡板12。其中，17张挡板的明细为：3张形成有具有50mm的内径的孔的挡板，5张形成有具有40mm的内径的孔的挡板，以及9张形成有具有20mm内径的孔的挡板。另外，从气体流入口11b朝向气体流出口11c的方向，依次配置有2张挡板12、3张形成有具有50mm的内径的孔的挡板、5张形成有具有40mm的内径的孔的挡板、以及9张形成有具有20mm的内径的孔的挡板。挡板的间隔从气体流入口11b一侧朝向气体流出口11c的方向慢慢变窄，并且，气体流入口11b一侧的挡板12的间隔为50mm。将这样的排气捕集器与成膜装置20连接，在相同条件下，运转成膜装置20。

根据试验前后的排气捕集器的重量差求得捕集量。其结果是，在实施例中捕集了大约5，920g的氮化硅，而在比较例中，仅捕集了2，430g的氮化硅。另外，从目视检查的结果可知，在比较例的排气捕集器中，中途的挡板堵塞。而在实施例的排气捕集器10中，在距离气体流入口11b最近的（最下方）的挡板12，几乎所有的小口径孔12b都堵塞，而大口径孔12a的至少中央部开口，进而能够继续使用。从上述结果可知，实施例的排气捕集器10能够有效捕集，并且能够长期不堵塞地使用。

如上所述，根据本实施方式的排气捕集器10，以横穿废气气流的方式配置具有大口径孔12a及小口径孔12b的挡板12，积极地使废气中的堆积性物质堆积于挡板12的大口径孔12a及小口径孔12b的边缘，因此能够更有效地捕集堆积性物质。在以往的废气捕集器中，虽然是使堆积性物质堆积在翅片板与挡板的表面，但是如果不是利用面，而是利用大口径孔12a及小口径孔12b的边缘，则容易成核，堆积物DP以核为中心成长下去，因此很明显捕集效率良好。当然在挡板12的挡板面上也能够堆积堆积性物质。

另外，即使在小口径孔12b堵塞的情况下，因为大口径孔12a不堵塞，因此废气能够穿过该挡板12a的大口径孔12a，堆积性物质被该挡板12的下游侧的其他挡板12捕集。即，在一块挡板12，即使小口径孔12b堵塞，因为废气能够通过大口径孔12a流动，因此能够继续使用排气捕集器10，能够通过更为下游侧的挡板12捕集堆积性物质。

在使用以往的翅片板等的排气捕集器中，为了避免堵塞，例如在废气中的堆积性物质的浓度高的流入口一侧，加宽翅片板的间隔，在废气中的堆积性物质浓度低的流出口一侧，缩窄翅片板的间隔。另外，在改变挡板间隔的情况下，需要根据使用的气体、使用条件，进行例如实验，决定设定怎样的间隔。

但是，在本实施方式的排气捕集器10中，即使在小口径孔12b堵塞的情况下，废气也能够穿过大口径孔12a，因此没有必要在气体流入口11b附近扩宽挡板12的间隔，由此来确保废气流路。另外，挡板12的间隔如上所述能够根据小口径孔12b的内径决定，并且，在上下方向上也能够设定为恒定。为此，能够紧密地配置挡板12，由此能够进一步提高捕集效率。

以上参照若干实施方式说明了本发明，但是本发明并不限定上述实施方式，能够参照附加的权利要求范围，实施各种变更与变形。

例如，在上述实施方式中，在排气捕集器10设置4个大口径孔12a，但是大口径孔12a的数量可以是1个，2个，还可以是4个以上。另外，在设置有例如3个大口径孔12a的情况下，优选上下相邻的两块挡板12相互以60°的角度错位。由此，在这两块挡板12上，大口径孔12a就不会上下重叠。

在上述实施方式中，在对成膜装置20的处理容器22进行排气的真空泵82的下游侧配置有排气捕集器10，但是排气捕集器10也可以配置于处理容器22与真空泵82之间。在这种情况下，进一步优选在压力调节阀80B与真空阀82之间配置排气捕集器10。

在上述实施方式中，在排气捕集器10上配置有过滤器单元14，但是也可以没有过滤器单元14。另外，排气捕集器10的气体流出口11c还可以不在顶板11a上，而设置在主体11的侧周部的上方部分。

在上述实施方式中，为了确定挡板12的间隔，而使用围绕杆11e周围的具有圆筒状形状的垫片12s，在其他实施方式中，还可以使用具有与挡板12的外径相等的外径的、具有能够支承挡板12的厚度（宽度）的、具有圆环状形状的垫片。

另外，大口径孔12a以及小口径孔12b的平面形状不局限于圆形，还可以是多边形。在小口径孔12b为多边形的情况下，很明显应该根据从多边形状孔的边缘到多边形状孔的中心为止的距离，来决定小口径孔12b的尺寸、间隔以及挡板12的间隔。另外，还可以使大口径孔12a及小口径孔12b的边缘形成得粗糙，不光滑，可以形成为锯齿状。如此，能够促进成核。

另外，在上述实施方式中，针对在使用作为原料气体的硅烷或DCS与作为氮化气体的氨形成氮化硅膜的成膜装置20中使用排气捕集器10的情况进行了说明，但不局限于氮化硅膜的成膜，还可以用于对氧化硅膜、氧氮化硅膜、非晶硅膜、非晶碳膜、聚酰亚胺膜等薄膜进行成膜的成膜装置。另外，自然不局限于成膜装置，还可以用于使用气体的蚀刻装置与清洁装置。

根据本发明的实施方式，提供既能提高捕集效率又能降低堵塞的排气捕集器。

Claims (5)

1.一种排气捕集器，其特征在于，具备：

流入口，该流入口使来自处理装置的废气流入，该处理装置是使用处理气体对基板实施规定处理的装置；

流出口，该流出口使从上述流入口流入的上述废气流出；

以及多块挡板，该多块挡板具有：一个或多个具有第一开口尺寸的第一开口部、以及多个具有比上述第一开口尺寸小的第二开口尺寸的第二开口部，在上述流入口与上述流出口之间，该多块挡板被配置为与从上述流入口流向上述流出口的上述废气的流动方向相交叉，

上述多块挡板中的一块挡板的上述第一开口部与相邻挡板的上述第一开口部相对于上述流动方向相互错位，

上述多块挡板中相邻的两块挡板的间隔在上述第二开口尺寸的0.5倍至2倍的范围内。

2.根据权利要求1所述的排气捕集器，其特征在于，

上述多块挡板的上述多个第二开口部以小于等于上述第二开口尺寸的间隔配置。

3.根据权利要求1所述的排气捕集器，其特征在于，

还具有调节上述多块挡板间隔的调节部件。

4.根据权利要求1所述的排气捕集器，其特征在于，

还具备过滤器单元，该过滤器单元与上述流出口连通，且该过滤器单元包含有网板，该网板具有拥有网眼的网眼部件，且该网板相互留有间隔地配置，其中，上述网眼的开口尺寸比上述挡板的上述第二开口部的开口尺寸小。

5.根据权利要求1所述的排气捕集器，其特征在于，

上述多块挡板中的相邻两块挡板的间隔在上述第二开口尺寸的0.5至1倍的范围内。