CN102598862A - 有机el元件的制造方法 - Google Patents

Abstract

在形成1个或多个有机层的工序中，将成为有机EL元件的被涂布体按照形成所述有机层的被形成面朝向下方的方式配置，将具有向上方喷出含有成为有机层的材料的涂布液的多个狭缝状喷出口和形成于该狭缝状喷出口的各两端部的向下方凹下的切口部的喷嘴，配置在所述被涂布体的下方。交替反复进行涂布工序和非涂布工序，所述涂布工序是在维持从所述喷嘴喷出的涂布液与所述被涂布体接液的状态的情况下，使所述喷嘴和所述被涂布体沿规定的涂布方向相对移动，所述非涂布工序是在维持使所述涂布液从所述被涂布体离液的状态的情况下，使所述喷嘴和被涂布体沿所述涂布方向相对移动。

Description

有机EL元件的制造方法

技术领域

本发明涉及有机EL元件的制造方法、照明装置及面状光源。

背景技术

有机EL元件是发光元件的一种，具备一对电极和在该电极间配置的1层以上的有机层。作为上述1层以上的有机层，设置放出光的1层以上的发光层。另外，“EL”是“电致发光(Electro Luminescence)”的简称。

有机EL元件通过以规定的顺序层叠电极、有机层等各层来形成。作为有机层的形成方法，正在研究采用工序简易的涂布法。在采用了涂布法的有机层的形成方法中，首先，在有机层形成于其上的被形成面，涂布含有成为有机层的材料的涂布液并成膜，将该涂布液固化。由此形成有机层。

涂布液的涂布可以使用例如具备喷出涂布液的狭缝状喷出口的喷嘴来进行。具体而言，通过在使从喷嘴喷出的涂布液与被形成面接液的状态下，扫描喷嘴或被涂布体，从而可以形成带状的涂布膜。当形成于喷嘴上的狭缝状喷出口仅为1个时，在被形成面形成带状的一条涂布膜，但通过使用例如形成有多个狭缝状喷出口的喷嘴，也可以形成多条带状的涂布膜。为了将例如1个狭缝状喷出口隔开成多个狭缝状喷出口，通过使用在1个狭缝状喷出口设置有1或多个间壁的喷嘴，可以形成多条带状的涂布膜(例如参照专利文献1。)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-233151号公报

发明内容

发明所要解决的问题

通过使用具备多个狭缝状喷出口的喷嘴，确实能够形成条纹状的涂布膜。然而，当使用设置有1或多个间壁的以往的喷嘴时，存在涂布成膜的涂布膜的幅度比狭缝状喷出口的长度方向的长度更宽的倾向。因此，存在难以形成预设的幅度的涂布膜、根据情况进一步需要除去在不需要的部位涂布的涂布膜的工序的问题。

此外，有机EL元件由于随着元件的大型化，面内的亮度分布变得显著，所以其大小受到限制。因此，各有机EL元件，不仅在狭缝状喷出口的长度方向，而且在其宽度方向(涂布方向)也空出规定的间隔而形成。当使用以往的喷嘴来形成条纹状的涂布膜时，由于涂布液涂布至沿涂布方向相邻的有机EL元件间的不需要的部位为止，所以需要除去在不需要的部位涂布的涂布膜的工序，存在工序数目增加的问题。

因此，本发明的目的在于，提供能够以预设的幅度图案化涂布成为有机层的涂布液、且通过简易的工序制造有机EL元件的有机EL元件的制造方法。

用于解决问题的方案

本发明是具有一对电极和在该电极间配置的1层以上的有机层、且设置1层以上的发光层作为上述1层以上的有机层的有机EL元件的制造方法。该制造方法具有：形成一对电极中的一个电极的工序、形成1个或多个有机层的工序和形成一对电极中的另一电极的工序。在上述形成1个或多个有机层的工序中，将成为有机EL元件的被涂布体按照形成有上述有机层的被形成面朝向下方的方式配置，将具有向上方喷出含有成为有机层的材料的涂布液的多个狭缝状喷出口和形成于该狭缝状喷出口的各两端部的向下方凹下的切口部的喷嘴，配置在上述被涂布体的下方。然后，通过交替反复进行涂布工序和非涂布工序，从而在上述被形成面涂布涂布液并成膜，将该涂布成膜的涂布液固化，从而形成上述有机层，所述涂布工序是在维持从上述喷嘴喷出的涂布液与上述被涂布体接液的状态的情况下，使上述喷嘴和上述被涂布体沿规定的涂布方向相对移动，所述非涂布工序是在维持使上述涂布液从上述被涂布体离液的状态的情况下，使上述喷嘴和被涂布体沿上述涂布方向相对移动。

此外，本发明中，上述喷嘴具有空出上述狭缝状喷出口的宽度方向的宽度而相对地配置的一对喷嘴主体、和具有上述狭缝状喷出口的宽度方向的宽度的厚度且夹持在上述喷嘴主体中并设置在除狭缝状喷出口的区域并对狭缝状喷出口的长度方向的长度进行规定的隔片，上述切口部中上述一对喷嘴主体的外缘与上述隔片的外缘配置在大致同一平面。

此外，本发明中，上述切口部也可以按照从上端向下端远离上述狭缝状喷出口的方式倾斜地形成。

此外，本发明涉及具备通过上述制造方法制造的有机电致发光元件的照明装置。

此外，本发明涉及具备通过上述制造方法制造的有机电致发光元件的面状光源。

发明的效果

根据本发明，能够以预设的幅度图案化涂布成为有机层的涂布液，通过简易的工序制造有机EL元件。

附图说明

图1是示意性表示用于形成发光层的CAP涂布机系统11的图。

图2是喷嘴13的侧视图。

图3是喷嘴13的俯视图。

图4是从图2的切断面线IV-IV看的剖视图。

图5是从图2的切断面线V-V看的剖视图。

图6是隔片21的侧视图。

图7是成为有机EL元件的被涂布体的平面图。

图8是表示实施例中涂布有涂布液的基板的状况的图。

图9是表示比较例中涂布有涂布液的基板的状况的图。

具体实施方式

本发明的有机EL元件的制造方法，是制作具有一对电极和在该电极间配置的1层以上的有机层的有机EL元件的方法。在有机EL元件中设置有1层以上的发光层作为上述1层以上的有机层。本发明的有机EL元件的制造方法，具有形成一对电极中的一个电极的工序、形成1个或多个有机层的工序和形成一对电极中的另一电极的工序。

有机EL元件通常形成于玻璃或树脂制的支承基板1上，通过以规定的顺序在支承基板1上层叠构成该有机EL元件的电极或有机层而形成。本实施方式中，在支承基板1上以矩阵状形成多个有机EL元件(参照图7)。即在支承基板1上，沿排列方向Y空出规定的间隔，并且沿与该排列方向Y垂直的涂布方向X空出规定的间隔分别形成多个有机EL元件。

有机EL元件的层构成如后述那样有各种形态，但在本实施方式中，作为其一个例子，对从支承基板1侧起依次层叠相当于一对电极中的一个电极的阳极、空穴注入层、发光层、相当于一对电极中的另一电极的阴极的有机EL元件进行说明。

在本实施方式中，首先，在支承基板1上，通过后述的规定的方法以矩阵状形成多个阳极。即，在支承基板1上，沿排列方向Y空出规定的间隔，并且沿涂布方向X空出规定的间隔形成多个阳极。各阳极为平板状，俯视下例如形成为近似矩形。

接着，在本实施方式中，在各阳极上形成空穴注入层。空穴注入层按照俯视下例如其外缘与各阳极的外缘大体一致的方式形成。当采用涂布法来形成空穴注入层时，优选与后述的形成发光层的方法同样地，通过使用了规定的喷嘴的方法仅在阳极上以图案形成空穴注入层。

接着，在空穴注入层上形成作为1个或多个有机层之一而设置的发光层。形成该发光层的工序相当于形成1个或多个有机层的工序。因此，通过形成发光层的工序的说明，对形成1个或多个有机层的工序进行说明。在本实施方式中，在支承基板1上形成有阳极及空穴注入层的基板，相当于成为有机EL元件的被涂布体，空穴注入层的表面相当于形成有机层的被形成面2(图7中施加阴影的区域)。需要说明的是，本实施方式中通过形成1个或多个有机层的工序来形成发光层，但当有机层有多个时，并不限于发光层，只要与后述的形成发光层的方法同样地，通过使用了规定的喷嘴的涂布法以图案形成多个有机层中的至少一层即可，但更优选与后述的形成发光层的方法同样地，通过使用规定的喷嘴的涂布法以图案形成多个有机层中的全部有机层。

在形成发光层的工序中，将成为有机EL元件的被涂布体按照形成上述有机层的被形成面朝向下方的方式配置，将具有向上方喷出含有成为有机层的材料的涂布液的多个狭缝状喷出口和在该狭缝状喷出口的两端部形成的向下方凹下的切口部的喷嘴，配置在上述被涂布体的下方。然后，通过交替反复进行涂布工序和非涂布工序，在上述被形成面涂布涂布液并成膜，将涂布成膜的涂布液固化，从而形成上述有机层，所述涂布工序是在维持从上述喷嘴喷出的涂布液与上述被涂布体接液的状态的情况下，使上述喷嘴和上述被涂布体沿规定的涂布方向相对移动，所述非涂布工序是在维持使上述涂布液从上述被涂布体离液的状态的情况下，使上述喷嘴和被涂布体沿上述涂布方向相对移动。另外本说明书中所谓“涂布液与被涂布体接液的状态”是指涂布液附着在被涂布体上的状态。

作为从喷嘴向上方喷出涂布液的方法，有利用毛细管力和/或静压的方法、利用泵的动力的方法等。在以下的说明中，作为其一个例子，对利用毛细管力和静压向上方喷出涂布液来涂布涂布液的CAP涂布法进行说明。

图1是示意性表示用于形成发光层的CAP涂布机系统11的图。以下，本说明书中“上方”是指“铅直方向的上方”，“下方”是指“铅直方向的下方”。此外，在以下的CAP涂布机系统11的说明中，对于喷嘴13等的构成及其结构，以涂布涂布液时的配置为前提进行说明。

CAP涂布机系统11主要包括平板12、喷嘴13及槽14而构成。

被涂布体19被保持在平板12的下表面。被涂布体19按照形成有机层(本实施方式中为发光层)的被形成面(本实施方式中为空穴注入层的表面)朝向下方的方式保持在平板12上。平板12通过例如真空吸附来保持被涂布体19。平板12通过未图示的电动机及液压机等变位驱动机构沿水平方向往返运动。该平板12移动的方向相当于涂布方向X，此外与铅直方向Z及涂布方向X分别垂直的方向相当于排列方向Y。

喷嘴13具备向上方喷出含有成为有机层的材料的涂布液的多个狭缝状喷出口和形成于该狭缝状喷出口的两端部的向下方凹下的切口部25，配置在被涂布体19的下方。本实施方式中4个狭缝状喷出口沿排列方向Y空出规定的间隔而配置。图2是喷嘴13的侧视图，图3是喷嘴13的俯视图，图4是从图2的切断面线IV-IV看到的剖视图，图5是从图2的切断面线V-V看到的剖视图。图6是隔片21的侧视图。

喷嘴也可以一体成形，但优选如图2及图3所示那样，喷嘴13具备一对喷嘴主体22和被该喷嘴主体22夹持的隔片21。一对喷嘴主体22，如图3～图5所示那样，空出上述狭缝状喷出口23的宽度方向的宽度相对地配置。隔片21具有上述狭缝状喷出口23的宽度方向的宽度的厚度，夹持在上述喷嘴主体中并设置在除去狭缝状喷出口的区域，对狭缝状喷出口的长度方向的长度进行规定。

一对喷嘴主体22通过夹持的隔片21的厚度来规定其间隔。即，隔片21作为隔板发挥功能。狭缝状喷出口23的宽度方向(本实施方式中相当于涂布方向X。)的宽度通过一对喷嘴主体22的间隔来规定，所以通过对该一对喷嘴主体22的间隔进行规定的隔片21的厚度来规定。狭缝状喷出口23的宽度方向的宽度，根据涂布液的性状及涂布膜的厚度等适当设定，可以通过变更隔片21的厚度来调整。本实施方式中由于利用毛细管现象，所以狭缝状喷出口23的宽度方向的宽度通常为0.01mm～1mm左右，优选为50μm～500μm，进一步优选为50μm～200μm。

在一对喷嘴主体22中分别形成沿排列方向Y延伸的底面为半圆的柱状空洞，在两者贴合的状态下，形成沿排列方向Y延伸的圆柱状的空洞。当隔着隔片21而贴合一对喷嘴主体22时，分别在喷嘴主体22形成的半圆柱状的空洞作为岐管24发挥功能。

多个狭缝状喷出口23，如图2及图3所示那样，使其长度方向与排列方向Y(与涂布方向X及铅直方向Z垂直的方向)一致，并且分别沿排列方向Y空出规定的间隔而配置。此外，各狭缝状喷出口23分别沿铅直方向Z从喷嘴13的上端跨越岐管24而形成，并与岐管24连通。由于在该岐管24中填充有涂布液，所以从岐管24通过毛细管力对各狭缝状喷出口23供给涂布液。狭缝状喷出口23的长度方向(排列方向Y)的长度设定为涂布膜的排列方向Y的幅度，例如为10mm～300mm。

如前所述狭缝状喷出口23的宽度方向的宽度通过隔片21的厚度来规定，但本实施方式中不仅狭缝状喷出口23的宽度方向(涂布方向X)的宽度通过隔片21来规定，而且长度方向(排列方向Y)的长度也通过隔片21来规定。本实施方式的隔片21设置在除去狭缝状喷出口的区域，具有沿排列方向Y延伸的板体21a和沿排列方向Y彼此空出狭缝状喷出口23的幅度且从板体21a向上方延伸的多根板状的非通液部21b(参照图6)。板体21a在岐管24的下方沿排列方向Y延伸而配置，非通液部21b被设置在除去设置狭缝状喷出口23的区域(通液区域)的区域。本实施方式中板体21a与非通液部21b一体形成。以下有时将“设置狭缝状喷出口23的区域”称为通液区域。设置非通液部21b的区域，由于来自岐管24的涂布液向上方的移动被非通液部21b阻碍，所以不被喷出涂布液。另一方面，由于在被多根非通液部21b夹持的区域(通液区域)，形成有与岐管24连通的空隙(狭缝状喷出口23)，所以在岐管24中填充的涂布液通过狭缝状喷出口23向上方喷出。由此，从沿排列方向Y空出规定的间隔而设置的各狭缝状喷出口23选择性地喷出涂布液。

通过使用具有非通液部21b的隔片21，从而也能够利用通常用于规定狭缝状喷出口23的宽度方向的宽度的隔片21作为也规定狭缝状喷出口23的长度方向的长度的构件，所以不需要另外设置对狭缝状喷出口23的长度方向的长度进行规定的构件，装置构成变得简易。需要说明的是，为了规定狭缝状喷出口23的长度方向的长度，只要按照涂布液不从狭缝状喷出口23以外喷出的方式配置规定的构件即可，作为其它的实施方式，这样的构件也可以使用隔片以外的构件。此外，通过更换隔片21，从而能够容易地调整狭缝状喷出口23的宽度方向的宽度，所以优选使用隔片21来构成喷嘴13，但也可以不使用隔片21而使用将非通液部一体成形得到的喷嘴。

喷嘴13具有在狭缝状喷出口23的两端部形成的向下方凹下的切口部25。

现有技术中说明的设置有间壁的喷嘴，间壁与狭缝状喷出口的前端形成在同一平面。在使用该喷嘴来形成涂布膜的情况下，由于从狭缝状喷出口喷出且与被形成面接液的涂布液，顺着间壁的前端面沿狭缝状喷出口的长度方向蔓延，所以存在涂布膜的幅度比狭缝状喷出口的长度方向的长度更宽的倾向。与此相对，本实施方式中，由于在喷嘴上设置有切口部，所以即使有从狭缝状喷出口喷出且与被形成面接液的涂布液沿切口部的凹下方向蔓延的情况，也能够防止沿狭缝状喷出口的长度方向蔓延。通过使用这样的喷嘴，能够抑制涂布膜的幅度蔓延，能够形成预设幅度的涂布膜。

在如本实施方式那样设置隔片的情况下，在切口部中，优选上述一对喷嘴主体的外缘与上述隔片的外缘配置在大致同一平面。即，在切口部中，优选上述隔片的外缘沿着一对喷嘴主体的外缘形成。例如，在图2所示的本实施方式中，按照从涂布方向X的一个方向看，在切口部中，从狭缝状喷出口的两端向下方倾斜的隔片的外缘与一对喷嘴主体的外缘重叠的方式，构成喷嘴。假设在切口部中，一对喷嘴主体的外缘与上述隔片的外缘未配置在大致同一平面，一对喷嘴主体及上述隔片中的任一者凹下的情况下，由于涂布液顺着凹下的一个外缘蔓延，所以有可能涂布膜的幅度变得比预设的幅度更宽，但通过如本实施方式那样将上述一对喷嘴主体的外缘与上述隔片的外缘配置在大致同一平面，能够防止涂布液顺着切口部流淌，能够形成预设幅度的涂布膜。

进而，上述切口部优选按照从上端向下端远离上述狭缝状喷出口的方式倾斜地形成。通过按照这样倾斜的方式设置切口部，与设置沿垂直方向凹下的切口部的情况相比，更能形成预设幅度的涂布膜。

喷嘴13被支承成能沿垂直方向Z变位，通过电动机及液压机等变位驱动机构沿垂直方向Z被变位驱动。

涂布到被涂布体19上的涂布液17被收纳在槽14中。该涂布液17在本实施方式中是含有成为发光层的有机材料的液体，具体而言，是后述的发光材料溶解到溶剂中而得到的溶液。喷嘴13的岐管24与槽14经由涂布液供给管16而连通。收纳在槽14中的涂布液17，通过涂布液供给管16被供给到岐管24中，进而经由狭缝状喷出口23涂布到被涂布体19上。槽14被支承成能沿垂直方向Z变位，通过电动机及液压机等变位驱动机构沿垂直方向Z被变位驱动。槽14进一步具备检测涂布液17的液面的液面传感器18。涂布液17的液面的位置通过液面传感器18来检测。液面传感器18通过例如光学式传感器或超声波振动式传感器来实现。

经由涂布液供给管16从槽14供给到狭缝状喷出口23的涂布液17，根据相应于槽14内的液面高度而产生的压力(静压)和因在狭缝状喷出口23产生的毛细管现象所产生的力，从狭缝状喷出口23被挤出。并且，从狭缝状喷出口23挤出的涂布液17的喷出量，可以通过为了控制槽14内的液面位置与喷嘴13内的液面位置的相对差而控制槽14的上下方向的位置来调整。由于岐管24与全部狭缝状喷出口23连通，所以通过控制槽14内的液面，能够同时控制全部狭缝状喷出口23的涂布液的液面。

CAP涂布机系统11进一步具备通过微型计算机等而实现的控制部。该控制部用于控制上述的变位驱动机构等。通过用控制部控制变位驱动机构，从而控制喷嘴13及槽14的铅直方向Z的位置、及平板12的涂布方向X的变位。若涂布涂布液17，则涂布液17被消耗而槽14内的涂布液17的液面经时降低，但通过控制部根据液面传感器18的检测结果而控制变位驱动机构，来调整槽14的垂直方向Z的位置，从而能够控制从狭缝状喷出口23挤出的涂布液17的高度。

对使用以上说明的CAP涂布机系统11来涂布涂布液时的动作进行说明。另外，通过使用图2所示的具备4个狭缝状喷出口23的喷嘴13，能够在以图7所示那样的矩阵状(5行×4列)配置的矩形形状的区域以图案化涂布涂布液。

CAP涂布机系统11通过反复进行以下的涂布工序和非涂布工序来图案化涂布涂布液。

(涂布工序)

涂布工序中，在维持从喷嘴13喷出的涂布液与上述被涂布体19接液的状态的情况下，使上述喷嘴13和上述被涂布体19沿规定的涂布方向相对移动。

首先，使槽14上升使得槽14内的涂布液的液面变得比喷嘴13上端高，达到从狭缝状喷出口23喷出涂布液的状态，并且使喷嘴13上升使得从狭缝状喷出口23喷出的涂布液与被涂布体19接液。

使涂布液与被涂布体19接液后，在维持涂布液与被涂布体19接液的状态的情况下，为了在喷嘴13与被涂布体19之间设置所期望的间隔使喷嘴13下降，并且使槽14下降使得槽14内的涂布液的液面变得比喷嘴13的上端低。该状态下的被涂布体19与喷嘴13的间隔，根据涂布液的性状及涂布膜的厚度等适当设定。本实施方式中由于利用毛细管现象，所以被涂布体19与喷嘴13的间隔例如设定为0.05mm～0.3mm左右，优选0.2mm～0.3mm左右。

接着，使被涂布体19向涂布方向X的一方(图1中为右方)移动。使被涂布体19仅移动规定的距离时，停止被涂布体19的移动。由此形成4条带状的涂布膜。通过调整被涂布体19与喷嘴13的间隔及喷嘴的移动速度等，能够形成例如涂布膜厚为5μm～500μm左右的涂布膜。需要说明的是，本实施方式中在涂布涂布液时使被涂布体19移动，但也可以使喷嘴13向涂布方向X的另一方(图1中为左方)移动，此外也可以使喷嘴13和被涂布体19这两者移动。

(非涂布工序)

非涂布工序中，在维持使涂布液从上述被涂布体离液的状态的情况下，使上述喷嘴和被涂布体沿上述涂布方向相对移动。

首先，使喷嘴13和槽14一起下降，达到涂布液从上述被涂布体离液的状态。需要说明的是，在涂布液与被涂布体19接液的状态下，涂布液从狭缝状喷出口23喷出，但在涂布液从被涂布体19离液的状态的情况下，使得槽14内的涂布液的液面变得比喷嘴13的上端低，从而涂布液保留在狭缝状喷出口23内。

接着，在维持使涂布液从被涂布体19离液的状态的情况下，使被涂布体19向涂布方向X的一方(图1中为右方)仅移动规定的距离。此时，由于涂布液从被涂布体19离液，所以在被涂布体19上未涂布涂布液。

通过反复进行以上的涂布工序和非涂布工序，从而能够相对于涂布方向X和排列方向Y这两个方向图案化涂布涂布液，结果是能够进行涂布液的二维的图案化涂布。由此，能够防止在不需要的部位涂布涂布液，能够省略将涂布到不需要的地方的涂布液除去的工序。此外，通过使用具有上述的切口部的喷嘴，能够以预设的涂布幅度涂布涂布液。

涂布液包含成为所形成的层的材料(本实施方式中成为发光层的有机材料)和溶剂。作为涂布液的溶剂，可以单独使用1种示出规定的沸点的溶剂，此外也可以并用多种溶剂。作为溶剂，优选溶解成为所形成的层的材料(本实施方式中成为发光层的有机材料)的溶剂，作为该溶剂，可列举以下的溶剂。可例示出氯仿(沸点61℃)、二氯甲烷(沸点40℃)、1，1-二氯乙烷(沸点57℃)、1，2-二氯乙烷(沸点83℃)、1，1，1-三氯乙烷(沸点74℃)、1，1，2-三氯乙烷(沸点113℃)等脂肪族氯系溶剂，氯苯(沸点132℃)、邻二氯苯(沸点180℃)、间二氯苯(沸点173℃)、对二氯苯(沸点174℃)等芳香族氯系溶剂，四氢呋喃(沸点66℃)、1，4-二噁烷(沸点101℃)等脂肪族醚系溶剂，茴香醚(沸点154℃)、乙氧基苯(沸点170℃)等芳香族醚系溶剂，甲苯(沸点111℃)、邻二甲苯(沸点144℃)、间二甲苯(沸点139℃)、对二甲苯(沸点138℃)、乙苯(沸点136℃)、对二乙苯(沸点184℃)、均三甲苯(沸点211℃)、正丙基苯(沸点159℃)、异丙基苯(沸点152℃)、正丁基苯(沸点183℃)、异丁基苯(沸点173℃)、仲丁基苯(沸点173℃)、四氢化萘(沸点208℃)、环己基苯(沸点235℃：737mmHg下测定)等芳香族烃系溶剂，环己烷(沸点81℃)、甲基环己烷(沸点101℃)、正戊烷(沸点36℃)、正己烷(沸点69℃)、正庚烷(沸点98℃)、正辛烷(沸点126℃)、正壬烷(沸点151℃)、正癸烷(沸点174℃)、萘烷(顺式体沸点为196℃、反式体沸点为187℃)、双环己烷(沸点217～233℃)等脂肪族烃系溶剂。丙酮(沸点56℃)、甲基乙基酮(沸点80℃)、甲基异丁基酮(沸点117℃)、环己酮(沸点156℃)、2-庚酮(沸点150℃)、3-庚酮(沸点147℃：765mmHg下测定)、4-庚酮(沸点144℃)、2-辛酮(沸点174℃)、2-壬酮(沸点195℃)、2-癸酮(沸点209℃)等脂肪族酮系溶剂，苯乙酮(沸点202℃)等芳香族酮系溶剂，乙酸乙酯(沸点77℃)、乙酸丁酯(沸点120～125℃)等脂肪族酯系溶剂，苯甲酸甲酯(沸点200℃)、苯甲酸丁酯(沸点213℃)、乙酸苯酯(沸点196℃)等芳香族酯系溶剂，乙二醇(沸点198℃)、乙二醇单丁基醚(沸点171℃)、乙二醇单乙基醚(沸点135℃)、乙二醇单甲基醚(沸点125℃)、1，2-二甲氧基乙烷(沸点85℃)、丙二醇(沸点188℃)、1，2-二乙氧基甲烷(沸点124℃)、三甘醇二乙基醚(沸点222℃)、2，5-己二醇(沸点218℃)等脂肪族多元醇系溶剂及含有脂肪族多元醇的衍生物的溶剂，甲醇(沸点65℃)、乙醇(沸点78℃)、丙醇(沸点97℃)、异丙醇(沸点82℃)、环己醇(沸点161℃)等脂肪族醇系溶剂、二甲基亚砜(沸点37℃)等脂肪族亚砜系溶剂、N-甲基-2-吡咯烷酮(沸点202℃)、N，N-二甲基甲酰胺(沸点153℃)等脂肪族酰胺系溶剂。

这些当中，优选甲苯、二甲苯、乙苯、异丙基苯、茴香醚、均三甲苯、正丁基苯、异丁基苯、环己基苯及四氢化萘。此外，作为涂布液，优选相对于涂布液含有50重量％以上的沸点低于170℃的溶剂。

涂布液中，成为所形成的层的材料的浓度，根据涂布液的粘度、溶解性等适当设定，通常为10重量％以下，优选为0.001重量％～5重量％以下，进一步优选为0.01重量％～2重量％以下。

通过将如上所述涂布成膜的涂布膜固化，能够以图案形成发光层。涂布膜的固化可以通过除去溶剂来进行。例如可以通过加热干燥、真空干燥来除去溶剂。此外，当利用含有通过施加光或热等能量而聚合的材料的涂布液来形成涂布膜时，也可以在涂布成膜后，通过施加光或热等使涂布膜固化。

接着，通过在该发光层上形成阴极，可以形成有机EL元件。

以上对从支承基板1侧起依次层叠有阳极、空穴注入层、发光层、阴极的构成的有机EL元件进行了说明，但有机EL元件并不限定于该构成。以下，对有机EL元件的层结构、各层的构成及各层的形成方法的一个例子进行说明。

有机EL元件包含一对电极(阳极及阴极)和配置在该电极间的1个或多个有机层而构成，作为上述1层以上的有机层，设置1层以上的发光层。在阳极与阴极之间，并不限于发光层，也可以设置与发光层不同的有机层，进而有时也设置无机层。以下对设置在阳极与阴极之间的层进行说明，这些当中含有有机物的层相当于有机层。多种有机层中可以采用涂布法来形成的有机层，优选通过上述的使用规定的喷嘴的涂布法作为形成发光层的方法来形成图案。需要说明的是，作为构成有机层的有机物，可以是低分子化合物，也可以是高分子化合物，此外，也可以是低分子化合物与高分子化合物的混合物，但由于高分子化合物在溶剂中的溶解性通常良好，所以优选高分子化合物，优选聚苯乙烯换算的数均分子量为103～108的高分子化合物。

作为设置在阴极与发光层之间的层，可列举出电子注入层、电子输送层、空穴阻挡层等。当在阴极与发光层之间设置电子注入层和电子输送层这两个层时，将与阴极接近的层称为电子注入层，将与发光层接近的层称为电子输送层。

作为设置在阳极与发光层之间的层，可列举出空穴注入层、空穴输送层、电子阻挡层等。当设置空穴注入层和空穴输送层这两个层时，将与阳极接近的层称为空穴注入层，将与发光层接近的层称为空穴输送层。

以下示出有机EL元件的元件构成的一个例子。

a)阳极/发光层/阴极

b)阳极/空穴注入层/发光层/阴极

c)阳极/空穴注入层/发光层/电子注入层/阴极

d)阳极/空穴注入层/发光层/电子输送层/阴极

e)阳极/空穴注入层/发光层/电子输送层/电子注入层/阴极

f)阳极/空穴输送层/发光层/阴极

g)阳极/空穴输送层/发光层/电子注入层/阴极

h)阳极/空穴输送层/发光层/电子输送层/阴极

i)阳极/空穴输送层/发光层/电子输送层/电子注入层/阴极

j)阳极/空穴注入层/空穴输送层/发光层/阴极

k)阳极/空穴注入层/空穴输送层/发光层/电子注入层/阴极

l)阳极/空穴注入层/空穴输送层/发光层/电子输送层/阴极

m)阳极/空穴注入层/空穴输送层/发光层/电子输送层/电子注入层/阴极

n)阳极/发光层/电子注入层/阴极

o)阳极/发光层/电子输送层/阴极

p)阳极/发光层/电子输送层/电子注入层/阴极

进而，有机EL元件也可以具有2层以上的发光层，此外也可以构成具有2层以上的发光层且使产生电荷的电荷发生层夹在发光层间的所谓多光子型的元件。

有机EL元件也可以以用于密封的密封膜或密封板等密封构件进一步覆盖。当在基板上设置有机EL元件时，通常使一对电极中的阳极靠近基板配置，但也可以使阴极靠近基板配置。

为了进一步提高与电极的密合性、改善来自电极的电荷注入性，本实施方式的有机EL元件也可以与电极相邻地设置膜厚为2nm以下的绝缘层。此外为了提高界面的密合性和防止混合等，也可以在上述的各层间插入薄的缓冲层。

关于所层叠的层的顺序、层数及各层的厚度，可以考虑发光效率和元件寿命来适当设定。

接着，对构成有机EL元件的各层的材料及形成方法更具体地进行说明。

<基板>

基板可使用例如玻璃、塑料及硅基板、以及它们经层叠而成的板等。此外，作为用于有机EL元件形成于其上的基板，也可以使用预先形成有电路的基板。

<阳极>

在通过阳极取出来自发光层的光的构成的有机EL元件的情况下，该阳极可使用透明或半透明的电极。作为透明电极或半透明电极，可以使用电导度高的金属氧化物、金属硫化物及金属等的薄膜，适宜使用透光率高的电极。具体而言，使用由氧化铟、氧化锌、氧化锡、ITO、铟锌氧化物(Indium Zinc Oxide：简称IZO)、金、铂、银、及铜等形成的薄膜，这些当中，适宜使用由ITO、IZO或氧化锡形成的薄膜。作为阳极的制作方法，可列举出真空蒸镀法、溅射法、离子镀法、镀覆法等。此外，作为该阳极，也可以使用聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物等有机的透明导电膜。

阳极也可以使用将光反射的材料，作为该材料，优选功函数3.0eV以上的金属、金属氧化物、金属硫化物。

阳极的膜厚可以考虑光的透射性和电导度适当选择，例如为10nm～10μm，优选为20nm～1μm，进一步优选为50nm～500nm。

<空穴注入层>

作为构成空穴注入层的空穴注入材料，可列举出氧化钒、氧化钼、氧化钌及氧化铝等氧化物、苯胺系、星爆型胺系、酞菁系、无定形碳、聚苯胺及聚噻吩衍生物等。

作为空穴注入层的成膜方法，例如可列举出由含有空穴注入材料的溶液的成膜。作为用于由溶液成膜的溶剂，只要是可溶解空穴注入材料就没有特别限制，例如可以使用作为形成发光层时使用的溶剂而例示的溶剂、水等。

作为由溶液成膜的方法，可列举出旋涂法、流延法、微凹版印刷涂布法、凹版印刷涂布法、棒涂法、辊涂法、绕线棒涂布法、浸渍涂布法、喷涂法、丝网印刷法、柔版印刷法、胶印印刷法、喷墨印刷法等涂布法，空穴注入层优选通过上述使用规定的喷嘴的涂布法作为形成发光层的方法来形成。

关于空穴注入层的膜厚，可以考虑电特性、成膜的容易性等适当设定，例如为1nm～1μm，优选为2nm～500nm，进一步优选为5nm～200nm。

<空穴输送层>

作为构成空穴输送层的空穴输送材料，可列举出聚乙烯基咔唑或其衍生物、聚硅烷或其衍生物、在侧链或主链上具有芳香族胺的聚硅氧烷衍生物、吡唑啉衍生物、芳基胺衍生物、茋衍生物、三苯基二胺衍生物、聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物、聚芳基胺或其衍生物、聚吡咯或其衍生物、聚(对苯撑乙烯撑)或其衍生物、或聚(2，5-亚噻嗯乙烯撑)或其衍生物等。

这些当中作为空穴输送材料，优选聚乙烯基咔唑或其衍生物、聚硅烷或其衍生物、在侧链或主链上具有芳香族胺化合物基团的聚硅氧烷衍生物、聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物、聚芳基胺或其衍生物、聚(对苯撑乙烯撑)或其衍生物、或聚(2，5-亚噻嗯乙烯撑)或其衍生物等高分子空穴输送材料，进一步优选聚乙烯基咔唑或其衍生物、聚硅烷或其衍生物、在侧链或主链上具有芳香族胺的聚硅氧烷衍生物。在低分子的空穴输送材料的情况下，优选分散到高分子粘合剂中使用。

作为空穴输送层的成膜方法，没有特别限制，但在低分子的空穴输送材料中，可列举出由含有高分子粘合剂和空穴输送材料的混合液的成膜，在高分子的空穴输送材料中，可列举出由含有空穴输送材料的溶液的成膜。

作为用于由溶液成膜的溶剂，只要是可溶解空穴输送材料就没有特别限制，例如可以使用作为在形成发光层时使用的溶剂例示的溶剂。

作为由溶液成膜的方法，可列举出与上述的空穴中注入层的成膜法同样的涂布法，空穴输送层优选通过上述使用规定的喷嘴的涂布法作为形成发光层的方法来形成。

作为混合的高分子粘合剂，优选不极度阻碍电荷输送的物质，此外适宜使用对可见光的吸收弱的物质，例如可列举出聚碳酸酯、聚丙烯酸酯、聚丙烯酸甲酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯、聚氯乙烯、聚硅氧烷等。

作为空穴输送层的膜厚，考虑电特性、成膜的容易性等适当设定，例如为1nm～1μm，优选为2nm～500nm，进一步优选为5nm～200nm。

<发光层>

发光层通常主要由发出荧光和/或磷光的有机物、或该有机物和辅助其的掺杂剂形成。掺杂剂是为了例如提高发光效率、或改变发光波长而添加的。另外，有机物可以是低分子化合物也可以是高分子化合物，发光层优选含有聚苯乙烯换算的数均分子量为10³～10⁸的高分子化合物。作为构成发光层的发光材料，例如可列举出以下的色素系材料、金属络合物系材料、高分子系材料、掺杂剂材料。

(色素系材料)

作为色素系材料，例如可列举出环喷他明(cyclopendamine)衍生物、四苯基丁二烯衍生物化合物、三苯胺衍生物、噁二唑衍生物、吡唑并喹啉衍生物、二苯乙烯基苯衍生物、二苯乙烯基亚芳基衍生物、吡咯衍生物、噻吩环化合物、吡啶环化合物、紫环酮衍生物、苝衍生物、寡聚噻吩衍生物、噁二唑二聚物、吡唑啉二聚物、喹吖酮衍生物、香豆素衍生物等。

(金属络合物系材料)

作为金属络合物系材料，例如可列举出在中心金属具有Tb、Eu、Dy等稀土类金属或Al、Zn、Be、Ir、Pt等、并且在配体具有噁二唑、噻二唑、苯基吡啶、苯基苯并咪唑、喹啉结构等的金属络合物，例如可列举出铱络合物、铂络合物等具有来自三重激发态的发光的金属络合物、羟基喹啉铝络合物、苯并羟基喹啉铍络合物、苯并噁唑锌络合物、苯并噻唑锌络合物、偶氮甲基锌络合物、卟啉锌络合物、菲咯啉铕络合物等。

(高分子系材料)

作为高分子系材料，可列举出聚对苯撑乙烯撑衍生物、聚噻吩衍生物、聚对苯撑衍生物、聚硅烷衍生物、聚乙炔衍生物、聚芴衍生物、聚乙烯基咔唑衍生物、将上述色素系材料或金属络合物系发光材料高分子化而得到的物质等。

上述发光性材料中，作为发蓝色光的材料，可列举出二苯乙烯基芳烯衍生物、噁二唑衍生物、及它们的聚合物、聚乙烯基咔唑衍生物、聚对苯撑衍生物、聚芴衍生物等。其中，优选高分子材料的聚乙烯基咔唑衍生物、聚对苯撑衍生物、聚芴衍生物等。

此外，作为发绿色光的材料，可列举出喹吖酮衍生物、香豆素衍生物、及它们的聚合物、聚对苯撑乙烯撑衍生物、聚芴衍生物等。其中优选高分子材料的聚对苯撑乙烯撑衍生物、聚芴衍生物等。

此外，作为发红色光的材料，可列举出香豆素衍生物、噻吩环化合物、及它们的聚合物、聚对苯撑乙烯撑衍生物、聚噻吩衍生物、聚芴衍生物等。其中优选高分子材料的聚对苯撑乙烯撑衍生物、聚噻吩衍生物、聚芴衍生物等。

(掺杂剂材料)

作为掺杂剂材料，可列举出例如苝衍生物、香豆素衍生物、红荧烯衍生物、喹吖酮衍生物、方酸衍生物、卟啉衍生物、苯乙烯基系色素、并四苯衍生物、吡唑啉酮衍生物、十环烯、吩噁嗪酮等。另外，这样的发光层的厚度通常为约2nm～200nm。

作为发光层的成膜方法，除了上述的方法以外，可以采用规定的涂布法、真空蒸镀法、转印法等。

作为涂布含有发光材料的溶液的方法，优选上述使用规定的喷嘴的涂布法，但作为其它方法，可列举出旋涂法、流延法、微凹版印刷涂布法、凹版印刷涂布法、棒涂法、辊涂法、绕线棒涂布法、浸渍涂布法、狭缝涂布法、喷涂法及喷嘴涂布法等涂布法、以及凹版印刷法、丝网印刷法、柔版印刷法、胶印印刷法、反转印刷法、喷墨印刷法等涂布法。

<电子输送层>

作为构成电子输送层的电子输送材料，可以使用公知的材料，可列举出噁二唑衍生物、蒽醌二甲烷或其衍生物、苯醌或其衍生物、萘醌或其衍生物、蒽醌或其衍生物、四氰基蒽醌二甲烷或其衍生物、芴酮衍生物、二苯基二氰基乙烯或其衍生物、联苯醌衍生物、或8-羟基喹啉或其衍生物的金属络合物、聚喹啉或其衍生物、聚喹喔啉或其衍生物、聚芴或其衍生物等。

这些当中，作为电子输送材料，优选噁二唑衍生物、苯醌或其衍生物、蒽醌或其衍生物、或8-羟基喹啉或其衍生物的金属络合物、聚喹啉或其衍生物、聚喹喔啉或其衍生物、聚芴或其衍生物，进一步优选2-(4-联苯基)-5-(4-叔丁基苯基)-1，3，4-噁二唑、苯醌、蒽醌、三(8-喹啉酚)铝、聚喹啉。

作为电子输送层的成膜法，没有特别限制，但在低分子的电子输送材料中，可列举出由粉末的真空蒸镀法、或由溶液或熔融状态的成膜，在高分子的电子输送材料中，可列举出由溶液或熔融状态的成膜。另外，在由溶液或熔融状态成膜的情况下，也可以组合使用高分子粘合剂。作为由溶液成膜的方法，可列举出与上述的空穴中注入层的成膜法同样的涂布法，电子输送层优选通过上述使用规定的喷嘴的涂布法作为形成发光层的方法来形成。

电子输送层的膜厚考虑电特性、成膜的容易性等适当设定，例如为1nm～1μm，优选为2nm～500nm，进一步优选为5nm～200nm。

<电子注入层>

作为构成电子注入层的材料，根据发光层的种类而适当选择最佳的材料，可列举出碱金属、碱土类金属、包含碱金属及碱土类金属中的1种以上的合金、碱金属或碱土类金属的氧化物、卤化物、碳酸盐、或这些物质的混合物等。作为碱金属、碱金属的氧化物、卤化物及碳酸盐的例子，可列举出锂、钠、钾、铷、铯、氧化锂、氟化锂、氧化钠、氟化钠、氧化钾、氟化钾、氧化铷、氟化铷、氧化铯、氟化铯、碳酸锂等。此外，作为碱土类金属、碱土类金属的氧化物、卤化物、碳酸盐的例子，可列举出镁、钙、钡、锶、氧化镁、氟化镁、氧化钙、氟化钙、氧化钡、氟化钡、氧化锶、氟化锶、碳酸镁等。电子注入层可以由层叠2层以上的层叠体构成，例如可列举出LiF/Ca等。电子注入层通过蒸镀法、溅射法、印刷法等而形成。作为电子注入层的膜厚，优选为1nm～1μm左右。

<阴极>

作为阴极的材料，优选功函数小、电子向发光层的注入容易、且电导度高的材料。此外，在从阳极侧取出光的有机EL元件中，为了将来自发光层的光在阴极反射至阳极侧，作为阴极的材料，优选可见光反射率高的材料。阴极中，例如可以使用碱金属、碱土类金属、过渡金属及周期表13族金属等。作为阴极的材料，例如使用锂、钠、钾、铷、铯、铍、镁、钙、锶、钡、铝、钪、钒、锌、钇、铟、铈、钐、铕、铽、镱等金属、上述金属中的2种以上的合金、上述金属中的1种以上与金、银、铂、铜、锰、钛、钴、镍、钨、锡中的1种以上的合金、或石墨或石墨层间化合物等。作为合金的例子，可列举出镁-银合金、镁-铟合金、镁-铝合金、铟-银合金、锂-铝合金、锂-镁合金、锂-铟合金、钙-铝合金等。此外，作为阴极，可以使用由导电性金属氧化物及导电性有机物等构成的透明导电性电极。具体而言，作为导电性金属氧化物，可列举出氧化铟、氧化锌、氧化锡、ITO及IZO，作为导电性有机物，可列举出聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物等。另外，阴极可以由层叠2层以上的层叠体构成。另外，有时也将电子注入层作为阴极使用。

阴极的膜厚考虑电导度、耐久性而适当设定，例如为10nm～10μm，优选为20nm～1μm，进一步优选为50nm～500nm。

作为阴极的制作方法，可列举出真空蒸镀法、溅射法、或将金属薄膜热压接的层压法等。

<绝缘层>

作为绝缘层的材料，可列举出金属氟化物、金属氧化物、有机绝缘材料等。作为设置有膜厚为2nm以下的绝缘层的有机EL元件，可列举出与阴极邻接地设置有膜厚为2nm以下的绝缘层的元件、与阳极邻接地设置有膜厚为2nm以下的绝缘层的元件。

以上，对于使用规定的喷嘴且利用毛细管力和静压的涂布方法，通过CAP涂布机系统11的说明进行了说明，但本发明并不限定于此，也可以用于利用毛细管力的方法、利用静压的方法及利用泵的方法。例如在不利用毛细管力而仅通过静压来涂布涂布液的情况下，只要加宽上述的狭缝状喷出口的宽度方向的宽度即可。此外，通过利用泵的动力，可以控制涂布液的喷出量。此外，也可以采用利用泵的动力以及毛细管力的方法来涂布涂布液。此外，在上述的非涂布工序中，通过使喷嘴下降，从而使涂布液从被涂布体离液，但不使喷嘴下降，而通过利用泵的动力、或者使槽下降，从而使涂布液保留在狭缝状喷出口内，可以使涂布液从被涂布体离液。也可以在维持这样使涂布液从被涂布体离液的状态的情况下，使喷嘴和被涂布体沿涂布方向相对移动。这种情况下，也由于涂布液从被涂布体离液，所以涂布液不涂布到被涂布体上。

以上说明的有机EL元件，可以适宜用于曲面状或平面状的照明装置、或扫描仪的光源或作为显示装置的背光源等使用的面状光源。

实施例1

首先，作为基板，准备完成洗涤的空白玻璃。作为涂敷装置，使用毛细管涂布系统(HIRANO TECSEED公司制、商品名“CAP Coater III”)，将涂布液涂布到基板上。涂布液的溶剂使用茴香醚与环己基苯的混合溶液(重量比1∶1)。在该混合溶剂中溶解高分子发光材料使其浓度达到1重量％，准备了涂布液。涂敷中，使用沿排列方向Y设置有2个向上方喷出涂布液的狭缝喷出口的喷嘴。在各狭缝状喷出口的两端形成向下方凹下的切口。隔片在使狭缝状喷出口与岐管连通的区域以外的非通液部一体化而配置，按照切口中的喷嘴主体的外缘与隔片的外缘大体在同一平面的方式加以配置。各狭缝状喷出口的涂布方向X(宽度方向)的宽度为300μm，狭缝状喷出口的排列方向Y(长度方向)的长度为70mm。2个狭缝喷出口沿排列方向Y空出20mm的间隔而设置。

反复进行2次涂布工序和非涂布工序，涂布了涂布液。在涂布工序中将涂布速度设定为0.5m/min，将喷嘴的上端部与基板的距离空出250μm涂布了涂布液。通过这样涂布涂布液，可以如图8所示那样进行图案化涂布。

(比较例)

仅改换用于涂敷的喷嘴，与实施例同样地以图案化涂布了涂布液。在比较例中，使用在各狭缝状喷出口的两端未形成切口的喷嘴。即，在狭缝状喷出口的两端，形成与狭缝状喷出口的上端在同一平面的面。

图8是表示实施例中涂布有涂布液的基板的状况的图，图9是表示比较例中涂布有涂布液的基板的状况的图。图8中，对涂布有涂布液的部位施加阴影。此外，图9中，对涂布有涂布液的部位且预设涂布的部位施加阴影，进而对涂布有涂布液的部位且未预设涂布的部位施加平行的虚线。

在以形成有切口的喷嘴涂布了涂布液的基板上，能够以与狭缝状喷出口的排列方向Y的幅度(70mm)对应的幅度的图案形成涂布膜。然而，当以没有切口且狭缝状喷出口的排列方向Y的幅度仅由隔片规定的喷嘴涂布涂布液时，涂布液沿排列方向Y(喷嘴长度方向)蔓延，在作为非通液部的部分也薄薄地涂布了涂布液，无法得到目标图案。

符号的说明

1     支承基板

2     形成有机层的被形成面

11    CAP涂布机系统

12    平板

13    喷嘴

14    槽

16    涂布液供给管

17    涂布液

18    液面传感器

19    被涂布体

21    隔片

21a   板体

21b   非通液部

22    喷嘴主体

23    狭缝状喷出口

24    岐管

25    切口部

X     涂布方向

Y     排列方向

Z     铅直方向

Claims (5)

1.一种有机EL元件的制造方法，该有机EL元件具有一对电极和在该电极间配置的1层以上的有机层，且设置有1层以上的发光层作为所述1层以上的有机层，

该有机EL元件的制造方法具有：形成一对电极中的一个电极的工序、形成1个或多个有机层的工序和形成一对电极中的另一电极的工序，

在所述形成1个或多个有机层的工序中，

将成为有机EL元件的被涂布体按照形成所述有机层的被形成面朝向下方的方式配置，

将具有向上方喷出含有成为有机层的材料的涂布液的多个狭缝状喷出口和形成于该狭缝状喷出口的各两端部的向下方凹下的切口部的喷嘴，配置在所述被涂布体的下方，

通过交替反复进行涂布工序和非涂布工序，从而在所述被形成面涂布涂布液并成膜，将该涂布成膜后的涂布液固化，从而形成所述有机层，所述涂布工序是在维持从所述喷嘴喷出的涂布液与所述被涂布体接液的状态的情况下，使所述喷嘴和所述被涂布体沿规定的涂布方向相对移动，所述非涂布工序是在维持使所述涂布液从所述被涂布体离液的状态的情况下，使所述喷嘴和被涂布体沿所述涂布方向相对移动。

2.根据权利要求1所述的有机EL元件的制造方法，其中，所述喷嘴具备：

空出所述狭缝状喷出口的宽度方向的宽度而相对地配置的一对喷嘴主体；和

具有所述狭缝状喷出口的宽度方向的宽度的厚度、且夹持在所述喷嘴主体中并设置在除狭缝状喷出口以外的区域，对狭缝状喷出口的长度方向的长度进行规定的隔片；

在所述切口部，所述一对喷嘴主体的外缘与所述隔片的外缘配置在大致同一平面。

3.根据权利要求1或2所述的有机EL元件的制造方法，其中，

所述切口部按照从上端向下端远离所述狭缝状喷出口的方式倾斜地形成。

4.一种照明装置，其中，

具备通过权利要求3所述的制造方法制造的有机电致发光元件。

5.一种面状光源，其中，

具备通过权利要求3所述的制造方法制造的有机电致发光元件。

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