CN102034657A - 工件搬运台车及工件加工系统以及气体供应系统及气体供应方法 - Google Patents

Abstract

一种工件加工系统，具有消耗气体的设备(11)，在封闭的轨条上环绕移动的工件搬运台车(1)上设置储存气体的缓冲罐(13、14)，将联接器(16、17)设于可对缓冲罐(13、14)供应气体的进气流路(22、23)，工件搬运台车(1)每在轨条(R)上移动一周，通过将外部的供应流路(29、30)与联接器(16、17)连接，对缓冲罐(13、14)补充在工件搬运台车(1)环绕一周期间所需量的气体，从而可廉价且容易地使用气体。

Description

工件搬运台车及工件加工系统以及气体供应系统及气体供应方法

技术领域

本发明涉及一种对工件(所欲加工的对象物)进行搬运的工件搬运台车及工件加工系统以及气体供应系统及气体供应方法。

背景技术

例如，在平板显示器面板的制造中，如专利文献1～专利文献3所记载的那样，使用工件搬运台车，该工件搬运台车对多个玻璃基板(工件)进行保持以在沿轨道在加热炉内经过的同时对玻璃基板的内部空间真空抽吸，并封入发光气体。工件搬运台车包括在玻璃基板的真空抽吸作业中所采用的气缸和利用空气压膨胀来确保气密性的空气压卡盘等，并分别设有制造用于对其进行驱动的压缩空气的空气压缩机。在空气压卡盘中，当在压缩空气中混入有排水(日文：ドレン)时，会有损害其功能的情形，因而需要低露点的压缩空气。因此，在平板显示器面板制造用的工件搬运台车上装载有包括大型干燥机(低露点干燥机)的空气压缩机。

这样，若将空气压缩机装载于工件搬运台车，则与其他装载设备之间的空间变小，从而存在有损维护性这样的问题。此外，若将空气压缩机装载在各工件搬运台车，则会使设备成本增大。而且，大型干燥机由于为了排水而始终排放压缩空气，因此为补充压缩空气而时断时续地工作，不断消耗电。

在专利文献4的工件检查装置中，所搬运的工作架包括利用压缩空气开闭来对工件进行把持的卡盘，并在工作架的压缩空气的流路中设有联接器。工件检查装置通过在工作架的停止位置上将管路与联接器连接以供应或排放压缩空气从而使卡盘开闭。

然而，在专利文献1～专利文献3的平板面板的制造设备(工件加工系统)中，由于工件搬运台车在加热炉中移动的同时耗费压缩空气，因此，无法像专利文献4的工件检查装置那样将管路与搬运台车连接以从外部供应压缩空气。

此外，用于平板显示器面板的制造的工件搬运台车如专利文献1～专利文献3所记载的那样，也装载有对面板封入发光气体的储气瓶，当储气瓶的剩余压力降低时，需要人工对这些储气瓶进行更换，但人工更换沉重的储气瓶的作业是很大的负担。在使用许多工件搬运台车的生产设备中，需要许多更换用的储气瓶，必须对数量众多的储气瓶进行管理。

在平板显示器面板的制造设备中，在工件搬运台车的发光气体的供应配管中设置联接器，若在设备内的规定位置上将外部流路的联接器与工件搬运台车的联接器连接以供应发光气体，则可以不需要在各工件搬运台车上装载储气瓶。

然而，当采用联接器的情况下，存在于联接器的敞开部分的外部气体在将联接器连接时仍残留在联接器内部，并混入到所供应的发光气体内。在平板显示器面板中，即使在发光气体中混入些许空气，也会使发光性能显著降低，从而损害产品的功能。

专利文献1：日本专利特开2002-173331号公报

专利文献2：日本专利特开2002-324486号公报

专利文献3：日本专利特开2005-216830号公报

专利文献4：日本专利特开平11-295060号公报

发明内容

基于上述问题，本发明的课题是提供一种可廉价且容易地使用气体的工件搬运台车及使用这种工件搬运台车的工件加工系统，同时还提供一种能够在不使空气混入的前提下从可分离、连接的外部系统将气体供应至对需求处供应气体的需求流路的气体供应系统及气体供应方法以及能在不使空气混入的前提下对消耗气体的工件搬运台车供应气体的工件加工系统。

为解决上述技术问题，本发明的工件搬运台车具有消耗气体的设备、储存气体的缓冲罐、能对上述缓冲罐供应气体的进气流路以及设于上述进气流路的联接器。

根据上述结构，通过将经由联接器供应得到的气体临时储存在缓冲罐中，从而能提供在搬运、加工工件过程中所消耗的气体。此外，由于不需要在每个工件搬运台车上设置压缩机、储气瓶这样的气体供应源，因此能使设备成本和管理成本减少，还使工件搬运台车的有效空间增大。此外，由于利用联接器与气体供应源相连接就可简单地补充气体，因此能在每个制造流程的循环中频繁地补充气体。藉此，即使缓冲罐的容量小也不需要增大气体压力以增加所储存的气体的量，因此对缓冲罐不要求有高耐压性。

此外，在本发明的工件搬运台车中，也可以在耗费气体的上述设备与上述缓冲罐之间具有调节器。

根据上述结构，通过将缓冲罐的压力控制得比气体的使用压力高，从而能将气体的使用压力固定。

此外，在本发明的工件搬运台车中，还可以在上述进气流路中设置单向阀和开闭阀中的至少任意一个。

根据上述结构，在使联接器分开的状态下，缓冲罐气体不会经由进气流路漏出。

此外，本发明的工件加工系统的第一形态是使工件搬运台车在封闭的轨条上循环，上述工件搬运台车具有消耗气体的设备、收容气体的缓冲罐、对上述缓冲罐供应气体的进气流路以及设于上述进气流路的联接器，上述轨条上的使上述工件搬运台车停止的位置上设置将供应流路与上述联接器连接从而对上述缓冲罐供应气体的供应站。

根据上述结构，在供应站上，由于将下一次停留在供应站上为止所消耗量的气体储存在各工件搬运台车的缓冲罐中，因此能在工件搬运台车移动的同时消耗气体。

此外，本发明的气体供应系统具有：进气流路，该进气流路经由进气阀与对需求处供应气体的需求流路相连接，并包括进气联接器；供应流路，该供应流路经由供应阀与气体供应源相连接，并包括可与上述进气联接器相结合的供应联接器；以及排气流路，该排气流路经由排气阀与上述进气流路或上述供应流路相连接，在关闭上述进气阀和上述供应阀的状态下，将上述进气联接器与上述供应联接器结合，并至少进行一次换气处理，该换气处理通过在关闭上述排气阀的状态下打开上述供应阀而在对上述进气流路和上述供应流路中供应气体之后关闭上述供应阀，通过打开上述排气阀而在排放出上述进气流路和上述供应流路中的气体之后关闭上述排气阀，打开上述供应阀和上述进气阀来对上述需求流路供应气体。

根据上述结构，能在一次换气处理中将进气流路和上述供应流路中的空气的量以与排气阀相反侧的压力(例如大气压)和气体源的压力的比率相等的比例降低。由于若反复进行上述操作，能将进气流路和上述供应流路中的空气的量降低至期望的限度量以下，因此能在不混入超过限度的空气的前提下对需求流路供应气体。

此外，在本发明的气体供应系统中，上述排气流路将上述进气流路或上述供应流路经由上述排气阀与真空源相连接。

根据上述结构，由于在一次的换气处理中就能将进气流路和上述供应流路中的空气的混入量以与真空源的真空压与气体源的压力的比率相当的较大的比例降低，因此换气处理的次数较少亦可。

此外，在本发明的气体供应系统中，也可以在进行上述换气处理之前打开上述排气阀以排放出上述进气流路和上述供应流路中的气体。

根据上述结构，由于在供应进气流路和上述供应流路中的气体之前，首先对内部空气真空抽吸，因此，为了将空气的混入量降低至期望的限度量以下，能利用换气处理来降低从排气流路排放出的气体的总量，从而降低所供应的气体的损失。

此外，本发明的气体供应方法是经由排气阀将排气流路与进气流路和供应流路中的任意一个相连接，其中，上述进气流路经由进气阀与对需求处供应气体的需求流路相连接，并包括进气联接器，上述供应流路经由供应阀与气体供应源相连接，并包括可与上述进气联接器相结合的供应联接器，在关闭上述进气阀和上述供应阀的状态下，将上述进气联接器与上述供应联接器结合，并至少进行一次换气处理，该换气处理通过在关闭上述排气阀的状态下打开上述供应阀而在对上述进气流路和上述供应流路中供应气体之后关闭上述供应阀，通过打开上述排气阀而在排放出上述进气流路和上述供应流路中的气体之后关闭上述排气阀，打开上述供应阀和上述进气阀来对上述需求流路供应气体的方法。

根据上述方法，通过反复进行换气处理来使进气流路和上述供应流路中的空气的量降低至期望的限度量以下，并能在不混入超过限度量的空气的情况下对需求流路供应气体。

此外，本发明的工件加工系统的第二形态包括：工件搬运台车，该工件搬运台车具有消耗气体的需求装置、对上述需求装置供应气体的需求流路及经由进气阀与上述需求流路相连接且包括进气联接器的进气流路，并且上述工件搬运台车对工件进行保持以在封闭的轨条上环绕移动；以及供应站，该供应站设于上述工件搬运台车的停止位置并具有供应流路，该供应流路经由供应阀与气体供应源相连接并包括可与上述进气联接器相结合的供应联接器，排气流路经由排气阀与上述进气流路或上述供应流路相连接，在关闭上述进气阀和上述供应阀的状态下，将上述进气联接器与上述供应联接器结合，并至少进行一次换气处理，上述换气处理通过在关闭上述排气阀的状态下打开上述供应阀而在对上述进气流路和上述供应流路中供应气体之后关闭上述供应阀，通过打开上述排气阀而在排放出上述进气流路和上述供应流路中的气体之后关闭上述排气阀，打开上述供应阀和上述进气阀从而对上述需求流路供应气体。

根据上述结构，能从供应站对环绕移动的工件搬运台车的需求流路供应气体。此时，由于进行换气处理后通过联接器的分离、连接将进入进气流路和上述供应流路的空气排放，因此，空气不会混入所供应的气体中。

此外，在本发明的工件加工系统中，上述需求流路还可以具有储存气体的缓冲罐。

根据上述结构，能在工件搬运台车远离供应站的位置上移动的同时消耗气体。

根据本发明，由于在工件搬运台车上设置对气体进行储存的缓冲罐，并能通过易于分离、连接的联接器频繁地对缓冲罐补充气体，因此不需要在工件搬运台车上装载压缩机这样的气体制造装置和储气瓶这样的高压气体供应源。藉此，能降低工件加工系统的设备成本和运转成本。此外，通过反复进行对采用联接器进行分离、连接的进气流路和上述供应流路中的气体的排气以排放出残留的空气的换气处理，藉此能使残留在进气流路和上述供应流路中的空气的量降低至期望的限度量以下，不会使超过限度量的空气混入需求流路，能从可分离、连接的外部的气体供应源对需求流路供应气体。

附图说明

图1是本发明第一实施方式的平板显示器面板制造设备的布局图。

图2是图1的面板搬运台车和供应站的示意图。

图3是本发明第二实施方式的平板显示器面板制造设备的面板搬运台车和供应站的示意图。

图4是本发明第三实施方式的平板显示器面板制造设备的面板搬运台车和供应站的示意图。

图5是本发明第四实施方式的平板显示器面板制造设备的布局图。

图6是图5的面板搬运台车和封入站的示意图。

图7是本发明第五实施方式的平板显示器面板制造设备的面板搬运台车和封入站的示意图。

图8是本发明第六实施方式的平板显示器面板制造设备的面板搬运台车和封入站的示意图。

图9是本发明第七实施方式的平板显示器面板制造设备的面板搬运台车和封入站的示意图。

图10是本发明第八实施方式的平板显示器面板制造设备的布局图。

图11是图10的面板搬运台车和供应站的示意图。

(符号说明)

1、1a、1b工件搬运台车

2轨条

9、9a、9b供应站

11头部(耗费气体的设备)

12真空泵

13气体缓冲罐

14空气缓冲罐

16、17联接器

18、19单向阀

20、21进气阀(日文：受入弁)

22、23进气流路

24、25调节器

27储气瓶

28低露点空气压缩机

29、30供应流路

31、32气缸

33、34联接器

35调节器

36、37供应阀

40、42排气阀

41真空泵

51、51a、51b、51c、51d工件搬运台车

52轨条

54、54a、54b、54c、54d封入站

60头部

61真空泵(真空源)

62分配控制装置(需求装置)

63需求流路

64进气阀

65进气流路

66调节器

67进气联接器

69、70储气瓶(供气源)

71、72单向阀

73、74供应阀

75供应联接器

76供应流路

77排气阀

78排气流路

79单向阀

84供应站

85、86需求流路

87、88进气阀

89、90调节器

91、92缓冲罐

P玻璃基板(工件)

R轨道

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。图1是本发明第一实施方式的平板显示器面板制造设备(工件加工系统)的布局图。这种平板显示器面板制造设备使装载平板显示器面板用的玻璃基板(工件)后移动的多个工件搬运台车1在闭合的轨条2上循环。

轨条2由往路及回路和传送装置T构成，其中，往路及回路分别由直线状的轨道R构成，传送装置T设于往路及回路的两端，并将工件搬运台车1从往路切换至回路或从回路切换至往路移动。

轨条2的往路的大部分在用于对玻璃基板加热并对内部空间真空抽吸的加热炉3中延伸。在加热炉3之后设有将发光气体封入玻璃基板的封入站4。

轨条2的回路设有封闭站5、卸载站6、拉出站7、装载站8以及供应站9，其中，封闭站5封闭对玻璃基板进行真空排气和封入发光气体的流路即排气管(日文：チツプ管)，卸载站6将玻璃基板从工件搬运台车1上取下，拉出站7为进行维修而将工件搬运台车1拉出，装载站8将玻璃基板叠在工件搬运台车1上，供应站9对工件搬运台车1供应发光气体和压缩空气。

图2中将在气体供应站9停止的工件搬运台车1简化表示。工件搬运台车1在上部的收容空间具有：多个保持构件10，这些保持构件10对玻璃基板P进行保持；以及多个头部(耗费气体的设备)11，这些头部11用于对各个玻璃基板P真空抽吸并封闭发光气体而包括有利用空气压力进行动作的卡盘和气缸。

此外，工件搬运台车1在下部的机械空间具有：真空泵12，该真空泵12用于对头部11真空抽吸；气体缓冲罐13，该气体缓冲罐13储存有发光气体；空气缓冲罐14，该空气缓冲罐14储存有压缩空气；分配控制装置15，分配控制装置15将真空泵12、气体缓冲罐13和空气缓冲罐14根据规定程序与头部11的构成要素连接。

气体缓冲罐13和空气缓冲罐14分别在末端包括阴模联接器16、17，并与设有单向阀18、19和进气阀20、21的进气流路22、23连接。联接器16、17朝下固定在工件搬运台车1的底面。此外，气体缓冲罐13和空气缓冲罐14分别经由调节器24、25对分配控制装置15供应气体和压缩空气。

单向阀18、19和进气阀20、21用于使压缩空气和发光气体不会从气体缓冲罐13和空气缓冲罐14经由进气流路22、23漏出，只要封闭能力足够，也可以采用其中任意一方。此外，单向阀18、19和进气阀20、21还可以内置在联接器16、17中。

此外，工件搬运台车1在底面具有由两个滚筒构成的定位收容构件26。定位收容构件26对未图示的搬运杆进行收容，也可用于供工件搬运台车1的驱动。

供应站9包括发光气体的储气瓶27和低露点空气压缩机28，并具有用于从储气瓶27和低露点空气压缩机28对工件搬运台车1的进气流路22、23供应发光气体和压缩空气的供应流路29、30。在供应流路29、30前端设有利用气缸31、32升降从而与联接器16、17结合的阳模联接器33、34。另外，储气瓶27和低露点空气压缩机28也可以设置在远离供应站9的位置，利用配管对供应站9供应发光气体和压缩气体。

在供应流路29中设有调节器35和供应阀36，只有当联接器16与联接器33结合时才会经由供应流路29对进气流路22供应规定压力的发光气体。供应流路30具有供应阀37，只有当联接器34与联接器17结合时才会对进气流路23供应压缩空气。

此外，供应站9具有利用气缸38升降从而对工件搬运台车1的定位收容构件26进行卡定的定位构件39。

在本实施方式的平板显示器面板制造设备中，工件搬运台车1每在轨条2移动一周就会停止在供应站9上，通过将联接器33、34与联接器16、17结合，从而使供应流路29、30与进气流路22、23连接，以规定压力对气体缓冲罐13供应发光气体，并以规定压力对空气缓冲罐14供应压缩空气。

当然，也可以在一周轨条2上设置多个供应站9从而分两次对空气缓冲罐14补充压缩空气。此外，当压缩空气和发光气体的消耗量较少的情况下，也可以在多周一次来补充压缩空气和发光气体。

为了对工件搬运台车1的气体缓冲罐13供应发光气体，当在联接器33与联接器16相连接时，空气被封闭在进气流路22和供应流路29的进气阀与供应阀36之间。当打开进气阀20和供应阀36来对气体缓冲罐13供应发光气体时，上述空气流入缓冲罐13，并在气体缓冲罐13内与所供应的发光气体混合。因此，较为理想的是，减小进气流路22和供应流路29的进气阀20与供应阀36之间的空间以使进气流路22和供应流路29所围住的空气量相对于一次供应的发光气体的量足够小。而且，更为理想的是，将阀内置在联接器16和联接器33中，当联接器16与联接器33分开时，空气不会进入进气流路22和供应流路29。

此外，供应站9利用定位构件39对收容构件26卡定来进行工件搬运台车1的定位，但较为理想的是，联接器16、17或联接器33、34还包括自动调芯机构。

气体缓冲罐13和空气缓冲罐14只要能供应工件搬运台车1在轨条2上移动一周期间的显示面板的制造工序中所消耗的量的发光气体和压缩空气即可。因此，气体缓冲罐13和空气缓冲罐14也可以不是容积大的或是高压的缓冲罐。此外，由于气体缓冲罐13和空气缓冲罐14不需要用于供应压缩气体和发光气体的电动机，因此工件搬运台车1的消耗功率小。此外，由于工件搬运台车1的气体缓冲罐13和空气缓冲罐14不具有动力机构，因此维修频度也可以较低。

图3表示本发明第二实施方式的平板显示器面板制造设备的工件搬运台车1a和供应站9a。本实施方式的工件搬运台车1a在结构上只在气体缓冲罐13的进气流路22经由排气阀40与真空泵12相连接这点与第一实施方式不同。因此，对于与第一实施方式相同的构成要素标注相同的符号，省略重复的说明。

在本实施方式中，当对工件搬运台车1的气体缓冲罐13供应发光气体时，在将联接器33与联接器16连接之后，在打开进气流路22的进气阀20和供应流路29的供应阀36之前先打开排气阀40，通过利用真空泵12将进气流路22的内部的空气排出，从而不会使空气混入气体缓冲罐13。

另外，图4表示本发明第三实施方式的平板显示器面板制造设备的工件搬运台车1b和供应站9b。本实施方式的结构在供应站9b设有真空泵41并使真空泵41经由排气阀42与供应流路29相连接这点上与第一实施方式不同。在此，对于与第一实施方式相同的构成要素标注相同的符号，省略重复的说明。

上述真空泵41也与第二实施方式一样，在将供应流路29的联接器33与进气流路22的联接器16连接之后，在打开进气阀20和供应阀36对气体缓冲罐13供应发光气体之前，打开排气阀42将进气流路22和供应流路29的内部真空抽吸，从而不会使空气混入发光气体。

在本实施方式中，与第二实施方式不同，由于为了对进气流路22和供应流路29的内部真空抽吸，不采用设于各工件搬运台车1b的真空泵12，而在供应站9b上设置专用的真空泵41，因此，实现高真空从而能更高水平地防止空气混入发光气体。

图5是本发明第四实施方式的平板显示器面板制造设备(工件加工系统)的布局图。这种平板显示器面板制造设备使装载平板显示器面板用的玻璃基板(工件)后移动的多个工件搬运台车51在闭合的轨条52上循环。

轨条52由往路及回路和传送装置T构成，其中，往路及回路分别由直线状的轨道R构成，传送装置T设于往路及回路的两端，并将工件搬运台车51从往路切换至回路或从回路切换至往路移动。轨条52的往路的大部分在用于对玻璃基板加热并对内部空间真空抽吸的加热炉53中延伸。在加热炉53之后设有将发光气体封入玻璃基板的封入站54。轨条52的回路设有封闭站55、卸载站56、拉出站57以及装载站58，其中，封闭站55封闭用于对玻璃基板进行真空排气和封入发光气体的流路即排气管，卸载站56将玻璃基板从工件搬运台车51上取下，拉出站57为进行维修而将工件搬运台车51拉出，装载站58将玻璃基板叠在工件搬运台车51上。

图6中将在封入站54上停止的工件搬运台车51简化表示。工件搬运台车51在上部的收容空间内具有：多个保持构件59，这些保持构件59对玻璃基板P进行保持；以及多个头部60，这些头部60用于对各个玻璃基板P真空抽吸并封入发光气体。

此外，工件搬运台车51在下部的机械空间内包括：真空泵61，该真空泵61用于对头部60真空抽吸；分配控制装置(需求装置)62，该分配控制装置62内置有根据规定程序对各头部60供应发光气体的多个阀，并与头部60一体来消耗发光气体。分配控制装置62连接有用于供应发光气体的需求流路63，在需求流路63经由进气阀64连接有可分开的进气流路65。需求流路63设有对发光气体进行减压的调节器66，在进气流路65的末端设有阴模的进气联接器67。进气联接器67朝下固定在工件搬运台车51的底面。

此外，工件搬运台车51在底面具有由两个滚筒构成的定位收容构件68。定位收容构件68对未图示的搬运杆进行收容，也可用于供工件搬运台车51的驱动。

封入站54具有不同种类的发光气体的储气瓶(气体供应源)69、70。储气瓶69、70经由单向阀71、72和供应阀73、74在末端连接有供应流路76，该供应流路76设有可与工件搬运台车51的进气联接器67连接的阳模的供应联接器75。排气流路78经由排气阀77与供应流路76连接。排气流路78具有单向阀79，其一端朝大气开放。供应联接器75被气缸80可升降地保持，并随着气缸80的动作，与进气联接器67结合和分开。

此外，封入站54具有通过使气缸81升降从而对工件搬运台车51的定位收容构件68进行卡定的定位构件82。

在本实施方式的平板显示器面板制造设备中，当工件搬运台车51停止在封入站54时，通过将供应联接器75与进气联接器67结合，从而使供应流路76与进气流路65连接，并从储气瓶69或储气瓶70将发光气体经由需求流路63供应至分配控制装置62。分配控制装置62根据程序对各头部60供应发光气体，并将发光气体封入玻璃基板P。以下，对将发光气体从储气瓶69供应至需求流路63时的步骤进行详细说明。

首先，在关闭进气流路65的进气阀64、供应流路76的供应阀73、74和排气阀77的状态下，利用气缸80将供应联接器75与进气联接器67结合，并将进气流路65与供应流路76连接。藉此，进气流路65和供应流路76的内部空间成为与外部气体隔离的封闭空间。此时，在进气流路65和供应流路76的内部空间存在有大气压(0.1MPa)的空气。

接着，打开将供应流路76与储气瓶69连接的供应阀73。从储气瓶69中供应例如8MPa的压力的发光气体。这样，在进气流路65和供应流路76的内部空间处于充满分压为0.1MPa的空气和分压为7.9MPa的发光气体的状态。也就是说，在进气流路65和供应流路76的内部的发光气体中混入有1.25％的空气。在将供应阀73维持了使进气流路65和供应流路76的内压到达8Mpa所需时间的打开状态之后，再次关闭供应阀73，从而将进气流路65和供应流路76与储气瓶69、70分开。在此，单向阀71在进气流路65和供应流路76的内压上升到8MPa之后，防止进气流路65和供应流路76的内部的空气朝储气瓶69侧倒流。

因此，在关闭进气阀64和供应阀73、74的状态下，打开排气阀77，从而利用自身压力将进气流路65和供应流路76内部的发光气体排出。当将排气阀77打开了进气流路65和供应流路76的内压降低至大概大气压的所需时间后，再次关闭排气阀77。此时，在进气流路65和供应流路76的内部空间残留有已混入1.25％的空气的大气压的发光气体。此时，进气流路65和供应流路76中的空气分压为1.25kPa。此外，在此，单向阀79防止外部气体倒流而进入至供应流路76。

在本发明中，将在打开供应阀73对进气流路65和供应流路76供应发光气体之后所进行的打开排气阀77以将进气流路65和供应流路76内部的发光气体排出的一系列处理称为换气处理(日文：パ一ジング処理)。在本实施方式中，通过反复进行三次上述换气处理，从而使进气流路65和供应流路76内部的混入发光气体的空气的分压降低至0.2Pa。

在进行三次换气处理之后，当再次打开供应阀73来对进气流路65和供应流路76的内部空间供应发光气体时，进气流路65和供应流路76内部的发光气体的空气的混入率为大约0.024PPM。这样，在反复进行换气处理来提高进气流路65和供应流路76内部的发光气体的纯度之后，通过打开进气阀64来对需求流路63供应发光气体，从而能防止对玻璃基板P供应混入有允许限度以上的空气的发光气体而产生次品。

混入进气流路65和供应流路76内部的发光气体的空气的浓度(或分压)每进行一次换气处理就以与来自储气瓶69的发光气体的供应压力(8MPa)和排气流路78的压力(大气压)的比率(0.1/8)相等的比例减少。在本实施方式中，当所要求的发光气体的纯度不同时，也可以相应地调整反复进行换气处理的次数。

此外，封入站54利用定位构件82对收容构件68卡定来进行工件搬运台车51的定位，但较为理想的是，进气联接器67或供应联接器75还包括自动调芯机构。此外，进气联接器67和供应联接器75可以在任何位置以任何姿势进行设置，例如，可以将进气联接器67横向支承在工件搬运台车51的侧面。

图7表示本发明第五实施方式的平板显示器面板制造设备的工件搬运台车51a和封入站54a。此外，此后的说明，对于与先前所说明过的实施方式相同的构成要素标注相同的符号，并不反复进行重复的说明。

在本实施方式的封入站54a中，排气流路78在末端设有真空泵(真空源)83，并能将排气流路78内的气体抽至例如1kPa的真空。另外，本实施方式的工件搬运台车51a为与第四实施方式完全相同的结构。

在本实施方式中，为了从封入站54a对工件搬运台车51供应发光气体，当将供应流路76与进气流路65连接时，在进行上述换气处理之前，在将进气流路65的进气阀64及排气阀77和供应流路76的供应阀73、74关闭的状态下打开排气阀77。藉此，在利用真空泵83将进气流路65和供应流路76的内部空间排气至真空之后，再次关闭排气阀77，从而将进气流路65和供应流路76的内部空间的空气的压力控制为大约1kPa的状态。藉此，在最初的换气处理中，打开供应阀73来对进气流路65和供应流路76供应发光气体时的空气的混入率大幅降低至125PPM。

由于在此后的换气处理的打开排气阀77来排出进气流路65和供应流路76内部的气体的工序中，真空泵83也经由排气流路78对进气流路65和供应流路76真空抽吸，因此，能将进气流路65和供应流路76内部的空气的分压降低至0.125Pa。因此，当接着打开供应阀73来对进气流路65和供应流路76供应发光气体时，进气流路65和供应流路76内部的发光气体中的空气浓度降低至0.016PPM。因此，在本实施方式中，只要进行一次换气处理就能将进气流路65和供应流路76内部的发光气体中的空气浓度降低至与第四实施方式中进行三次换气处理后大致相同的程度。

另外，在本实施方式中，混入进气流路65和供应流路76内部的发光气体中的空气的浓度(或分压)通过换气处理前的进气流路65和供应流路76的真空抽吸而以与大气压和真空泵83的真空压之比相等的比例减少，利用一次换气处理就能以与来自储气瓶69的发光气体的供应压力(8MPa)和排气流路78的压力即和真空泵83的真空压(1kPa)之比(0.001/8)相等的比例减少。其结果是，在本实施方式中，在换气处理中向大气排放的发光气体的量也可以很少。

另外，当认为将发光气体朝大气中排放为不太理想时，也可以将真空泵83的排出气体送至排气处理装置。

图8表示本发明第六实施方式的平板显示器面板制造设备的工件搬运台车51b和封入站54b。在本实施方式中，排气阀77和排气流路78不与供应流路76连接，而是与进气流路65连接。

在本实施方式中，发光气体从封入站54b向工件搬运台车51b的供应与第四实施方式一样，首先打开供应阀73或供应阀74来对进气流路65和供应流路76供应发光气体，反复进行在关闭供应阀73、74之后打开排气阀77，在将进气流路65和供应流路76的内压减压至大气压之后关闭排气阀77这样的换气处理。此后，通过打开供应阀73或供应阀74和进气阀64来对需求流路63供应发光气体，从而能将供应至需求流路63的发光气体中的空气混入率降低至所期望的值以下。

图9表示本发明第七实施方式的平板显示器面板制造设备的工件搬运台车51c和封入站54c。在本实施方式中，排气流路78与为经由各头部60对玻璃基板P真空抽吸而装设于工件搬运台车51的真空泵61的吸入部(日文：吸い込み)相连接，能对进气流路65和供应流路76的内部空间真空抽吸。另外，封入站54c的结构与第六实施方式的封入站54b相同。

在本实施方式中，与第五实施方式一样，通过对进气流路65和供应流路76内部的气体真空抽吸，从而利用较少次数的换气处理就能将混入发光气体中的空气浓度降低至期望的水平以下。当然，所需的换气处理的次数可以根据储气瓶69、70的压力和真空泵61的排气能力而为不同的次数。

图10表示本发明第八实施方式的平板显示器面板制造设备的整体结构。本实施方式的封入站54d不具有储气瓶，因而没有供应发光气体的能力。相反，在本实施方式中，在装载站58下游的轨条上设有对工件搬运台车51d供应发光气体的供应站84。

图11表示本实施方式的工件搬运台车51d和供应站84的详细情况。供应站84包括与第四实施方式相同结构的储气瓶69、70、供应流路76以及排气流路78。本实施方式的工件搬运台车51d具有对分配控制装置62供应发光气体的两个需求流路85、86，需求流路85、86经由进气阀87、88分别与进气流路65相连接。此外，需求流路85、86在调节器89、90的上游具有缓冲罐91、92。

本实施方式中，在供应站84上，将由储气瓶69供应得到的发光气体储存在需求流路85的缓冲罐91中，将由储气瓶70供应得到的发光气体储存在需求流路86的缓冲罐92中。此时，在本实施方式中，在打开进气阀87、88以供应发光气体之前，也反复进行与第四实施方式相同的换气处理，从而使残留在进气流路65和供应流路76内部的空气或由不作为目标的那个储气瓶70或储气瓶69供应得到的发光气体(不纯气体)的浓度充分降低。

此外，当从储气瓶69、70供应发光气体时，缓冲罐91、92的内压为来自储气瓶69、70的供应压力即8MPa。工件搬运台车51d沿轨条52前进，当到达封入站54d时，用调节器89、90将储存在缓冲罐91、92的发光气体减压至例如0.2MPa，从而供应至经真空抽吸后的玻璃基板P的内部空间。

由于工件搬运台车51d每在轨条52移动一周就会在供应站84上供应发光气体，因此，在缓冲罐91、92中只要储存有在轨条52移动一周之间所消耗的量的发光气体即可。缓冲罐91、92例如在将发光气体以供应至玻璃基板P的压力的40倍的压力储存时，只要是工件搬运台车51d所能装载的玻璃基板P的整个内部空间的容积总和的1/40以上的容积即可。

此外，本实施方式的结构既可以如第六实施方式那样变形为将排气流路78与进气流路65相连接，此外，也可以如第五实施方式或第七实施方式那样变形为从排气流路78进行真空排气。

而且，当在采用包括缓冲罐91、92的工件搬运台车51d的情况下，可以不设置使工件搬运台车51d停止的封入站54d，而是在工件搬运台车51d在轨条52上移动期间对玻璃基板P供应发光气体。藉此，由于封入站54d处的工件搬运台车51d的停止时间不再成为瓶颈(日文：ボトルネツク)，因此能容易使平板显示器面板制造设备整体的生产量提高。

Claims (14)

1.一种工件搬运台车，其特征在于，具有：

消耗气体的设备；

储存气体的缓冲罐；

可对所述缓冲罐供应气体的进气流路；以及

设于所述进气流路的联接器。

2.如权利要求1所述的工件搬运台车，其特征在于，在耗费气体的所述设备与所述缓冲罐之间具有调节器。

3.如权利要求1或2所述的工件搬运台车，其特征在于，在所述进气流路中设置单向阀和开闭阀中的至少任意一个。

4.一种工件加工系统，其使工件搬运台车在封闭的轨条上循环，其特征在于，

所述工件搬运台车具有消耗气体的设备、对气体进行收容的缓冲罐、可对所述缓冲罐供应气体的进气流路以及设于所述进气流路的联接器，

在所述轨条上的使所述工件搬运台车停止的位置上设置供应站，该供应站将供应流路与所述联接器连接从而对所述缓冲罐供应气体。

5.一种气体供应系统，其具有：进气流路，该进气流路经由进气阀与对需求处供应气体的需求流路相连接，并包括进气联接器；

供应流路，该供应流路经由供应阀与气体供应源相连接，并包括可与所述进气联接器相结合的供应联接器；以及

排气流路，该排气流路经由排气阀与所述进气流路或所述供应流路相连接，

在关闭所述进气阀和所述供应阀的状态下，将所述进气联接器与所述供应联接器结合，

至少进行一次换气处理，该换气处理通过在关闭所述排气阀的状态下打开所述供应阀而在对所述进气流路和所述供应流路中供应气体之后关闭所述供应阀，通过打开所述排气阀而在排放出所述进气流路和所述供应流路中的气体之后关闭所述排气阀，

打开所述供应阀和所述进气阀来对所述需求流路供应气体。

6.如权利要求5所述的气体供应系统，其特征在于，所述排气流路经由所述排气阀将所述进气流路或所述供应流路与真空源相连接。

7.如权利要求6所述的气体供应系统，其特征在于，在进行所述换气处理之前，打开排气阀以排放出所述进气流路和所述供应流路中的气体。

8.一种气体供应方法，其特征在于，

经由排气阀将排气流路与进气流路和供应流路中的任意一个相连接，其中，所述进气流路经由进气阀与对需求处供应气体的需求流路相连接，并包括进气联接器，所述供应流路经由供应阀与气体供应源相连接，并包括可与所述进气联接器相结合的供应联接器，

在关闭所述进气阀和所述供应阀的状态下，将所述进气联接器与所述供应联接器结合，

至少进行一次换气处理，该换气处理通过在关闭所述排气阀的状态下打开所述供应阀而在对所述进气流路和所述供应流路中供应气体之后关闭所述供应阀，通过打开所述排气阀而在排放出所述进气流路和所述供应流路中的气体之后关闭所述排气阀，

打开所述供应阀和所述进气阀来对所述需求流路供应气体。

9.如权利要求8所述的气体供应方法，其特征在于，通过所述排气阀对所述进气流路或所述供应流路真空抽吸。

10.如权利要求9所述的气体供应方法，其特征在于，在进行所述换气处理之前，打开所述排气阀以排放出所述进气流路和所述供应流路中的气体。

11.一种工件加工系统，其特征在于，包括：

工件搬运台车，该工件搬运台车具有消耗气体的需求装置、对所述需求装置供应气体的需求流路及经由进气阀与所述需求流路相连接且包括进气联接器的进气流路，并且所述工件搬运台车对工件进行保持以在封闭的轨条上环绕移动；以及

供应站，该供应站设于所述工件搬运台车的停止位置并具有供应流路，所述供应流路经由供应阀与气体供应源相连接并包括可与所述进气联接器相结合的供应联接器，

排气流路经由排气阀与所述进气流路或所述供应流路相连接，

在关闭所述进气阀和所述供应阀的状态下，将所述进气联接器与所述供应联接器结合，

至少进行一次换气处理，所述换气处理通过在关闭所述排气阀的状态下打开所述供应阀而在对所述进气流路和所述供应流路中供应气体之后关闭所述供应阀，通过打开所述排气阀而在排放出所述进气流路和所述供应流路中的气体之后关闭所述排气阀，

打开所述供应阀和所述进气阀从而对所述需求流路供应气体。

12.如权利要求11所述的工件加工系统，其特征在于，所述排气流路通过所述排气阀将所述进气流路或所述供应流路与真空源相连接。

13.如权利要求12所述的工件加工系统，其特征在于，在进行所述换气处理之前，打开所述排气阀以排放出所述进气流路和所述供应流路中的气体。

14.如权利要求11至13中任一项所述的工件加工系统，其特征在于，所述需求流路具有储存气体的缓冲罐。

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