CN102211099A - 空气集尘装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种空气集尘装置，能够利用简单且低廉的结构去除基板表面的尘埃，而且能够有效地吸引被去除的尘埃并进行排气。该空气集尘装置是利用空气去除基板表面的尘埃的装置，具有导入空气的空气导入部(1)、喷射部(2)和排气部(3)。喷射部(2)提高来自空气导入部(1)的空气的流速而将该空气吹出到工件表面上。排气部(3)吸入从喷射部(2)吹出的空气及其周围的空气，并进行排气。并且，借助从喷射部(2)流向排气部(3)的空气的喷射作用，使基板表面的气压比周围的大气压低。

Description

空气集尘装置

技术领域

本发明涉及空气集尘装置，尤其涉及利用空气去除基板等工件表面的尘埃的空气集尘装置。

背景技术

在太阳能电池等的层叠基板中，在玻璃基板上层叠了金属膜和半导体膜等薄膜。并且，在这些薄膜中形成有绝缘处理用的多个分离槽。该分离槽利用采用激光的激光头或采用钻石等的刀尖的机械工具而形成。

当在如上所述的薄膜上形成槽时，被去除的膜的一部分作为尘埃等异物附着在基板上。这种异物成为不合格品的原因，所以需要从基板上去除。

以往，作为去除这种基板上的尘埃等异物的装置，例如提供了专利文献1所示的装置。该专利文献1所示的装置向基板等工件表面吹出压缩空气，由此去除附着在工件表面上的尘埃。

具体地讲，专利文献1所示的装置具有空气清洗头、超声波振荡控制部、和两个超声波发生器。空气清洗头具有被供给压缩空气的加压腔、和将喷出的压缩空气与尘埃一起吸引的负压腔。在加压腔设有两个相互连通的加压室，超声波发生器被设在这两个加压室中。并且，在两个加压室设有喷出超声波空气的一对喷嘴。

这种装置从一对喷嘴向工件表面喷出高速的超声波空气。并且，尘埃与空气一起从设于负压腔的尘埃吸引口被吸入负压室内。

【现有技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2003-200121号公报

在专利文献1所示的装置中，除了空气清洗头之外，还需要超声波发生器和超声波振荡控制部，使得装置变昂贵。并且，虽然通过向工件表面高速吹出超声波空气，能够去除附着在工件表面上的尘埃，但是很难将被去除的尘埃有效地吸引到负压室内。因此，存在被去除的尘埃再次附着在工件表面上的情况。

发明内容

本发明的课题是提供一种能够利用简单且低廉的结构去除工件表面的尘埃、而且能够有效地吸引被去除的尘埃并进行排气的装置。

本发明第一方面的空气集尘装置利用空气去除工件表面的尘埃，其中，所述空气集尘装置具有导入空气的空气导入部、喷射部和排气部。喷射部提高来自空气导入部的空气的流速而将该空气吹出到工件表面上。排气部吸入从喷射部吹出的空气及其周围的空气，并进行排气。并且，借助从喷射部流向排气部的空气的喷射作用，使工件表面的气压比周围的大气压低。

该装置从外部向空气导入部导入空气。该导入的空气通过喷射部被提高流速，并喷出到工件表面上。此时，利用从喷射部流向排气部的空气而产生喷射作用，工件表面附近的气压变得比周围的大气压低。因此，周围的空气与来自喷射部的空气一起流向工件表面，利用该空气的流动来去除工件表面的尘埃。并且，从工件表面被去除的尘埃与空气一起被吸入排气部并排出。

这里，能够利用简单且低廉的结构去除工件表面的尘埃。并且，与以往的装置那样向工件表面喷射高速的空气时相比，能够有效地吸入空气及尘埃并进行排气。

本发明第二方面的空气集尘装置是根据第一方面的装置，喷射部使工件表面的气压成为工件不会浮起来的程度的负压。

这里，如果利用喷射作用使工件表面附近的气压过低，则存在工件表面从工件台等承载部浮起的情况。并且，如果工件表面浮起，则工件的位置偏离，成为加工误差的原因。

因此，在本发明第二方面中，调整工件表面的负压的程度。因此，工件不会浮起，能够避免因工件的位置偏离而造成的加工误差。

本发明第三方面的空气集尘装置是根据第一或第二方面的装置，空气导入部具有隔着排气部对置配置的一对空气导入口。并且，喷射部具有一对节流部和一对空气流出部。一对节流部在一对空气导入口的空气流路下游侧隔着排气部对置配置，提高来自空气导入口的空气的流速。一对空气流出部配置在一对节流部的空气流路下游侧。

在此，从对置配置的两个空气导入口导入空气，并且，来自两个空气流出部的空气吹出到工件表面上。并且，在这些部分之间配置有排气部。因此，能够使空气有效地吹出到工件表面上，能够有效地去除空气及尘埃并进行排气。

本发明第四方面的空气集尘装置是根据第三方面的装置，排气部具有一对排气用板部件，这一对排气用板部件在内部设有排气室，并且在下端设有与排气室连通的吸入口。并且，喷射部具有一对喷射用板部件，这一对喷射用板部件分别装配在一对排气用板部件的外侧，在一对喷射用板部件与一对排气用板部件之间形成节流部和空气流出部。并且，空气集尘装置还具有垫片，该垫片设于一对排气用板部件与一对喷射用板部件之间，用于调整节流部的空气流路截面积。

因此，能够利用简单的结构构成喷射部及排气部，而且容易组装及分解。并且，由于在喷射用板部件与排气用板部件之间设置有垫片，所以能够利用该垫片调节喷射部的节流部的空气流路截面积(节流直径)，能够容易使工件表面的空气的气压成为合适的压力。

在以上所述的发明中，能够利用简单且低廉的结构去除工件表面的尘埃。并且，能够有效地吸引被去除的尘埃并进行排气。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式的空气集尘装置的外观立体图。

图2是所述空气集尘装置的剖视图。

标号说明

1空气导入部；2喷射部；3排气部；5排气用板部件；6喷射用板部件；12接头(空气导入口)；14空气导入室；15节流部；16空气流出部；18排气室；22垫片。

具体实施方式

[整体结构]

图1是本发明的一个实施方式的空气集尘装置的外观立体图，图2是其剖视图。该空气集尘装置例如是在对太阳能电池用基板进行图案处理时，去除附着在基板表面上的尘埃而使用的装置。

该装置具有多个空气导入部1、喷射部2和排气部3。排气部3由对置配置的一对排气用板部件5构成。并且，喷射部2由一对排气用板部件5和一对喷射用板部件6构成。一对喷射用板部件6利用多个螺栓7固定在一对排气用板部件5的各自外侧。各个板部件5、6如图1所示形成为沿一个方向长长地延伸的带状。

[空气导入部]

空气导入部1具有多个供给管10、以及与多个供给管10分别连接设置的一对导入管11。在多个供给管10连接有未图示的压缩机等空气供给源。一对导入管11是从一个供给管10分支设置的，在该导入管11的末端设有接头(空气导入口)12。各个接头12装配于一对喷射用板部件6。利用这种结构，从排气部3的两侧导入空气。

[喷射部]

喷射部2具有分别隔着排气部3对置配置的、一对空气导入室14和一对节流部15以及一对空气流出部16。喷射部2是提高来自空气导入部1的空气的流速而将该空气吹出到基板G的表面上的部分。利用从该喷射部2朝向排气部3的空气的流动而得到喷射作用(ejector effect)，使基板表面的气压成为比周围的大气压低的负压。另外，基板表面的负压被控制成使基板G不会浮起的程度的负压。

喷射部2是隔着排气部3对称形成的，下面只对一侧的喷射部2的结构进行说明。

喷射部2由排气用板部件5和喷射用板部件6构成。具体地讲，喷射用板部件6在与排气用板部件5对置的侧面具有：构成空气导入室14的上侧凹部；和构成空气流出部16的下侧凹部。

上侧凹部从喷射用板部件6的上部形成到上下方向上的中央部及其下方，具有上壁14a、侧壁14b和上倾斜壁14c。上壁14a是水平形成的。侧壁14b是垂直形成的，在该侧壁14b连接有空气导入部1的接头12。上倾斜壁14c从侧壁14b的下端进一步向下方延伸，并以随着朝向下方而与排气用板部件5接近的方式倾斜。

下侧凹部形成于喷射用板部件6的下端部。该下侧凹部具有下倾斜壁16a和侧壁16b，并且该下侧凹部的下方敞开。下倾斜壁16a形成下侧凹部的上部，随着远离排气用板部件5而向上方倾斜。并且，在排气用板部件5中，与下侧凹部对置的部分具有随着朝向下方而向内侧倾斜的外倾斜部5a。并且，侧壁16b是垂直形成的。由这种下侧凹部和排气用板部件的外倾斜部5a构成空气流出部16。根据这种结构，通过后面叙述的节流部15而流入空气流出部16的空气沿着外倾斜部5a流向内侧，不会沿着下倾斜壁16a流出到外侧。因此，防止由于流入空气流出部16的空气流出到空气集尘装置的外侧而造成的尘埃飞散。

节流部15形成于上侧凹部(空气导入室14)和下侧凹部(空气流出部16)之间。该节流部15是形成于喷射用板部件6的内侧端面与排气用板部件5的外侧端面之间的预定的间隙，在上下方向上具有预定的长度。并且，从空气导入室14流过来的空气通过该节流部15，由此，流速变为高速，在从空气流出部16到排气部3的部分中产生喷射作用。

[排气部]

排气部3用于吸入来自喷射部2的空气及其周围的空气并进行排气。排气部3如前面所述由对置的一对排气用板部件5构成，在一对排气用板部件5之间形成有排气室18。并且，在该排气室18连接有多个排气管19。多个排气管19按照图1所示沿着长度方向以预定的间隔进行配置。并且，在排气室18的下端部形成有排气用的吸入口20。在排气用吸入口20的下端形成有一对内倾斜部20a，所述内倾斜部20a以随着朝向下方而向外侧扩展的方式倾斜。利用该内倾斜部20a，使来自外部的空气容易流入排气室18。

[垫片]

在喷射用板部件6与排气用板部件5之间的上部插入有垫片(shim)22。通过调整垫片22的厚度和数量，能够调整节流部15的节流直径，即能够调整空气的流路截面积。通过调整该节流部15的节流直径和供给到空气导入部1的空气的压力，能够调整基于喷射作用的基板表面的负压，使配置在本装置的下方的基板G不会浮起。

[动作]

在经由供给管10从空气导入部1导入空气后，空气经由接头12流入喷射部2。在喷射部2中，空气先流入空气导入室14，然后通过节流部15流向空气流出部16。此时，从节流部15流出的空气变为高速，并通过基板表面朝向排气部3的吸入口20流动。利用这种空气的流动，基板表面成为比其周围的大气压低的负压。利用该负压和空气的粘性，周围的空气被引入到流入排气部3的吸入口20的空气流中。利用这种喷射作用，附着在基板表面上的尘埃与空气一起被引入到排气部3的吸入口20，并流入排气部3的排气室18。然后，经由排气管19被排出到外部。

[特征]

(1)由于不是将空气吹出到基板表面上来吹散尘埃，而是利用喷射作用将尘埃与周围的空气一起吸引到排气部3中，因而能够有效地进行尘埃的去除及排气。

(2)由于能够容易利用垫片22调整喷射部2的节流部15的节流直径(空气流路截面积)，因而能够容易获得最佳的喷射作用。

(3)由于隔着排气部3对置配置喷射部2的空气流出部16，因而能够更有效地去除基板表面的尘埃并进行排气。

(4)能够利用一对排气用板部件5及一对喷射用板部件6实现装置的主要构成部分。因此，能够实现简单且低廉的装置。并且，能够容易进行分解及组装，容易进行维护作业。

[其它实施方式]

本发明不限于以上所述的实施方式，能够在不脱离本发明的范围的情况下进行各种变形或修改。

空气导入部和喷射部的配置及结构不限于前述实施方式。例如，也可以将空气导入部及喷射部只配置在排气部的一侧。

Claims (4)

1.一种空气集尘装置，该空气集尘装置利用空气去除工件表面的尘埃，其特征在于，

所述空气集尘装置具有：

导入空气的空气导入部；

喷射部，其提高来自所述空气导入部的空气的流速而将该空气吹出到工件表面上；以及

排气部，其吸入从所述喷射部吹出的空气及其周围的空气，并进行排气，

借助从所述喷射部流向所述排气部的空气的喷射作用，使工件表面的气压比周围的大气压低。

2.根据权利要求1所述的空气集尘装置，

所述喷射部使工件表面的气压成为所述工件不会浮起来的程度的负压。

3.根据权利要求1或2所述的空气集尘装置，

所述空气导入部具有隔着所述排气部对置配置的一对空气导入口，

所述喷射部具有：一对节流部，所述一对节流部在所述一对空气导入口的空气流路下游侧隔着所述排气部对置配置，提高来自所述空气导入口的空气的流速；以及一对空气流出部，所述一对空气流出部配置在所述一对节流部的空气流路下游侧。

4.根据权利要求3所述的空气集尘装置，

所述排气部具有一对排气用板部件，这一对排气用板部件在内部设有排气室，并且在下端设有与所述排气室连通的吸入口，

所述喷射部具有一对喷射用板部件，这一对喷射用板部件分别装配在所述一对排气用板部件的外侧，在所述一对喷射用板部件与所述一对排气用板部件之间形成所述节流部和所述空气流出部，

所述空气集尘装置还具有垫片，该垫片设于所述一对排气用板部件与所述一对喷射用板部件之间，用于调整所述节流部的空气流路截面积。

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