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CN102712076B - 超级磨粒砂轮、使用了该超级磨粒砂轮的晶片的制造方法以及晶片 - Google Patents

超级磨粒砂轮、使用了该超级磨粒砂轮的晶片的制造方法以及晶片 Download PDF

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CN102712076B
CN102712076B CN201080061275.6A CN201080061275A CN102712076B CN 102712076 B CN102712076 B CN 102712076B CN 201080061275 A CN201080061275 A CN 201080061275A CN 102712076 B CN102712076 B CN 102712076B
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grinding
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Abstract

本发明提供一种能够使磨削液均匀分散且能够实现稳定的旋转的超级磨粒砂轮。超级磨粒砂轮(1)具备以旋转轴为中心旋转的基体件(10)和与基体件(10)固接的超级磨粒层(20)。基体件(10)具有第一面(201)和位于该第一面(201)的相反侧的第二面(202)。在由超级磨粒层(20)包围的第二面(202)的部分上设有朝向远离第一面(201)的方向突出的环状的第一突条部(121)。在比第一突条部(121)靠内侧的第二面(202)设有基准面(110)。从基准面(110)到第一突条部(121)的高度由A表示，在第一突条部(121)与超级磨粒层(20)之间的第二面(202)的部分上设有距基准面(110)的高度为B的顶部(114)。高度B大于高度A。

Description

超级磨粒砂轮、使用了该超级磨粒砂轮的晶片的制造方法以及晶片
技术领域
本发明涉及超级磨粒砂轮、使用了该超级磨粒砂轮的晶片的制造方法以及晶片，更确切来说，涉及具有超级磨粒层的磨削轮。
背景技术
以往，磨削轮例如在日本实开平7-31268号公报(专利文献1)及日本特开2003-19671号公报(专利文献2)中有公开。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本实开平7-31268号公报
专利文献2：日本特开2003-19671号公报
在专利文献1中，公开了一种能够向工件与扇形磨石的接触部充分供给磨削液的磨削磨石。具体而言，对半导体晶片等的表面进行磨削的磨削磨石包括扇形磨石和保持该扇形磨石的保持构件，在保持构件上形成有多个供给磨削液的磨削液供给孔，并且形成有用于抑制从供给孔流出的磨削液的势头的控制部。
在专利文献2中，公开了一种对磨削轮施加改良，能够将供给的磨削液充分有效地利用在磨削轮及工件(半导体晶片)的冷却中的结构。在磨削轮中，在基台的内周形成有向半径方向内侧敞开的磨削液积存处，通过磨削液积存处暂时阻止供给到磨削轮基台的磨削液的向半径方向外方的流动，之后，使该磨削液朝向超级磨粒层及工件漏出。
在专利文献1的磨削磨石中，虽然从供给孔供给磨削液，但该磨削液仅供给到局部，存在未必遍及到扇形磨石与工件的全部接触界面这样的问题。
在专利文献2中，为了解决上述课题，公开了在基台的内周形成向半径方向内方敞开的积液处的技术，但当积液处积存有过多的磨削液时，若以高速旋转，则存在旋转不稳定的问题。
发明内容
本发明为了解决上述问题点而作出，其目的在于提供一种能够使磨削液均匀地分散，且能够实现稳定的旋转的超级磨粒砂轮。
本发明的一方面的超级磨粒砂轮具备：以旋转轴为中心旋转的基体件；与基体件固接的超级磨粒层，其中，基体件具有第一面和位于该第一面的相反侧的第二面，在由超级磨粒层包围的第二面的部分上设有向远离第一面的方向突出的环状的突条部，在比突条部靠内侧的第二面的部分设有基准面，从基准面到突条部的高度由A表示，在突条部与超级磨粒层之间的第二面的部分设有距基准面的高度为B的顶部，高度B大于高度A。
在如此构成的超级磨粒砂轮中，从内周侧供给的磨削液与环状的突条部相碰而朝向超级磨粒层扩散。其结果是，能够向超级磨粒层与工件之间均匀地供给磨削液。而且，由于在第二面未设置积液处，因此能够防止在积液处积攒磨削液的情况，能够实现稳定的旋转。
优选的是，突条部的内周侧壁面与旋转轴大致平行。
优选的是，多个突条部设置在超级磨粒层的内周侧，在相邻的突条部中，内周侧的突条部的距基准面的高度低于外周侧的突条部的距基准面的高度。
优选的是，位于最内周侧的突条部的距基准面的高度为3mm以上。这是因为，若高度小于3mm，则从内周侧供给的磨削液的一部分不与环状的突条部相碰，而是越过。由于高度即使超过50mm其功能也不会改变，因此高度最优选为3mm以上且50mm以下。
优选的是，高度B与高度A之差为1mm以上。若差小于1mm，则可能无法将磨削液均匀地向超级磨粒层供给。由于即使差超过50mm其功能也不会改变，因此差最优选为1mm以上且50mm以下。
优选的是，突条部为圆环状。
优选的是，突条部具有使磨削液微细粒子化而使磨削液均匀地扩散的功能。
在本发明的晶片的制造方法中，使上述任一超级磨粒砂轮的超级磨粒层与晶片接触，从突条部的内周侧供给磨削液并同时研磨晶片。
本发明的晶片通过上述方法来制造。
本发明的另一方面的超级磨粒砂轮具备：以旋转轴为中心旋转的基体件；与基体件固接的超级磨粒层，其中，基体件具有第一面和位于该第一面的相反侧的第二面，还具备突条构件，该突条构件具有设置在由超级磨粒层包围的第二面的部分上且向远离第一面的方向突出的环状的突条部，在比突条部靠内侧的第二面的部分设有基准面，从基准面到突条部的高度由A表示，在突条部与超级磨粒层之间的第二面的部分设有距基准面的高度为B的顶部，高度B大于高度A。
在如此构成的超级磨粒砂轮中，从内周侧供给的磨削液与设置在突状构件上的环状的突条部相碰而朝向超级磨粒层扩散。其结果是，能够向超级磨粒层与工件之间均匀地供给磨削液。而且，由于在第二面未设置积液处，因此能够防止在积液处积攒磨削液的情况，能够实现稳定的旋转。
而且，由于突条构件与基体件为分体，因此通过在未设置突条部的以往的基体件上设置突条构件，能够防止液体的积攒，从而能够实现稳定的旋转。
优选的是，突条部的内周侧壁面与旋转轴大致平行。
优选的是，多个突条部设置在超级磨粒层的内周侧，在相邻的突条部中，内周侧的突条部的距基准面的高度低于外周侧的突条部的距基准面的高度。
优选的是，位于最内周侧的突条部的距基准面的高度为3mm以上。
优选的是，高度B与高度A之差为1mm以上。
优选的是，突条部为圆环状。
优选的是，突条部具有使磨削液微细粒子化而使磨削液均匀地扩散的功能。
发明效果
根据本发明，能够提供一种可向超级磨粒层与工件之间均匀地供给磨削液的超级磨粒砂轮。而且，由于在第二面未设置积液处，因此能够防止在积液处积攒磨削液，从而能够实现稳定的旋转。而且具有稳定且长期地维持良好的锋利度的效果，因此工件的烧伤发生少，能得到良好的加工面品质。
附图说明
图1是本发明的实施方式1的超级磨粒砂轮的主视图。
图2是本发明的实施方式1的超级磨粒砂轮的俯视图。
图3是本发明的实施方式1的超级磨粒砂轮的仰视图。
图4是沿着图3中的IV-IV线的剖视图。
图5是沿着图3中的V-V线的剖视图。
图6是将图4中的由VI-VI线包围的部分放大表示的剖视图。
图7是将图5中的由VII-VII线包围的部分放大表示的剖视图。
图8是本发明的实施方式1的超级磨粒砂轮的一面的立体图。
图9是本发明的实施方式1的超级磨粒砂轮的另一面的立体图。
图10是本发明的实施方式2的超级磨粒砂轮的仰视图。
图11是本发明的实施方式3的超级磨粒砂轮的仰视图。
图12是沿着图11中的XII-XII线的剖视图。
图13是沿着图11中的XIII-XIII线的剖视图。
图14是将图12中的由XIV-XIV线包围的部分放大表示的剖视图。
图15是将图13中的由XV-XV线包围的部分放大表示的剖视图。
图16是本发明的实施方式3的超级磨粒砂轮的一面的立体图。
图17是本发明的实施方式3的超级磨粒砂轮的另一面的立体图。
图18是本发明的实施方式4的超级磨粒砂轮的仰视图。
图19是本发明的实施方式5的超级磨粒砂轮的仰视图。
图20是沿着图19中的XX-XX线的超级磨粒砂轮的剖视图。
图21是沿着图19中的XXI-XXI线的剖视图。
图22是将图20中的由XXII-XXII线包围的部分放大表示的超级磨粒砂轮的剖视图。
图23是将图21中的由XXIII-XXIII线包围的部分放大表示的剖视图。
图24是本发明的实施方式5的超级磨粒砂轮的一面的立体图。
图25是本发明的实施方式5的超级磨粒砂轮的另一面的立体图。
图26是本发明的实施方式6的超级磨粒砂轮的仰视图。
图27是沿着图26中的XXVII-XXVII线的剖视图。
图28是沿着图26中的XXVIII-XXVIII线的剖视图。
图29是将图27中的由XXIX-XXIX线包围的部分放大表示的剖视图。
图30是将图28中的由XXX-XXX线包围的部分放大表示的剖视图。
图31是本发明的实施方式6的超级磨粒砂轮的一面的立体图。
图32是本发明的实施方式6的超级磨粒砂轮的另一面的立体图。
图33是本发明的实施方式7的超级磨粒砂轮的主视图。
图34是本发明的实施方式7的超级磨粒砂轮的俯视图。
图35是本发明的实施方式7的超级磨粒砂轮的仰视图。
图36是本发明的实施方式7的超级磨粒砂轮的右侧视图。
图37是沿着图35中的XXXVII-XXXVII线的剖视图。
图38是将图37中的由XXXVIII-XXXVIII线包围的部分放大表示的剖视图。
图39是本发明的实施方式7的超级磨粒砂轮的一面的立体图。
图40是本发明的实施方式7的超级磨粒砂轮的另一面的立体图。
图41是用于说明实施方式7的超级磨粒砂轮的磨削工序的图。
图42是本发明的实施方式8的超级磨粒砂轮的仰视图。
图43是沿着图42中的XLIII-XLIII线的剖视图。
图44是将图43中的由XLIV-XLIV线包围的部分放大表示的剖视图。
图45是本发明的实施方式8的超级磨粒砂轮的一面的立体图。
图46是本发明的实施方式8的超级磨粒砂轮的另一面的立体图。
图47是用于说明实施方式9的超级磨粒砂轮的磨削工序的图。
图48是本发明的实施方式10的超级磨粒砂轮的剖视图。
图49是本发明的实施方式11的超级磨粒砂轮的剖视图。
图50是本发明的实施方式12的超级磨粒砂轮的剖视图。
图51是本发明的实施方式13的超级磨粒砂轮的剖视图。
图52是本发明的实施方式14的超级磨粒砂轮的剖视图。
图53是本发明的实施方式15的超级磨粒砂轮的剖视图。
图54是本发明的实施方式16的超级磨粒砂轮的剖视图。
图55是本发明的实施方式17的超级磨粒砂轮的剖视图。
图56是本发明的实施方式18的超级磨粒砂轮的仰视图。
图57是沿着图56中的箭头LVII-LVII线的剖视图。
图58是本发明的实施方式19的超级磨粒砂轮的仰视图。
图59是沿着图58中的LIX-LIX线的剖视图。
图60是本发明的实施方式20的超级磨粒砂轮的仰视图。
图61是沿着图60中的LXI-LXI线的剖视图。
图62是本发明的实施方式21的超级磨粒砂轮的仰视图。
图63是沿着图62中的LXIII-LXIII线的剖视图。
图64是本发明的实施方式22的超级磨粒砂轮的仰视图。
图65是沿着图64中的LXV-LXV线的剖视图。
图66是本发明的实施方式23的超级磨粒砂轮的仰视图。
图67是沿着图66中的LXVII-LXVII线的剖视图。
图68是本发明的实施方式24的超级磨粒砂轮的仰视图。
图69是沿着图68中的LXIX-LXIX线的剖视图。
图70是本发明的实施方式25的超级磨粒砂轮的仰视图。
图71是沿着图70中的LXXI-LXXI线的剖视图。
图72是本发明的实施方式26的超级磨粒砂轮的仰视图。
图73是沿着图72中的LXXIII-LXXIII线的剖视图。
图74是本发明的实施方式27的超级磨粒砂轮的仰视图。
图75是沿着图74中的LXXV-LXXV线的剖视图。
图76是比较品的超级磨粒砂轮的剖视图。
图77是本发明品的超级磨粒砂轮的剖视图。
具体实施方式
以下，参照附图，说明本发明的实施方式。需要说明的是，在以下的实施方式中，对同一部分或彼此相当的部分标注同一参照符号，不重复其说明。也可以将各实施方式组合。
(实施方式1)
图1是本发明的实施方式1的超级磨粒砂轮的主视图。图2是本发明的实施方式1的超级磨粒砂轮的俯视图。图3是本发明的实施方式1的超级磨粒砂轮的仰视图。图4是沿着图3中的IV-IV线的剖视图。图5是沿着图3中的V-V线的剖视图。图6是将图4中的由VI-VI线包围的部分放大表示的剖视图。图7是将图5中的由VII-VII线包围的部分放大表示的剖视图。图8是本发明的实施方式1的超级磨粒砂轮的一面的立体图。图9是本发明的实施方式1的超级磨粒砂轮的另一面的立体图。
参照图1至图9，实施方式1的超级磨粒砂轮1具有环状的基体件10。环状的基体件10以旋转轴3为中心进行旋转。基体件10具有第一面201和与第一面201对置的第二面202。第一面201和第二面202规定基体件10的厚度。在第二面202上安装有超级磨粒层20。第一面201是安装于加工机的面，将旋转力从加工机向第一面201传递。
在第一面201侧设有环状的磨削液供给槽12。在磨削液供给槽12配置有多个磨削液供给孔13。多个磨削液供给孔13以贯通基体件10的方式构成。基体件10的内周壁18对孔进行规定，在该孔内隔着轮缘而嵌合有主轴。
在基体件10的第二面202的内周部设有磨削液供给孔13。磨削液供给孔13是用于供给磨削液的孔。在磨削液供给孔13附近配置有第一立壁111、第一倒锥面112及外侧锥面113。通过第一立壁111和第一倒锥面112来构成第一突条部121。第一突条部121的端部115成为第一立壁111与第一倒锥面112的边界部分。在第二面202的顶部114固定有通过结合材料固接了超级磨粒的超级磨粒层20。
主要参照图6及图7，从磨削液供给孔13沿着箭头F所示的方向供给磨削液。由于基体件10旋转，因此该磨削液受到向外侧方向的离心力。并且，由于因重力而向下方移动，因此该磨削液沿着第一立壁111向下侧移动。并且，越过第一立壁111的磨削液从端部115朝向外周扩散，碰触到外侧锥面113。然后，在外侧锥面113上扩散而向超级磨粒层20供给磨削液。所供给的磨削液向超级磨粒层20与工件的接触界面供给而具有对接触界面进行润滑及冷却的作用。
如图8及9所示，第一立壁111、第一倒锥面112及外侧锥面113分别沿着圆形的基体件10的圆周方向延伸。
关于图6及图7所示的从基准面110到端部115的高度A与从基准面110到顶部114的高度B的关系，高度B与高度A之差优选为1mm以上。高度A优选为3mm以上。
实施方式1的超级磨粒砂轮1具备：以旋转轴3为中心旋转的基体件10；与基体件固接的超级磨粒层20。基体件10具有第一面201和位于该第一面201的相反侧的第二面202，在由超级磨粒层20包围的第二面202的部分上设有向远离第一面201的方向突出的环状的第一突条部121，在比第一突条部121靠内侧的第二面202的部分上设有基准面110，从基准面110到第一突条部的高度由A表示，在第一突条部121与超级磨粒层20之间的第二面202的部分上设有距基准面110的高度为B的顶部114，高度B比高度A大。
在如此构成的超级磨粒砂轮1中，从内周侧供给的磨削液与环状的第一突条部121相碰而朝向超级磨粒层20微细化地扩散。其结果是，能够向超级磨粒层20与工件之间均匀地供给磨削液。而且，由于在第一立壁111未设置积液处，因此能够防止在积液处积攒磨削液的情况，从而能够实现稳定的旋转。第一突条部121的内周侧壁面即第一立壁111与旋转轴3平行。位于最内周侧的第一突条部121的距基准面110的高度A为3mm以上。高度B与高度A之差为1mm以上。第一突条部121为圆环状。第一突条部121具有使磨削液微细粒子化而使磨削液均匀地扩散的功能。
(实施方式2)
图10是本发明的实施方式2的超级磨粒砂轮的仰视图。参照图10，在本发明的实施方式2的超级磨粒砂轮1中，超级磨粒层20的作用面形状大致为平行四边形，这方面与超级磨粒层20的形状大致为长方形的实施方式1的超级磨粒砂轮不同。
如此构成的实施方式2的超级磨粒砂轮也具有与实施方式1的超级磨粒砂轮同样的效果。
(实施方式3)
图11是本发明的实施方式3的超级磨粒砂轮的仰视图。图12是沿着图11中的XII-XII线的剖视图。图13是沿着图11中的XIII-XIII线的剖视图。图14是将图12中的由XIV-XIV包围的基体件的一部分放大表示的图。图15是将图13中的由XV-XV线包围的部分放大表示的剖视图。图16是本发明的实施方式3的超级磨粒砂轮的一面的立体图。图17是本发明的实施方式3的超级磨粒砂轮的另一面的立体图。参照所述图，在本发明的实施方式3的超级磨粒砂轮中，在第二面202上从内周侧依次设有第一立壁111、第一倒锥面112、第二立壁116、第二倒锥面117及外侧锥面113，这一点与实施方式1的超级磨粒砂轮不同。
即，在实施方式1的超级磨粒砂轮中，未设有第二立壁116及第二倒锥面117，相对于此，在实施方式3中设置了第二立壁116及第二倒锥面117。第一及第二突条部121、122设置在超级磨粒层20的内周侧，在相邻的第一及第二突条部121、122中，内周侧的第一突条部121的距基准面110的高度比外周侧的第二突条部122的距基准面110的高度低。第一立壁111及第二立壁116相对于旋转轴大致平行地配置，具有使从内周侧供给的磨削液的流动临时停止而使其扩散的作用。从基准面110到第一立壁111的端部115的高度为A，从基准面110到顶部114的高度为B，从基准面110到端部125的高度为C。通过设置第一突条部121及第二突条部122这两个突条部，能够更可靠地使磨削液分散。即，从磨削液供给孔13供给的磨削液先沿着第一立壁111向下方流动，从端部115扩散而向外周方向飞散。然后，飞散的磨削液与第二立壁116相碰，该磨削液进一步向下方流动而从端部125向外周方向飞散。其结果是，与实施方式1相比，能够更可靠地使磨削液微细粒子化而向外方扩散。
(实施方式4)
图18是本发明的实施方式4的超级磨粒砂轮的仰视图。参照图18，在本发明的实施方式4的超级磨粒砂轮中，超级磨粒层20的作用面形状大致为平行四边形，这一点与实施方式3的超级磨粒砂轮不同。
(实施方式5)
图19是本发明的实施方式5的超级磨粒砂轮的仰视图。图20是沿着图19中的XX-XX线的超级磨粒砂轮的剖视图。图21是沿着图19中的XXI-XXI线的剖视图。图22是将图20中的由XXII-XXII线包围的部分放大表示的超级磨粒砂轮的剖视图。图23是将图21中的由XXIII-XXIII线包围的部分放大表示的剖视图。图24是本发明的实施方式5的超级磨粒砂轮的一面的立体图。图25是本发明的实施方式5的超级磨粒砂轮的另一面的立体图。
参照上述图，在实施方式5的超级磨粒砂轮1中，端部115构成平坦面，这一点与实施方式1的超级磨粒砂轮1不同。即，在实施方式1的超级磨粒砂轮1中，端部115为尖形状，相对于此，在实施方式5的超级磨粒砂轮1中，端部115为平坦的形状，并沿着半径方向具有宽度，这一点与实施方式1的超级磨粒砂轮1不同。
如此构成的实施方式5的超级磨粒砂轮1也具有与实施方式1的超级磨粒砂轮1同样的效果。
(实施方式6)
图26是本发明的实施方式6的超级磨粒砂轮的仰视图。图27是沿着图26中的XXVII-XXVII线的剖视图。图28是沿着图26中的XXVIII-XXVIII线的剖视图。图29是将图27中的由XXIX-XXIX线包围的部分放大表示的超级磨粒砂轮的剖视图。图30是将图28中的由XXX-XXX线包围的部分放大表示的超级磨粒砂轮的剖视图。图31是本发明的实施方式6的超级磨粒砂轮的一面的立体图。图32是本发明的实施方式6的超级磨粒砂轮的另一面的立体图。
参照这些图，在实施方式6的超级磨粒砂轮中，端部115的截面成为圆弧形状，这一点与其他实施方式的超级磨粒砂轮不同。圆弧形状的端部115的圆弧半径并未特别限制。而且，其半径也不需要一定为恒定，可以形成为将多个曲率组合的形状。
(实施方式7)
图33是本发明的实施方式7的超级磨粒砂轮的主视图。图34是本发明的实施方式7的超级磨粒砂轮的俯视图。图35是本发明的实施方式7的超级磨粒砂轮的仰视图。图36是本发明的实施方式7的超级磨粒砂轮的右侧视图。图37是沿着图35中的XXXVII-XXXVII线的剖视图。图38是将图37中的由XXXVIII-XXXVIII包围的部分放大表示的剖视图。图39是本发明的实施方式7的超级磨粒砂轮的一面的立体图。图40是本发明的实施方式7的另一面的超级磨粒砂轮的立体图。
参照这些图，在实施方式7的超级磨粒砂轮中，未将磨削液供给孔设置于基体件10，这一点与实施方式1的超级磨粒砂轮不同。取代在超级磨粒砂轮上设置用于供给磨削液的孔，而是通过喷嘴，从超级磨粒砂轮1的内周侧供给磨削液。在内周壁18的外侧设有内周侧锥面131。以与内周侧锥面131相连的方式配置基准面110、第一立壁111、第一倒锥面112、外侧锥面113及顶部114。
图41是用于说明实施方式7的超级磨粒砂轮的磨削工序的图。参照图41，晶片601由磨削盘的回转工作台602保持。从喷嘴501向箭头F所示的方向供给的磨削液被控制流量、压力及方向，以便于在超级磨粒砂轮1的加工时的转速下，与环状的第一突条部121的第一立壁111直接相碰。也可以利用旋转产生的离心力使流动弯曲，从而使磨削液直接与第一立壁111相碰。并且，与第一立壁111抵接的磨削液从端部115向箭头F1所示的方向扩散而排出。然后，向超级磨粒层20供给磨削液。其结果是，向超级磨粒层20与作为工件的晶片601的接触界面均匀地供给磨削液，因此能够带来如下效果，即：防止磨削物(工件)的烧伤的发生，稳定且长期地维持良好的锋利度。而且，微细粒子化的磨削液与外侧锥面113相碰而以速度缓和的状态向超级磨粒层20供给。即，本发明的晶片的制造方法使用上述的超级磨粒砂轮1对晶片601进行磨削。
(实施方式8)
图42是本发明的实施方式8的超级磨粒砂轮的仰视图。图43是沿着图42中的XLIII-XLIII线的剖视图。图44是将图43中的由XLIV-XLIV线包围的部分放大表示的剖视图。图45是本发明的实施方式8的超级磨粒砂轮的一面的立体图。图46是本发明的实施方式8的超级磨粒砂轮的另一面的立体图。
在本发明的实施方式8的超级磨粒砂轮1中，设有第一突条部121及第二突条部122，这一点与实施方式7的超级磨粒砂轮1不同。另外也可以设置多个突条部。
(实施方式9)
图47是用于说明实施方式9的超级磨粒砂轮的磨削工序的图。参照图47，可以使用干扰板701使磨削液扩散。具体而言，沿着轴向从喷嘴702供给磨削液。磨削液沿着干扰板701顺着半径方向流动而如箭头F所示，向半径方向外侧排出而与第一立壁111相碰。并且，在磨削液越过端部115之后，向箭头F1所示的方向扩散而与外侧锥面113相碰，之后，磨削液被供给到超级磨粒层20与晶片601的界面。
(实施方式10)
图48是本发明的实施方式10的超级磨粒砂轮的剖视图。参照图48，在实施方式10的超级磨粒砂轮1中，与基体件10分体地将突条构件1000安装于基体件10。突条构件1000具有第一突条部121。突条构件1000安装在比基准面110靠超级磨粒层20侧的面上。突条构件1000安装成相对于基体件10拆装自如，例如通过以螺栓为代表的紧固构件来安装。实施方式10的超级磨粒砂轮1具备：以旋转轴3为中心旋转的基体件10；与基体件固接的超级磨粒层20。基体件10具有第一面201和位于该第一面201的相反侧的第二面202，在由超级磨粒层20包围的第二面202的部分上设有突条构件1000，该突条构件1000具有朝向远离第一面201的方向突出的环状的第一突条部121，在比第一突条部121靠内侧的第二面202的部分上设有基准面110，从基准面110到第一突条部的高度由A表示，在第一突条部121与超级磨粒层20之间的第二面202的部分上设有距基准面110的高度为B的顶部114，高度B大于高度A。
超级磨粒层20的作用面的形状可以为大致长方形形状、大致平行四边形形状、大致梯形形状中的任一个。而且，超级磨粒层20的作用面的角部分可以修圆。
(实施方式11)
图49是本发明的实施方式11的超级磨粒砂轮的剖视图。参照图49，在本发明的实施方式11的超级磨粒砂轮1中，在与基准面110同一面上设置用于安装突条构件1000的面。
(实施方式12)
图50是本发明的实施方式12的超级磨粒砂轮的剖视图。参照图50，本发明的实施方式12的突条构件1000具有第一突条部121和第二突条部122。突条构件1000设置在比基准面110靠超级磨粒层20侧。关于尺寸，成立A＜C＜B。
(实施方式13)
图51是本发明的实施方式13的超级磨粒砂轮的剖视图。参照图51，在实施方式13的超级磨粒砂轮1中，突条构件1000的安装面与基准面110为同一面。
(实施方式14)
图52是本发明的实施方式14的超级磨粒砂轮的剖视图。参照图52，在本发明的实施方式14的超级磨粒砂轮1中，突条构件1000与基体件10的边界部分的一部分成为倾斜面。而且，突条构件1000与基体件10的边界部分的一部分为基准面110。
(实施方式15)
图53是本发明的实施方式15的超级磨粒砂轮的剖视图。参照图53，在实施方式15的超级磨粒砂轮1中，突条构件1000与基体件10的边界部分成为倾斜面。并且，突条构件1000与基体件10的边界的一部分成为基准面110。
(实施方式16)
图54是本发明的实施方式16的超级磨粒砂轮的剖视图。参照图54，在实施方式16的超级磨粒砂轮1中，突条构件1000与基体件10的边界面成为台阶状。
(实施方式17)
图55是本发明的实施方式17的超级磨粒砂轮的剖视图。参照图55，在本发明的实施方式17的超级磨粒砂轮1中，突条构件1000与基体件10的边界面成为台阶状。
(实施方式18)
图56是本发明的实施方式18的超级磨粒砂轮的仰视图。图57是沿着图56中的箭头LVII-LVII线的剖视图。参照图56及图57，在实施方式18的超级磨粒砂轮1中，在基体件10的基准面110上安装突条构件1000。突条构件1000为罩形状，在其中央区域设有磨削液供给孔13。从磨削液供给孔13供给磨削液。该供给的磨削液因离心力而向外周方向飞散，与第一立壁111相碰。并且，越过了第一立壁111的磨削液从第一突条部121扩散而向超级磨粒层20供给磨削液。供给的磨削液向超级磨粒层20与工件的接触界面供给而对接触界面进行润滑及冷却。
(实施方式19)
图58是本发明的实施方式19的超级磨粒砂轮的仰视图。图59是沿着图58中的LIX-LIX线的剖视图。参照图58及图59，在实施方式19的超级磨粒砂轮1中，突条构件1000前端的第一突条部121为圆弧形状。需要说明的是，在本实施方式中，虽然示出了突条构件1000前端的第一突条部121为圆弧形状的例子，但与基体件10一体设置的第一突条部121及第二突条部122的前端也可以为圆弧形状。
(实施方式20)
图60是本发明的实施方式20的超级磨粒砂轮的仰视图。图61是沿着图60中的LXI-LXI线的剖视图。参照图60及图61，在实施方式20的超级磨粒砂轮1中，在第一突条部121的外周侧设置第一倒锥面112。
(实施方式21)
图62是本发明的实施方式21的超级磨粒砂轮的仰视图。图63是沿着图62中的LXIII-LXIII线的剖视图。参照图62及图63，在实施方式21的超级磨粒砂轮1中，在突条构件1000设置第一突条部121、第一倒锥面112、第二突条部122及第二倒锥面117。
(实施方式22)
图64是本发明的实施方式22的超级磨粒砂轮的仰视图。图65是沿着图64中的LXV-LXV线的剖视图。参照图64及图65，在实施方式22的超级磨粒砂轮1中，在突条构件1000上设置第一突条部121、第一倒锥面112、第二突条部122、第二倒锥面117、第三突条部123及第三倒锥面119。关于尺寸，A＜C＜D＜B成立。
(实施方式23)
图66是本发明的实施方式23的超级磨粒砂轮的仰视图。图67是沿着图66中的LXVII-LXVII线的剖视图。参照图66及图67，在实施方式23的超级磨粒砂轮1中，磨削液供给孔13以朝向外周方向延伸的方式贯通突条构件1000。
(实施方式24)
图68是本发明的实施方式24的超级磨粒砂轮的仰视图。图69是沿着图68中的LXIX-LXIX线的剖视图。参照图68及图69，在本发明的实施方式24的超级磨粒砂轮1中，在突条构件1000设置干扰板1010。干扰板1010以与磨削液供给孔13面对的方式设置。从磨削液供给孔13供给的磨削液通过干扰板1010改变行进方向而向外周方向前进。并且，磨削液越过了第一突条部121之后到达超级磨粒层20。
(实施方式25)
图70是本发明的实施方式25的超级磨粒砂轮的仰视图。图71是沿着图70中的LXXI-LXXI线的剖视图。参照图70及图71，在本发明的实施方式25的超级磨粒砂轮1中，在干扰板1010与突条构件1000之间设置呈十字状延伸的磨削液通路1011。从磨削液供给孔13供给的磨削液经由磨削液通路1011向第一突条部121侧供给。
(实施方式26)
图72是本发明的实施方式26的超级磨粒砂轮的仰视图。图73是沿着图72中的LXXIII-LXXIII线的剖视图。参照图72及图73，在本发明的实施方式26的超级磨粒砂轮1中，在使超级磨粒砂轮1旋转的机械侧设有磨削液供给孔13，从该磨削液供给孔13供给的磨削液向突条构件1000的第一突条部121侧供给。
(实施方式27)
图74是本发明的实施方式27的超级磨粒砂轮的仰视图。图75是沿着图74中的LXXV-LXXV线的剖视图。参照图74及图75，在本发明的实施方式27的超级磨粒砂轮1中，在使超级磨粒砂轮1旋转的机械侧设有干扰板1010及磨削液通路1011。并且，从磨削液通路1011供给的磨削液越过第一突条部121而向超级磨粒层20侧供给。
(实施方式28)
图76是比较品的超级磨粒砂轮的剖视图。图77是本发明品的超级磨粒砂轮的剖视图。在实施方式28中，准备图76所示形状的比较品(无突条部)及图77所示形状的本发明品(有突条部)。双方样品的尺寸如下述所示。
超级磨粒砂轮尺寸：外径φ200mm-磨削液供给孔13的内径φ80mm-从第一面201到超级磨粒层20前端的高度30mm-超级磨粒层的宽度4mm-超级磨粒层的高度5mm
超级磨粒层20的粒度：#8000
工件及其尺寸：单晶硅晶片
加工条件
超级磨粒砂轮旋转速度：2000min-1(21m/s)
工作台旋转速度：100min-1
进给速度：20μm/min
加工余量：20μm
无火花磨削(spark out)：30sec
磨削液：水
磨削液供给：轴芯供给方式+干扰板
流量：5dm3/min
工件的加工片数：20片连续加工
所有的样品均从加工机的磨石主轴的轴芯供给磨削液。从轴芯供给的磨削液(水)与干扰板1010相碰，因旋转而飞散。干扰板1010为圆板形状，被固定在四个部位。
在图76所示的比较品中，使超级磨粒砂轮旋转所需的电流值(A)为3.5，超级磨粒层20的磨损量(μm)为0.86，工件的表面粗糙度Ra(nm)为2.0，相对于此，在图77所示的本发明的超级磨粒砂轮1中，电流值(A)为3.5，磨损量(μm)为0.42，表面粗糙度Ra(nm)为1.2。
对比的结果是，通过使用第一突条部121而能观察到磨损量的减少和表面粗糙度的改善。电流值几乎没有观察到差别。认为是从轴芯供给的磨削液因旋转中的干扰板而飞散，并借助突条部而均匀地分散，从而实现磨石磨损量的减少和表面粗糙度的改善。在比较品中，认为是由于在固定干扰板的四个部位，磨削液未均匀地飞散，因此未均匀地向磨削点供给。而且，通过使用本发明的超级磨粒砂轮而减轻了连续加工中的晶片加工面的深条痕(划痕)。这也可以说是通过利用突条部使磨削液均匀地分散，均匀地向磨削点供给，从而能得到稳定的磨削面。
以上，说明了本发明的实施方式，这里所示的实施方式能够进行各种变形。首先，作为工件，虽然示出了半导体的晶片，但不局限于晶片，可以为了加工金属、非金属、有机物、无机物等各种工件而使用超级磨粒砂轮。具体而言，作为工件，可以使用玻璃基板、化合物半导体、硅晶片、SiC晶片、碳膜(金刚石状碳)、氧化硅膜、氮化硅、金刚石。而且，关于超级磨粒层20的作用面形状，不局限于实施方式所示的大致长方形及大致平行四边形的形状，可以采用三角形、圆形、椭圆或角被修圆了的三角形形状等各种形状。
应该认为本次公开的实施方式的所有方面是例示而不是限制性特征。本发明的范围不是根据上述说明而是由权利要求书示出，且与权利要求书的范围等同的意思及范围内的全部变更包括在内。
工业实用性
本发明能够在用于磨削工件的超级磨粒砂轮、使用了该超级磨粒砂轮的晶片的制造方法的领域中使用。
符号说明：
1超级磨粒砂轮，3旋转轴，10基体件，12磨削液供给槽，13磨削液供给孔，18内周壁，20超级磨粒层，110基准面，111第一立壁，112第一倒锥面，113外侧锥面，114顶部，115端部，116第二立壁，117第二倒锥面，121第一突条部，122第二突条部，125端部，201第一面，202第二面，501喷嘴，601晶片，602回转工作台，1000突条构件。

Claims (16)

1.一种超级磨粒砂轮，具备：
以旋转轴为中心旋转的基体件(10)；
与所述基体件固接的超级磨粒层(20)，
其中，
所述基体件具有第一面(201)和位于该第一面的相反侧的第二面(202)，
在由所述超级磨粒层包围的所述第二面的部分上设有向远离所述第一面的方向突出的环状的突条部(121)，
在比所述突条部靠内侧的所述第二面的部分设有基准面(110)，
从所述基准面到所述突条部的高度由A表示，
在所述突条部与所述超级磨粒层之间的所述第二面的部分设有距所述基准面的高度为B的顶部(114)，高度B大于高度A，
所述突条部(121)由立壁(111)与倒锥面(112)构成，
向所述基体件供给磨削液，由于所述基体件旋转，因此磨削液受到向外侧方向的离心力，由于因重力而向下方移动，因此该磨削液沿着所述立壁向下侧移动，并且越过所述立壁的磨削液远离所述倒锥面进行扩散。
2.根据权利要求1所述的超级磨粒砂轮，其中，
所述突条部的内周侧壁面与所述旋转轴大致平行。
3.根据权利要求1所述的超级磨粒砂轮，其中，
多个所述突条部设置在所述超级磨粒层的内周侧，在相邻的所述突条部中，内周侧的突条部的距所述基准面的高度低于外周侧的突条部的距所述基准面的高度。
4.根据权利要求1所述的超级磨粒砂轮，其中，
位于最内周侧的所述突条部的距所述基准面的高度为3mm以上。
5.根据权利要求1所述的超级磨粒砂轮，其中，
所述高度B与所述高度A之差为1mm以上。
6.根据权利要求1所述的超级磨粒砂轮，其中，
所述突条部为圆环状。
7.根据权利要求1所述的超级磨粒砂轮，其中，
所述突条部具有使磨削液微细粒子化而使磨削液均匀地扩散的功能。
8.一种制造晶片的方法，其中，
使权利要求1所述的超级磨粒砂轮的所述超级磨粒层与晶片接触，从所述突条部的内周侧供给磨削液并同时研磨晶片。
9.一种晶片，其是通过权利要求8所述的方法制造的晶片。
10.一种超级磨粒砂轮，具备：
以旋转轴为中心旋转的基体件(10)；
与所述基体件固接的超级磨粒层(20)，
其中，
所述基体件具有第一面(201)和位于该第一面的相反侧的第二面(202)，
还具备突条构件(1000)，该突条构件(1000)具有设置在由所述超级磨粒层包围的所述第二面的部分上且向远离所述第一面的方向突出的环状的突条部(121)，
在比所述突条部靠内侧的所述第二面的部分设有基准面(110)，
从所述基准面到所述突条部的高度由A表示，
在所述突条部与所述超级磨粒层之间的所述第二面的部分设有距所述基准面的高度为B的顶部，高度B大于高度A，
所述突条部(121)由立壁(111)与倒锥面(112)构成，
向所述基体件供给磨削液，由于所述基体件旋转，因此磨削液受到向外侧方向的离心力，由于因重力而向下方移动，因此该磨削液沿着所述立壁向下侧移动，并且越过所述立壁的磨削液远离所述倒锥面进行扩散。
11.根据权利要求10所述的超级磨粒砂轮，其中，
所述突条部的内周侧壁面与所述旋转轴大致平行。
12.根据权利要求10所述的超级磨粒砂轮，其中，
多个所述突条部设置在所述超级磨粒层的内周侧，在相邻的所述突条部中，内周侧的突条部的距所述基准面的高度低于外周侧的突条部的距所述基准面的高度。
13.根据权利要求10所述的超级磨粒砂轮，其中，
位于最内周侧的所述突条部的距所述基准面的高度为3mm以上。
14.根据权利要求10所述的超级磨粒砂轮，其中，
所述高度B与所述高度A之差为1mm以上。
15.根据权利要求10所述的超级磨粒砂轮，其中，
所述突条部为圆环状。
16.根据权利要求10所述的超级磨粒砂轮，其中，
所述突条部具有使磨削液微细粒子化而使磨削液均匀地扩散的功能。
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