CN102887626A - 一种生产大口径石英玻璃管的扩管方法 - Google Patents
一种生产大口径石英玻璃管的扩管方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102887626A CN102887626A CN2012100899085A CN201210089908A CN102887626A CN 102887626 A CN102887626 A CN 102887626A CN 2012100899085 A CN2012100899085 A CN 2012100899085A CN 201210089908 A CN201210089908 A CN 201210089908A CN 102887626 A CN102887626 A CN 102887626A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- pipe
- tube
- silica glass
- expanding machine
- female
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 63
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 24
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims abstract description 11
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 5
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 5
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 abstract description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 abstract 1
- 238000005554 pickling Methods 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
Landscapes
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Abstract
本发明是一种生产大口径石英玻璃管的扩管方法，将石英玻璃母管两端装在扩管机的左右卡头上做同步匀速旋转，操作扩管机的工作部件，使扩管机的中间托盘、加热器、石墨轮处于工作状态，自动送气、点火，加热石英玻璃母管使其局部熔融，再多孔喷火，调节送气量逐步加热，温度保持在1750℃~1900℃，高速旋转的石英玻璃母管在离心力的作用下向外扩张，在石墨轮的控制下保持着扩管直径。能生产出Φ520mm、壁厚5mm以上各种规格的超大口径石英玻璃管，而且产品质量稳定，变形率﹤1％，良品率在现有的基础上提高了15％左右，可用于14英寸晶圆氧化（扩散）炉制造关键部件。
Description
技术领域
本发明涉及一种石英玻璃管的扩管方法，特别是一种生产大口径石英玻璃管的扩管方法。
背景技术
目前国内生产大口径玻璃石英管扩管均采用常规的一次匀速离心扩管法，所使用的卡头内径调节空间较小、燃烧喷火头数量较少，无法生产Φ520mm以上口径玻璃石英管，并且所生产的石英管气泡、气线偏多，壁厚偏差较大，不能满足生产超大玻璃管的技术需求。
发明内容
本发明要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提出了一种生产效率高、加工方便的生产大口径石英玻璃管的扩管方法。
本发明要解决的技术问题是通过以下技术方案来实现的，一种生产大口径石英玻璃管的扩管方法，其特点是，其步骤如下：（1）将石英玻璃母管两端装在扩管机的左右卡头上做同步匀速旋转，操作扩管机的工作部件，使扩管机的中间托盘、加热器、石墨轮处于工作状态，自动送气、点火，加热石英玻璃母管使其局部熔融，再多孔喷火，调节送气量逐步加热，温度保持在1750℃~1900℃，高速旋转的石英玻璃母管在离心力的作用下向外扩张，在石墨轮的控制下保持着扩管直径；
（2）随着扩管过程的进行，扩管机的工作部件挟带石英玻璃母管缓慢的匀速向左运动，右卡头同时做直线匀速移动，其移动方向与扩管机工作部件移动速度比按下列公式决定来进行：在石英玻璃母管有效长度内根据扩管前后重量相等原理换算出扩管后的长度，当长度大于石英玻璃母管有效长度时，右卡头向右移动，当长度等于母管长度时，右卡头不需移动，当长度小于母管母管有效长度时，右卡头向左移动；母管有效长度与扩管后的有效长度的比就是扩管机的工作部件与右卡头的移动速比；扩管机工作部件与右卡头的移动速度受石英玻璃母管熔融程度的控制；
（3）对石英玻璃母管中存在的较大气线，预先采取高温火烧及填料的方法消除；对石英玻璃母管中存在的细小气线，可以在石英玻璃母管二次扩管成型时调高转速加速融合时消除，扩管不是一次而成，根据母管不同尺寸逐级扩管成型，从Φ320mm~Φ380mm扩至Φ520mm~Φ580mm，中间要经过三个过度尺寸，分别是Φ380mm~Φ440mm、Φ430mm~Φ490mm、Φ480mm~Φ540mm。
当二次成型管达到预设的直径后，转送切机，将两端装夹的废料切除，转送酸洗车间进行酸洗，酸洗结束后再送进超声波清洗，然后进行退火处理，消除二次成型管的应力，即可根据要求生产出Φ520mm 、壁厚5 mm以上各种规格的超大口径石英玻璃管。
本发明采用用多个喷火头、高速旋转、分步离心对大口径石英玻璃管进行扩管，能根据要求生产出Φ520mm 、壁厚5 mm以上各种规格的超大口径石英玻璃管，而且产品质量稳定，变形率﹤1％，良品率在现有的基础上提高了15％左右，可用于14英寸晶圆氧化（扩散）炉制造关键部件。
具体实施方式
具体描述本发明的技术方案，以便于本领域的技术人员进一步理解本发明，而不构成对其他权利的限制。
实施例1，一种生产大口径石英玻璃管的扩管方法，其步骤如下：（1）将石英玻璃母管两端装在扩管机的左右卡头上做同步匀速旋转，操作扩管机的工作部件，使扩管机的中间托盘、加热器、石墨轮处于工作状态，自动送气、点火，加热石英玻璃母管使其局部熔融，再多孔喷火，调节送气量逐步加热，温度保持在1750℃~1900℃，高速旋转的石英玻璃母管在离心力的作用下向外扩张，在石墨轮的控制下保持着扩管直径；
（2）随着扩管过程的进行，扩管机工作部件挟带母管缓慢的匀速向左运动，右卡头同时做直线匀速移动，其移动方向与扩管机工作部件移动速度比按下列公式决定来进行：在母管有效长度内根据重量相等原理（扩管前后的重量一致）换算出扩管后的长度，当长度大于母管有效长度时（与扩管机扩管机工作部件移动方向相反），右卡头向右移动，当长度等于母管长度时，右卡头不需移动，当长度小于母管母管有效长度时，右卡头向左移动（与扩管机工作部件移动方向相同）；母管有效长度与扩管后的有效长度的比就是扩管机工作部件与右卡头的移动速比；扩管机工作部件与右卡头的移动速度受石英母管熔融程度的控制；
（3）对石英玻璃母管中存在的较大气线，预先采取高温火烧及填料的方法消除；对石英玻璃母管中存在的细小气线，可以在石英玻璃母管二次扩管成型时调高转速加速融合时消除，扩管不是一次而成，根据母管不同尺寸逐级扩管成型，从Φ320mm扩至Φ520mm，中间要经过三个过度尺寸，分别是Φ380mm、Φ430mm、Φ480mm，即可根据要求生产出Φ520mm 、壁厚5 mm的超大口径石英玻璃管。
实施例2，一种生产大口径石英玻璃管的扩管方法，其步骤如下：（1）将石英玻璃母管两端装在扩管机的左右卡头上做同步匀速旋转，操作扩管机的工作部件，使扩管机的中间托盘、加热器、石墨轮处于工作状态，自动送气、点火，加热石英玻璃母管使其局部熔融，再多孔喷火，调节送气量逐步加热，温度保持在1750℃~1900℃，高速旋转的石英玻璃母管在离心力的作用下向外扩张，在石墨轮的控制下保持着扩管直径；
（2）随着扩管过程的进行，扩管机工作部件挟带母管缓慢的匀速向左运动，右卡头同时做直线匀速移动，其移动方向与扩管机工作部件移动速度比按下列公式决定来进行：在母管有效长度内根据重量相等原理（扩管前后的重量一致）换算出扩管后的长度，当长度大于母管有效长度时（与扩管机扩管机工作部件移动方向相反），右卡头向右移动，当长度等于母管长度时，右卡头不需移动，当长度小于母管母管有效长度时，右卡头向左移动（与扩管机工作部件移动方向相同）；母管有效长度与扩管后的有效长度的比就是扩管机工作部件与右卡头的移动速比；扩管机工作部件与右卡头的移动速度受石英母管熔融程度的控制；
（3）对石英玻璃母管中存在的较大气线，预先采取高温火烧及填料的方法消除；对石英玻璃母管中存在的细小气线，可以在石英玻璃母管二次扩管成型时调高转速加速融合时消除，扩管不是一次而成，根据母管不同尺寸逐级扩管成型，从Φ360mm扩至Φ560mm，中间要经过三个过度尺寸，分别是Φ420mm、Φ470mm、Φ520mm，即可根据要求生产出Φ560mm 、壁厚5 mm的超大口径石英玻璃管。
实施例3，一种生产大口径石英玻璃管的扩管方法，其步骤如下：（1）将石英玻璃母管两端装在扩管机的左右卡头上做同步匀速旋转，操作扩管机的工作部件，使扩管机的中间托盘、加热器、石墨轮处于工作状态，自动送气、点火，加热石英玻璃母管使其局部熔融，再多孔喷火，调节送气量逐步加热，温度保持在1750℃~1900℃，高速旋转的石英玻璃母管在离心力的作用下向外扩张，在石墨轮的控制下保持着扩管直径；
（2）随着扩管过程的进行，扩管机工作部件挟带母管缓慢的匀速向左运动，右卡头同时做直线匀速移动，其移动方向与扩管机工作部件移动速度比按下列公式决定来进行：在母管有效长度内根据重量相等原理（扩管前后的重量一致）换算出扩管后的长度，当长度大于母管有效长度时（与扩管机扩管机工作部件移动方向相反），右卡头向右移动，当长度等于母管长度时，右卡头不需移动，当长度小于母管母管有效长度时，右卡头向左移动（与扩管机工作部件移动方向相同）；母管有效长度与扩管后的有效长度的比就是扩管机工作部件与右卡头的移动速比；扩管机工作部件与右卡头的移动速度受石英母管熔融程度的控制；
（3）对石英玻璃母管中存在的较大气线，预先采取高温火烧及填料的方法消除；对石英玻璃母管中存在的细小气线，可以在石英玻璃母管二次扩管成型时调高转速加速融合时消除，扩管不是一次而成，根据母管不同尺寸逐级扩管成型，从Φ380mm扩至Φ580mm，中间要经过三个过度尺寸，分别是Φ440mm、Φ490mm、Φ540mm，即可根据要求生产出Φ580mm 、壁厚5 mm的超大口径石英玻璃管。
Claims (1)
1.一种生产大口径石英玻璃管的扩管方法，其特征在于，其步骤如下：（1）将石英玻璃母管两端装在扩管机的左右卡头上做同步匀速旋转，操作扩管机的工作部件，使扩管机的中间托盘、加热器、石墨轮处于工作状态，自动送气、点火，加热石英玻璃母管使其局部熔融，再多孔喷火，调节送气量逐步加热，温度保持在1750℃~1900℃，高速旋转的石英玻璃母管在离心力的作用下向外扩张，在石墨轮的控制下保持着扩管直径；
（2）随着扩管过程的进行，扩管机的工作部件挟带石英玻璃母管缓慢的匀速向左运动，右卡头同时做直线匀速移动，其移动方向与扩管机工作部件移动速度比按下列公式决定来进行：在石英玻璃母管有效长度内根据扩管前后重量相等原理换算出扩管后的长度，当长度大于石英玻璃母管有效长度时，右卡头向右移动，当长度等于母管长度时，右卡头不需移动，当长度小于母管母管有效长度时，右卡头向左移动；母管有效长度与扩管后的有效长度的比就是扩管机的工作部件与右卡头的移动速比；扩管机工作部件与右卡头的移动速度受石英玻璃母管熔融程度的控制；
（3）对石英玻璃母管中存在的较大气线，预先采取高温火烧及填料的方法消除；对石英玻璃母管中存在的细小气线，可以在石英玻璃母管二次扩管成型时调高转速加速融合时消除，扩管不是一次而成，根据母管不同尺寸逐级扩管成型，从Φ320mm~Φ380mm扩至Φ520mm~Φ580mm，中间要经过三个过度尺寸，分别是Φ380mm~Φ440mm、Φ430mm~Φ490mm、Φ480mm~Φ540mm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201210089908.5A CN102887626B (zh) | 2012-03-30 | 2012-03-30 | 一种生产大口径石英玻璃管的扩管方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201210089908.5A CN102887626B (zh) | 2012-03-30 | 2012-03-30 | 一种生产大口径石英玻璃管的扩管方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102887626A true CN102887626A (zh) | 2013-01-23 |
| CN102887626B CN102887626B (zh) | 2015-04-22 |
Family
ID=47531331
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201210089908.5A Active CN102887626B (zh) | 2012-03-30 | 2012-03-30 | 一种生产大口径石英玻璃管的扩管方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102887626B (zh) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103771690A (zh) * | 2014-02-25 | 2014-05-07 | 连云港市东海县宏伟石英制品有限公司 | 一种大口径石英管的生产方法及连熔炉 |
| EP3034477A1 (de) * | 2014-12-19 | 2016-06-22 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Verfahren zur herstellung eines rohres aus glas |
| CN110498595A (zh) * | 2019-09-16 | 2019-11-26 | 江苏亨通智能科技有限公司 | 石英厚壁管二次成型装置及成型方法 |
| CN112266156A (zh) * | 2020-09-17 | 2021-01-26 | 东海县奥博石英制品有限公司 | 一种大口径石英管扩管工艺 |
| CN112830670A (zh) * | 2021-01-21 | 2021-05-25 | 陈富伦 | 一种石英玻璃管棒生产炉及石英玻璃管棒的生产方法 |
| CN117263505A (zh) * | 2023-09-20 | 2023-12-22 | 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 | 一种玻璃容器的精密加工装置及方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101234844A (zh) * | 2008-02-27 | 2008-08-06 | 徐胜利 | 连熔法生产ic产业用大口径石英玻璃管的方法 |
| CN102345792A (zh) * | 2010-08-04 | 2012-02-08 | 刘松 | 一种石英玻璃视镜管及其制造方法 |
-
2012
- 2012-03-30 CN CN201210089908.5A patent/CN102887626B/zh active Active
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101234844A (zh) * | 2008-02-27 | 2008-08-06 | 徐胜利 | 连熔法生产ic产业用大口径石英玻璃管的方法 |
| CN102345792A (zh) * | 2010-08-04 | 2012-02-08 | 刘松 | 一种石英玻璃视镜管及其制造方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 王玉芬等: "《石英玻璃》", 31 January 2007 * |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103771690A (zh) * | 2014-02-25 | 2014-05-07 | 连云港市东海县宏伟石英制品有限公司 | 一种大口径石英管的生产方法及连熔炉 |
| CN103771690B (zh) * | 2014-02-25 | 2016-01-27 | 连云港市东海县宏伟石英制品有限公司 | 一种大口径石英管的生产方法及连熔炉 |
| US9725352B2 (en) | 2014-12-19 | 2017-08-08 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Method for producing a tube of glass |
| KR20160075348A (ko) * | 2014-12-19 | 2016-06-29 | 헤래우스 크바르츠글라스 게엠베하 ＆ 컴파니 케이지 | 유리 튜브의 제조 방법 |
| CN105712617A (zh) * | 2014-12-19 | 2016-06-29 | 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 | 用于生产玻璃管的方法 |
| JP2016135734A (ja) * | 2014-12-19 | 2016-07-28 | ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフトＨｅｒａｅｕｓ Ｑｕａｒｚｇｌａｓ ＧｍｂＨ ＆ Ｃｏ． ＫＧ | ガラス管を製造する方法 |
| EP3034477A1 (de) * | 2014-12-19 | 2016-06-22 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG | Verfahren zur herstellung eines rohres aus glas |
| CN105712617B (zh) * | 2014-12-19 | 2018-05-18 | 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 | 用于生产玻璃管的方法 |
| US10315947B2 (en) | 2014-12-19 | 2019-06-11 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Method for producing a tube of glass |
| TWI668193B (zh) * | 2014-12-19 | 2019-08-11 | 德商赫里斯果斯克來斯有限兩合公司 | 用於產生玻璃管的方法 |
| KR102475612B1 (ko) | 2014-12-19 | 2022-12-08 | 헤래우스 크바르츠글라스 게엠베하 ＆ 컴파니 케이지 | 유리 튜브의 제조 방법 |
| CN110498595A (zh) * | 2019-09-16 | 2019-11-26 | 江苏亨通智能科技有限公司 | 石英厚壁管二次成型装置及成型方法 |
| CN112266156A (zh) * | 2020-09-17 | 2021-01-26 | 东海县奥博石英制品有限公司 | 一种大口径石英管扩管工艺 |
| CN112830670A (zh) * | 2021-01-21 | 2021-05-25 | 陈富伦 | 一种石英玻璃管棒生产炉及石英玻璃管棒的生产方法 |
| CN117263505A (zh) * | 2023-09-20 | 2023-12-22 | 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 | 一种玻璃容器的精密加工装置及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN102887626B (zh) | 2015-04-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102887626B (zh) | 一种生产大口径石英玻璃管的扩管方法 | |
| CN103265162B (zh) | 一种低羟基实心石英砣的制备方法 | |
| CN103145350B (zh) | 一种金属与玻璃封接装置及其封接方法 | |
| CN109987833B (zh) | 光纤预制棒的制造工艺 | |
| CN204054687U (zh) | 一种适用于锂电池隔膜生产的在线热处理装置 | |
| CN205653337U (zh) | 一种热弯玻璃加工设备 | |
| CN105217951A (zh) | 一种光纤预制棒的垂直拉伸方法及设备 | |
| CN107812801A (zh) | 金属波纹管的加工方法 | |
| CN102887624B (zh) | 一种超大口径石英玻璃管的制造方法 | |
| CN105234200A (zh) | 一种大口径无缝钢管在线扩管生产工艺 | |
| CN205702920U (zh) | 一种管道预热加热装置 | |
| CN108046583A (zh) | 一种提高pcvd工艺沉积均匀性的方法 | |
| CN102206040B (zh) | 一种光纤预制棒的水平延伸装置及其方法 | |
| CN206747278U (zh) | 一种用于钼合金管材轧制成型的加热装置 | |
| CN204874270U (zh) | 用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉 | |
| CN202808991U (zh) | 一种区熔热场 | |
| CN117049778A (zh) | 一种用于ovd工艺的可调截面沉积腔 | |
| CN205368132U (zh) | 一种光纤预制棒的延伸设备 | |
| CN107021606B (zh) | 连熔法生产光纤用外套管的方法 | |
| CN103771691B (zh) | 一种石英管扩管方法及专用喷灯装置 | |
| CN201288130Y (zh) | 石英管自动化弯管机 | |
| CN202297690U (zh) | 一种新型快速燃气铝棒加热炉 | |
| CN201873535U (zh) | 一种降低四氯化钛生产过程中损耗的装置 | |
| CN101812573B (zh) | 一种燃气加热多用辊底炉 | |
| CN109133608B (zh) | 一种用于光纤预制棒的掺杂设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 222300 hump new area, Lianyungang, Jiangsu, Donghai County Patentee after: Jiangsu Hongwei quartz Technology Co., Ltd Address before: 222300 hump new area, Lianyungang, Jiangsu, Donghai County Patentee before: Lianyungang Hongwei Quarts Product Co., Ltd. |
|
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |