CN102054729A - 五管式硅片输送装置 - Google Patents
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 40
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 39
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 39
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 210000001699 lower leg Anatomy 0.000 claims description 14
- 238000005524 ceramic coating Methods 0.000 claims description 5
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 abstract description 30
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 5
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 abstract 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 240000007594 Oryza sativa Species 0.000 description 1
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 1
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
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Abstract
本发明为无网带硅电池片烧结炉提供一种五管式硅片输送装置，包括两根固定托架和三根移动托架，固定托架和移动托架的结构相同，它们都包括石英玻璃管、金属套、托脚和限位螺钉，托脚固定在金属套上，在金属套上设有螺纹孔，金属套通过限位螺钉等间距地固定在石英玻璃管上。由于固定托架安装在两固定架上；移动托架安装在两滑板上；滑动板在往复升降机构和往复平移构的作用下，依次完成上升、前移、下降、后退动作，使固定托架上的硅片在移动托架的作用下逐步经过隧道式烧结箱，顺利完成烧结，硅片只与托脚接触，从而提高硅片的烧结质量。
Description
技术领域：
本发明涉及一种无网带硅电池片烧结炉，尤其涉及无网带硅电池片烧结炉中硅片传输装置。
背景技术：
目前，国内外的太阳能电池生产制造厂家主要使用欧美企业所生产的烧结炉，这类烧结炉结构都是网带式隧道烧结炉，在烧结炉的纵向上依次设有预热排胶区、升温区、烧结区和降温区，在不同区域布置不同密度的加热灯管，以此来控制各区域的温度，印刷电极的硅片通过网带传输，依次经过烧结炉的不同炉温区，完成预热排胶、升温、烧结和降温的电极烧结过程，虽然这种网带式隧道烧结技术比较成熟，但整个烧结炉的纵向占地面积大，需要设计很长的炉体才能保证硅片在隧道传输过程中的预热排胶、升温、烧结、降温过程，由于高温烧结区的工艺温度需要在850-950℃之间，因此需要设计2-3米的隧道长度才能达到如此高的温度，这使得网带式烧结炉的体积庞大。若缩小则无法满足烧结工艺要求。另外，耐高温网带在运转的过程中，需要绕炉体内外循环运转，网带部分伴随硅片接受升温和降温的过程，因此，在运转过程中，网带会从炉内携带出大量的热量，而这部分热量将全部作为损耗，不仅造成了大量能量的浪费，而且也升高了工作环境温度，为此，申请人研制了一种无网带硅电池片烧结炉，它能很好地克服现有网带式隧道烧结炉存在的不足，这种设备占地面积小，热效率高，耗电量少，节能效果显著。
所述无网带硅电池片烧结炉，包括进料台1、隧道式烧结箱2、出料台3、硅片输送机构4和炉体架5，如图1所示，进料台1包括固定底板11、固定架12、导向杆13、导向套14、活动板15、滑轨16和滑动板17，活动板15与固定底板11之间通过导向杆13与导向套14的套装配合结构相连接，滑轨16固定在活动板15上，滑动板17套装在滑轨16上；出料台3包括固定底板31、固定架32、导向杆33、导向套34、活动板35、滑轨36和滑动板37，活动板35与固定底板31之间通过导向杆33与导向套34的套装配合结构相连接，滑轨36固定在活动板35上，滑动板37套装在滑轨36上；在隧道式烧结箱2的纵向依次设有预热排胶区、升温区、烧结区和降温区四个区域，在各个温区之间均设有隔热板，在预热排胶区、升温区和烧结区内设有加热灯管；硅片输送机构4设置在进料台1和出料台3之间，它包括固定托架41和移动托架42，固定托架41的两端分别固定在进料台1和出料台3中的固定架12和32上，移动托架42的两端分别固定在进料台1和出料台3中的滑动板17、37上，且固定托架41位于两相邻移动托架42之间；在固定底板11和活动板15之间设有往复升降机构6，在固定底板11与滑动板17之间设有往复平移机构7，固定底板11安装在炉体架5上，如图2所示，往复升降机构6和往复平移机构7带动移动托架42周期性地完成上升、前移、下降和后退动作，从而将放置在固定托架上的硅片逐步向前搬移。
发明内容：
本发明的目的是为无网带硅电池片烧结炉提供一种五管式硅片输送装置。
本发明所采用的技术方案是：
所述五管式硅片输送装置，其特征是：它包括两根固定托架和三根移动托架，二根固定托架的两端分别安装在固定架上，三根移动托架的两端分别安装在滑动板上，且固定托架间隔地位于移动托架之间，固定托架和移动托架的结构相同，它们都包括石英玻璃管、金属套、托脚和限位螺钉，托脚固定在金属套上，在金属套上设有螺纹孔，金属套通过限位螺钉等间距地固定在石英玻璃管上。
进一步，在石英玻璃管上沿轴向方向等距离地开有限位孔；在金属套上还设有开口。
进一步，所述托脚由钢丝制成，在钢丝表面涂有陶瓷涂层。
进一步，两根固定托架的两端通过耳座、固定架分别安装在固定底板上，在固定托架中，两只托脚对称地固定在金属套上，且托脚的外伸脚段高于安装在金属套上的限位螺钉的外露端，两只托脚的外伸脚段之间的距离为硅片宽度的0.70～0.90。
进一步，三根移动托架的两端通过耳座分别安装在滑动板上，所述移动托架分为双脚托架、左脚托架和右脚托架，在双脚托架中，两只托脚对称地固定在金属套上；在左脚托架中，一只托脚固定在金属套的右侧上；在右脚托架中，一只托脚固定在金属套的左侧上；双脚托架、左脚托架和右脚托架上的所有托脚均处于同一平面上，且左脚托架与双脚托架上相邻托脚的外伸端之间的距离为硅片宽度的0.70～0.90；右脚托架与双脚托架上相邻托脚的外伸端之间的距离为硅片宽度的0.70～0.90。
由于固定托架的两端分别固定在进料台和出料台中的固定架上；移动托架的两端分别固定在进料台和出料台中的滑动台上；固定架固定在固定底板上，滑动板在往复升降机构和往复平移构的作用下，依次完成上升、前移、下降、后退动作，使得放置在固定托架上相邻两只金属套上的硅片在移动托架的作用下依次经过隧道式烧结箱中的预热排胶区、升温区、烧结区和降温区，顺利完成烧结，在这种硅片输送装置中，硅片只与托脚接触，且接触形式为点接触或线接触，从而降低硅片在烧结过程中由于金属接触而引入硅片的金属离子玷污。
附图说明：
图1为无网带硅电池片烧结炉的结构示意图；
图2为进料台和出料台的结构示意图；
图3、图4为本发明的结构示意图；
图4为图3中俯视图，图3为图4中C-C剖视图；
图5为固定托架的结构示意图；
图6-1为双脚移动托架的结构示意图；，
图6-2左脚移动托架的结构示意图；
图6-3右脚移动托架的结构示意图；
图7为托脚、金属套的结构示意图；
图中：1-进料台；2-隧道式烧结箱；3-出料台；4-硅片输送机构；5-炉体架；6-往复升降机构；7-往复平移机构；11、31-固定底板；12、32-固定架；13、33-导向杆；14、34-导向套；15、35-活动台；16、36-滑轨；17、37-滑动板；41-固定托架；411-石英玻璃管；412-金属套；413-托脚；414-限位螺钉；415-限位孔；416-螺纹孔；417-开口；418-陶瓷涂层；42-移动托架；43-耳座。
具体实施方式：
下面结合说明书附图说明本发明的具体实施方式：
所述五管式硅片输送装置，如图2～图7所示，它由固定架12、固定架32、两根固定托架41、滑动板17、滑动板37、三根移动托架42和耳座43组成，所述固定托架41由石英玻璃管411、金属套412、托脚413和限位螺钉414组成，在石英玻璃管411上，沿轴向方向等距离地开有限位孔415，在金属套412上设有螺纹孔416和开口417，金属套412通过限位螺钉414等间距地固定在石英玻璃管411上；托脚413由钢丝制成，在钢丝表面涂有陶瓷涂层418，托脚413的内端固定在金属套412上，托脚413的外伸脚段高于安装在金属套412上的限位螺钉414的外露端，两只托脚413的外伸脚段之间的距离为硅片宽度的0.70～0.90；所述移动托架42分为双脚托架、左脚托架和右脚托架，它们都有石英玻璃管411、金属套412、托脚413和限位螺钉414组成，在石英玻璃管411上，沿轴向方向等距离地开有限位孔415，在金属套412上设有螺纹孔416和开口417，托脚413固定在金属套412上，金属套412通过限位螺钉414等间距地固定在石英玻璃管411上，所述托脚413由钢丝制成，在钢丝表面涂有陶瓷涂层418，在双脚托架中，两只托脚413对称地固定在金属套412上；在左脚托架中，一只托脚413固定在金属套412的右侧上；在右脚托架中，一只托脚413固定在金属套412的左侧上；双脚托架、左脚托架和右脚托架上的所有托脚413均处于同一平面上，且左脚托架与双脚托架上相邻托脚413的外伸端之间的距离为硅片宽度的0.70～0.90；右脚托架与双脚托架上相邻托脚413的外伸端之间的距离为硅片宽度的0.70～0.90；双脚托架、左脚托架和右脚托架的两端分别通过耳座43固定在滑动板17和37上，固定托架41的两端通过耳座43分别固定在固定架12、32上；固定托架41间隔地位于移动托架42之间。
Claims (5)
1.一种五管式硅片输送装置，其特征是：它包括两根固定托架(41)和三根移动托架(42)，二根固定托架(41)的两端分别安装在固定架(12、32)上，三根移动托架(42)的两端分别安装在滑动板(17、37)上，且固定托架(41)间隔地位于移动托架(42)之间，固定托架(41)和移动托架(42)的结构相同，它们都包括石英玻璃管(411)、金属套(412)、托脚(413)和限位螺钉(414)，托脚(413)固定在金属套(412)上，在金属套(412)上设有螺纹孔(416)，金属套(412)通过限位螺钉(414)等间距地固定在石英玻璃管(411)上。
2.根据权利要求1所述的五管式硅片输送装置，其特征是：在石英玻璃管(411)上沿轴向方向等距离地开有限位孔(415)；在金属套(412)上还设有开口(417)。
3.根据权利要求1所述的五管式硅片输送装置，其特征是：所述托脚(413)由钢丝制成，在钢丝表面涂有陶瓷涂层(418)。
4.根据权利要求1所述的五管式硅片输送装置，其特征是：两根固定托架(41)的两端通过耳座(43)和固定架(12、32)分别安装在固定底板(11、31)上，在固定托架(41)中，两只托脚(413)对称地固定在金属套(412)上，且托脚(413)的外伸脚段高于安装在金属套(412)上的限位螺钉(414)的外露端，两只托脚(413)的外伸脚段之间的距离为硅片宽度的0.70～0.90。
5.根据权利要求1所述的五管式硅片输送装置，其特征是：三根移动托架(42)的两端通过耳座(43)分别安装在滑动板(17、37)上，所述移动托架(42)分为双脚托架、左脚托架和右脚托架，在双脚托架中，两只托脚(413)对称地固定在金属套(412)上；在左脚托架中，一只托脚(413)固定在金属套(412)的右侧上；在右脚托架中，一只托脚(413)固定在金属套(412)的左侧上；双脚托架、左脚托架和右脚托架上的所有托脚(413)均处于同一平面上，且左脚托架与双脚托架上相邻托脚(413)的外伸端之间的距离为硅片宽度的0.70～0.90；右脚托架与双脚托架上相邻托脚(413)的外伸端之间的距离为硅片宽度的0.70～0.90。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010105236559A CN102054729A (zh) | 2010-10-29 | 2010-10-29 | 五管式硅片输送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010105236559A CN102054729A (zh) | 2010-10-29 | 2010-10-29 | 五管式硅片输送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102054729A true CN102054729A (zh) | 2011-05-11 |
Family
ID=43958918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2010105236559A Pending CN102054729A (zh) | 2010-10-29 | 2010-10-29 | 五管式硅片输送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102054729A (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 2010-10-29 CN CN2010105236559A patent/CN102054729A/zh active Pending
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| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
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