CN102161199B - 一种用于硅片传输机器人的w轴同轴传动机构 - Google Patents

Abstract

一种用于硅片传输机器人的W轴同轴传动机构，以完成特殊位置的取放硅片工作流程，适用于对高度尺寸方向没有限制的R轴空间结构。本发明的W轴同轴传动机构，扩展了硅片传输机器人的使用范围，且安装过程简单，只需从R轴小臂末端拆除末端FORK手臂，重新安装在W轴同轴传动机构的输出端，并使用专用的底座使R轴小臂与W轴同轴传动机构相联接，重新调整控制程序后，即可调试及应用。

Description

一种用于硅片传输机器人的W轴同轴传动机构

技术领域

本发明涉及在半导体集成电路生产线设备制造领域内，一种用于硅片传输机器人的W轴同轴传动机构，用于完成特殊位置的取放硅片工作流程、并且对高度尺寸方向没有限制的R轴空间结构。

背景技术

对于硅片传输机器人来说，有时取放片的位置比较特别，仅利用R轴来完成工作流程非常困难甚至不可能，此时需要在R轴小臂末端安装一个独立的辅助机械臂——W轴传动机构来完成特殊位置的取放硅片工作流程。W轴传动机构的动力由独立的W轴电机输出，由计算机统一控制其工作程序；在输出端带动FORK组合围绕W轴作一定角度的旋转，从而额外获得以R轴运动轨迹为圆心、以W轴旋转中心至FORK中心长度为半径的一组工作轨迹，以完成特殊位置的取放硅片工作流程。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于硅片传输机器人的W轴同轴传动机构，用于完成特殊位置的取放硅片工作流程。所谓同轴传动，是指W轴电机与W轴输出的旋转运动拥有共同的旋转中心；从结构上说，是指W电机轴与W输出轴同轴安装，因此同轴传动机构的高度较高，应用于对高度尺寸方向没有限制的R轴空间结构。

本发明的实现过程为：一种用于硅片传输机器人的W轴同轴传动机构，包括外罩组合1、W轴伺服电机2、电机固定板3、光电传感器挡片4、旋转支架5、从动旋转轴6、上轴承7、基座盖板8、FORK组合9、下轴承10、锁紧螺母11、基座线夹12、W轴机械手基座13、阻尼橡胶垫14、控制线路板安装架15、光电传感器16、伺服电机支架17、控制线路板18。

W轴伺服电机2通过前端定位止口定位，用螺钉安装于电机固定板3上；伺服电机支架17上端用螺钉安装在电机固定板3底面的定位槽内。

控制线路板安装架15以螺钉安装在电机固定板3上面的螺孔内；控制线路板18以螺钉安装在控制线路板安装架15上。

W轴伺服电机2的电机轴直接伸入从动旋转轴6的配合孔内，通过从动旋转轴6侧面的螺孔，以紧定螺钉固定在电机轴侧面的平面上。

将旋转支架5以螺钉安装在从动旋转轴6半圆平面上，再将光电传感器挡片4以螺钉安装在从动旋转轴6的安装面上。

将FORK组合9与旋转支架5的配合表面清理干净，在旋转支架5底面的环形槽内放入气路密封垫，对正旋转支架5与FORK组合9的气路通孔，以螺钉联接FORK组合9与旋转支架5。

将光电传感器16以螺钉安装在伺服电机支架17的平面上。

将上轴承7、下轴承10分别以“热装法”装入基座盖板8的上、下轴承腔内，并压紧到位。将装有上轴承7、下轴承10的基座盖板8穿入从动旋转轴6下端的轴内，并以上轴承7、下轴承10的内环相配合，压紧到位，并在从动旋转轴6最下端的螺纹部位安装锁紧螺母11，并拧紧到位。在安装过程中应使基座盖板8上表面的定位凹槽与伺服电机支架17的外形相配合，以螺钉拧紧到位。

将基座线夹12以螺钉安装在W轴机械手基座13的内底面上，将阻尼橡胶垫14放入W轴机械手基座13的止口内，对正基座盖板8的下底面凸台，合装基座盖板8与W轴机械手基座13，并以螺钉拧紧。

将外罩组合1罩在基座盖板8上面的机构上，以螺钉拧紧。

完成以上装配后，用手转动FORK组合9，FORK组合9能向两面转动。通电调试时，FORK组合9向两端的转动角度应受光电传感器挡片4的角度控制。

本发明一种用于硅片传输机器人的W轴同轴传动机构，具有如下优点：

1、硅片传输机器人的W轴同轴传动机构，扩展了硅片传输机器人的使用范围，可以满足特殊位置的取放硅片工作流程的要求。

2、改装过程简单，只需从R轴小臂末端拆除末端FORK手臂，重新安装在W轴同轴传动机构的输出端，并使用专用的底座使R轴小臂与W轴同轴传动机构相联接，重新调整控制程序后，即可调试及应用。

附图说明

图1为用于硅片传输机器人的W轴同轴传动机构的三维立体图。

图2为用于硅片传输机器人的W轴同轴传动机构的爆炸效果图。

在附图中，具体数字表示：1-外罩组合、2-W轴伺服电机、3-电机固定板、4-光电传感器挡片、5-旋转支架、6-从动旋转轴、7-上轴承、8-基座盖板、9-FORK组合、10-下轴承、11-锁紧螺母、12-基座线夹、13-W轴机械手基座、14-阻尼橡胶垫、15-控制线路板安装架、16-光电传感器、17-伺服电机支架、18-控制线路板。

具体实施方式

结合附图对本发明作进一步说明：

参照附图所示，一种用于硅片传输机器人的W轴同轴传动机构，包括外罩组合1、W轴伺服电机2、电机固定板3、光电传感器挡片4、旋转支架5、从动旋转轴6、上轴承7、基座盖板8、FORK组合9、下轴承10、锁紧螺母11、基座线夹12、W轴机械手基座13、阻尼橡胶垫14、控制线路板安装架15、光电传感器16、伺服电机支架17、控制线路板18。

W轴伺服电机2通过前端定位止口定位，安装于电机固定板3上；伺服电机支架17上端安装在电机固定板3底面的定位槽内。

控制线路板安装架15安装在电机固定板3上；控制线路板18安装在控制线路板安装架15上。

W轴伺服电机2的电机轴直接伸入从动旋转轴6的配合孔内，以紧定螺钉固定在电机轴侧平面上。

旋转支架5安装在从动旋转轴6半圆平面上，光电传感器挡片4安装在从动旋转轴6的安装面上。

FORK组合9安装在旋转支架5的配合表面。

光电传感器16安装在伺服电机支架17的平面上。

上轴承7、下轴承10分别装在基座盖板8的上、下轴承腔内，装有上轴承7、下轴承10的基座盖板8与从动旋转轴6相配合，在从动旋转轴6最下端的螺纹部位安装锁紧螺母11；应使基座盖板8上表面的定位凹槽与伺服电机支架17的外形相配合。

基座线夹12安装在W轴机械手基座13的内底面上，阻尼橡胶垫14放入W轴机械手基座13的止口内；对正基座盖板8的下底面凸台，合装基座盖板8与W轴机械手基座13。

外罩组合1罩在基座盖板8上面的机构上，以螺钉紧固。

完成以上装配后，用手转动FORK组合9，FORK组合9能向两面转动。通电调试时，FORK组合9向两端的转动角度应受光电传感器挡片4的角度控制。

Claims (2)

1.一种用于硅片传输机器人的W轴同轴传动机构，包括：外罩组合(1)、W轴伺服电机(2)、电机固定板(3)、光电传感器挡片(4)、旋转支架(5)、从动旋转轴(6)、上轴承(7)、基座盖板(8)、FORK组合(9)、下轴承(10)、锁紧螺母(11)、基座线夹(12)、W轴机械手基座(13)、阻尼橡胶垫(14)、控制线路板安装架(15)、光电传感器(16)、伺服电机支架(17)、控制线路板(18)；其特征在于：所述W轴伺服电机(2)通过前端定位止口定位，安装于电机固定板(3)上；所述伺服电机支架(17)上端安装在电机固定板(3)底面的定位槽内；所述控制线路板安装架(15)安装在电机固定板(3)的上表面；所述控制线路板(18)安装在控制线路板安装架(15)上；所述W轴伺服电机(2)的电机轴直接伸入从动旋转轴(6)的配合孔内，以紧定螺钉固定在电机轴侧平面上；所述旋转支架(5)安装在从动旋转轴(6)半圆平面上，光电传感器挡片(4)安装在从动旋转轴(6)的安装面上；所述FORK组合(9)安装在旋转支架(5)的配合表面；所述光电传感器(16)安装在伺服电机支架(17)的平面上；所述上轴承(7)、下轴承(10)分别装在基座盖板(8)的上、下轴承腔内，装有上轴承(7)、下轴承(10)的基座盖板(8)，轴承内环与从动旋转轴(6)相配合，在从动旋转轴(6)最下端的螺纹部位安装锁紧螺母(11)；所述基座盖板(8)上表面的定位凹槽与伺服电机支架(17)的外形相配合；所述基座线夹(12)安装在W轴机械手基座(13)的内底面上，阻尼橡胶垫(14)放入W轴机械手基座(13)的止口内；对正基座盖板(8)的下底面凸台，合装基座盖板(8)与W轴机械手基座(13)；所述外罩组合(1)罩在基座盖板(8)上面的机构上，以螺钉紧固。

2.根据权利要求1所述一种用于硅片传输机器人的W轴同轴传动机构，其特征在于：所述W轴同轴传动机构装配后，用手转动FORK组合(9)，FORK组合(9)能向两面转动；通电调试时，FORK组合(9)向两端的转动角度应受光电传感器挡片(4)的扇形角度控制。

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