CN102136440A - 点测及分选装置 - Google Patents
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Abstract
一种点测及分选装置，整合公知半导体后段工艺中的点测及分选流程，提升圆片处理速度，改善蓝膜收缩造成的分选错位问题，免除人工传送步骤，改善工艺可靠度。
Description
技术领域
本发明是有关一种半导体设备，特别是关于一种整合点测及分选的设备。
背景技术
在公知的半导体后段(back-end)工艺中，点测设备(Prober)以及分选设备(Sorter)是各自独立的。园片加工完成后，被贴附在蓝膜(blue tape)上并切割成多个芯片。该蓝膜被固定于一园片环(wafer ring)并绷开，使其上的各芯片彼此分离。接着，该园片环经由手动或自动的上片程序送入点测设备。点测设备针对该园片环上的芯片做电性测试，然后，测试完毕的园片环再以人工方式移置到分选设备。分选设备依照测试结果将园片环上的芯片分选到各等级的分选盒(bin)中。为配合整体工艺，园片环从离开点测设备到送入分选设备之间往往要等上数日。在这段期间，被撑开的蓝膜会逐渐收缩，使得芯片的分布位置改变，因此在分选时容易发生错位。此外，在以人工的方式将园片环从点测设备移置到分选设备的这个步骤也容易发生人为疏失，对工艺的可靠度造成危害。
一直以来，工艺整合都是半导体工艺中一个重要的发展方向。当相关工艺整合于同一个系统内时，园片将得以迅速地被处理，因此处理速度提升；而且园片维持在真空环境下自动传送，避免曝露于空气中，可使产品的良率提高；设备的整合更可使设备的占地面积减少。工艺整合除了对于提升处理过程的质、量以及降低成本有利以外，整合后的流程使得园片在该段工艺中不须以人工传送，消除人为疏失的发生。
为解决前述问题，有人提出一种整合点测及分选的装置，图1是其示意图。在使用此点测及分选的装置10时，园片环加载园片环置放区14后，移置装置102自该园片环取下芯片，送至传递区16，点测装置12对传递区16中的芯片做电性测试，测试完的芯片再由移置装置104依该芯片的电性测试结果自传递区16直接分选到分选盒置放区18中的分选盒，最后从分选盒置放区18出料。这种装置整合了公知的点测及分选工艺，但实际应用时却因处理速度过慢而不具经济效益，因此目前的半导体厂仍然采用各自独立的点测设备及分选设备。
发明内容
本发明的目的在于提出一种点测及分选装置，即整合半导体后段工艺中点测及分选流程的装置。
为实现上述目的，本发明提供的点测及分选装置，包括：
一测试区，具有一点测装置供测试一园片环上的芯片；
一分选区，具有一分选装置，将该园片环上的芯片依测试结果分选到复数个分选盒中；以及
一传送装置，将该园片环自该测试区传送到该分选区。
所述的装置，其中包括一视觉检测系统设置于该测试区。
所述的装置，其中包括一视觉检测系统设置于该分选区。
所述的装置，其中该传送装置包括机械臂。
所述的装置，其中该传送装置包括一承载台于一滑轨上作动。
本发明提供的点测及分选装置，还包括：
一装填区，供载入一待测园片环；
一测试区，具有一点测装置供点测该待测园片环上的芯片；
一园片环置放区，供放置测试后的园片环；
一传送装置，将该待测园片环自该装填区传送到该测试区，以及将测试后的园片环传送到该园片环置放区；
一分选盒置放区，供置放分选盒；以及
一分选装置，自该园片环置放区将芯片从测试后的园片环上分选到该分选盒置放区的分选盒中。
所述的装置，其中包括一视觉检测系统设置于该测试区。
所述的装置，其中包括一视觉检测系统设置于该分选装置。
所述的装置，其中包括一视觉检测系统设置于该园片环置放区。
所述的装置，其中包括一进料装置，可容置复数个园片环，用来将待测园片环自动加载该装填区。
所述的装置，其中该传送装置包括机械臂。
所述的装置，其中该传送装置包括一承载台于一滑轨上作动。
本发明提供的整合点测及分选的装置，整合点测及分选工艺，减低人为疏失的发生机会，提升产品良率，同时维持园片处理速度。
附图说明
图1是公知整合点测及分选流程的装置；
图2是本发明第一实施例的方块图；
图3是图2的实施例的示意图；
图4是本发明第二实施例的方块图；以及
图5是图4的实施例的示意图。
附图中主要组件符号说明：
10点测及分选装置，102移置装置，104移置装置，12点测装置，14园片环置放区，16传递区，18分选盒置放区，20点测及分选装置，22传送装置，24分选区，242分选平台，244园片环置放平台，246分选装置，26测试区，262点测装置，264点测平台，30点测及分选装置，302分选装置，304传送装置，306园片环，308进料装置，32装填区，34测试区，36园片环置放区，38分选盒置放区。
具体实施方式
根据本发明，一种点测及分选装置包括一测试区，该测试区设有一点测装置，对一园片环上的芯片进行测试，测试后的园片环由一传送装置，将该园片环自该测试区传送到一分选区，该分选区具有一分选装置，将该园片环上的芯片依测试结果分选到多个分选盒中。
根据本发明，一种点测及分选装置包括一装填区，供加载一待测园片环，一测试区具有一点测装置，用来对该待测园片环进行测试，一园片环置放区，供放置测试后的园片环，一传送装置将该待测园片环自该装填区传送到该测试区接受测试，再将测试后的园片环传送到该园片环置放区，一分选装置根据测试结果自该园片环置放区将芯片从测试后的园片环上分选到分选盒置放区的分选盒中。
较佳的，于本发明的点测及分选装置中设置一视觉检测系统，以检查受测芯片的外观。
较佳的，还包括一进料装置，以自动控制方式进料。
下面结合附图对本发明作详细说明。
图1的整合装置因为将芯片一一取起进行测试，使得处理速度过低。本发明中点测芯片的步骤改为一次处理整个园片以提升处理速度。
图2是本发明第一实施例的方块图，待测的园片环进料给点测及分选装置20后，先于测试区26接受测试，测试完毕后传送装置22将园片环移置到分选区24做分选，最后出料。本实施例是对园片环进行点测，换言之，测试区26一次对整个园片的芯片做电性测试，因此测试的速度提升。测试完的园片环直接送入分选区24进行分选，因此蓝膜的收缩程度对分选造成的影响降到最低。在本实施例中，传送装置22以机械臂或以承载台于滑轨上作动实现。
图3是一个实体设备的示意图，园片环进料给点测及分选装置20后，在点测平台264上接受点测装置262测试，然后经由传送装置22传送到园片环置放平台244接受分选装置246拣取，园片环上的芯片依其等级被分选装置246移置到分选平台242的分选盒中。在其它实施例中，也可以在点测平台、园片环置放平台或分选平台上设置视觉检测系统(AOI)，以便于检查芯片外观是否完整。
图4是本发明第二实施例的方块图，园片环进料给点测及分选装置30后，先放置于装填区32，传送装置304将装填区32上的园片环移置到测试区34，测试区34中设有点测装置，园片环上的芯片在测试区34接受点测装置测试，测试完毕后，传送装置304再将园片环移置到园片环置放区36，分选装置302自园片环置放区36中的园片环取下芯片，依照测试结果分选到分选盒置放区38的分选盒中，完成分选步骤，最后由分选盒置放区38出料。在本实施例中，装填区32同时提供缓冲的作用。较佳的，在测试区、园片环置放区或分选装置设置视觉检测系统，以便于检查芯片外观是否完整。进出料方式可以有各种变化，例如将园片环及分选盒的进、出料都设计于装填区，分选完毕的园片环及分选盒都由传送装置304移置到装填区而出料。在其它实施例中，于装填区进行园片环的进、出料，分选盒的进、出料则经由分选盒置放区。
图5是一个实体设备的示意图，俗称卡匣的自动进料装置308设置在点测及分选装置30的右侧，园片环306由进料装置308进料到装填区32后，被传送装置304取起并移置到测试区34接受点测，测试完的园片环再由传送装置304移置到园片环置放区36，分选装置302为可提供真空吸力的摆臂，将芯片自园片环置放区36中的园片环取下后，依该芯片的等级摆放到分选盒置放区38中的分选盒内。在本实施例中，传送装置304为一机械臂，在其它实施例中，传送装置304可以承载台于滑轨上作动或其它机构实现。
以上对于本发明的较佳实施例所作的叙述为阐明其目的，无意限定本发明的保护范围，基于以上的提示或从本发明的实施例学习而作修改或变化是可能的，实施例是为解说本发明的原理以及让本领域技术人员以各种实施例利用本发明在实际应用上而选择及叙述，本发明的技术思想由以申请的权利要求范围及其均等来决定。
Claims (12)
1.一种点测及分选装置，包括：
一测试区，具有一点测装置供测试一园片环上的芯片；
一分选区，具有一分选装置，将该园片环上的芯片依测试结果分选到复数个分选盒中；以及
一传送装置，将该园片环自该测试区传送到该分选区。
2.如权利要求1所述的装置，其中，包括一视觉检测系统设置于该测试区。
3.如权利要求1所述的装置，其中，包括一视觉检测系统设置于该分选区。
4.如权利要求1所述的装置，其中，该传送装置包括机械臂。
5.如权利要求1所述的装置，其中，该传送装置包括一承载台于一滑轨上作动。
6.一种点测及分选装置，包括：
一装填区，供载入一待测园片环；
一测试区，具有一点测装置供点测该待测园片环上的芯片；
一园片环置放区，供放置测试后的园片环；
一传送装置，将该待测园片环自该装填区传送到该测试区，以及将测试后的园片环传送到该园片环置放区；
一分选盒置放区，供置放分选盒；以及
一分选装置，自该园片环置放区将芯片从测试后的园片环上分选到该分选盒置放区的分选盒中。
7.如权利要求6所述的装置，其中，包括一视觉检测系统设置于该测试区。
8.如权利要求6所述的装置，其中，包括一视觉检测系统设置于该分选装置。
9.如权利要求6所述的装置，其中，包括一视觉检测系统设置于该园片环置放区。
10.如权利要求6所述的装置，其中，包括一进料装置，可容置复数个园片环，用来将待测园片环自动加载该装填区。
11.如权利要求6所述的装置，其中，该传送装置包括机械臂。
12.如权利要求6所述的装置，其中，该传送装置包括一承载台于一滑轨上作动。
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