CN102648126A - 电磁惯性作动器 - Google Patents

Abstract

一种电磁惯性作动器，包括支撑基座（3）以及第一弯曲部件（7）、音圈马达部件（9）和第二弯曲部件（11）的平行布置（5）。平行布置（5）从支撑基座（3）悬臂。

Description

电磁惯性作动器

相关申请的交叉引用

本申请要求2009年11月4日提交的PCT国际申请序列第PCT/US2009/063193号的优先权，本文中要求其优先权并通过引用方式并入本文。

技术领域

本申请大体涉及有效的振动控制装置，且更具体地涉及惯性作动器。

背景技术

惯性作动器被用于有效地控制结构的振动，例如航空器机身。惯性作动器附接到其振动被控制并操作以在结构上提供抵消结构振动的力的结构。传感器可附接到结构以测量结构的振动。传感器的输出可用于控制惯性作动器以产生需要用于抵消结构振动的力。惯性作动器是基于加速悬挂物质以在支撑结构上产生反作用力的原理。惯性作动器包括通过适应弹簧连接到刚性支撑结构的物质。向该物质施加力以加速该物质并从而减小支撑结构上的反作用力。惯性作动器表现为力发生器，用于在其悬挂频率上的频率。典型的惯性作动器是电磁、电动或压电作动器。本发明涉及电磁惯性作动器。

美国专利号7,288,861（’861专利）公开了用于有效振动控制的电磁惯性作动器，其使用圆柱形的音圈马达。在’861专利中，移动轭通过一排弯曲部分叠片悬挂在基座上方。弯曲部分叠片的排在其中心处结合到移动轭并且在其端部结合到竖直支撑弯曲部分的顶端。竖直支撑弯曲部分的下端紧固到基座。移动轭包括同轴地包围圆柱形芯体的管状外壳套管，其由两个永久磁体和相应的电极板制成。附接到一个磁体的软铁外壳轭板和管状外壳套管的顶端磁性并机械地将圆柱形芯体连接到管状外壳套管。两个永久磁体在电极板和管状外壳套管的内壁之间提供两个磁性充电的环状间隙。安装在基座上的两个音圈在环状间隙中对中。当线圈被提供能量时，线圈中的绕组与环状间隙中的磁通量相互作用，以能够像弯曲部分叠片和竖直支撑弯曲部分一样在竖直方向上振动移动的轭。

美国专利号7,550,880（’880专利）公开了用于圆柱形音圈马达的折叠弯曲系统。折叠弯曲系统可以以一排或多排实施，其中折叠弯曲系统的每一排包括两个或多个三个一组的排构件。还公开了四个一组的排构件。每个三个一组的排构件包括三个适应的跨越元件—两个外部的跨越元件是半长的而中间的跨越元件是全长的。在一种公开的实施方式中，外部的跨越元件在一端附接到音圈马达的外壳而在另一端附接到轭/惰轮紧固件。中间的跨越元件在一端附接到基座的底座而在另一端附接到轭/惰轮紧固件。轭外壳内的永久磁体在其圆形电极部分和轭外壳的内壁之间建立电磁充电的环状间隙。附接到基座的线圈/垫片组件在环状的电磁充电的间隙中支撑线圈。如在’861专利中，当线圈被提供能量时，线圈中的绕组与空气间隙中的磁通量相互作用，以施加沿着竖直行程轴线驱动轭物质的力。轭物质的竖直运动能够通过折叠弯曲系统的对称弯曲实现。

发明内容

本发明的第一方面，电磁惯性作动器包括支撑部件以及第一弯曲部件、音圈马达部件和第二弯曲部件的平行布置，其中平行布置从支撑部件悬臂。

本发明的第二方面，航空器具有航空器结构和多个不利振动。航空器包括电磁惯性作动器支撑部件，其物理地接地到航空器结构。航空器还包括第一弯曲部件、音圈马达部件和第二弯曲部件的电磁惯性作动器的平行布置，其中电磁惯性作动器的平行布置从电磁惯性作动器的支撑部件悬臂。

本发明的第三方面，用于控制航空器的不利航空器振动的方法包括提供电磁惯性作动器，其包括支撑部件以及第一弯曲部件、音圈马达部件和第二弯曲部件的平行布置，其中平行布置从支撑件悬臂。该方法还包括将支撑部件物理地接地到航空器的航空器结构并电磁地驱动电磁惯性作动器，其中平行布置相对于支撑部件形成弧形轨迹。

在一种实施方式中，本发明提供制造电磁作动器的方法，包括提供基座、提供线圈、将线圈与基座一起接地、提供弯曲部分和音圈马达的平行布置，并将平行布置从基座悬臂。

本发明的这些方面和一些实施方式将在以下更详细描述。

附图说明

以下是所附附图中的图形的描述。附图无需成比例，并且附图的一些特征和一些示图可以为了清楚和简洁的目的成比例或以示意性方式被放大显示。

图1是电磁惯性作动器的透视图。

图2是图1所示电磁惯性作动器的底部半边的透视图。

图3是平坦音圈马达的透视图。

图4是图3所示平坦音圈马达的后视图。

图5是图3所示平坦音圈马达的左半边的透视图。

图6显示具有处于下方位置的平坦音圈马达的电磁惯性作动器。

图7显示具有处于上方位置的平坦音圈马达的电磁惯性作动器。

图8显示平坦音圈马达中的磁通量。

图9是显示由平坦音圈马达产生的力相对马达行程的曲线。

图10是柔性部分叠片的透视图。

图11A至图11N显示用于电磁惯性作动器的音圈马达的音圈/磁体布置。

图12显示包括振动控制系统的航空器。

图13是图1所示电磁惯性作动器的变体的透视图。

图14是图1所示电磁惯性作动器的变体的透视图。

具体实施方式

在以下详细描述中，阐明了很多具体的细节以提供本发明实施方式的全面理解。然而，对于本领域技术人员清楚的是，本发明的实施方式可以没有一些或者全部的这些具体细节而实施。在其他情况下，公知的特征或工序可能不详细描述，以避免使本发明不必要地模糊。另外，相似或相同的参考数字可用于识别共同的或类似的元件。

图1显示根据本发明一个方面的电磁惯性作动器1。电磁惯性作动器1包括支撑基座3，其具有附接板2和安装基座4。附接板2可以整体地形成或以其他方式附接到安装基座4。安装基座4的底部可以例如通过螺栓或其他合适的附接设备附接到结构，例如航空器结构。电磁惯性作动器1还包括第一弯曲部件7、音圈马达部件9、和第二弯曲部件11的平行布置5。“音圈马达”是在永久磁场中使用线圈的定位装置。在平行布置5中，第一弯曲部件7与第二弯曲部件11间隔开，并且音圈马达部件9设置在弯曲部件7、11之间的空间内。平行布置5从支撑基座3悬臂，即弯曲部件7、11和音圈马达部件9以悬臂的方式从支撑基座3向外延伸。结合到支撑基座3的弯曲部件7、11的端部8、12分别是弯曲部件7、11的固定或支撑的端部。不附接到支撑基座3的弯曲部件7、11的端部10、14分别是弯曲部件7、11的移动或未被支撑的端部。弯曲部件7、11的未被支撑的端部10、14分别结合到音圈马达部件9的磁体部件13。除了磁体部件13，音圈马达部件9还包括相互作用的驱动线圈部件（图2、3中的15）。相互作用的驱动线圈部件（图2、3中的15）优选地物理接地到支撑基座3，同时相互作用的驱动线圈部件（图2、3中的15）与磁体部件13及其相关的悬臂弯曲支撑构件物理地分离，优选地具有气腔间隙。在弹性体的作动器系统中，悬臂弯曲支撑的磁体部件13及其相关的悬臂弯曲支撑的移动物质构件表示弹开移动物质，并且弯曲部件7、11表示弹簧。磁体部件13产生磁场。当交变电流供应到物理上接地的不弹开、不移动线圈部件15时，线圈部件15与弹开移动物质的磁体部件13产生的磁场相互作用以产生电磁驱动力，其振动悬臂弯曲支撑的弹开移动物质磁体部件13。弹开移动物质磁体部件13以弧形运动，因为其是被电磁驱动的（即，关于支撑基座3（以及接地线圈15）沿着竖直方向上下移动，并且同时相对于支撑基座3进出以产生弧形轨迹）。如果供应到线圈部件（图2、3中的15）的交变电流的频率与弹簧物质系统的固有频率相同，则磁体部件13的总位移可以变得很大。总位移越大，电磁惯性作动器1的输出力就越高。

图2显示电磁惯性作动器1的切断图，其允许观察音圈马达部件9的内部。在图2所示实施方式中，音圈马达部件9是矩形的音圈马达。磁体部件13包括永久磁体17、19、21、23。永久磁体17、19、21、23中的每一个是平坦的（平面的）并且具有矩形剖面。在图2的实施方式中，磁体部件13具有四个永久磁体。在可选择实施方式中，磁体部件13可具有更多或更少的永久磁体（如以下参照图11A-11N所示的）。通常，四个磁体在物质和磁高斯场之间提供了很好的平衡。永久磁体17、19、21、23相互平行布置并且间隔开。参照图3，在邻近的永久磁体17、19之间限定间隙25，并且在邻近的永久磁体21、23之间限定间隙27。由铁磁性材料例如低碳钢制成的竖直板31设置在永久磁体19、21之间。由铁磁性材料制成的竖直板33、35也邻近永久磁体17、23设置。图3中，由铁磁性材料制成的水平板37、39也邻近永久磁体17、19、21、23的顶部和底部设置。图3中，铁磁性板31、33、35、37、39例如通过螺栓固定在一起，以围绕永久磁体17、19、21、23形成封装并从而引导磁通路线。在可选择实施方式中，铁磁性板31、33、35、37、39可以合并在一起形成整体外壳，即取代被提供为单独的片材。图3中，永久磁体17、19、21、23通过摩擦被牢固地保持在邻近铁磁性板31、33、35、37、39的位置。在可选择实施方式中，永久磁体可以被粘结到铁磁性板以从而将永久磁体固定就位。

仍然参照图3，音圈马达部件9的线圈部件15包括定位在间隙25、27中的线圈41。在图3中的实施方式中，线圈41缠绕在线轴43上。如图2中最好可见的，线圈41以椭圆形或矩形的形状缠绕。线圈41可以由铜线或其他合适的导线材料制成。图4中，线轴43具有凸缘45，凸缘45具有形成其中的孔。凸缘45用于将线轴43附接到支撑件（图1和2中的3）。图2中，螺栓46指示线轴43附接到支撑基座3的位置。除了螺栓和凸缘之外，可以使用用于将线轴43附接到支撑基座3的其他技术。通常，线轴43应该附接到支撑基座3，使得其从支撑基座3悬臂并与弯曲部件7、11平行布置。在可选择的实施方式中，线轴43可以被省略且线圈41可以被缠成想要的形状而不需要线轴的帮助。在此情形下，线圈41将在间隙25、27中自由移动。图2中，应注意到，在线圈43的远端和磁体部件13的远端之间存在可调节间隙47。间隙47允许磁体部件13相对于支撑基座3曲线地移动，优选地形成来自竖直移动和轴向进出移动组合的弧的轨迹。优选地，电磁惯性作动器的曲线弧形移动物质是电磁驱动的以曲线移动以描绘出弧形轨迹。另外，图2中，磁轭（即结合在一起的框架）49结合到磁体部件13。例如，此结合可包括将磁轭49螺栓连接到铁磁性板33、35。可以使用将磁轭49结合到磁体部件13的其他设备，以当磁体部件13移动时，提供结合的完整性保持完整。

图5显示音圈马达部件9的切断图。图5中，B表示由磁体17、19、21、23在间隙25、27中产生的磁场。当交变电流i供应到线圈41时，线圈41中的绕组与间隙中的磁场B相互作用，以施加驱动（移动）磁体部件13的力f。回到图1，结合到磁体部件13的弯曲部件7、9允许磁体部件13沿着竖直方向运动。由于弯曲部件7、9的悬臂布置，当其沿着竖直方向上下移动时，磁体部件13沿着轴线方向进出移动，从而提供曲线的移动物质轨迹，优选地弧形轨迹。图6显示磁体部件13处于下方位置，同时弯曲部件7、11向下弯折。图7显示磁体部件13处于上方位置，同时弯曲部件7、11向上弯折。当其沿着竖直方向上下移动时，磁体部件13沿着轴向方向进出移动。如以上所解释的，在磁体部件13和线圈（图2中的41）之间存在间隙（图2中的47），以容纳磁体部件13相对于支撑基座3的轴向运动。图8显示当线圈41中的绕组与由永久磁体17、19、21、23在间隙25、27中产生的磁场相互作用时，铁磁性板31、33、35、37、39中的磁通路径。图9显示由于马达行程的作用而由马达产生的力的示例性曲线。图9显示如上所述由音圈马达产生的力实质上是线性的，在行程结束的地方有非常小的力减小。使用中，由音圈马达产生的力被传送到支撑件（图1中的3）。如果支撑件被附接到结构，则传送到结构的力可被用于抵消结构的振动。

回到图1，每个弯曲部件7、11由两个弯曲部分叠片50组成。在可选择实施方式中，更多或更少的弯曲部分叠片可以包括在每个弯曲部件7、11中。图10显示根据本发明一种实施方式的弯曲部分叠片50。在图10的实施方式中，弯曲部分叠片50包括与垫片54交错的弯曲部分52。在优选实施方式中，垫片54接近弯曲部分52的端部并且不沿着弯曲长度延伸，其中叠片50的中间没有垫片54（优选地，粘结到弯曲部分近端和夹具58的相当短的垫片，并且不经过弯曲部分的中间区域而延伸弯曲部分的全部长度）。每个弯曲部分52是梁板的形式。弯曲部分52可以由非弹性体材料制成，其可以是金属的、非金属的或合成材料。优选地，弯曲部分52由复合材料或非金属材料制成。在一种实施方式中，适合于弯曲部分的复合材料包括聚合物树脂中的增强纤维。在另一种实施方式中，适合于弯曲部分的复合材料包括碳纤维增强的复合材料。在另一种实施方式中，碳纤维增强的复合材料包括硬化聚合物基体中的碳纤维。在另一种实施方式中，碳纤维增强的复合材料包括硬化环氧树脂基体中的碳纤维。垫片54可以由金属或弹性体制成，其中弹性体是优选的。在优选实施方式中，用于垫片的弹性体材料是后硫化的橡胶。在优选实施方式中，垫片54接近其端部和夹具58粘结到弯曲部分54，其中垫片抑制了弯曲部分当其随着音圈马达的行程一起移动时弯曲部分的磨损。优选地，结合的弹性体垫片54被提供用于抑制弯曲部分54的磨损。

弯曲部分叠片50的远端插入弯曲部分夹具58中的缝隙56中并例如通过摩擦保持在缝隙56中。弯曲部分夹具58具有双排螺栓布置60（即，两排螺栓，其中的排定位在夹具的相对侧上），并且通过此布置，弯曲部分叠片50能够牢固地附接到支架（图1中的49）和竖直支撑件（图1中的3）。双排螺栓布置（图10中的60）提高了夹具的刚度，并当夹具58固定到支架或竖直支撑件时减小了螺栓（双排螺栓布置的）上的力矩负载。回到图1，弯曲部分叠片50跨越惯性作动器1的整个长度，从而允许音圈马达部件9的大行程。大行程导致作动器大的输出力。弯曲部分叠片50在五个方向上是非常刚性的（侧向、纵向和三个旋转方向），但是在竖直方向上是柔性的，允许音圈马达部件9的磁体部分13的曲线移动。弯曲部件7、11和音圈马达部件9的悬臂布置保持了在音圈马达部件9的全部行程期间音圈马达部件9相对于弯曲部件7、11的平行定向。

图11A-11N显示可用于电磁惯性作动器（图1中的1）的音圈马达部件（图1中的9）的各种示例的音圈/磁体布置。这些布置中的每一个包括铁磁性外壳34，或者限定一个间隙或多个平行间隙的多个铁磁性板34。这些布置中的每一个还包括设置在间隙中的一个或多个永久磁体36以及邻近永久磁体36设置的一个或多个线圈38。如上所述，线圈38的形状典型为环形或矩形。多个线圈38可用于堆叠布置中，例如图11K-11N所示的。图11A中所示布置类似于以上参照图5和8描述的布置。

图12显示具有旋转翼系统的航空器61，旋转翼系统具有围绕旋转轴线旋转的至少一个旋转叶片。使用中，旋转翼系统产生不利结构振动。用于航空器61的振动控制系统包括安装在航空器上的一个或多个振动传感器63（例如加速计）以感应不利结构振动。振动控制系统还包括悬臂安装在航空器61上的一个或多个电磁惯性作动器1。振动控制系统还包括控制器65。仅为了阐示的目的，控制器65被示出位于航空器外部。实践中，控制器65将被安装在航空器上。控制器65接收表示不利结构振动的来自振动传感器63的信号。然后，控制器65将信号发送到电磁惯性作动器1，指示电磁惯性作动器1产生抵消不利结构振动的力。优选地，控制器驱动多个电磁惯性作动器，其中的电磁惯性作动器具有作动器的弹开移动物质的磁体部件13，磁体部件13相对于其支撑基座具有曲线弧的轨迹，支撑基座物理地接地到航空器结构。优选地。作动器的弹开移动物质的磁体部件13是通过具有结合的弹性体端部磨损抑制垫片的复合材料弯曲部分悬臂弹开支撑的。

图13显示图1的电磁惯性作动器1的变体1A。图13中，例如由例如钢的金属制成的重物70结合到音圈马达部件9。重物70向弹开移动物质增加了物质。图13中所示支撑基座3A的安装基座4A不同于图1中所示的安装基座4。图13的基座4A具有耳部或凸缘72，其允许通过基座4A的侧部将基座4A安装到结构上。（相比较而言，图1的基座4能够通过基座的底部安装到结构上。）图13中，支撑基座3A处的弯曲部分夹具58A不同于如图1中所示支撑基座3处的弯曲部分夹具58A。图13中所示的每个弯曲部分夹具58A能够接受多个弯曲部分叠片。图1中所示弯曲部分夹具58仅能够接受单个弯曲部分叠片的一端。

图14显示图1的电磁惯性作动器1的变体1B。变体1B主要在支撑基座方面不同于图1所示的实施方式。图14中，支撑基座3B包括平行板74、76。通过将弯曲部分夹具58附接到平行板76，弯曲部分叠片50在一端处结合到平行板76。弯曲部分叠片50在另一端处自由移动且不结合到平行板74。平行板74、76附接到框架78，从而确保了支撑基座3B的刚度。平行板74、76包括能够连接到结构的耳部或凸缘74A、76A。支撑基座3B允许电磁惯性作动器1B从旁边安装到结构。弯曲部分叠片50和音圈马达9的悬臂平行布置通过将该布置固定到仅仅一个平行板例如平行板76上而被保持。

虽然本发明已经关于受限数量的实施方式进行了描述，但是根据本公开的益处，本领域技术人员将明白不偏离如本文公开的本发明范围的其他实施方式可以被设计。相应地，本发明的范围应该仅被所附的权利要求限制。

Claims (32)

1.一种电磁惯性作动器，包括：

支撑基座；以及

第一弯曲部件、音圈马达部件和第二弯曲部件的平行布置，所述平行布置从所述支撑基座悬臂。

2.根据权利要求1所述的电磁惯性作动器，其中所述音圈马达部件包括磁体部件和线圈部件，所述磁体部件包括多个永久磁体，所述线圈部件包括线圈。

3.根据权利要求2所述的电磁惯性作动器，其中所述弯曲部件中的每一个具有相对的第一端和第二端，所述第一端结合到所述支撑基座，所述第二端结合到所述磁体部件。

4.根据权利要求3所述的电磁惯性作动器，其中所述磁体部件还包括邻近所述永久磁体中的每一个设置的铁磁性材料。

5.根据权利要求4所述的电磁惯性作动器，其中所述永久磁体中的每一个是平坦的。

6.根据权利要求4所述的电磁惯性作动器，其中所述永久磁体中的每一个具有矩形或三角形的剖面。

7.根据权利要求4所述的电磁惯性作动器，其中所述永久磁体限定用于接收所述线圈的至少一个间隙。

8.根据权利要求7所述的电磁惯性作动器，其中所述永久磁体限定用于接收所述线圈的两个平行间隙。

9.根据权利要求7所述的电磁惯性作动器，其中所述磁体部件的远端和所述线圈的远端限定可调节间隙，以便当所述电磁惯性作动器被驱动时，适应所述平行布置相对于所述支撑基座的弧形运动。

10.根据权利要求7所述的电磁惯性作动器，其中所述第一弯曲部件包括第一弯曲部分叠片，且所述第二弯曲部件包括第二弯曲部分叠片。

11.根据权利要求10所述的电磁惯性作动器，还包括与所述第一弯曲部分叠片的第一端接合的第一夹具和与所述第二弯曲部分叠片的第一端接合的第二夹具，所述第一夹具和所述第二夹具中的每一个在多个点处附接到所述支撑基座，从而将所述第一弯曲部件的第一端和所述第二弯曲部件的第一端接合到所述支撑基座。

12.根据权利要求10所述的电磁惯性作动器，还包括轭，所述轭结合到所述磁体部件并且结合到所述第一弯曲部分叠片的第二端和所述第二弯曲部分叠片的第二端，从而将所述弯曲部件的第二端结合到所述磁体部件。

13.根据权利要求12所述的电磁惯性作动器，还包括与所述第一弯曲部分叠片的第二端接合的第三夹具和与所述第二弯曲部分叠片的第二端接合的第四夹具，所述第三夹具和所述第四夹具中的每一个在多个点处附接到所述轭，从而将所述第一弯曲部分叠片的第二端和所述第二弯曲部分叠片的第二端接合到所述轭。

14.根据权利要求13所述的电磁惯性作动器，其中所述第一弯曲部件包括多个第一弯曲部分叠片，且所述第二弯曲部件包括多个第二弯曲部分叠片，其中所述轭在所述第一弯曲部分叠片之间和所述第二弯曲部分叠片之间。

15.根据权利要求10所述的电磁惯性作动器，其中所述第一弯曲部分叠片和所述第二弯曲部分叠片中的每一个包括与多个垫片交错的多个弯曲部分。

16.根据权利要求15所述的电磁惯性作动器，其中所述垫片是结合的弹性体端部垫片。

17.根据权利要求16所述的电磁惯性作动器，其中所述弯曲部分是复合材料弯曲部分，并且所述结合的弹性体端部垫片是抑制磨损的垫片。

18.根据权利要求9所述的电磁惯性作动器，其中所述线圈物理地接地到所述支撑基座。

19.一种航空器，所述航空器具有航空器结构和多个不利结构振动，所述航空器包括电磁惯性作动器支撑基座，所述电磁惯性作动器支撑基座物理地接地到所述航空器结构，所述航空器包括：

第一弯曲部件、音圈马达部件和第二弯曲部件的电磁惯性作动器平行布置，所述平行布置从所述电磁惯性作动器支撑基座悬臂。

20.根据权利要求19所述的航空器，其中所述航空器包括旋转翼系统，所述旋转翼系统具有围绕旋转轴线旋转的至少一个旋转叶片，所述旋转翼系统产生所述不利结构振动。

21.根据权利要求19所述的航空器，其中所述航空器包括振动传感器和惯性作动器控制器，所述振动传感器感测所述不利结构振动，所述振动传感器向所述惯性作动器控制器输出振动传感器信号，其中所述惯性作动器控制器相对于物理地接地到所述支撑基座的电磁线圈电磁地驱动所述电磁惯性作动器平行布置以最小化由所述振动传感器感测的所述不利结构振动。

22.根据权利要求19所述的航空器，其中所述第一弯曲部件包括多个第一弯曲部分叠片，且所述第二弯曲部件包括多个第二弯曲部分叠片，所述第一弯曲部分叠片和所述第二弯曲部分叠片中的每一个包括与多个垫片交错的多个弯曲部分。

23.根据权利要求22所述的航空器，其中所述垫片是结合的弹性体端部垫片。

24.根据权利要求23所述的航空器，其中所述弯曲部分是复合材料弯曲部分，并且所述结合的弹性体端部垫片是抑制磨损的垫片。

25.根据权利要求21所述的航空器，其中当所述电磁惯性作动器被驱动时，所述电磁惯性作动器平行布置相对于所述电磁惯性作动器支撑基座形成弧形轨迹。

26.一种用于控制航空器的不利航空器振动的方法，所述方法包括：

提供电磁惯性作动器，所述电磁惯性作动器包括支撑基座以及第一弯曲部件、音圈马达部件和第二弯曲部件的平行布置，所述平行布置从所述支撑基座悬臂；

将所述电磁惯性作动器的支撑基座物理地接地到所述航空器的航空器结构；以及

电磁地驱动所述电磁惯性作动器，其中所述平行布置相对于所述支撑基座形成弧形轨迹。

27.一种制造电磁惯性作动器的方法，包括：

提供支撑基座；

提供线圈部件；

将所述线圈部件与所述支撑基座一起物理地接地；

提供至少第一弯曲部件和音圈马达部件的平行布置；以及

将所述平行布置从所述支撑基座悬臂。

28.根据权利要求27所述的方法，其中提供所述音圈马达部件包括提供包含多个永久磁体的磁体部件和包含线圈的线圈部件。

29.根据权利要求28所述的方法，其中所述至少第一弯曲具有相对的第一端和第二端，所述第一端附接到所述支撑基座，所述第二端结合到所述磁体部件。

30.根据权利要求29所述的方法，其中所述平行布置是悬臂的，因此当所述电磁惯性作动器被驱动时，所述平行布置相对于所述支撑基座形成弧形轨迹。

31.根据权利要求30所述的方法，其中所述磁体部件的远端和所述线圈的远端限定可调节间隙，以适应所述磁体部件相对于所述支撑基座的弧形运动。

32.根据权利要求29所述的方法，其中所述永久磁体中的每一个是平坦的。

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