CN102052474A - 用于真空阀的封闭单元 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于真空阀的封闭单元，具体而言，该封闭单元包括：用于使真空阀的第一阀孔(2)封闭的第一阀板(7)；用于使真空阀的第二阀孔(3)封闭的第二阀板(8)；承载板(19)，该承载板(19)位于阀板(7，8)之间并且阀板(7，8)以可松开的方式固定在该承载板(19)处；相应的至少一个夹紧件(20，21)，以用于将相应的阀板(7，8)固定在承载板(19)处，由该夹紧件(20，21)使共同作用的夹紧面(22-26)彼此夹紧。在共同作用的夹紧面(22-26)中构造有至少一个斜面，通过该斜面将相应的阀板(7，8)压靠到承载板(19)处。

Description

用于真空阀的封闭单元

技术领域

本发明涉及一种用于真空阀的封闭单元(Verschlusseinheit)，该封闭单元包括用于使真空阀的第一阀孔封闭的第一阀板(Ventilplatte)以及用于使真空阀的第二阀孔封闭的第二阀板。此外，本发明还涉及真空阀，该真空阀包括：阀壳体

该阀壳体带有由第一阀座(Ventilsitz)所围绕的第一阀孔和由第二阀座所围绕的第二阀孔；以及封闭单元，该封闭单元具有用于使第一阀孔封闭的第一阀板以及用于使第二阀孔封闭的第二阀板。此外，本发明还涉及用于固定在用于真空阀的封闭单元的承载板

处的阀板。

背景技术

从文件US 6,390,448 B1中和从文件US 6,913,243 B1中已知一种真空阀，该真空阀具有带有第一和第二阀孔的阀壳体，该第一和第二阀孔备选地可借助于第一和第二阀板来封闭。这两个阀板保持在阀杆或安置在阀杆处的端部件(Endstück)处，其中，安置通过铰接螺栓(Schwenkbolzen)来实现，以使得可调节相应的阀板对于阀杆的角度位置(Winkelstellung)。在真空阀的打开的状态中，阀杆退回并且使两个阀孔开启。为了关闭真空阀，两个阀板首先从打开位置起行进到中间位置中，在该中间位置中这两个阀板位于两个阀孔之间，其中，这两个阀板从阀孔上升起(abheben)。从该中间位置起，可通过使阀杆绕垂直于阀杆的摆动轴线摆动，或者借助于第一阀板使第一阀孔封闭，或者借助于第二阀板使第二阀孔封闭。例如，在第一阀孔的关闭的状态中，可执行第二阀板的保养(Service)，例如用于更换密封件，并且反之亦然。

此外，从文件US 6,095,741中已知带有第一和第二阀孔的真空阀，该第一和第二阀孔可通过第一和第二阀板来封闭，其中，任一阀板都与单独的阀杆相连接。

从文件WO 2009/070824 A1中得知带有第一和第二阀板的真空阀，该第一和第二阀板可以彼此相独立的方式被调节。阀板中的一个由承载单元所承载，该承载单元安置在阀杆处。承载单元装配有多个用于调节阀板的执行器，并且阀板与这些执行器通过引导部(Führung)相连接，该引导部根据燕尾形引导部(Schwalbenschwanzführung)的类型而构造，以使得阀板可从执行器上移除。

从文件US 7,134,642 B2中得知阀板在阀杆处的保持，在其中，阀板可绕阀板的轴线受限制地摆动，以为了使阀板的位置与阀座相匹配。

从文件US 6,471,181 B2中已知阀板在阀杆处的保持，在其中，阀板可绕垂直于阀杆的轴线的轴线倾斜(verkippbar)。

发明内容

本发明的目的是，实现开头所提及类型的封闭单元，在该封闭单元中可以简单的方式来安装和拆卸相应的阀板，并且在该封闭单元中相应的阀板在安装的状态中稳定地固定且足够精确地定位。根据本发明，这通过带有权利要求1的特征的封闭单元来实现。

在本发明的封闭单元中，阀板安装在位于阀板之间的承载板处，并且可从该承载板上取下。至少一个夹紧件(Spannstück)用作将相应的阀板固定在承载板处，由该夹紧件使共同作用的夹紧面

彼此夹紧(verspannen)，在该共同作用的夹紧面中，构造有至少一个斜面

通过该斜面将相应阀板压靠到承载板处。

通过该至少一个斜面，产生在朝向承载板的方向上作用到相应的阀板上的分力(Kraftkomponente)，通过该分力将阀板压靠到承载板处。相应的斜面相对于作用到相应的夹紧件上的夹紧力优选在20°和70°之间的角度下倾斜，该角度例如为45°。

通过将阀板压靠到承载板处，可实现阀板的稳定的固定，而不使阀板晃动。在此，可以仅仅较小公差实现阀板相对于承载板的定位。夹紧件的应用允许了简单的安装和拆卸。

有利地，为了夹紧相应的夹紧件，设置有至少一个与夹紧件共同作用的夹紧螺栓，其中，相应的斜面相对于夹紧螺栓的轴线优选在20°和70°之间的角度下倾斜，该角度例如为45°。

优选为，不仅在相应阀板和承载板的共同作用的夹紧面(这些夹紧面通过至少一个夹紧件而彼此夹紧)中而且在相应阀板和与其相夹紧的至少一个夹紧件的共同作用的夹紧面中分别有至少一个构造成斜面，通过该斜面将相应的阀板压靠到承载板处。尤其优选为，所有由至少一个夹紧件彼此夹紧的夹紧面(也就是说相应阀板和承载板的彼此夹紧的夹紧面以及夹紧件自身和相应阀板的彼此夹紧的夹紧面)构造成斜面，通过该斜面将相应的阀板压靠到承载板处。

在本发明的有利的实施形式中，以阀板的承载用于使相应阀孔封闭的密封件的侧边的视角观看，相应的阀板构造成基本上为矩形，尤其为带有倒圆的拐角、带有相对的较长的侧边和相对的较短的侧边的矩形。利用这种基本上为矩形的阀板，可使基本上为矩形的或槽口状

的阀孔封闭。有利地，至少一个将相应阀板夹紧的夹紧件与阀板的较长的侧边共同作用，其中，优选地，两个或更多个使该阀板夹紧的夹紧件沿着构造成矩形的阀板的较长的侧边而布置成彼此有间隔。

本发明的优选的实施形式设置成，相应的阀板借助于构造在阀板和承载板之间的引导部而可推动到承载板上，其中，该引导部确保阀板不会从承载板上升起。在此，使阀板推动到承载板上，直到阀板和承载板的共同作用的夹紧面互相止动(Anschlagen)。在该状态中，安装至少一个夹紧件，以为了固定阀板。通过该引导部，阀板在夹紧件被安装时已经确保防止脱落并且相对于承载板而预先定位。

为了相对于承载板引导阀板，有利地在这两个部件中的一个中构造有至少一个侧凹(hinterschnitten)的凹槽，这两个部件中的另一个的突出部(Vorsprung)接合到该凹槽中，其中，突出部与侧凹的凹槽的构造成侧凹的侧壁(周面(Flanke))共同作用。这样的引导部可尤其构造成燕尾形引导部的形式。

真空阀(在该真空阀中可应用根据本发明的封闭单元)具有带有第一和第二阀孔的阀壳体，该第一和第二阀孔由第一和第二阀座所围绕，其中，第一阀板可压靠到第一阀座处，以为了使第一阀孔封闭，以及第二阀板可压靠到第二阀座处，以为了使第二阀孔封闭。

例如，根据本发明的真空阀可构造成在用于执行真空处理(Vakuumprozess)的处理装置(Prozessanlage)的输送腔(Transferkammer)和处理腔(Prozesskammer)之间的输送阀(Transferventil)。

根据本发明的另一方面，设置有用于固定在用于真空阀的封闭单元的承载板处的阀板，其中，阀板具有至少一个构造成斜面的形式的夹紧面，借助于该夹紧面，在将阀板与承载板夹紧(该夹紧通过至少一个夹紧件而实现)时，可将阀板压靠到承载板处。优选地，阀板具有第一和第二夹紧面，该第一和第二夹紧面分别构造成斜面的形式，并且其中，第一夹紧面设置成用于与承载板的构造成斜面的形式的夹紧面共同作用，以及其中，第二夹紧面设置成用于与至少一个夹紧件的构造成斜面的形式的夹紧面共同作用。此外，优选，设置有用于构造在阀板和承载板之间的引导部的凹槽或突起部(Fortsatz)，其中，引导部确保阀板不会从承载板上升起，尤其构造成燕尾形引导部的形式。在此，引导部的轨道有利地为成角度的，优选垂直于阀板的相应斜面的纵向伸展

附图说明

在下文中借助于附图来解释本发明的其它的优点和细节。其中：

图1显示了根据本发明的封闭单元的斜视图；

图2显示了图1的封闭单元的分解图；

图3显示了承载板的斜视图；

图4单独地显示了在图1和图2位于后面的阀板的斜视图；

图5显示了沿着图1的线AA的横截面图；

图6显示了沿着图1的线BB的横截面图；

图7在相应于图6的横截面图中显示了在分离状态中的承载板和两个阀板，其中，它们与相连接的状态相比以彼此平行的方式移位；

图8显示了纵向中心截面图(图1的剖切线CC)；

图9显示了带有相应于图1的封闭单元的真空阀的斜视图；

图10显示了穿过在第一关闭位置中的真空阀的截面图；

图11显示了在第二关闭位置中的真空阀的一部分的相应于图10的截面图；以及

图12显示了在打开位置中的真空阀的一部分的相应于图12的截面图。

参考标号列表

1阀壳体

2阀孔

3阀孔

4轴线

5轴线

6封闭单元

7第一阀板

8第二阀板

9密封件

10密封件

11第一阀座

12第二阀座

13阀杆

14执行机构(Stellantrieb)

15执行机构

16执行机构

17轴线

18驱动壳体

19承载板

20夹紧件

21夹紧件

22夹紧面

23第一夹紧面

24第二夹紧面

25夹紧面

26夹紧面

27夹紧螺栓

28角度

29轴线

30中心面

31角度

32角度

33凹槽

34突出部

35容纳孔

36连接螺栓

37螺纹孔

38螺纹孔

39螺纹孔

40螺纹孔

41密封件

具体实施方式

在图1至8中示出了根据本发明的封闭单元的实施例。图9至12显示了真空阀的实施例(部分图解示出)，在该真空阀中装有这种封闭单元。该真空阀具有带有第一和第二阀孔2，3的阀壳体1，该第一和第二阀孔2，3布置在阀壳体1的相对的壁部中。阀孔2，3在所显示的实施例中对齐，也就是说在阀孔2，3的轴线4，5的方向上的视图中观察彼此重叠，其中，优选地，阀孔2，3的轴线4，5彼此平行，并且位于共同的直线中。尤其地，阀孔2，3具有相同的尺寸。

在所显示的实施例中，阀孔2，3构造成槽口状，其中，该阀孔2，3具有基本上为矩形的截面形式，其中，较长的侧边比较短的侧边明显更大。带有这样的阀孔的真空阀例如应用为半导体处理装置(Halbleiter-Prozessanlage)中的输送阀。在此，真空阀例如布置在输送模块(Transfermodul)(即，输送腔)和处理模块(Prozessmodul)(即，处理腔)之间，其中，待加工的工件、尤其为晶片(其可在处理模块中被加工)从输送模块通过真空阀而引导到处理模块中。例如，这样的真空阀还可布置在加载锁止模块(Load-Lock-Modul)和输送模块之间，其中，工件从大气区域通过加载锁止模块而引入到输送模块中。

布置在阀壳体1中的封闭单元6用作关闭真空阀的第一阀孔2或者第二阀孔3，该封闭单元6包括第一和第二阀板7，8，该第一和第二阀板7，8分别具有密封件9，10。在第一关闭状态(在该第一关闭状态中，第一阀孔2关闭而第二阀孔3打开(参见图10))中，第一阀板7的密封件9压靠到围绕第一阀孔2的第一阀座11处。与此相反，第二阀板8的密封件10从围绕第二阀孔3的第二阀座12上升起。

在第二关闭状态(在该第二关闭状态中，第二阀孔3关闭而第一阀孔2打开(参见图11))中，第二阀板8的密封件10压靠到第二阀座12处，同时第一阀板7的密封件9从第一阀座11上升起。

在完全打开的状态中(参见图12)，第一和第二阀孔2，3打开，其中，在阀孔2，3的轴线4，5的方向上观察，封闭单元6与阀孔2，3不重叠。

为了使封闭单元6在真空阀的这些状态之间运动，将封闭单元6安置在阀杆13处。利用相应的执行机构14，15，16来实现阀杆13的运动。

将封闭单元6从真空阀的打开位置(图12)调节到真空阀的关闭状态中的一个(图10或图11)中通过这样的中间位置来实现，即，在该中间位置中，封闭单元6在阀孔2，3的轴线4，5的方向上观看覆盖(überdecken)了阀孔2，3，但是从阀座11，12上升起。因此在该中间位置中，封闭单元6处于在在图10和11中示出的位置之间。

为了在中间位置和压靠在阀座11，12中的一个处的位置之间调节封闭单元6，在所显示的实施例中，使阀杆13绕垂直于阀杆13的轴线17摆动。作为用于使阀杆13绕轴线17摆动的执行机构14，15，示意性示出活塞缸体单元(Kolben-Zylinder-Einheit)。为了使阀杆13在其中间位置和在图12中示出的打开位置之间被调节，作为执行机构16同样示意性示出活塞缸体单元。该活塞缸体单元的缸体以相对于阀壳体1或与该阀壳体1刚性连接的驱动壳体18可绕轴线17摆动的方式而支承。执行机构14，15与执行机构16的缸体共同作用，以为了使该缸体绕轴线17摆动。

这样的真空阀(在该真空阀中，通过摆动阀杆来实现将封闭单元6压靠在一个阀座11，12处或备选地压靠到两个相对的阀座11，12中的一个处，封闭单元安置到该阀杆处)例如从在说明书引言中提及的现有技术中是已知的。

例如，还可行的是，例如通过对于执行机构16的缸体的线性引导(Linearführung)，将阀杆13构造成可在阀孔2，3的轴线4，5的方向上线性移位，以为了使封闭单元6从中间位置开始通过线性运动压靠到阀座11，12中的一个处。

作为以活塞缸体单元的形式的其它的执行机构14，15，16也是可行的。

在下文中借助于图1至8详细地解释封闭单元6的构造。两个阀板7，8以可松开的方式固定在承载板19处，其中，承载板19位于这两个阀板7，8之间。相应阀板7，8以侧面(该侧面由阀板7，8的大面形成)贴靠在承载板19的侧面(该侧面由承载板19的大面中的相应一个形成)处。在形成阀板的另一大面的侧面(该侧面与贴靠在承载板19处的侧面相对)处布置有相应阀板7，8的密封件9，10。

因此，阀板7，8中的一个分别贴靠在承载板19的两个侧面处，这两个侧面形成承载板19的两个大面，并且这两个侧面以相反的方向指向。

例如，环状的弹性密封件9，10以O形环(O-Ring)的形式而构造，该密封件9，10插入阀板7，8的凹槽中。例如，构造成硫化(anvulkanisieren)的环状的密封件的形式也是可行的。

夹紧件20用作将第一阀板7固定在承载板19处，夹紧件21用作将第二阀板8固定在承载板19处。夹紧件20，21具有夹紧面22，其中，夹紧件20的夹紧面22与第一阀板7的第一夹紧面共同作用，而夹紧件21的夹紧面22与第二阀板8的第一夹紧面23共同作用。

此外，第一和第二阀板7，8分别还具有第二夹紧面24，该第二夹紧面24与承载板19的相应的夹紧面25，26共同作用。

借助于夹紧件20，21，夹紧件和相应的阀板7，8的共同作用的夹紧面22，23以及相应的阀板7，8和承载板19的共同作用的夹紧面24，25，26彼此夹紧。夹紧螺栓27用于实现该目的，借助于该夹紧螺栓27将夹紧件20，21与承载板19旋紧。在所显示的实施例中，夹紧螺栓27穿过夹紧件20，21中的孔，并且旋入承载板19的螺纹孔37中。

夹紧面22-26构造成共同作用的斜面。在此，“斜面”表示，夹紧面22-26或其表面法线

倾斜于夹紧力F(该夹紧力F以符号的形式示出在图6中)，利用该夹紧力F将夹紧件20，21朝向阀板7，8夹紧。例如，在相应的夹紧面22-26和夹紧力F之间的角度28处于30°和60°之间的范围中，优选为约45°。夹紧面22-26的倾斜的布置使得通过共同作用的夹紧面22-26分别产生在朝向承载板19的方向上作用到相应的阀板7，8上的分力Fk。垂直于共同作用的斜面的、由斜面所传递的法向力Fn以及该法向力Fn分解成在朝向承载板19的方向中指向的分力Fk以及平行于承载板19而起作用的分力同样示出在图6中。

夹紧力F平行于相应的夹紧螺栓27的轴线29。

有利地，来自相同侧边的多个夹紧件20，21作用到阀板7，8中的任一个上，其中，夹紧螺栓27的轴线29彼此平行。

在所显示的实施例中，阀板7，8在其大侧边的视图上观看具有基本上为矩形的形状(带有倒圆角的拐角的矩形)。夹紧件20，21作用到相应阀板7，8的较长的侧边上，其中，该夹紧件20，21沿着该较长的侧边彼此间隔开。在此，优选地，容纳夹紧螺栓27的螺纹孔37端侧地布置在承载板的窄侧中的一个处，其中，容纳用于为第一阀板7所用的夹紧件20的夹紧螺栓27的螺纹孔37以及容纳用于为第二阀板8所用的夹紧件21的夹紧螺栓27的螺纹孔37旋入到承载板19的相同的窄侧中。

在穿过每个阀板7，8的平行于夹紧力F的截面中，夹紧面23，24在所显示的实施例中布置在相应阀板7，8的指向承载板19的突出部的侧向周面(Seitenflanke)处。在此，在该夹紧面23，24上的表面法线背离承载板19的中央的中心面30(参见图7)指向，其中，该表面法线与中心面30包夹不等于90°的角度31，优选地，该角度31位于20°和70°之间的范围中，例如为约45°。随着与承载板19的中心面30的间距的增大，夹紧面23，24彼此相接近。总体而言，具有夹紧面23，24的突出部具有如燕尾形连接部(Schwalbenschwanzverbindung)的形状。

在承载板19的夹紧面25，26上的表面法线指向中央的中心面30，其中，该表面法线与中央的中心面30包夹不等于90°的角度32，优选地，该角度32位于20°和70°之间的范围中，例如为约45°。

在安装位置中，在夹紧件20，21的夹紧面22上的表面法线指向承载板19的中央的中心面30，并且与中央的中心面30包夹不等于90°的角度优选地，该该角度位于20°和70°之间的范围中，例如为约45°。

承载板19的中心面30位于承载板19的两个侧面之间的中间，第一和第二阀板7，8贴靠在这两个侧面处。在承载板19安装到阀杆13处的状态中，中心面30优选平行于阀杆13。

此外，阀板2，3通过引导部与承载板19相连接，通过该引导部使阀板2，3可推动到承载板19上。通过该引导部，还确保阀板7，8不会在这样的方向中相对于承载板19移位，即，该方向垂直于夹紧力F的方向并且平行于中心面30。

还可以另外的方式实现这种确保相应的阀板7，8不会在该方向中相对于承载板19移位，例如通过在承载板19和阀板7，8中的形状配合地彼此共同作用的突出部和凹部(Vertiefung)。

然而，只要在将相应的阀板7，8安装在承载板19处时夹紧件20，21还没有被安装(通过该夹紧件20，21确保相应的阀板7，8不会从承载板19上升起)，则构造在相应的阀板7，8和承载板19之间的引导部还用作将相应的阀板7，8保持在承载板19处。

为了构造这样的引导部(该引导部构造成滑动引导部(Gleitführung))，相应阀板7，8在其指向承载板19的侧面处具有侧凹的凹槽33，布置在承载板19处的突出部34接合到该凹槽33中，该突出部34与凹槽33的侧凹的侧壁或周面共同作用，以使得防止相应的阀板7，8从承载板19上升起。如尤其从图8中可看见的那样，突出部34具有侧凹的侧壁或周面，该侧壁或周面与凹槽33的侧凹的侧壁共同作用。凹槽33的侧凹的侧壁和突出部34的侧凹的侧壁形成在相应的阀板7，8和承载板19之间的引导部的引导面。有利地，如从附图中可看见的那样，该引导部构造成燕尾形引导部的形式。其它形式的带有侧凹的侧壁的侧凹的凹槽33或突出部34同样是可设想的且可行的。侧凹的凹槽还可构造在承载板19处，而突出部34构造在阀板7，8处。

这样的方向(即，在该方向中，相应的阀板7，8通过构造成线性引导部的引导部而相对于承载板19被引导)在所显示的实施例中平行于夹紧力F，如所优选的那样。

可使相应的阀板7，8通过构造在相应阀板7，8和承载板19之间的引导部推动到承载板上，直到相应的阀板7，8和承载板19的共同作用的夹紧面24，25，26互相止动时。通过该止动限制了推动。

当阀板7，8从上方推动到承载板19上时，则因此确保阀板7，8不会脱落。此外，在紧固(anziehen)夹紧件20，21前，使阀板7，8相对于承载板19预先定位。

从图3中可看见面向第一阀板7的侧面，在该侧面处布置有突出部34和夹紧面25。原则上以同样方式构造相对的侧面，仅是在该处突出部34伸展直到上边缘(该突出部34还可在两个侧边上伸展直到上边缘或在两个侧边上以与上边缘有间隔的方式而结束)。

从图1和2中可看见第一阀板7的远离承载板19的侧面，在该侧面处布置有密封件9。以同样方式构造第二阀板8的远离承载板19的表面，在该表面处布置有密封件10。

从图4中可看见第二阀板8的面向承载板19的侧面，在该侧面处布置有侧凹的凹槽33以及第一和第二夹紧面23，24。以同样方式构造第一阀板11的面向承载板19的侧面。

为了尽管在关闭阀孔2，3中的一个时使阀杆绕轴线17倾斜但仍在封闭单元6压靠到相应阀座11，12处的状态中获得密封件的在相应密封件9，10的周缘上均匀的压挤(Verpressung)，使阀板7，8的两个远离承载板19的侧面为彼此成角度。所包夹的角度在本实施例中为1.6°，根据应用情况该角度同样可更大或更小，在此，例如在1°和3°之间的范围中。

该有角度的状况在本实施例中通过第二阀板8的楔形的

构造而实现。还可将两个阀板7，8构造成楔形和/或承载板19构造成楔形(分别基于横截面)。

例如，代替阀板7，8的两个远离承载板19的侧面的这样的成角度的布置，还可行的是，承载板19以可相对于阀杆13倾斜的方式而支承。这样的可倾斜的支承例如从在说明书引言中提及的根据文件US6,471,181 B2的现有技术中为已知的。例如，承载板相对于阀杆的可倾斜的支承还可通过由金属制成的有足够弹性的连接元件来实现，通过该连接元件承载板与阀杆相连接。此外，当代替使阀杆绕轴线17倾斜而执行阀杆13的线性移位(以为了将封闭单元6从中间位置起压靠到两个阀座11，12中的一个处)时，则成角度的布置也不是必要的。

例如，如所示出的那样，如此地实现承载板19与阀杆13的连接，即，使得阀杆13的端部插入到承载板19的容纳孔35中，并且从承载板19的相对的侧边使连接螺栓36伸出穿过在承载板19中的孔口并且旋入端侧地引入在阀杆13的端部处的螺纹中。连接螺栓36和阀杆13的轴线平行于承载板19的中心面30。在此，在承载板19和阀杆13相连接的状态中可构造承载板19绕着阀杆13的轴线的受限制的可摆动性，以为了使得封闭单元6相对于阀座11，12的位置的匹配成为可能。这样的构造在阀杆与阀板相连接的情况中例如从开头所提及的根据文件US 7,134,642 B2的现有技术中是已知的。

优选地，阀板7，8分别在其窄侧(该窄侧在真空阀的使用位置中位于上方，也就是远离阀杆13的窄侧)处具有至少一个螺纹孔38，39，在安装和拆卸时工具可旋入到该螺纹孔38，39中，以为了安装或拆卸阀板7，8。这样的利用工具的操作例如从在说明书引言中所提及的根据文件US 7,134,642 B2的现有技术中是已知的。优选地，承载板19同样在其在安装位置中位于上方的窄侧处具有这样的螺纹孔40，以使得该承载板19在其安装在阀杆13处或从阀杆13上拆卸时可通过旋入工具而被承载。

在处理腔的侧边上，阀壳体在所显示的实施例中具有可取出的插入件(Einsatz)，该插入件在面向阀板的侧边上具有密封件41，该密封件41位于密封件9和阀孔2之间并且应保护密封件9免于受到进入到处理腔中的气体的侵蚀。阀板7和具有密封件41的插入件可设有起保护作用免受处理气体(Prozessgas)影响的涂层。

当两个相应地共同作用的夹紧面22-26中的仅一个构造成斜面时，还可构造在朝向承载板19的方向上指向的分力Fk，其中，优选将两个分别共同作用的夹紧面构造成斜面。当仅仅从相应的夹紧件20，21和相应的阀板7，8的共同作用的夹紧面中使至少一个、优选两个构造成斜面时，或者当仅仅从在相应阀板7，8和承载板19之间的共同作用的夹紧面中使至少一个、优选两个构造成斜面时，还可实现将相应的阀板7，8压靠到承载板19处。然而，优选的是，不仅在相应夹紧件20，21和相应阀板7，8之间有至少一个斜面、优选两个共同作用的斜面起作用，而且在相应阀板7，8和承载板19之间有至少一个斜面、优选两个共同作用的斜面起作用。

当紧固夹紧件20或21时，根据在相应阀板7，8和承载板19之间的引导部的间隙而定，引导面不发生接合。

承载板19的夹紧面25，26还可布置在突出部34的在附图中位于上方的边缘处(也为突出部34的这样的边缘，即，该边缘在与推动相应的阀板7，8相反的方向上指向)。那么，相应阀板7，8的与该夹紧面25，26共同作用的第二夹紧面24布置在凹槽33的在图4中向上限制凹槽33的边缘处。为了使夹紧面22和25或26以及夹紧面23和24在夹紧力F的方向中有利地间隔开，相比于针对承载板19的在图3中位于前面的侧边，突出部34适宜地向上伸展稍低的程度。

在此，另一方面还可将突出部34布置在相应阀板8处，以及将凹槽33布置在承载板19处。

用于相应的阀板8相对于承载板19的相应引导部还可包括两个凹槽33，这两个凹槽33与两个突出部34共同作用，其中，两个凹槽33或两个突出部34可布置在承载板19或阀板7，8的中央区域(阀杆接合在该区域处)的两侧上且与该中央区域有间隔。为了防止阀板7，8从承载板19上升起，突出部和凹槽又具有侧凹的侧壁。为了有助于引入(Einführen)，凹槽可在引入侧扩张(在相应凹槽的视图中成V形)和/或突出部在引入侧构造成锥形(在相应突出部的视图中成V形)。如上文所描述的那样，共同作用的夹紧面又可构造在凹槽和突出部的边缘处，该边缘限制了阀板7，8推动到承载板19上。同样，夹紧件21的共同作用的夹紧面22和阀板7，8的第一夹紧面23可分别布置成与相应阀板7，8或承载板19的中央区域有间隔。由此，在承载板19和相应阀板7，8之间的连接仅在两个区域中实现，这两个区域与带有阀杆13的连接区域在两侧上间隔开。在此，承载板19在这样的区段(该区段在带有相应阀板7，8的相应连接区域和带有阀杆13的连接区域之间延伸)中构造成削弱的

并且在此在该区段上与相应的阀板7，8具有间距。因此，构造了用于承载板19的可扭转性(Verwindbarkeit)的可行性，由此，使得阀板7，8绕垂直于阀杆13的轴线的一定的倾斜(旋转)成为可能。这样的可倾斜的支承可代替同样可行的已经提及的根据文件US 6,471,181 B2的类型的可倾斜的支承。

在文字的意义上，将承载阀板的部件的不同的构造理解为承载板(可将阀板以所描述的方式安置在该承载板处)，该部件具有至少构造成板状的区段，在安装的状态中将阀板压靠在这些区段处。在这些区段之间还可有承载板的杆状的区段，例如，如所描述的那样，该杆状的区段根据扭杆(Torsionsstab)的类型而构造。

假如仅在两个区域(这两个区域与带有阀杆13的承载板19的连接区域间隔开并且位于该连接区域的相对的侧边上)中实现阀板7，8与承载板19的夹紧，则还可仅设有单独的用于阀板7，8中任一个的、确保阀板不会从承载板上升起的引导部，其中，该引导部布置成与带有阀杆13的承载板19的连接区域有间距。由此，可避免由于不同的热膨胀所导致的夹紧。

Claims (18)

1.一种用于真空阀的封闭单元，该封闭单元包括用于使所述真空阀的第一阀孔(2)封闭的第一阀板(7)和用于使所述真空阀的第二阀孔(3)封闭的第二阀板(8)，其特征在于，所述封闭单元(6)包括承载板(19)，所述承载板(19)位于所述阀板(7，8)之间并且所述阀板(7，8)以可松开的方式固定在所述承载板(19)处，并且为了将相应的阀板(7，8)固定在所述承载板(19)处所述封闭单元(6)具有相应的至少一个夹紧件(20，21)，借助于所述夹紧件(20，21)将共同作用的夹紧面(22-26)彼此夹紧，在所述夹紧面(22-26)中至少一个构造成斜面，通过所述斜面将所述相应的阀板(7，8)压靠到所述承载板(19)处。

2.根据权利要求1所述的封闭单元，其特征在于，借助于至少一个夹紧件(20，21)使所述阀板(7，8)和所述承载板(19)的共同作用的夹紧面(24，25，26)彼此夹紧，并且使所述阀板(7，8)和所述夹紧件(20，21)的共同作用的夹紧面(23，22)彼此夹紧。

3.根据权利要求1或2所述的封闭单元，其特征在于，所有的彼此夹紧的夹紧面(22-26)构造成斜面，通过所述斜面将所述相应的阀板(7，8)压靠到所述承载板(19)处。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的封闭单元，其特征在于，为了夹紧相应的夹紧件(20，21)，设置有至少一个与所述夹紧件(20，21)共同作用的夹紧螺栓(27)。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的封闭单元，其特征在于，相应的阀板(7，8)借助于两个或更多个夹紧件(20，21)与所述承载板(19)夹紧。

6.根据权利要求5所述的封闭单元，其特征在于，将相应的阀板(7，8)与所述承载板(19)夹紧的夹紧件(20，21)沿着构造成基本上为矩形的阀板(7，8)的较长的侧边而布置成彼此有间隔。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的封闭单元，其特征在于，为了构造在朝向所述承载板(19)的方向上作用到所述相应的阀板(7，8)上的分力(Fk)，布置在所述承载板(19)处的构造成斜面的夹紧面(25，26)的表面法线指向所述承载板(19)的中央的中心面(30)，所述夹紧面(25，26)与布置在所述阀板(7，8)中的一个处的夹紧面(24)共同作用。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的封闭单元，其特征在于，为了构造在朝向所述承载板(19)的方向中作用到所述相应的阀板(7，8)上的分力，布置在所述相应的夹紧件(20，21)处的构造成斜面的夹紧面(22)的表面法线指向所述承载板(19)的中央的中心面(30)，所述夹紧面(22)与布置在所述阀板(7，8)中的一个处的夹紧面(23)共同作用。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的封闭单元，其特征在于，相应的阀板(7，8)通过构造在所述阀板(7，8)和所述承载板(19)之间的引导部而可推动到所述承载板(19)上，其中，所述引导部确保所述阀板(7，8)不会从所述承载板(19)上升起。

10.根据权利要求9所述的封闭单元，其特征在于，为了相对于所述承载板(19)引导所述相应的阀板(7，8)，在所述阀板(7，8)中或在所述承载板(19)中构造有侧凹的凹槽，布置在这两个部件中的另一个处的突出部(34)接合到所述凹槽中，其中，所述突出部与所述侧凹的凹槽(33)的构造成侧凹的侧壁共同作用。

11.根据权利要求9或10所述的封闭单元，其特征在于，可使所述相应的阀板(7，8)推动到所述承载板(19)上，直到所述阀板(7，8)和所述承载板(19)的共同作用的夹紧面(24，25，26)互相止动。

12.根据权利要求9至11中任一项所述的封闭单元，其特征在于，由在所述相应的阀板(7，8)和所述承载板(19)之间的引导部所预设的轨道平行于作用到所述相应的夹紧件(20，21)上的夹紧力(F)而取向。

13.一种真空阀，该真空阀包括：阀壳体(1)，该阀壳体(1)带有由第一阀座(11)所围绕的第一阀孔(2)和由第二阀座(12)所围绕的第二阀孔(3)；和封闭单元(6)，所述封闭单元(6)具有用于使所述第一阀孔(2)封闭的第一阀板(7)以及用于使所述第二阀孔(3)封闭的第二阀板(8)，其特征在于，所述封闭单元(6)根据权利要求1至12中任一项构造。

14.根据权利要求13所述的真空阀，其特征在于，所述封闭单元(6)安置在阀杆(13)处，可由所述阀杆(13)在打开位置、中间位置、第一关闭位置以及第二关闭位置之间来调节所述封闭单元(6)，所述打开位置开启所述第一和第二阀孔(2，3)，所述中间位置在所述第一和第二阀孔(2，3)的轴线(4，5)的方向上观看覆盖了所述第一和第二阀孔(2，3)但是从所述第一和第二阀座(11，12)上升起，在所述第一关闭位置中所述第一阀板(7)压靠到所述第一阀座(11)处而所述第二阀板(8)从所述第二阀座(12)上升起，在所述第二关闭位置中所述第二阀板(8)压靠到所述第二阀座(12)处而所述第一阀板(7)从所述第一阀座(11)上升起。

15.一种用于固定在用于真空阀的封闭单元(6)的承载板(19)处的阀板，其特征在于，所述阀板(7，8)具有至少一个构造成斜面的形式的夹紧面(23，24)，通过所述夹紧面(23，24)可通过借助于至少一个夹紧件(20，21)将所述阀板(7，8)与所述承载板(19)夹紧而将所述阀板(7，8)压靠到所述承载板(19)处。

16.根据权利要求15所述的阀板，其特征在于，所述阀板(7，8)附加地具有引导面，以用于构造用于使所述阀板(7，8)推动到所述承载板(19)上的引导部以及用于确保所述阀板(7，8)不会从所述承载板(19)上升起。

17.根据权利要求16所述的阀板，其特征在于，所述引导面由所述阀板(7，8)的凹槽(33)或突出部的构造成侧凹的侧壁形成，所述凹槽(33)或所述突出部布置在所述阀板(7，8)的面向所述承载板(19)的侧边上。

18.根据权利要求16或17所述的阀板，其特征在于，所述至少一个构造成斜面的形式的夹紧面(23，24)形成用于限制所述阀板(7，8)滑动到所述承载板(19)上的止动部。

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