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CN102322828A - 一种显微镜进行大于最小倍率样品的测量方法 - Google Patents

一种显微镜进行大于最小倍率样品的测量方法 Download PDF

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CN102322828A
CN102322828A CN201110251680A CN201110251680A CN102322828A CN 102322828 A CN102322828 A CN 102322828A CN 201110251680 A CN201110251680 A CN 201110251680A CN 201110251680 A CN201110251680 A CN 201110251680A CN 102322828 A CN102322828 A CN 102322828A
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CN
China
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samples
multiplying power
sample
microscope
minimum multiplying
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Pending
Application number
CN201110251680A
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English (en)
Inventor
张涛
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SHANGHAI FAILURE ANALYSIS LABORATORY Co Ltd
Original Assignee
SHANGHAI FAILURE ANALYSIS LABORATORY Co Ltd
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Publication date
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Abstract

本发明提供了 一种显微镜进行大于最小倍率样品的测量方法，该方法包括以下步骤：A、根据显微镜的最小倍率对样品尺寸形状进行平均划分，在划分的交叉处使用油性笔标点作为标记；B、在显微镜下分别观察拍照、测量每个单位，将得到的多张照片以油性笔的标记为基准进行叠加，得到完整样品的照片和尺寸；C、将观察测量好的样品放在酒精中，使用超声振动清洗设备将样品上的油性笔标记清洗去除，完成样品的观察测量。通过本发明适合于在各类显微镜下进行大于最小倍率样品的测量方法，能够有效、便捷地进行大于最小倍率样品的测量；同时由于明显的油性笔标记具有的良好识别性，避免了出现叠加错误的可能，保证了测量尺寸的精确性。

Description

一种显微镜进行大于最小倍率样品的测量方法
技术领域
本发明涉及一种显微镜进行样品测量的方法，特别涉及显微镜进行大于最小倍率样品的测量方法。
 
背景技术
显微镜是失效分析工程技术人员最常使用的基本外观形貌、尺寸测量或异常确认的分析工具，被广泛地使用。根据观察样品尺寸的不同及放大倍率的不同要求，可以使用的显微镜分成很多种：一般放大倍率要求在1000倍以下的使用光学显微镜，而放大倍率在1000倍以上（几千、几万甚至几十万倍）的使用扫描式电子显微镜。而在光学显微镜中又可以根据景深和工作距离的要求，分为普通光学显微镜或大工作距离的体式显微镜等。
在显微镜观察中，样品尺寸测量是最基本的功能之一。有很多工程师应该都会遇到这样的问题：在观察中，我们要对一个样品的尺寸进行测量，但如果该样品的尺寸太大，甚至在最小倍率下都无法完整地放入一个完整的样品，那进行该样品的尺寸测量就会产生问题。
最常见的方法是将一个大样品分几张照片拍摄，然后分开测量，将测量的尺寸叠加在一起，得出样品总的尺寸。但这个方法对于一些结构有明显特征的样品比较适用，不同的照片，我们只要保证要明显特征点进行比对拼接就可以了。
但是如果对于一些存在大量重复结构，或在显微镜中没有明显特征点，如果使用上述多个照片叠加的办法，有出现叠加错误的可能，从而影响最终测量结果。于是如何快速、方便地进行大尺寸样品的测量成为该技术领域需要解决的一个问题。
发明内容
为解决现有技术中无法快速、方便地进行大尺寸样品测量的问题，本发明提供以下技术方案：
一种显微镜进行大于最小倍率样品的测量方法，该方法包括以下步骤：
A、根据显微镜的最小倍率对样品尺寸形状进行平均划分，使得平均划分后的每个单位小于最小倍率样品，在划分的交叉处使用油性笔标点作为标记；
B、在显微镜下分别观察拍照、测量每个单位，将得到的多张照片以油性笔的标记为基准进行叠加，得到完整样品的照片和尺寸；
C、将观察测量好的样品放在酒精中，使用超声振动清洗设备将样品上的油性笔标记清洗去除，完成样品的观察测量。
本发明有如下优点：
1、通过本发明适合于在各类显微镜下进行大于最小倍率样品的测量方法，能够有效、便捷地进行大于最小倍率样品的测量；
2、同时由于明显的油性笔标记具有的良好识别性，避免了出现叠加错误的可能，保证了测量尺寸的精确性；
3、油性笔标记可以方便地被有机溶剂去除，所以对后续分析没有影响。
附图说明
图1 本发明九宫格划分示意图；
           图2—图10 为本发明九宫格划分得到的每个单元显微镜照片；
图11 本发明九宫格单元叠加得到的样品完整显微镜照片。
图中标号为：
              1—标记
具体实施方式
下面对该工艺实施例作详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围作出更为清楚明确的界定。
本实施例对某一大尺寸IC芯片进行测量，由于在扫描电子显微镜最小倍率（30倍）下，无法放入一个完整的芯片，所以需要对该芯片进行拆分。具体测量步骤如下：
A、根据显微镜的最小倍率和该芯片尺寸形状，采用九宫格的方式对该芯片进行平均划分，如图1九宫格划分示意图所示的划分方法，共得到九个划分单位，并且平均划分后的每个单位小于最小倍率样品，在划分的交叉处使用油性笔标点作为标记1；
B、在显微镜下分别观察拍照、测量每个单位，得到如图2—图10所示的九宫格单元显微镜照片，将得到的多张照片以油性笔的标记为基准进行叠加，得到完整样品的照片和尺寸，如图11所示，测出芯片的长度和宽分别为6.96mm和7.03mm，与芯片的标准尺寸7mm×7mm误差分别为0.57%和0.43%；
C、将观察测量好的样品放在酒精中，使用超声振动清洗设备将样品上的油性笔标记1清洗去除，完成样品的观察测量。
从以上测量数据可以看出，本发明方法测得的芯片尺寸精度高，误差小；本发明方法实用性强，适用范围广。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式之一，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本领域的技术人员在本发明所揭露的技术范围内，可不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。

Claims (1)

1.一种显微镜进行大于最小倍率样品的测量方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：
A、根据显微镜的最小倍率对样品尺寸形状进行平均划分，使得平均划分后的每个单位小于最小倍率样品，在划分的交叉处使用油性笔标点作为标记（1）；
B、在显微镜下分别观察拍照、测量每个单位，将得到的多张照片以油性笔的标记（1）为基准进行叠加，得到完整样品的照片和尺寸；
C、将观察测量好的样品放在酒精中，使用超声振动清洗设备将样品上的油性笔标记（1）清洗去除，完成样品的观察测量。
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C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20120118