CN102805971A - 废液过滤系统 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种废液过滤系统，其包括一过滤槽，该过滤槽设有一槽体及盖于所述槽体上的盖板，所述槽体设有一底盖及一对相对设置的侧壁，所述底盖与所述侧壁构成一容纳废液的容纳腔，所述底盖设有若干延伸入所述容纳腔内的第一隔板，所述盖板设有若干延伸入所述容纳腔内的第二隔板，所述第一隔板与第二隔板交替排列。相较于现有技术，本发明所述的废液过滤系统通过第二隔板的设置大大改善了废液过滤效果及废液过滤不充分的问题。
Description
技术领域
本发明涉及一种废液过滤系统，尤其涉及一种应用于半导体制程工艺中的废液过滤系统。
背景技术
晶圆减薄(即背面研磨)是半导体制程中的一个重要工艺，一般的晶圆要根据封装产品的规格要求来进行适当的减薄，具体来说，就是通过把多余材料从没有磨光或者没有处理过的晶圆表面除掉而完成的，在生产时，圆片通常要制造的比所需厚度大一些，以便让使用者可以根据自己需要进行处理；也可以让厂家更容易掌握公差，通过圆片减薄工艺，使用者可以考虑改变其电、光或者是机械性能来满足最终应用。通常情况下，所有的圆片应该同时抛光，但是这种方法只对个别芯片或者一个圆片上的个别部分通用，例如，用于光纤装置上的预先切割的芯片要进行额外的减薄和磨光处理才能使其附着在光纤上。
通常，进行减薄工艺时，晶圆片放置在工作盘(Chuck Table)上后传送至减薄机内的磨片平台上，且晶圆要放在平台吸盘的中央，打开真空吸盘开关将晶圆吸牢，设置减薄厚度的参数，然后启动砂轮对晶圆片的背面进行打磨减薄，减薄的同时有冷却水和冲洗水对晶圆片和砂轮进行清洗，清洗过程将砂轮磨损的渣滓和水一起形成废液经过废液过滤系统。然而，现有的废液过滤系统存在过滤不充分的问题，其内设的过滤槽结构过于简单，只能过滤60％左右的废液，过滤效果不佳。
鉴于上述问题，有必要提供一种新的废液过滤系统来解决上述问题。
发明内容
本发明所解决的技术问题在于提供一种废液过滤系统，其可大大改善过滤效果。
为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：一种废液过滤系统，其包括一过滤槽，该过滤槽设有一槽体及盖于所述槽体上的盖板，所述槽体设有一底盖及一对相对设置的侧壁，所述底盖与所述侧壁构成一容纳废液的容纳腔，所述底盖设有若干延伸入所述容纳腔内的第一隔板，所述盖板设有若干延伸入所述容纳腔内的第二隔板，所述第一隔板与第二隔板交替排列。
作为本技术方案的进一步改进，所述第一隔板与第二隔板彼此平行设置，且所述第一隔板自下而上延伸入所述容纳腔内，而所述第二隔板自上而下延伸入所述容纳腔内。
作为本技术方案的进一步改进，相邻两个第一隔板之间形成一隔槽，所述第二隔板延伸入所述隔槽内且延伸深度超过所述隔槽深度的二分之一。
作为本技术方案的进一步改进，所述第一隔板、第二隔板沿同一方向等间距排列。
作为本技术方案的进一步改进，所述第一隔板的高度相同。
作为本技术方案的进一步改进，所述两个侧壁中的一个侧壁设有一进口，另一侧壁设有一出口，且所述进口高于所述出口。
作为本技术方案的进一步改进，所述第二隔板在竖直方向上的长度大于所述第一隔板在竖直方向上的长度。
相较于现有技术，本发明所述的废液过滤系统通过第二隔板的设置大大改善了废液过滤效果及废液过滤不充分的问题。
附图说明
图1为本发明所述废液过滤系统的结构示意图。
具体实施方式
请参图1所示，本发明提供一种废液过滤系统，其包括一过滤槽100，该过滤槽100的一端设有一进口，另一端设有一出口，分别用于引入废液和排出废液。
所述过滤槽100呈一箱体形状，其包括一盛放废液的槽体10及盖于所述槽体上方的盖板20。
所述槽体10设有一底盖11及相对设置的一对侧壁12，所述侧壁12位于所述底盖11的两端并与所述底盖11垂直设置，由此与所述底盖11共同形成一容纳废液的容纳腔13，其中，所述底盖11设有若干垂直延伸入所述容纳腔13内的第一隔板14，所述第一隔板14沿所述废液的流经方向等间距均匀排列设置，相邻两个第一隔板14之间形成一隔槽15，在过滤过程中，所述第一隔板14起到挡板的作用，可以很好地将所述过滤液中的杂物阻挡于所述隔槽15内，起到改善过滤效果的作用，且每个第一隔板15的高度相同，也使得废液能流通顺畅、受阻小，同时，也方便制造和安装。所述两个侧壁12中的一个侧壁设置一所述进口，另一侧壁上设置一所述出口，所述进口高于所述出口，以保证废液能够顺利流进并流出所述过滤槽。
所述盖板20位于所述容纳腔13上方，且设有若干向下垂直延伸入所述容纳腔13内的第二隔板21，所述第二隔板21沿着与所述第一隔板14相同的排列方向等间距排列，所述第一隔板14、第二隔板21彼此平行设置，且在排列方向上所述第一、第二隔板交替设置，其中，所述第二隔板21由上而下延伸入所述第一隔板14之间的隔槽15内，且延伸深度超过所述隔槽15深度的二分之一，使得废液中的杂物不易流出所述隔槽15，有利于废液的过滤效果。所述第二隔板在竖直方向上的长度大于所述第一隔板在竖直方向上的长度。
本发明所述的废液过滤系统在所述过滤槽的盖板20上设置若干延伸入容纳腔13内并与所述第一隔板14交替设置的第二隔板21，其可增加对废液中杂物的阻挡，使其残留于第一隔板14之间的隔槽15内，所述第一隔板14自下而上延伸，而第二隔板21自上而下延伸，可大大改善了废液的过滤效果，增加所述第二隔板21后本发明所述的过滤槽的过滤效果可达到85％以上，相较于传统过滤槽的60％具有明显的优势。
以上所述，仅是本发明的最佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，利用上述揭示的方法内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，均属于权利要求书保护的范围。
Claims (7)
1.一种废液过滤系统，其包括一过滤槽，该过滤槽设有一槽体及盖于所述槽体上的盖板，所述槽体设有一底盖及一对相对设置的侧壁，所述底盖与所述侧壁构成一容纳废液的容纳腔，所述底盖设有若干延伸入所述容纳腔内的第一隔板，其特征在于：所述盖板设有若干延伸入所述容纳腔内的第二隔板，所述第一隔板与第二隔板交替排列。
2.如权利要求1所述的废液过滤系统，其特征在于：所述第一隔板与第二隔板彼此平行设置，且所述第一隔板自下而上延伸入所述容纳腔内，而所述第二隔板自上而下延伸入所述容纳腔内。
3.如权利要求2所述的废液过滤系统，其特征在于：相邻两个第一隔板之间形成一隔槽，所述第二隔板延伸入所述隔槽内且延伸深度超过所述隔槽深度的二分之一。
4.如权利要求3所述的废液过滤系统，其特征在于：所述第一隔板、第二隔板沿同一方向等间距排列。
5.如权利要求4所述的废液过滤系统，其特征在于：所述第一隔板的高度相同。
6.如权利要求1至5项中任意一项所述的废液过滤系统，其特征在于：所述两个侧壁中的一个侧壁设有一进口，另一侧壁设有一出口，且所述进口高于所述出口。
7.如权利要求6所述的废液过滤系统，其特征在于：所述第二隔板在竖直方向上的长度大于所述第一隔板在竖直方向上的长度。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011101435702A CN102805971A (zh) | 2011-05-31 | 2011-05-31 | 废液过滤系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011101435702A CN102805971A (zh) | 2011-05-31 | 2011-05-31 | 废液过滤系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102805971A true CN102805971A (zh) | 2012-12-05 |
Family
ID=47229948
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011101435702A Pending CN102805971A (zh) | 2011-05-31 | 2011-05-31 | 废液过滤系统 |
Country Status (1)
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Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN2501870Y (zh) * | 2001-06-12 | 2002-07-24 | 王峰 | 洗车废水的循环处理装置 |
| CN201111439Y (zh) * | 2007-09-23 | 2008-09-10 | 戴建君 | 家用过滤净水器 |
-
2011
- 2011-05-31 CN CN2011101435702A patent/CN102805971A/zh active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN2501870Y (zh) * | 2001-06-12 | 2002-07-24 | 王峰 | 洗车废水的循环处理装置 |
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Application publication date: 20121205 |