CN102049815B - 断开装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种断开装置，其可在由使用直径稍大于圆形工件的直径的切割环的环构件来保持工件的状态下，直接沿着工件的划线施加垂直的载重，从而断开工件。其设置有：按压机构(22)，其具备具有直线状的按压面且从粘着带侧按压工件的断开杆(36)；以及工件支承机构(23a、23b)，其具备抵抗断开杆的按压力而支承工件的支承构件(46)；断开杆被分割成固定区块部(37)与可变区块部(38a、38b)，且设有使可变区块部的按压面变化为退避状态的按压面调整机构，断开杆在根据作为分割对象的划线长度而调整断开杆的按压面的状态下按压工件。

Description

断开装置

技术领域

本发明涉及一种将半导体晶圆等工件分离成芯片单元的断开装置，更详细而言，本发明涉及一种将固定于切割环的环内的所张设的粘着带上的工件沿着刻设于工件上的划线而分离成芯片单元的断开装置。本发明中，作为加工对象的工件主要是硅等的半导体晶圆，但只要是划线长度会根据工件上的位置变化的形状(例如圆形或椭圆形等)的脆性材料所构成的工件，即使是玻璃基板或陶瓷基板亦可适用。

背景技术

在半导体装置的生产步骤中，包括将纵横地排列于圆形半导体晶圆上且形成有多个方形芯片分离成芯片单元的切割步骤。

图21是表示在切割步骤中保持晶圆的环构件10的图，图21(a)是其俯视图，图21(b)是前视图。环构件10由粘着片12与切割环13构成。晶圆11的背面侧贴附在粘着片12。而且，在晶圆11周围，用以以张设状态支承粘着片12的切割环13(亦称为晶圆环)贴附在相同的粘着片12。切割环13是厚度为1.5mm左右的金属产品。

在切割步骤中，对环构件10所固定的晶圆11使用切割机或激光束来纵横地形成多条划线11a。划线11a的长度，横越晶圆11的中央附近的划线11a较长，横越周缘附近的划线11a较短。而且，晶圆11在贴附于环构件10的状态下沿着晶圆11上的各划线11a分离成芯片单位。

以往，将晶圆11分离成芯片单元时所使用的断开装置是利用如下方法来施加弯曲力矩：从粘着片12的背面侧使球状断开球滚动以进行按压(例如参照专利文献1)；或者沿着划线11a抵压与晶圆11的接触面为直线状的线状按压体(以下在本说明书中亦称为断开杆)、或接触面为圆柱的侧面的棒状辊来进行按压(例如参照专利文献2)。

[先前技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本特开平10-74712号公报

[专利文献2]日本特开2006-66539号公报

发明内容

如专利文献1所记载的使用断开球作为按压构件的方法如图22所示，使断开球15以一定的间距P在晶圆11上沿正方向、反方向交替折返地滚动来施加载重。其结果，断开球15每描画一条轨迹，则划线每次断开一条或断开多条。

当针对断开球15的一条轨迹每次断开一条划线时，由于可在所有划线的正上方使断开球15滚动，因此对各划线垂直地施加载重而形成垂直的裂缝，但至断开晶圆上的所有划线为止需要使断开球15滚动相当长的距离，而使得处理需要较长的时间。当利用增大了直径的断开球15来使晶圆弯曲，在一条轨迹上每次断开多条划线时，即可缩短处理时间，但若每次断开多条划线，那么对于任一条划线，即均不在其正上方而在稍微偏离的位置上使断开球15滚动，因此对不在其正上方滚动断开球的划线斜向地施加载重，结果难以使裂缝垂直地渗透，而容易产生毛边。

又，如专利文献2所记载，在使用如图23所示的棒状辊16或如图24所示的断开杆17(线状按压体)作为按压构件，一边使此等沿着粘着片12的面滑动一边进行按压的方法中，处理速度并不存在问题，但若在棒状辊16等移动至即将要断开的划线的正下方的位置之前，在从划线的倾斜方向受到载重的状态下进行断开，如此裂缝将难以于垂直方向上渗透，而容易产生毛刺。

又，作为其它问题，在按压时，若棒状辊16或断开杆17碰撞到保持晶圆11的环构件10的切割环13(图21)，如此将无法按压晶圆11。若将切割环的环内径设为a，即如图21所示，为使可按压的面积成为最大而将棒状辊16或断开杆17的长边方向的宽度设为

此时，可断开的晶圆11的直径最大亦必须在

以下。

因此，需直径相对于晶圆11的直径足够大的粘着片12或切割环13，进而断开装置本身亦必须要相对于作为加工对象的晶圆11而整体大型化。

因此，本发明的目的在于提供一种断开装置，该断开装置可在由使用直径稍大于加工对象即圆形工件(晶圆等)的直径的切割环的环构件来保持工件的状态下，沿着工件的划线施加垂直的载重，从而断开工件。

为了达成前述目的，采取如下的技术手段。即，本发明的断开装置是沿着形成于工件上的多条划线来分断工件的断开装置，且使用由切割环与在切割环的环内所张设的粘着带所构成的环构件作为用以保持工件的支承构件。又，工件处于贴附在环构件的粘着带的状态。此外，贴附于环构件的工件是如圆形或椭圆形般，形成于工件上的多条划线的长度会根据工件上的位置而变化的形状。

断开装置中设置有：按压机构，其具备断开杆，该断开杆具有直线状的按压面，且沿分断对象的划线的正背后从环构件的粘着带侧按压工件；以及工件支承机构，其具备抵接于工件侧且抵抗断开杆的按压力而支承工件的支承构件；

断开杆沿按压面的长边方向被分割成固定区块部与可变区块部，且设有使可变区块部的按压面变化为较固定区块部的按压面更退缩的退避状态的按压面调整机构。

又，断开杆，在根据分断对象的划线长度而调整了断开杆的按压面长度的状态下按压工件。

亦即，形成于圆形等的工件的多条划线的长度在工件的周缘附近较短，在工件的中央变长，当分断工件的周缘附近时，断开杆的按压面容易碰撞到切割环。因此，当分断周缘的较短划线时，是在将可变区块部的按压面退缩的退避状态下仅以固定区块部的按压面按压工件，当分断周缘时使断开杆不接触于切割环。当分断工件中央的较长划线时，是在将可变区块部的按压面与固定区块部的按压面相一致的状态下进行按压。

由此，按照工件上的划线的位置，调整成使断开杆的可变区块部不会碰撞到切割环来进行分断。

此外，虽在隔着工件与断开杆相反的侧使工件支承机构的支承构件抵接于工件，但支承构件亦可抵接于由断开杆所按压的一部分区域的正背后附近，亦可抵接于工件整体。由此，当断开杆按压工件的背面侧的粘着带时，粘着带不会于按压方向上大幅延伸，而是在与按压前大致相同的状态下被分断，因此可对分断预定位置的划线进行高精度的分断。

根据本发明，可按照依工件上的位置而变化的划线的长度调整成断开杆的可变区块部不会碰撞到切割环的方式来进行分断。由此，可在由直径较作为加工对象的圆形工件(晶圆等)的直径略大的环构件来保持工件的状态下，向工件的划线上施加载重来进行断开。进而，使支承构件抵接于隔着工件而与断开杆相反的侧来抑制粘着带的延伸，因此可使断开杆沿着划线准确且垂直地按压，而能以垂直的裂缝进行分断。

上述发明中较佳方式为，断开杆的可变区块部在固定区块部的长边方向两侧分别被分割成相同数量的单位区块，且单位区块安装成在固定区块部的两侧成左右对称，按压面调整机构是按照位于左右对称的位置的每对单位区块进行使断开杆的按压面变化的调整。

由将可变区块部较小地分割成多个区块，而可根据作为加工对象的划线的长度而逐渐调整断开杆的长度，即便切割环的直径相同，断开杆亦不会碰撞到切割环，而可贴附直径更大的工件进行分断。

在上述发明中较佳方式为，使前述断开杆的按压面的最大长度L相较切割环的环内径a在下式的范围内

$a>L>a/\sqrt{2}.$

由此，对于工件直径大于

的工件，只要最大直径不超过断开杆长度L，即可进行分断。

在上述发明中较佳方式为，支承构件，是由在沿着划线并隔着划线的左右两侧的位置分别抵接于工件的一对支承杆构成，一对支承杆分别被分割成固定区块部与可变区块部，且设有使可变区块部的抵接面变化为较固定区块部的抵接面更退缩的退避状态的抵接面调整机构。

由将支承构件设为沿着划线在隔着划线的左右两侧的位置上分别抵接于工件的一对支承杆，以沿着划线支承断开杆所按压的左右两侧，由此向划线上准确地施加弯曲力矩，而使裂缝易于垂直地渗透。

进而，当分断工件周缘的较短划线时，是以将支承杆的可变区块部的按压面退缩的退避状态仅以固定区块部的按压面支承工件，以使支承杆于分断周缘时亦不会接触切割环。当分断工件中央的较长划线时，形成使支承杆的可变区块部的抵接面与固定区块部的抵接面相一致的状态。由此，与断开杆相同地，可根据工件上的划线的长度，以使支承杆的可变区块部不碰撞到切割环的方式加以调整来进行分断。

此处较佳方式为，一对支承杆的可变区块部在固定区块部的长边方向的两侧分别被分割成相同数量的单位区块，并且单位区块安装成在固定区块部的两侧成对并左右对称，该按压面调整机构是按照位于左右对称的位置的每对单位区块进行使支承杆的按压面变化的调整。

由将支承杆的可变区块部较小地分割成多个单位区块，而可与断开杆同样地逐渐调整长度，即便切割环的直径相同，支承杆亦不会碰撞到切割环，而可贴附直径更大的工件进行分断。

又，较佳方式为，支承构件由沿着划线抵接的支承杆构成，支承杆被分割成固定区块部与可变区块部，且设有使可变区块部的抵接面变化为较固定区块部的抵接面更退缩的退避状态的抵接面调整机构。

由将支承构件设为沿着划线抵接于工件的支承杆，以沿着划线支承断开杆所按压的正背后的位置，由此向划线上准确地施加按压力，而能够以垂直裂缝进行分断。此外，在这种情况下，可使支承杆为一个，但与使一对支承杆沿着划线的左右两侧抵接的情况相较，需要稍微增强按压力。

同样地，可根据工件上的划线的长度，将支承杆的可变区块部的长度调整成不与切割环碰撞，以进行分断。

在这种情况下较佳情形为，支承杆的可变区块部在固定区块部的长边方向的两侧分别被分割成相同数量的单位区块，并且单位区块安装成在固定区块部的两侧成对并左右对称，该按压面调整机构是按照位于左右对称的位置的每对单位区块进行使支承杆的按压面变化的调整。

又，上述发明中较佳方式为，具备用以设定对形成于工件上的多条划线的断开顺序的输入部；工件搬送机构根据所设定的断开顺序，将环构件的位置调整成分断对象的划线会依序来到与断开杆的按压面对向的位置。

当取出形成于工件上的芯片时，在存在优先级的情况下，亦可根据优先级选择划线进行分断。

较佳方式为，输入部设有依序进给模式作为可设定的断开顺序之一，该依序进给模式是依照形成于工件上的多条划线的排列顺序进行断开。

由设定依序进给模式，由于工件搬送机构只要依次使断开杆的按压面对准邻接的划线即可，因此可缩短位置调整的时间。

较佳方式为，输入部设有外侧优先模式作为可设定的断开顺序之一，该外侧优先模式是对形成于工件上的多条划线，从最接近周缘的左右划线起进行断开，依次逐一进行内侧的左右划线的断开，最后进行中央的划线的断开。

由设置外侧优先模式，到进行所有的断开为止所花费的时间会较依序进给模式稍多，但另一方面，由于从接近工件左右两侧的周缘的侧的划线依次进行断开，因此可左右大致均等地且较平衡地进行分断，粘着带上所张设的工件的重心的移动变小，可实现更准确的位置上的分割。

较佳方式为，输入部设有等分割模式作为可设定的断开顺序之一，所述分割模式是对形成于工件上的多条划线进行将工件分为二部分的断开，接着进行分为四部分的断开，接着进行分为八部分的断开，之后再对经分割的各工件分别进行等分割。

由设置等分割模式，与外侧优先模式同样地，到进行所有断开为止所花费的时间会较依序进给模式稍多，但另一方面，由于所要断开的划线的左右的宽度变得大致均等，因此可较平衡地进行断开，且能够实现准确的位置上的断开。

附图说明

以下，根据附图来详细说明本发明的断开装置的详细情况。此处，以沿着圆形的晶圆上所刻设的多条划线来断开晶圆的情形为例进行说明，其中：

图1是表示贴附了使用本发明的断开装置断开的工件的环构件的一例的图。

图2是表示从推压机构侧所观察到的本发明的一实施形态的断开装置的整体构成的立体图。

图3是表示从工件支承机构侧所观察到的本发明的一实施形态的断开装置的整体构成的立体图。

图4是图1的断开装置的前视图(按压机构侧)。

图5是图1的断开装置的后视图(工件支承机构侧)。

图6是图1的断开装置的俯视图。

图7是表示按压机构的构成的图。

图8是表示断开杆的构成的图。

图9是表示断开杆的变形图案的图。

图10是表示断开杆的按压面的宽度方向的截面的图。

图11是表示工件支承机构的构成的图。

图12是表示支承杆的构成的图。

图13是表示支承杆的抵接面的宽度方向的截面的图。

图14是表示按压机构22与工件支承机构23a、23b的位置关系的图。

图15是表示按压机构22与工件支承机构23b的位置关系的图。

图16是表示环构件10上的断开位置与断开杆36的按压面的图案的关系的示意图。

图17是控制系统的方块图。

图18是表示依序进给模式的断开顺序的图。

图19是表示外侧优先模式中的断开顺序的图。

图20是表示等分割模式中的断开顺序的图。

图21是表示环构件的图。

图22是表示利用断开球的断开方法的图。

图23是表示利用棒状辊的断开方法的图。

图24是表示利用线状按压体(断开杆)的断开方法的图。

具体实施方式

(环构件)

首先，对作为加工对象的晶圆与保持晶圆的环构件的关系进行说明。图1是表示贴附了晶圆的状态下的环构件的一例的俯视图。环构件10由粘着片12与切割环13构成。切割环13是厚度为1.5mm左右的金属制品。将晶圆11的背面侧贴附于粘着片12上而固定。

在将切割环13的内径设为a时，不仅在可利用该环构件10断开的晶圆11的直径D较以往作为可断开的最大直径的

更小时可进行断开，而且即便直径D为

以上的较大直径，只要较下述断开杆的最大长度L(其中L＜a)更小，亦可进行断开。

(断开装置的构造)

其次，对本发明的断开装置的构成进行说明。图2是表示从一方向(按压机构侧)观察本发明的一实施形态的断开装置20的整体构成的立体图。又，图3是表示从与图1相反的方向(工件支承机构侧)观察断开装置20的整体构成的图。另外，图4是断开装置20的前视图(按压机构侧)，图5是后视图(工件支承机构侧)，图6是俯视图。

为便于说明，如图中所示，对于断开装置20，将装置的长边方向设为X方向来规定相互正交的XYZ方向。

断开装置20主要由基底21、按压机构22、工件支承机构23a、23b、工件搬送机构24、推车25、空气板26构成。

于基底21上的一侧支承按压机构22与空气板26，于另一侧支承一对工件支承机构23a、23b。按压机构22与空气板26的中间是支承工件搬送机构24。

其次，对按压机构22进行说明。图7是表示按压机构22的图。按压机构22经由台座31而固定于基底21上。在台座31上固定有垂直臂32，由此，底板33以垂直(Y方向)竖立的方式固定。在底板33上平行安装有2条线性导件34，由线性导件34及马达(未图标)将可动板35支承成可在前后方向(Z方向)滑动。于可动板35安装有经单元化的断开杆36，断开杆36的前端来到较可动板35的一侧端更朝外侧突出的位置。该前端部分成为按压晶圆11的按压面。

图8是表示断开杆36的构成的图，图8(a)是立体图，图8(b)是前视图，图8(c)是俯视图，图8(d)是侧视图。

断开杆36被分割成中央的固定区块37、以及其左右两侧的可变区块38a、38b，进而可变区块38a、38b分别被分割成较小的单位区块39。各单位区块39由与固定区块37一体地固定的支承构件37a支承。各单位区块39具备使用气压阀且利用空气作动的升降机构40，升降机构40是作为使各按压面(各单位区块39的前端部分)的位置退避至较固定区块37的按压面的位置更退缩的位置的按压面调整机构77(图17)来发挥作用。又，单位区块39在固定区块37的左右两侧数量相同，并且是对称地安装，位于对称的位置的单位区块39彼此成对(总计4对)地进行退避动作。图9是表示断开杆36的按压面的变形图案的图。按压面可依照单位区块39的位置变化而变化成P1-P5这5种图案。

根据作为加工对象的晶圆11的大小，适当设定断开杆36中的固定区块37的按压面的长边方向的尺寸及单位区块39的按压面的长边方向的尺寸。在本实施形态中，例如将固定区块37的长边方向的长度设为约100mm，将单位区块39的长边方向的长度设为约12.5mm(总计8条)，作为断开杆36，将最长的长度L设为约200mm。因此，断开杆36的长度L根据图案P1-P5的变化而成为约100mm、约125mm、约150mm、约175mm、约200mm。由此，可断开最大200mm(8英寸)的晶圆11。

图10是断开杆36(固定区块37及单位区块39)的按压面的宽度方向截面。作为按压面的宽度方向的尺寸，将前端设为0.1μm-3mm左右的锥状，以较窄的宽度接触晶圆11，从而使载重成线状地集中施加。

另外，断开杆36(固定区块37及单位区块39)最好是使用按压时难以变形的较硬材质，例如使用工具钢。

其次，对工件支承机构23a、23b进行说明。图11是表示工件支承机构23a、23b的构成的图，图11(a)是立体图，图11(b)是前视图。工件支承机构23a、23b分别搭载在台座41a、41b上，借由使用滚珠螺杆及马达的支承杆驱动机构41d使台座41a、41b可在轨道41c上移动。

在工件支承机构23a、23b中，除支承杆46(相当于图7的断开杆36)以外，均采用与图7中所说明的按压机构22相同的机构。因此，除支承杆46以外的工件支承机构23a、23b各部分的符号与图7相同，所以省略说明。

图12是表示支承杆46的构成的图，图12(a)是立体图，图12(b)是前视图，图12(c)是俯视图，图12(d)是侧视图。

支承杆46被分割成中央的固定区块47、以及其左右两侧的可变区块48a、48b，进而可变区块48a、48b分别被分割成较小的单位区块49。各单位区块49由与固定区块47一体地固定的支承构件47a支承。

各单位区块49具备使用气压阀且利用空气驱动的升降机构50，升降机构50是作为使各抵接面(各单位区块49的前端部分)的位置退避至较固定区块47的抵接面位置更退缩的位置的抵接面调整机构78(图17)来发挥作用。又，单位区块49在固定区块47的左右两侧数量相同且对称地安装，位于对称的位置的单位区块49彼此成对(总计4对)地进行退避动作。

亦即，与图8的断开杆36的按压面调整机构相同的机构在图12中发挥支承杆46的抵接面调整机构的作用。又，关于支承杆46的根据单位区块49的变形图案，亦与断开杆36的变形图案同样地为P1-P5(图9)。

支承杆46的尺寸基本上与断开杆36相同，但抵接于晶圆11的前端部分的形状及材质不同。

图13是支承杆46(固定区块47及单位区块49)的宽度方向截面。支承杆46的前端面呈平面。但并不限于此，亦可是曲面。支承杆46的前端部分的材质使用弹性橡胶，以于按压时柔软地接触晶圆11。

其次，再次参照图2-图6对工件搬送机构24及推车25进行说明。工件搬送搬机构24在垂直竖立的框结构的框架61的上方及下方，设有用于支承且搬送推车25的线性导件62，且利用线性马达(未图标)使推车25横向(X方向)移动。在推车25的中央形成有安装环构件10的孔。

安装于推车25的环构件10由工件搬送机构24被搬送到按压机构22与工件支承机构23a、23b之间，且使刻设于晶圆11的划线来到断开杆36的正背后的断开位置。接着，在相继断开多条划线时进行位置调整，以使各划线依次来到断开位置。

位置调整是由采用了摄影机的定位方法或机械式定位方法等周知方法来进行。例如亦可预先利用安装在装置20中的摄影机(未图标)对刻设于晶圆11的对准标记进行拍摄，然后由影像处理进行定位。又，当将晶圆11高精度地贴附于环构件10，并将环构件10高精度地安装于推车25时，亦可根据推车25相对于预先在断开装置20所设定的原点位置的位置坐标来进行定位。

其次说明空气板26。作为加工对象的晶圆11由环构件10、推车25、工件搬送机构24而以垂直竖立的状态受到支承，且可利用此等的支承进行断开处理。然而，在环构件10上，晶圆11是贴附于易受到振动的粘着片12，若粘着片12振动，晶圆11本身亦会受到影响。因此为了在沿着刻设于晶圆11的划线进行更高精度的断开处理，最好是采行防振对策。

因此，在本实施形态中，是进一步于按压机构22周围进安装有方形的空气板26。空气板26在与环构件10对向的位置上形成有多个喷嘴孔，从一部分喷嘴孔中喷出干燥空气，且利用一部分喷嘴孔进行吸引，由此，当将推车25设置于断开位置时，是以非接触的状态使粘着片12及其上所贴附的晶圆11在垂直竖立的状态下稳定。

其次，对按压机构22与工件支承机构23a、23b的断开时的位置关系进行说明。图14是为便于说明而省略了工件搬送机构24、推车25、空气板26来表示按压机构22与工件支承机构23a、23b的位置关系的图。如图14(a)所示，按压机构22与一对工件支承机构23a、23b隔着环构件10而对向。

断开杆36与支承杆46(环构件10的背面侧)在高度方向(Y方向)的位置相一致。而且，支承杆46的横向(X方向)的位置是由支承杆驱动机构41d进行调整，如图14(b)所示，在隔着晶圆11的划线S而于左右两侧稍微偏离的位置抵接。使断开杆36来到划线S的正背后。由此，若断开杆36按压晶圆11，弯曲力矩即沿着划线S对称地发挥作用。

又，作为支承杆46的其它抵接方法，亦可如图15(a)所示，使工件支承机构23a退避(或者最初即不搭载工件支承机构23a)，而仅使用工件支承机构23b。

在此种情况下，如图15(b)所示，使支承杆46沿着晶圆11的划线S的正上方抵接。此外，使断开杆36来到划线S的正背后。由此，若断开杆36按压晶圆11，即会因支承杆46的弹性力所引起的变形而使晶圆11弯曲，以施加弯曲力矩。

(断开图案)

图16是表示环构件10上的断开位置与断开杆36的按压面的图案的关系的示意图。

对于划线较短的周缘，利用按压面较短的图案P1来进行断开，并使图案依序变形为P2、P3、P4，在划线最长的中央利用按压面最长的图案P5来进行断开，由此，能够不使断开杆36碰撞到切割环13即断开晶圆11。

(控制系统)

其次，对断开装置20的控制系统进行说明。图17是表示断开装置20的控制系统的方块图。控制部70是由包含CPU71、存储器72、输入部73、显示部74的计算机所构成。此等是在装置上或装置附近被设置成控制单位(未图标)。进行推车搬送及定位的工件搬送机构24、使晶圆11稳定的空气板26、使断开杆36按压的按压机构22、调整断开杆36的按压面长度的按压面调整机构77、使支承杆46抵接的工件支承机构23a、23b、以及调整支承杆长度的抵接面调整机构78等各部，是根据存储器72所储存的程序或参数、以及从输入部73输入的参数、指令来控制，并利用显示部74来监控动作状态。

(断开顺序)

断开装置20中，当将晶圆11上所形成的多条划线断开时，可由输入部73任意地设定断开顺序并将该断开顺序储存于存储器72中(称为任意指定模式)，由此利用所储存的断开顺序来断开各划线。

而且，除“任意指定模式”以外，为了易于进行断开顺序的设定输入操作，还准备了“依序进给模式”、“外侧优先模式”、以及“等分割模式”，可由进行模式选择的输入来进行选择。

其中，若选择“依序进给模式”，那幺如图18中所示的断开顺序般，从晶圆11的一侧端依次相继进行断开。此时，根据划线的长度的变化，断开杆36按照P1、P2、P3、P4、P5、P4、P3、P2、P1的顺序变化。由以依序进给模式进行断开，可使工件搬送所需要的时间最小，因此可缩短处理时间。

另一方面，若选择“外侧优先模式”，则如图19中所示的断开顺序般，进行位于晶圆11最外侧的左右划线的断开，接着进行下一个位于外侧的左右划线的断开，之后依次进行位于内侧的左右划线的断开。继而，最后进行位于中央的最长的划线的断开。在此种情况下，根据划线的长度的变化，断开杆36按照P1、P2、P3、P4、P5的顺序变化。

由以外侧优先模式进行断开，工件搬送所需要的时间会较依序进给模式稍长，但晶圆11即便在一部分被断开的状态下亦是以接近左右对称的状态进行断开，因此晶圆11的重心移动变小，可实现更高精度的断开。

又，若选择“等分割模式”，即如图20中所示的断开顺序般，形成以晶圆11的中央划线(划线为偶数时则为最靠近中央的划线)分为二部分的晶圆形状，接着再以分为二部分的各部分晶圆各自中央的划线来将此等分为二部分，而将部分晶圆断开为四部分，之后同样地进行将部分晶圆分为八部分、十六部分、…的等分割的断开。在此种情况下，由于最初要将位于中央的最长划线断开，因此断开杆的长度成为P5，但之后断开杆的长度则根据随后要断开的划线的长度而变化。

利用等分割模式进行断开，由于此即以该时间点的部分晶圆的中央划线进行分割，因此左右两侧的宽度均等，且可较平衡地进行断开，从而可实现准确的位置上的断开。

以上对断开在一个方向(Y方向)排列的多条划线的情况进行了说明，但当进行格子状的划线的断开、即进行在两个方向(XY方向)排列的多条划线的断开时，是将环构件旋转90度并重复相同的动作。在此种情况下，只要在推车25中设置使环构件10旋转90度的旋转机构，即可高效率地进行两个方向的断开。

又，上述实施形态中，使4对单位区块39全部均为相同的形状，但亦可针对每一对而改变单位区块的长边方向的长度。另外，当工件形状不对称时，亦可使成对的单位区块的长边方向的长度不同。

又，上述实施形态中，隔着晶圆11使断开杆36的背面侧与1个或一对支承杆46抵接来进行支承，因此可进行准确的断开，但支承侧的形状存在自由度，只要是可支承晶圆11的支承构件，那么亦可是除此以外的形状。例如，亦可代替支承杆46，利用抵接于晶圆11的全面的平面状支承构件来进行支承。

又，上述实施形态中，虽是对圆形的晶圆进行了断开，但工件形状并不限定于圆形。只要是能够贴附于切割环的环内且刻设有长度不同的多条划线的工件，那么即便是例如以椭圆形为首的其它形状，亦可有效地利用本发明。

又，上述实施形态中，虽是使环构件10呈垂直来进行支承，但亦可是水平地支承环构件10来进行加工的一般已知型断开装置。

[产业上的可利用性]

本发明的断开装置可用于贴附在环构件上的晶圆等的断开。

Claims (11)

1.一种断开装置，其使用由切割环与在切割环的环内所张设的粘着带所构成的环构件作为用以保持工件的支承构件，且在前述工件贴附于前述环构件的粘着带上的状态下，沿形成于工件上的多条划线分断工件，其特征在于，设置有：

按压机构，其具备断开杆，该断开杆具有直线状的按压面，且沿分断对象的划线的正背后从粘着带侧按压前述工件；以及

工件支承机构，其具备抵接于前述工件侧且抵抗前述断开杆的按压力以支承工件的支承构件；

前述断开杆沿按压面的长边方向被分割成固定区块部与可变区块部，且设有使可变区块部的按压面变化为较固定区块部的按压面更退缩的退避状态的按压面调整机构；

前述断开杆，在根据分断对象的划线长度而调整了断开杆的按压面的状态下按压工件。

2.如权利要求1所述的断开装置，其中，前述断开杆的可变区块部在固定区块部的长边方向两侧分别被分割成相同数量的单位区块，且单位区块安装成在固定区块部的两侧成左右对称，前述按压面调整机构是按照位于左右对称的位置的每对单位区块进行使断开杆的按压面变化的调整。

3.如权利要求1或2所述的断开装置，其中，使前述断开杆的按压面的最大长度L相较切割环的环内径a在下式的范围内

$a>L>a/\sqrt{2}.$

4.如权利要求1或2所述的断开装置，其中，前述支承构件，是由在沿着划线并隔着划线的左右两侧的位置分别抵接于工件的一对支承杆构成，前述一对支承杆分别被分割成固定区块部与可变区块部，且设有使可变区块部的抵接面变化为较固定区块部的抵接面更退缩的退避状态的抵接面调整机构。

5.如权利要求4所述的断开装置，其中，前述一对支承杆的可变区块部在固定区块部的长边方向的两侧分别被分割成相同数量的单位区块，并且单位区块安装成在固定区块部的两侧成对并左右对称，前述按压面调整机构是按照位于左右对称的位置的每对单位区块进行使支承杆的按压面变化的调整。

6.如权利要求1或2所述的断开装置，其中，前述支承构件由沿着划线抵接的支承杆构成，前述支承杆被分割成固定区块部与可变区块部，且设有使可变区块部的抵接面变化为较固定区块部的抵接面更退缩的退避状态的抵接面调整机构。

7.如权利要求6所述的断开装置，其中，前述支承杆的可变区块部在固定区块部的长边方向的两侧分别被分割成相同数量的单位区块，并且单位区块安装成在固定区块部的两侧成对并左右对称，前述按压面调整机构是按照位于左右对称的位置的每对单位区块进行使支承杆的按压面变化的调整。

8.如权利要求1或2所述的断开装置，其具备：用以设定对形成于工件上的多条划线的断开顺序的输入部；以及

根据所设定的断开顺序，将环构件的位置调整成分断对象的划线会依序来到与断开杆的按压面对向的位置的工件搬运机构。

9.如权利要求8所述的断开装置，其中，输入部设有依序进给模式作为可设定的断开顺序之一，该依序进给模式是依照形成于工件上的多条划线的排列顺序进行断开。

10.如权利要求8所述的断开装置，其中，输入部设有外侧优先模式作为可设定的断开顺序之一，该外侧优先模式是对形成于工件上的多条划线，从最接近周缘的左右划线起进行断开，依次逐一进行内侧的左右划线的断开，最后进行中央的划线的断开。

11.如权利要求8所述的断开装置，其中，输入部设有等分割模式作为可设定的断开顺序之一，所述分割模式是对形成于工件上的多条划线进行将工件分为二部分的断开，接着进行分为四部分的断开，接着进行分为八部分的断开，之后再对经分割的各工件分别进行等分割。

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