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CN102865816A - 绝对式光栅尺总体测量精度的非接触式的自动检测装置 - Google Patents

绝对式光栅尺总体测量精度的非接触式的自动检测装置 Download PDF

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CN102865816A
CN102865816A CN2012103755682A CN201210375568A CN102865816A CN 102865816 A CN102865816 A CN 102865816A CN 2012103755682 A CN2012103755682 A CN 2012103755682A CN 201210375568 A CN201210375568 A CN 201210375568A CN 102865816 A CN102865816 A CN 102865816A
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CN
China
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grating ruler
fixed
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guide rail
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Pending
Application number
CN2012103755682A
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English (en)
Inventor
王潇洵
谭向全
黄剑波
马俊林
孙强
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Changchun Institute of Optics Fine Mechanics and Physics of CAS
Original Assignee
Changchun Institute of Optics Fine Mechanics and Physics of CAS
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Publication date
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Abstract

绝对式光栅尺总体测量精度的非接触式的自动检测装置属于光栅检测领域，该装置包括：工作台、平行光管、丝杠、第一反射镜、第二反射镜、滑台、光栅尺和激光干涉仪；所述平行光管固定在工作台的一侧；光栅尺中的标准尺放置在工作台上，与工作台上的导轨平行，光栅尺读数头放置在滑台内；丝杠固定在平行光管下方的工作台上，滑台放置在工作台的导轨上，由丝杠控制滑台在导轨上运动；第一反射镜和第二反射镜固定在滑台上，激光干涉仪固定在工作台的另一侧。本发明通过非接触式检测，用来检测光栅尺加工、组装之后的总体测量精度，在线实时检测选择合格光栅尺，以保证光栅尺所需的精度要求。

Description

绝对式光栅尺总体测量精度的非接触式的自动检测装置
技术领域
本发明属于光栅检测领域，具体涉及一种绝对式光栅尺总体测量精度的非接触式的自动检测装置。
背景技术
绝对式光栅尺总装完成之后，在加工中各个生产环节和组装环节所积累的误差会对光栅尺测量精度造成影响，需要对光栅尺总体精度进行检测。现有的光栅尺总体精度检测方法多采用接触式测量结构，将接触式探头安装在工作平台的移动滑台上，与光栅尺的读数头同步移动，对光栅尺的精度进行检验，由于存在摩擦力、应力形变和表面瑕疵，检测结果会存在误差。
发明内容
为了解决现有技术中存在的问题，本发明提供了一种绝对式光栅尺总体测量精度的非接触式的自动检测装置，该装置通过非接触式的测量方式，来减少在检测过程中产生的误差。
本发明解决技术问题所采用的技术方案如下：
绝对式光栅尺总体测量精度的非接触式的自动检测装置，该装置包括：工作台、平行光管、丝杠、第一反射镜、第二反射镜、滑台、光栅尺和激光干涉仪；所述平行光管固定在工作台的一侧；光栅尺中的标准尺放置在工作台上，与工作台上的导轨平行，光栅尺读数头放置在滑台内；丝杠固定在平行光管下方的工作台上，滑台放置在工作台的导轨上，由丝杠控制滑台在导轨上运动；第一反射镜和第二反射镜固定在滑台上，激光干涉仪固定在工作台的另一侧。
本发明的有益效果是：本发明通过非接触式检测，用来检测光栅尺加工、组装之后的总体测量精度，在线实时检测选择合格光栅尺，以保证光栅尺所需的精度要求。
附图说明
图1本发明绝对式光栅尺总体测量精度的非接触式的自动检测装置的结构图。
图中：1、工作台，2、平行光管，3、丝杠，4、第一反射镜，5、第二反射镜，6、滑台，7、标准尺和8、激光干涉仪。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明做进一步详细说明。
如图1所示，绝对式光栅尺总体测量精度的非接触式的自动检测装置，该装置包括：工作台1、平行光管2、丝杠3、第一反射镜4、第二反射镜5、滑台6、光栅尺和激光干涉仪8；平行光管2固定在工作台1的一侧；光栅尺中的标准尺7放置在工作台1上，与工作台1上的导轨平行，光栅尺读数头放置在滑台6内；丝杠3固定在平行光管2下方的工作台1上，滑台6放置在工作台1的导轨上，由丝杠3控制滑台6在导轨上运动；第一反射镜4和第二反射镜5固定在滑台6上，激光干涉仪8固定在工作台1的另一侧。
由平行光管2发出准直平行光入射到第一反射镜4后反射回平行光管2，通过检测光是否原路返回来对滑台6在导轨方向是否存在前后摆动，消除阿贝误差。光栅尺读数头随滑台6移动的同时对标准尺7读数，同时激光干涉仪8发出检测光线通过滑台6上的第二反射镜5后反射回激光干涉仪8，对滑台6的位移进行检测，获得光栅尺读数头的实际位移量，与光栅尺读数头所获得的数据进行对比，得到光栅尺总体精度的检测结果。

Claims (2)

1.绝对式光栅尺总体测量精度的非接触式的自动检测装置，其特征在于，该装置包括：工作台、平行光管、丝杠、第一反射镜、第二反射镜、滑台、光栅尺和激光干涉仪；所述平行光管固定在工作台的一侧；光栅尺中的标准尺放置在工作台上，与工作台上的导轨平行，光栅尺读数头放置在滑台内；丝杠固定在平行光管下方的工作台上，滑台放置在工作台的导轨上，由丝杠控制滑台在导轨上运动；第一反射镜和第二反射镜固定在滑台上，激光干涉仪固定在工作台的另一侧。
2.如权利要求1所述的绝对式光栅尺总体测量精度的非接触式的自动检测装置，其特征在于，平行光管的光线方向与工作台的导轨平行。
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PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20130109