CN102700017B - 用于硅片加工设备的过滤桶冲洗装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于硅片加工设备的过滤桶冲洗装置，包括支架、设置于所述支架底部的浆料回收装置、设置于所述支架中上部的用于支撑待冲洗过滤桶的支撑装置、与所述支撑装置连接的传动系统、设置在所述浆料回收装置和所述支撑装置之间的碎硅片回收装置以及用于冲洗所述过滤桶的高压水枪；所述碎硅片回收装置中设置有滤网；所述传动系统上设置有位于所述支架外部的手柄，所述手柄能够带动所述支撑装置和所述过滤桶转动。本发明所提供的过滤桶冲洗装置实现了碎硅片和浆料的回收再利用，有助于降低生产成本，且冲洗过程简单方便，不需要操作人员与过滤桶直接接触，只需转动手柄便可实现对过滤桶的冲洗，显著减少了操作人员的劳动量。

Description

用于硅片加工设备的过滤桶冲洗装置

技术领域

本发明涉及光伏领域，特别涉及一种用于硅片加工设备的过滤桶冲洗装置。

背景技术

在硅片加工过程中，需要消耗大量的浆料，利用浆料完成对硅块的切割工序，浆料一般是由碳化硅和悬浮液混合成的；在加工过程中，而浆料一般都是循环使用的，浆料在存储浆料的浆料缸和加工硅片的切割室中循环流动，在切割硅块过程中，从硅锭上切割下的碎硅片混到浆料中，使得浆料中含有较多的碎硅片等杂质影响正常的切割作业；因此，在浆料缸中设置有过滤桶以对浆料进行过滤，以保证浆料的纯度，而浆料的纯度和过滤的效果直接影响了硅片的加工精度和质量，因此，需要定期对过滤桶进行冲洗以保证其过滤效果。

目前，常采用的过滤桶冲洗方式一般是人工冲洗，操作人员一手拿着过滤桶，另一只手拿着高压水枪，一边旋转过滤桶，一边利用高压水对过滤桶进行冲洗。

在冲洗过程中，由于没有任何保护措施，混杂着过滤桶上附着的浆料的水极易溅到操作人员身上，且整个冲洗过程耗时较长，用水量较大；此外，被冲洗掉的浆料和碎硅片等杂质直接冲到地沟中，造成了较大的浪费和环境污染；同时，经常需要在生产过程中添加新的浆料以补充不足的浆料，增加了生产成本。

因此，如何更加有效的对过滤桶冲洗，实现对浆料的回收，降低操作人员的劳动量，提高生产效率是本领域技术人员需要解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于硅片加工设备的过滤桶冲洗装置，该过滤桶冲洗装置可以实现浆料的回收再利用，显著降低操作人员的劳动量，提高生产效率。

为实现上述目的，本发明提供一种用于硅片生产设备的过滤桶冲洗装置，包括支架、设置于所述支架底部的浆料回收装置、设置于所述支架中上部的用于支撑待冲洗过滤桶的支撑装置、与所述支撑装置连接的传动系统以及设置在所述浆料回收装置和所述支撑装置之间的碎硅片回收装置；在所述碎硅片回收装置的底部连接有用于过滤浆料的滤网；所述传动系统上设置有位于所述支架外部的手柄，以便通过旋转所述手柄带动所述支撑装置和所述过滤桶转动；所述过滤桶冲洗装置进一步包括用于冲洗所述过滤桶的高压水枪。

优选地，在所述支架外部设置有挡板，以防止高压水溅出。

优选地，其特征在于，所述挡板为透明塑料挡板。

优选地，其特征在于，所述传动系统包括主动皮带轮、从动皮带轮以及皮带，所述主动皮带轮与所述从动皮带轮设置在同一水平面上，所述手柄连接在所述主动皮带轮上，所述从动皮带轮上连接有竖直设置的转轴。

优选地，在所述转轴上设置有至少一个轴承，并在轴承的两侧设置有轴套，以便固定所述轴承的轴向位置；所述轴承在外部套有定位套，所述定位套与所述支架固定连接。

优选地，所述手柄的转动轴线与所述转轴的转动轴线垂直，在所述手柄和所述主动皮带轮之间进一步设置有转向装置。

优选地，所述支撑装置包括中部开有孔的托盘和设置在所述托盘上方的桶架，所述桶架与所述转轴固定连接，所述桶架和所述转轴的转动中心线重合。

优选地，所述碎硅片回收装置为抽屉，在所述滤网的下方连接有带有多个孔的平板。

优选地，所述浆料回收装置为开口向上的盒子，在底部设置有车轮，以方便移动。

优选地，所述支架由多个钢管焊接而成。

在利用本发明所提供的过滤桶冲洗装置对过滤桶进行冲洗时，首先将待冲洗的过滤桶倒置在所述桶架上，所述过滤桶通过所述托盘支撑；在进行冲洗作业时，首先转动所述手柄，在所述传动系统的传动下，带动所述桶架转动，从而带动放置在所述桶架上的所述过滤桶转动，在所述高压水枪的冲洗下，附着在所述过滤桶上的浆料和碎硅片被冲洗掉；混杂着浆料和碎硅片的水流到位于所述支撑装置下方的所述碎硅片回收装置中，在所述滤网的作用下，碎硅片被过滤掉而留在所述碎硅片回收装置中，而经过过滤后含杂质相对较少的浆料和水的混合物流向位于所述支架底部的所述浆料回收装置中；在所述过滤桶冲洗结束后，将所述过滤桶取下即可。

本发明所提供的过滤桶冲洗装置分别设置有所述碎硅片回收装置和所述浆料回收装置，实现了碎硅片和浆料的回收再利用，有助于降低生产成本，且整个冲洗过程简单方便，不需要操作人员与过滤桶直接接触，只需转动手柄便可实现对过滤桶的冲洗，显著减少了操作人员的劳动量。

在一种优选实施例中，本发明所提供的过滤桶冲洗装置进一步包括设置在所述支架外部的挡板，在冲洗所述过滤桶过程中，所述挡板可以有效的防止水花溅到操作人员的身上。

附图说明

图1为本发明所提供的过滤桶冲洗装置一种具体实施方式中的结构示意图；

图2为图1所示过滤桶冲洗装置的支架结构示意图；

图3为本发明所提供的浆料回收装置一种具体实施方式的结构示意图；

图4为本发明所提供的碎硅片回收装置一种具体实施方式的结构示意图；

图5为图1所示过滤桶冲洗装置的转轴的结构示意图；

图6为图1所示过滤桶冲洗装置的转向装置的结构示意图；

图7为图1所示过滤桶冲洗装置的支撑装置的结构示意图。

具体实施方式

本发明的核心是提供一种用于硅片加工设备的过滤桶冲洗装置，该过滤桶冲洗装置实现了浆料的回收再利用，显著降低了操作人员的劳动量，提高了生产效率。

为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步的详细说明。

请参考图1，图1为本发明所提供的过滤桶冲洗装置一种具体实施方式中的结构示意图。

在一种具体实施方式中，本发明所提供的过滤桶冲洗装置包括支架1，该支架1可以为多个钢管焊接而成的，钢管可以进一步为方钢管，包括竖直设置的竖直支架、横向设置的横向支架以及纵向设置的纵向支架，支架1的整体外形可以为长方体，如图2所示，在其内部可以大体被钢管分为三层空间。

最底层也就是支架1的底部设置有用于回收浆料的浆料回收装置14，该浆料回收装置14开口向上，具有四个侧面和一个底面，如图3所示；由于支架1是由多个钢管组成的，因此能够从支架1的任何一个侧面上将浆料回收装置14拉出；浆料回收装置14可以采用钢板焊接而成，具体的可以采用三角铁焊接以增大连接强度，为了防止浆料对钢板的腐蚀，可以进一步采用不锈钢钢板焊接而成；浆料回收装置14在水平方向的尺寸可以与支架1在水平方向的尺寸大体一致；为了方便移动浆料回收装置14，可以在浆料回收装置14的侧面上设置有把手142，还可以在其底部设置有前后两组车轮141，例如，采用万向车轮，方便在移动过程中转向。

在中间层设置有用于回收碎硅片的碎硅片回收装置13，碎硅片回收装置13具有四个侧面和一个底面，同样，碎硅片回收装置13能够从支架1的任何一个侧面拉出，为方便抽拉，在碎硅片回收装置13的竖直侧面上设置把手132；碎硅片回收装置13的底面为滤网，由于碎硅片的尺寸相对较小，滤网上的过滤孔设置的也相对较密，也可以采用两层滤网，以保证碎硅片回收装置13具有较好的过滤效果；为了增强碎硅片回收装置13的强度，其四个侧面可以采用钢板焊接而成，在滤网的下方进一步焊接带有多个尺寸相对较大的孔的平板131，如图4所示，这样，不仅增加了碎硅片回收装置13的强度，也不会影响滤网的过滤效果，碎硅片回收装置13可以采用不锈钢材质加工而成，以降低混合液对碎硅片回收装置13的腐蚀的程度，延长碎硅片回收装置13的使用寿命。

在最上层也就是碎硅片回收装置13的上方设置有用于支撑待冲洗过滤桶的支撑装置以及与支撑装置连接并可以带动支撑装置转动的传动系统。

对于传动系统而言，可以采用多种传动方式，例如采用皮带传送，具体的说，传动系统包括主动皮带轮6、从动皮带轮7以及设置在主动皮带轮6和从动皮带轮7之间用于传送转动的皮带5，主动皮带轮6和从动皮带轮7均水平设置，也就是说，两个皮带轮的转动轴线均在竖直方向；在主动皮带轮6上设置有位于支架1外部的手柄4，在从动皮带轮7的大体中间位置竖直的固定连接有转轴11，转轴11的转动轴线与从动皮带轮7的转动轴线重合；通过转动手柄4，在皮带5的传送下，可以带动转轴11的转动。

为了固定传动系统，可以在转轴11上安装有轴承8，在轴承8的两侧安装有轴套，以对轴承8进行轴向定位，在轴承8的外部套有定位套9，如图5所示，该定位套9可以采用金属材质加工而成，定位套9通过紧固螺栓与支架1固定连接，为增加连接强度，可以在转轴11上设置两个轴承8以及与其相配合的定位套9；而主动皮带轮6和从动皮带轮7可以由支架1上的横向支架或纵向支架支撑，若转轴11的连接强度相对较大时，可以不必再对从动皮带轮7固定，只需对主动皮带轮6固定即可；也可以采用类似的固定方式对主动皮带轮6进行固定，即可以在从动皮带轮7和手柄4之间设置至少一组轴承以及与该轴承相配合的定位套。

若手柄4的转动轴线平行于水平面，与转轴11的转动轴线垂直时，需要在手柄4和主动皮带轮6之间设置转向装置3，如图6所示，利用该转向装置3将竖直方向上的转动转换为水平方向上的转动，使手柄4的转动能够带动转轴11的转动，该转向装置3可以通过紧固螺栓固定在支架1上，由于转向装置3与从动皮带轮7是固定连接的，在转向装置3固定强度足够时，可以不必再对从动皮带轮7进行二次固定；转向装置3的具体形式较多，其中较为简单的方式可以采用两个上下设置的锥齿轮完成，两个锥齿轮之间的夹角为90°。

支撑装置具体的可以包括中部开有孔的托盘10以及设置在该托盘10上方的桶架12，桶架12与托盘10固定连接，可以采用焊接的连接方式；桶架12由至少一个圆钢环121、至少两个长度相同的竖直钢管123以及横钢管122焊接而成，如图7所示，具体的说，竖直钢管123均匀的焊接在托盘10上开孔的边缘，圆钢环121水平的焊接在竖直钢管123的顶部，在圆钢环121的内部水平的焊接有横钢管122，该横钢管122还与转轴11焊接，具体的说，该转轴11可以贯穿托盘10中部的孔与位于托盘10上方的横钢管122焊接，且转轴11的长度最好不要超出横钢管122，这样，桶架12以及托盘10可以与转轴11同步转动，可以在圆钢环121内部连接两个横钢管122，以增大与转轴11连接强度；还可以在竖直钢管123的中间均匀的再焊接两个圆钢环121以及与圆钢环121相连接的横钢管122，以增大桶架12的强度；圆钢管121的直径应比过滤桶小些，同样，竖直钢管123的长度也应比过滤桶的高度小些，托盘10的直径要比过滤桶的直径大些；过滤桶以倒置的方式放置在托盘10上，而桶架12则位于过滤桶内部，以防止过滤桶在转动过程中发生倾斜的现象。

本发明所提供的过滤桶冲洗装置还包括用于冲洗过滤桶的高压水枪2，高压水枪2可以竖直的设置在过滤桶附近，在高压水枪2上设置有多个上下分布的出水口，且每个出水口的角度不同，以便对过滤桶的各个位置进行全方位的冲洗，角度范围最好设置在45°-90°之间；除此以外，高压水枪2可以采用钢丝绳紧固在支架1上，以防止在冲洗时高压水枪2晃动；在冲洗时，水压设置在0.4kpa左右。

需要对过滤桶冲洗时，首先将过滤桶以倒置的方式放置在托盘10上；转动手柄4，转动的运动方式经传动系统传递到转轴11，继而连接在转轴11上的支撑装置和其支撑的过滤桶随之转动；打开高压水枪2，过滤桶一边在支撑装置的支撑下旋转，一边被高压水枪2中的水冲击，使得附着在过滤桶上的浆料和碎硅片被冲洗掉；混杂着浆料和碎硅片的水流向位于支撑装置下方的碎硅片回收装置13中，在滤网的过滤作用下，碎硅片被过滤掉而留在碎硅片回收装置13中；含杂质相对较少的浆料和水的混合液流入位于支架1最底层的浆料回收装置14中；在过滤桶冲洗结束后，关闭高压水枪2，将其从支撑装置上取下，利用高压空气吹干或晾干，即可再次使用过滤桶进行硅加工作业。

本发明所提供的过滤桶冲洗装置分别设置有碎硅片回收装置13和浆料回收装置14，实现了碎硅片和浆料的回收再利用，有助于降低生产成本，且整个冲洗过程简单方便，冲洗时间短、所用的水量也相对减少，冲洗过程中不需要操作人员与过滤桶直接接触，只需转动手柄4便可实现对过滤桶的冲洗，显著减少了操作人员的劳动量。

为了防止高压水溅到操作人员身上，在支架1的外部设置有挡板，除了手柄4外，整个过滤桶冲洗装置都包裹在挡板内部，这样可以有效的阻隔冲洗时产生的水花；可以进一步采用透明塑料挡板，一方面能够使操作人员了解内部的冲洗情况，另一方面其加工成本较低；当然，挡板也可以采用钢板或铁板。

以上对本发明所提供的用于硅片生产设备的过滤桶冲洗装置进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以对本发明进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。

Claims (9)

1.一种用于硅片加工设备的过滤桶冲洗装置，其特征在于，包括支架、设置于所述支架底部的浆料回收装置、设置于所述支架中上部的用于支撑待冲洗过滤桶的支撑装置、与所述支撑装置连接的传动系统以及设置在所述浆料回收装置和所述支撑装置之间的碎硅片回收装置；在所述碎硅片回收装置的底部连接有用于过滤浆料的滤网；所述传动系统上设置有位于所述支架外部的手柄，所述传动系统包括主动皮带轮、从动皮带轮以及相配合的皮带，所述主动皮带轮与所述从动皮带轮设置在同一水平面上，所述手柄连接在所述主动皮带轮上，所述从动皮带轮上连接有竖直设置的转轴，所述支撑装置套装在所述转轴的外部，并与所述转轴同轴设置，以便通过旋转所述手柄带动所述支撑装置和所述过滤桶转动；所述过滤桶冲洗装置进一步包括用于冲洗所述过滤桶的高压水枪。

2.根据权利要求1所述的过滤桶冲洗装置，其特征在于，在所述支架外部设置有防止水溅出的挡板。

3.根据权利要求2所述的过滤桶冲洗装置，其特征在于，所述挡板为透明塑料挡板。

4.根据权利要求1所述的过滤桶冲洗装置，其特征在于，在所述转轴上设置有至少一个轴承，并在轴承的两侧设置有轴套，以便固定所述轴承的轴向位置，所述轴承的外部套有定位套，所述定位套与所述支架固定连接。

5.根据权利要求1所述的过滤桶冲洗装置，其特征在于，所述手柄的转动轴线与所述转轴的转动轴线垂直，在所述手柄和所述主动皮带轮之间进一步设置有转向装置。

6.根据权利要求1所述的过滤桶冲洗装置，其特征在于，所述支撑装置包括中部开有孔的托盘，所述托盘的上方连接有桶架，所述转轴贯穿所述托盘的开孔与所述桶架固定连接。

7.根据权利要求1所述的过滤桶冲洗装置，其特征在于，所述碎硅片回收装置为抽屉，在所述滤网的下方连接有带有多个孔的平板。

8.根据权利要求1所述的过滤桶冲洗装置，其特征在于，所述浆料回收装置的开口向上，在所述浆料回收装置的底部设置有车轮。

9.根据权利要求1所述的过滤桶冲洗装置，其特征在于，所述支架由多个钢管焊接而成。