CN102618904A - 一种纳米微孔刚玉薄膜及其制备方法 - Google Patents
一种纳米微孔刚玉薄膜及其制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102618904A CN102618904A CN2012101190358A CN201210119035A CN102618904A CN 102618904 A CN102618904 A CN 102618904A CN 2012101190358 A CN2012101190358 A CN 2012101190358A CN 201210119035 A CN201210119035 A CN 201210119035A CN 102618904 A CN102618904 A CN 102618904A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- corundum
- film
- preparation
- nanometer micropore
- nano
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 59
- 239000010431 corundum Substances 0.000 title claims abstract description 59
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 17
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 13
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 11
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical group O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 19
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 19
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 9
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 7
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims description 5
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 claims description 4
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 claims description 3
- 238000013019 agitation Methods 0.000 claims 1
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 claims 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 claims 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 claims 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 abstract description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 abstract description 2
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract 1
- 239000012982 microporous membrane Substances 0.000 description 16
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 7
- 238000011160 research Methods 0.000 description 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 235000011007 phosphoric acid Nutrition 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 2
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N perchloric acid Chemical compound OCl(=O)(=O)=O VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 1
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- WMYWOWFOOVUPFY-UHFFFAOYSA-L dihydroxy(dioxo)chromium;phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O.O[Cr](O)(=O)=O WMYWOWFOOVUPFY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- KFSUNTUMPUWCMW-UHFFFAOYSA-N ethanol;perchloric acid Chemical compound CCO.OCl(=O)(=O)=O KFSUNTUMPUWCMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000008204 material by function Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002120 nanofilm Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000011819 refractory material Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
Abstract
本发明公开了一种纳米微孔刚玉薄膜及其制备方法,该刚玉薄膜的纳米微孔孔径为30-200nm,厚度为5-100μm,主要成分为氧化铝。通过制备多孔阳极氧化铝模板、对多孔阳极氧化铝模板进行高温热处理的步骤制备纳米微孔刚玉薄膜。本发明的纳米微孔刚玉薄膜是一种具有纳米结构的薄膜,可广泛应用于纳米材料提取、制备、合成以及生物科技等诸多领域,并且其成分单一、形貌规则、性能稳定且制备工艺简单。
Description
技术领域
本发明涉及微纳材料制备领域,尤其是一种纳米微孔刚玉薄膜及其制备方法。
背景技术
刚玉材料由于其特殊的材料结构,通常具有化学性质稳定、耐高温、熔沸点高等特点。刚玉材料被广泛用于耐火材料、研磨剂、阻燃剂、填充料、大规模集成电路的板基等诸多领域。由于其特殊的化学、物理性质,刚玉材料具有巨大的应用潜力。国内外对刚玉材料的利用和研究大都在块材方面,而对于其微纳米尺度的材料研究较少,尤其是在纳米微孔刚玉薄膜方面,目前尚无研究和应用。中国专利CN02139252.8公布了一种微孔刚玉转及其制备方法,制备出具有微孔结构的刚玉块材,这些材料的制备过程中需要加入粘合剂等才能制备出刚玉材料,并且材料的尺寸不能随意控制。中国专利CN95100919公布了一种单晶刚玉的生产方法,该方法制备的刚玉材料成分较为单一,但是该方法不能制备出具有均匀孔径的纳米微孔的薄膜状刚玉材料。
微纳米薄膜材料,在纳米材料提取、合成、制备、检测以及生物功能材料等研究领域具有广泛的应用。常用的微孔膜有各种有机薄膜、玻璃成分薄膜、以及一些无机膜等。这些微孔膜由于其物理化学性质的影响,在应用方面存在很多局限性。并且一般微孔膜的微孔尺寸不均一,难以达到良好的应用效果。中国专利CN201010558742.8公布了一种聚四氟乙烯微孔膜的制备方法,通过如处理并拉伸混合后的材料制备微孔膜结构,该方法操作复杂且很难有效控制微孔膜的形貌。中国专利02113769.2公布了一种耐高温微孔膜及制备方法,该方法工艺繁琐,微孔膜的成分复杂,化学稳定性较差,在应用过程中有较大的局限性。
发明内容
为克服现有的微孔膜制备工艺复杂、化学成分复杂、物理化学性能的稳定性差等困难,本发明提供一种纳米微孔刚玉薄膜及其制备方法,利用简单的工艺制备出成分单一,形貌规则,物理化学性能稳定的微孔膜。
为实现上述目的,本发明采用如下技术方案:
一种纳米微孔刚玉薄膜是纳米微孔孔径为30-200nm,厚度为5-100μm的平整薄膜;薄膜的化学成分中氧化铝的质量分数大于99%,其材料成分属于刚玉。所述的刚玉成分为α-Al2O3。
一种纳米微孔刚玉薄膜的制备方法包括以下步骤:
(1)制备多孔阳极氧化铝模板;
(2)对多孔阳极氧化铝模板进行高温热处理。
步骤(1)以纯度大于99.5%的高纯铝作为原材料,以草酸、硫酸或磷酸为电解液,采用二步氧化法制备具有均匀孔径纳米微孔结构的多孔阳极氧化铝模板;氧化过程中控制电解液温度为-1~1℃;采用30~80V恒压法进行阳极氧化;氧化时间10~600分钟;氧化过程中对电解液进行磁力搅拌处理;二步氧化结束后对材料进行去铝、去阻挡层和扩孔处理。
步骤(2)中高温热处理的温度的升降速率在1~2℃/min,加热的最高温度为900~1500℃,最高温度处保温4~6小时。
所述的纳米微孔孔径通过制备多孔阳极氧化铝模板的氧化电压控制。
所述的纳米微孔刚玉薄膜厚度通过制备多孔阳极氧化铝模板的氧化时间控制。
本发明提供的纳米微孔刚玉薄膜形貌与阳极氧化铝模板类似,孔径和薄膜厚度可以通过阳极氧化过程中的电压、氧化时间等参数自由调控。该微孔刚玉薄膜的成分单一,几乎完全是氧化铝。纳米材料的结构降低了氧化铝材料晶化的温度,经过900~1500℃的简单热处理过程即可制备出纳米微孔刚玉薄膜材料。刚方法工艺非常简单,制备刚玉材料的温度要求低,无任何污染。制备出的纳米微孔刚玉薄膜的结晶化效果好,耐热性、耐腐蚀性良好,应用广泛并可以重复使用。
附图说明
图1是纳米微孔刚玉薄膜的形貌图。
图2是纳米微孔刚玉薄膜的XRD图谱与刚玉氧化铝标准图谱的对比图:其中a为刚玉微孔膜的XRD图谱,b为刚玉氧化铝标准图谱。
图3是刚玉微孔膜的SEM图像。
具体实施方式
为更好得理解本发明,一下结合具体实施例进一步阐明本发明内容,但本发明的内容不仅仅局限于下面的实施例。
如图1所示,本发明实施例的纳米微孔刚玉薄膜的厚度约为70微米,纳米微孔的孔径约为100nm。下面描述该纳米微孔刚玉薄膜的制备工艺:
一、制备多孔阳极氧化铝模板
1.预处理:将高纯的10cm2铝片以氮气保护在500℃温度下退火处理4小时。退火后的铝片分别用丙酮、纯水先后分别超声清洗。5%NaOH溶液中腐蚀8分钟,去除氧化层,随后用水冲洗干净。
2.抛光:将铝片用高氯酸乙醇溶液(高氯酸:乙醇溶液=1:4(体积比))电化学横流抛光。极板间距选用8cm;电流选择400mA,电抛光时间选择10min。
3.第一次阳极氧化: 0.3M草酸水溶液作为电解液,横流60V氧化,氧化时间一小时,电极间距选2cm。
4.去氧化层:在60℃水浴条件下,应用重量百分比为CrO3=1.5%、H3PO4=6%铬酸磷酸液腐蚀1个小时去除一次氧化的氧化铝薄膜。
5.第二次阳极氧化:0.3M草酸水溶液作为电解液,横流60V氧化,氧化时间12小时,电极间距选2cm。
6.去铝:保护有氧化铝的一面,然后用19%HCl/0.2MCuCl2溶液腐蚀样品40分钟以去除未被氧化的铝,之后用去离子水洗净。
7.去阻挡层:5%的磷酸溶液浸泡阳极氧化铝模板 1小时,去阻挡层并扩孔。
二、对多孔阳极氧化铝模板进行高温热处理
1.取干燥洁净的阳极氧化铝模板置于管式炉中。
2.排出管式炉中的空气,并以氩气保护。
3.升温热处理:2℃/min的升温速率由室温升温至300℃,保温2小时,以1℃/min的升温速率升温至1000℃,保温3小时,以1℃/min的降温速率降温至室温。
三、对刚玉微孔膜进行测试表征
对刚玉微孔膜进行XRD、SEM、EDS等测试,分析刚玉微孔膜的成分。图2为刚玉微孔膜的XRD图谱与刚玉氧化铝标准谱对比图,其中a为刚玉微孔膜的XRD图谱,b为刚玉氧化铝标准谱,两谱线的峰位完全对应,刚玉微孔膜洁净度达到99%以上。图3为刚玉微孔膜的SEM图,从图中可以看出本发明的刚玉微孔膜孔径分布均匀,孔径为30-200nm。
以上所述仅为本发明的较佳实施例,凡依本发明申请专利范围所做的均等变化与修饰,皆应属本发明的涵盖范围。
Claims (7)
1.一种纳米微孔刚玉薄膜,其特征在于:所述的纳米微孔刚玉薄膜是纳米微孔孔径为30-200nm,厚度为5-100μm的平整薄膜;薄膜的化学成分中氧化铝的质量分数大于99%,其材料成分属于刚玉。
2.根据权利要求1所述的纳米微孔刚玉薄膜,其特征在于:所述的刚玉成分为α-Al2O3。
3.一种如权利要求1所述的纳米微孔刚玉薄膜的制备方法,其特征在于:纳米微孔刚玉薄膜的制备工艺步骤为:
(1)制备多孔阳极氧化铝模板;
(2)对多孔阳极氧化铝模板进行高温热处理。
4.根据权利要求3所述的纳米微孔刚玉薄膜的制备方法,其特征在于:步骤(1)以纯度大于99.5%的高纯铝作为原材料,以草酸、硫酸或磷酸为电解液,采用二步氧化法制备具有均匀孔径纳米微孔结构的多孔阳极氧化铝模板;氧化过程中控制电解液温度为-1~1℃;采用30~80V恒压法进行阳极氧化;氧化时间10~600分钟;氧化过程中对电解液进行磁力搅拌处理;二步氧化结束后对材料进行去铝、去阻挡层和扩孔处理。
5.根据权利要求3所述的纳米微孔刚玉薄膜的制备方法,其特征在于:步骤(2)中高温热处理的温度的升降速率在1~2℃/min,加热的最高温度为900~1500℃,最高温度处保温4~6小时。
6.根据权利要求3或4所述的纳米微孔刚玉薄膜的制备方法,其特征在于:所述的纳米微孔孔径通过制备多孔阳极氧化铝模板的氧化电压控制。
7.根据权利要求3或4所述的纳米微孔刚玉薄膜的制备方法,其特征在于:所述的纳米微孔刚玉薄膜厚度通过制备多孔阳极氧化铝模板的氧化时间控制。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2012101190358A CN102618904A (zh) | 2012-04-23 | 2012-04-23 | 一种纳米微孔刚玉薄膜及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2012101190358A CN102618904A (zh) | 2012-04-23 | 2012-04-23 | 一种纳米微孔刚玉薄膜及其制备方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102618904A true CN102618904A (zh) | 2012-08-01 |
Family
ID=46559094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2012101190358A Pending CN102618904A (zh) | 2012-04-23 | 2012-04-23 | 一种纳米微孔刚玉薄膜及其制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102618904A (zh) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4859288A (en) * | 1986-02-03 | 1989-08-22 | Alcan International Limited | Porous anodic aluminum oxide films |
| JP2000212797A (ja) * | 1999-01-25 | 2000-08-02 | Hitachi Ltd | 高耐食性アルミダイカスト材とその陽極酸化方法 |
| CN1712574A (zh) * | 2005-05-19 | 2005-12-28 | 上海交通大学 | 厚度可控、自由独立超薄多孔氧化铝模板的制备方法 |
| KR20070010321A (ko) * | 2005-07-18 | 2007-01-24 | 성균관대학교산학협력단 | 기능화된 다공성 양극산화 알루미늄의 제조방법 및 그를이용한 광간섭 바이오센서의 제조방법 및 바이오센서 |
| CN102262989A (zh) * | 2011-06-27 | 2011-11-30 | 福州大学 | 阳极氧化铝模板制作方法及利用该模板制作场发射阴极阵列材料方法 |
-
2012
- 2012-04-23 CN CN2012101190358A patent/CN102618904A/zh active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4859288A (en) * | 1986-02-03 | 1989-08-22 | Alcan International Limited | Porous anodic aluminum oxide films |
| JP2000212797A (ja) * | 1999-01-25 | 2000-08-02 | Hitachi Ltd | 高耐食性アルミダイカスト材とその陽極酸化方法 |
| CN1712574A (zh) * | 2005-05-19 | 2005-12-28 | 上海交通大学 | 厚度可控、自由独立超薄多孔氧化铝模板的制备方法 |
| KR20070010321A (ko) * | 2005-07-18 | 2007-01-24 | 성균관대학교산학협력단 | 기능화된 다공성 양극산화 알루미늄의 제조방법 및 그를이용한 광간섭 바이오센서의 제조방법 및 바이오센서 |
| CN102262989A (zh) * | 2011-06-27 | 2011-11-30 | 福州大学 | 阳极氧化铝模板制作方法及利用该模板制作场发射阴极阵列材料方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 丁古巧: ""多孔阳极氧化铝模板的制备、表征以及在半导体纳米结构材料制备中的应用"", 《上海交通大学博士学位论文》 * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Zhou et al. | Dense films formed during Ti anodization in NH4F electrolyte: Evidence against the field-assisted dissolution reactions of fluoride ions | |
| CN101962792B (zh) | 一种制备孔径可控、通孔阳极氧化铝膜的方法 | |
| CN102925947B (zh) | 具有梯度纳米孔径的阳极氧化铝模板的制备方法 | |
| CN104928746B (zh) | 一种制备微曲面三维互联纳米孔阳极氧化铝模板的方法 | |
| CN101654799B (zh) | 一种超高速制备高度有序多孔阳极氧化铝膜的方法 | |
| CN103147108B (zh) | 一种阳极氧化铝膜及其制备方法 | |
| CN101831682A (zh) | 非对称二次阳极氧化制备高度有序氧化铝模板的方法 | |
| CN101603192A (zh) | 一种利用工业纯铝制备多孔阳极氧化铝膜的方法 | |
| CN101104944A (zh) | 有序多孔氧化铝薄膜的制备方法 | |
| CN101775586A (zh) | 在非铝基底上电化学定向生长多孔Al2O3膜的制备方法 | |
| CN103243370A (zh) | 一种两步阳极氧化法制备有序大孔阳极氧化铝薄膜的方法 | |
| CN101244462A (zh) | 在纯钛表面产生多级尺寸的微/纳米结构层的方法 | |
| CN102277607B (zh) | 一种孔径和厚度可控、通孔阳极氧化铝膜的制备方法 | |
| Shen et al. | Fabrication of micro/nanoporous templates with a novel hierarchical structure by anodization of a patterned aluminum surface | |
| CN103572349B (zh) | 碳纳米纤维电极材料的制备方法 | |
| CN102127788B (zh) | 一种超大晶胞多孔氧化铝膜的制备方法 | |
| CN103938249B (zh) | 一种制备有序大结构单元氧化铝膜的方法 | |
| CN106048730A (zh) | 一种钛合金微弧氧化制取纳米二氧化钛陶瓷晶须的方法 | |
| Chung et al. | Effect of oxalic acid concentration on the formation of anodic aluminum oxide using pulse anodization at room temperature | |
| CN103278662A (zh) | 纳米镍棒阵列原子力显微镜针尖表征样品及其制造方法 | |
| CN105540535A (zh) | 一种制备多尺度高γ相聚偏氟乙烯中空纳米线的方法 | |
| CN102618904A (zh) | 一种纳米微孔刚玉薄膜及其制备方法 | |
| CN104532047B (zh) | 一种单步化学脱合金制备Cu‑Ag纳米多孔片结构方法 | |
| CN102839408B (zh) | 超声辅助阳极氧化制备超大孔间距多孔氧化铝膜的方法 | |
| CN101603191B (zh) | 一种大孔径薄壁阳极氧化铝薄膜及其制备方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C12 | Rejection of a patent application after its publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20120801 |