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CN101884007B - 有源矩阵基板、液晶面板、液晶显示装置、电视接收机和有源矩阵基板的制造方法 - Google Patents

有源矩阵基板、液晶面板、液晶显示装置、电视接收机和有源矩阵基板的制造方法 Download PDF

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CN101884007B CN2008801188167A CN200880118816A CN101884007B CN 101884007 B CN101884007 B CN 101884007B CN 2008801188167 A CN2008801188167 A CN 2008801188167A CN 200880118816 A CN200880118816 A CN 200880118816A CN 101884007 B CN101884007 B CN 101884007B
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Abstract

本发明提供一种有源矩阵基板、液晶面板、液晶显示装置、电视接收机和有源矩阵基板的制造方法。有源矩阵基板具备:从保持电容配线(18A)和数据信号线(15a)的交叉部向相邻的两条扫描信号线(16a·16b)和数据信号线(15a)的两个交叉部分别延伸的保持电容配线延伸部(18s),保持电容配线延伸部(18s)具有与数据信号线(15a)重叠的部分(M3),另外,从保持电容配线延伸部(18s)进一步延伸的保持电容配线副延伸部(18c)具有与漏极引出配线(19a)重叠的部分(M4),扫描信号线(16b)的开口部(K)的至少一侧作为晶体管(12a)的栅极电极(10a)发挥作用。

Description

有源矩阵基板、液晶面板、液晶显示装置、电视接收机和有源矩阵基板的制造方法
技术领域
本发明涉及一种可修正数据信号线的断线的有源矩阵基板及使用该有源矩阵基板的液晶面板等。
背景技术
图5表示具有多像素结构(像素分割方式)的有源矩阵基板905的现有的结构。
如该图所示,有源矩阵基板905具备:沿列方向Y延伸的数据信号线915、沿行方向X延伸的扫描信号线916、沿行方向X延伸的保持电容配线918、以及被上述数据信号线915和上述扫描信号线916划分的像素区域903。
上述保持电容配线918横穿上述像素区域903的中央,在像素区域903形成有晶体管912和像素电极917。
具体而言,在上述像素区域903,晶体管912的源极电极908与数据信号线915连接,上述晶体管912的漏极电极909经接触孔911与像素电极917连接。
另外,扫描信号线916作为上述晶体管912的栅极电极发挥作用。
另外,如上所述,上述保持电容配线918与上述像素电极917重叠,由此,在保持电容配线918和像素电极917之间形成保持电容。
而且,在具备上述有源矩阵基板905的液晶显示装置中,与像素区域903对应的部分形成一个像素。而且,根据该液晶显示装置,从数据信号线915向像素电极917提供信号电位。
在此,在图5所示的有源矩阵基板905设有用于修正数据信号线915的断线等不良的备用配线。下面进行说明。
即,在上述有源矩阵基板905设有从上述保持电容配线918和数据信号线915的交叉部RC1向相邻的上述扫描信号线916和数据信号线915的两交叉部RC2·RC3的方向延伸的保持电容配线延伸部918s。
具体而言,上述保持电容配线延伸部918s从位于上述像素区域903的大致中央的上述交叉部RC1,沿着上述数据信号线915向其两侧在俯视时以与上述数据信号线915之间具有间隙的方式延伸设置。
而且,上述保持电容配线延伸部918s延伸至上述各交叉部RC2·RC3的跟前侧。
换言之,上述保持电容配线延伸部918s与上述扫描信号线916不相交,而是在俯视时在上述保持电容配线延伸部918s的前端和上述扫描信号线916之间形成有一定的间隙。这是由于,一般而言,上述保持电容配线918、保持电容配线延伸部918s及扫描信号线916形成在同一层。
另外,在沿着上述数据信号线915延伸设置于其两侧的上述保持电容配线延伸部918s,设有从各上述保持电容配线延伸部918s向上述数据信号线915突出的保持电容配线延伸部突起918sc。
而且,该保持电容配线延伸部突起918sc在俯视时(在平面视野中)具有与上述数据信号线915重叠的部分(参照图5所示的重叠点P1·P2·P3·P4)。
具体而言,上述保持电容配线延伸部突起918sc在自上述交叉部RC1至交叉部RC2之间,在夹着上述数据信号线915的各保持电容配线延伸部918s设有两个,共计设有四个。
另外,同样,该保持电容配线延伸部突起918sc在从上述交叉部RC1至交叉部RC3之间设有四个。
而且,上述保持电容配线延伸部突起918sc形成于夹着上述数据信号线915相对的两个保持电容配线延伸部918s的大致同一位置。换言之,在上述保持电容配线延伸部突起918sc和上述数据信号线915重叠的部分,从上述数据信号线915的两侧起,上述保持电容配线延伸部突起918sc与数据信号线915重叠。
另外,在图5所示的有源矩阵基板905,令形成于从上述交叉部RC1至交叉部RC2之间的重叠点从上述交叉部RC1起依次为交叉部P1、交叉部P2。另一方面,令形成于从上述交叉部RC1至交叉部RC3之间的重叠点从上述交叉部RC1起依次为交叉部P3、P4。
如上所述,在图5所示的现有有源矩阵基板905,如上所述,沿数据信号线915设有保持电容配线延伸部918s,另外,还设有上述数据信号线915和上述保持电容配线延伸部918s(保持电容配线延伸部突起918sc)重叠的部分。
因此,即使数据信号线915发生断线等不良的情况下,通过将与数据信号线915并排设置的上述保持电容配线延伸部918s用作迂回线路,也可修复(修正)数据信号线915的上述不良(缺陷)。即,通过譬如将上述保持电容配线延伸部918s用作备用配线,经由该备用配线供给信号电位,可向断线部位以后的部分提供数据信号。
另外,作为与上述现有的有源矩阵基板有关的公知文献可列举专利文献1。
专利文献1:日本国公开专利公报“特开平11-38449号公报(公开日期:1999年2月12日公开)”
但是,上述现有的有源矩阵基板905存在能够修正不良的数据信号线915的范围小的问题。换言之,其存在的问题是,不能对不良进行修正的数据信号线915的范围广,能够补救断线的有源矩阵基板905的比率低。
即,在上述结构的有源矩阵基板905中,只能修正在上述图5所示的断线可修正区域RA的范围产生的数据信号线915的断线等,不能修正在其它区域产生的数据信号线915的断线等。即,不能修正在上述图5所示的断线不可修正区域RB产生的数据信号线915的断线等。
而且,通常在同一层设置保持电容配线918和扫描信号线916的情况居多,此时,需要将上述保持电容配线延伸部的前端918st和扫描信号线916的上述间隔设定得更宽。这是为了抑制因保持电容配线918和扫描信号线916短路而产生不良。
因此,在实际产品中,需要较宽地设定上述保持电容配线延伸部的前端918st和扫描信号线916的间隔,使得上述断线不可修正区域RB的长度变长。其结果是,使得可补救的不良(断线)的有源矩阵基板905的比率降低。
发明内容
本发明是鉴于上述的问题点而完成的,其目的在于,提供一种能够在更宽范围修正数据信号线的断线的有源矩阵基板、液晶面板、液晶显示装置、电视接收机和有源矩阵基板的制造方法。
为了解决上述问题,本发明提供一种有源矩阵基板,其包括沿第一方向延伸的扫描信号线和保持电容配线;以及沿与上述第一方向交叉的第二方向延伸的数据信号线,在各像素区域,一条上述扫描信号线横穿该像素区域,并且,在沿该扫描信号线的长度方向的两侧中的一侧设有至少一个像素电极,且在另一侧设有至少一个像素电极,在上述扫描信号线上,与设于上述像素区域的上述各像素电极对应地设有晶体管,该有源矩阵基板的特征在于:上述保持电容配线具有从该保持电容配线与上述数据信号线的交叉部,朝向与该保持电容配线相邻的两条上述扫描信号线与该数据信号线的两个交叉部,沿着上述数据信号线分别延伸的保持电容配线延伸部,上述保持电容配线延伸部具有在俯视时与上述数据信号线重叠的部分,设置有将上述晶体管所具备的漏极电极与上述像素电极电连接的漏极引出配线,在上述保持电容配线延伸部设有沿上述漏极引出配线的方向延伸的副延伸部,上述副延伸部具有在俯视时(在平面视图中)与上述漏极引出配线重叠的部分,在设有上述晶体管的部分的上述扫描信号线,形成有从上述像素区域的内侧越过上述数据信号线到达该像素区域的外侧的开口部,相对于上述开口部,至少上述一侧的上述扫描信号线的部分作为上述晶体管的栅极电极起作用。
根据上述结构,在以往难以修正的扫描信号线附近的数据信号线产生的断线能够很容易修复。下面,进行说明。
即,根据上述结构,设置有沿着数据信号线延伸的保持电容配线延伸部。而且,在该保持电容配线延伸部设有在电连接漏极电极和像素电极的漏极引出配线的方向延伸的副延伸部。
另外,在上述保持电容配线延伸部,设有与上述数据信号线重叠的部分(重叠点1)。另外,在上述副延伸部设有与上述漏极引出配线重叠的部分(重叠点2)。
因此,在从数据信号线和扫描信号线交叉的部分至上述重叠点1之间的数据信号线产生断线的情况下,在上述重叠点1将数据信号线和保持电容配线延伸部电连接,另外,在上述重叠点2将从保持电容配线延伸部延伸的副延伸部和漏极引出配线电连接。
由此,作为数据信号线的产生了断线的部分的迂回路径,能够形成数据信号线·保持电容配线延伸部·副延伸部·漏极引出配线·晶体管·数据信号线这样的路径。
另外,根据上述的结构,在扫描信号线形成有开口部,该开口部的至少一侧形成为上述晶体管的栅极电极。
因此,即使为了修正(修复)数据信号线的断线而形成上述迂回路径,将一个晶体管作为数据信号的发送路径(迂回路径的一部分),也能够通过切断设有该晶体管的扫描信号线,而使该晶体管与扫描信号线整体电性分离(电断开)。
另外,根据上述结构,在设于扫描信号线的开口部的一侧形成有晶体管。因此,即使切断上述扫描信号线,也能够经上述开口部的另一侧(未进行切断的一侧)的配线将扫描信号送到其目的地。因此,即使为了修正断线而切断扫描信号线,也能够向以同一扫描信号线为栅极电极的其它晶体管像通常那样发送扫描信号。
如上所述,能够容易地修正以往难以修正的扫描信号线附近的数据信号线。
因此,根据上述结构,能够提供一种能够在更广的范围修正数据信号线的断线的有源矩阵基板。
另外,优选在本发明的有源矩阵基板中,上述保持电容配线延伸部在俯视时与上述数据信号线在该数据信号线的延伸方向上的至少两个不同的部位重叠。
根据上述结构,在数据信号线的延伸方向的不同的两点设有保持电容配线延伸部和数据信号线重叠的点。因此,不仅在扫描信号线和上述重叠点1(保持电容配线延伸部和数据信号线重叠的点)之间的数据信号线产生了断线的情况下能够修正,而且在上述不同的两点间发生数据信号线的断线的情况也可修正。
即,在上述两点间发生数据信号线的断线的情况下,在该两点将重叠的数据信号线和保持电容配线延伸部电连接。这样,在该两点之间能够将上述保持电容配线延伸部作为断线后的数据信号线的迂回路径。
其结果是,根据上述结构,能够进一步拓宽能够修正断线的数据信号线的范围。
另外,本发明的液晶面板优选具备权利上述有源矩阵基板。
另外,本发明的液晶显示装置优选具备上述液晶面板。
另外,本发明的电视接收机优选具备上述液晶显示装置和接受电视播放的调谐部。
根据上述结构,由于所使用的有源矩阵基板的成品率高,因而可得到生产率更高的液晶面板、液晶显示装置、电视接收机。
另外,为了解决上述问题,本发明提供一种有源矩阵基板的制造方法,该有源矩阵基板具备沿第一方向延伸的扫描信号线和保持电容配线;以及沿与上述第一方向交叉的第二方向延伸的数据信号线,在各像素区域,一条扫描信号线横穿该像素区域,并且在沿该扫描信号线的长度方向的两侧中的一侧设有至少一个像素电极,且在另一侧设有至少一个像素电极,将晶体管用作开关元件,该有源矩阵基板的制造方法的特征在于,包括:在上述保持电容配线,以从该保持电容配线和上述数据信号线的交叉部沿该数据信号线延伸设置且具有与上述数据信号线重叠的部分的方式形成保持电容配线延伸部的工序;
在上述保持电容配线延伸部,进一步设置朝向从上述晶体管的漏极电极延伸的漏极引出配线延伸且具有与上述漏极引出配线重叠的部分的副延伸部的工序;
在上述扫描信号线,设置从上述像素区域的内侧越过上述数据信号线到达该像素区域的外侧的开口部,并且相对于上述开口部至少在上述一侧的上述扫描信号线的部分设置上述晶体管的栅极电极的工序;
在上述保持电容配线延伸部和上述数据信号线重叠的部分与上述晶体管的源极电极之间的上述数据信号线发生断线的情况下,
以使上述保持电容配线延伸部和上述数据信号线重叠的上述部分与上述保持电容配线电分离(电断开)的方式,在与上述数据信号线重叠的部分和上述保持电容配线之间将上述保持电容配线延伸部切断的工序;
在与上述保持电容配线延伸部重叠的部分至与该漏极引出配线连接的像素电极之间,将上述漏极引出配线切断的工序;
以保持上述晶体管的源极电极和上述数据信号线的电连接,并使上述晶体管与上述扫描信号线电分离的方式,切断上述扫描信号线的上述开口部的两个部位的工序;
在上述保持电容配线延伸部和上述数据信号线重叠的部分,将该保持电容配线延伸部和该数据信号线电连接的工序;
在上述副延伸部和上述漏极引出配线重叠的部分,将该副延伸部和该漏极引出配线电连接的工序;
在上述漏极电极和上述栅极电极重叠的部分,将该漏极电极和该栅极电极电连接的工序;和
在上述源极电极和上述栅极电极重叠的部分,将该源极电极和该栅极电极电连接的工序。
根据上述方法,在上述保持电容配线延伸部和上述数据信号线重叠的部分与上述晶体管的源极电极之间的上述数据信号线发生断线的情况下,能够对发生了这种断线的上述数据信号线形成迂回路径。
即,在上述数据信号线和上述保持电容配线延伸部重叠的部分(连接点1)、上述副延伸部和上述漏极引出配线重叠的部分(连接点2)、上述漏极电极和上述栅极电极重叠的部分(连接点3)及上述源极电极和上述栅极电极重叠的部分(连接点4)各自彼此电连接。
由此,能够将数据信号按照数据信号线·连接点1·保持电容配线延伸部·副延伸部·连接点2·漏极引出配线·漏极电极·连接点3、栅极电极·连接点4·源极电极·数据信号线的顺序迂回发送。
另外,根据上述方法,能够使以上述方式形成的迂回路径与其它配线电分开。
即,将上述保持电容配线和上述连接点1之间的上述保持电容配线延伸部、及上述连接点2和像素电极之间的漏极引出配线切断。并且,以使上述连接点3·4与扫描信号线绝缘的方式切断上述扫描信号线的上述开口部的两个部位。
由此,能够降低因修正数据信号线的断线而产生的对有源矩阵基板的其它区域的影响。
因此,根据上述方法,能够提供一种能够在更宽的范围修正数据信号线的断线的有源矩阵基板的制造方法。
如上所述,在本发明的有源矩阵基板中,上述保持电容配线具备从该保持电容配线和上述数据信号线的交叉部朝向与该保持电容配线相邻的两条上述扫描信号线和该数据信号线的两个交叉部、沿上述数据信号线分别延伸的保持电容配线延伸部,上述保持电容配线延伸部具有在俯视时与上述数据信号线重叠的部分,设置有将设置于上述晶体管的漏极电极和上述像素电极电连接的漏极引出配线,在上述保持电容配线延伸部设有沿上述漏极引出配线的方向延伸的副延伸部,上述副延伸部具有在俯视时与上述漏极引出配线重叠的部分,在设有上述晶体管的部分的上述扫描信号线,形成有从上述像素区域的内侧跨过上述数据信号线至该像素区域的外侧的开口部,相对于上述开口部,至少上述一侧的上述扫描信号线的部分作为上述晶体管的栅极电极发挥作用。
另外,本发明的有源矩阵基板的制造方法包括:在保持电容配线,以从该保持电容配线和数据信号线的交叉部沿该数据信号线延伸设置且具有与上述数据信号线重叠的部分的方式形成保持电容配线延伸部的工序;在上述保持电容配线延伸部,进一步设置朝向从晶体管的漏极电极延伸出的漏极引出配线延伸且具有与上述漏极引出配线重叠的部分的副延伸部的工序;在扫描信号线,设置从像素区域的内侧越过上述数据信号线到达该像素区域的外侧的开口部,并且相对于上述开口部在至少上述一侧的上述扫描信号线的部分设置上述晶体管的栅极电极的工序;在上述保持电容配线延伸部和上述数据信号线重叠的部分与上述晶体管的源极电极之间的上述数据信号线发生了断线的情况下,以使上述保持电容配线延伸部和上述数据信号线重叠的上述部分与上述保持电容配线电分离(电断开)的方式,在与上述数据信号线重叠的部分和上述保持电容配线之间将上述保持电容配线延伸部切断的工序;在与上述保持电容配线延伸部重叠的部分至与该漏极引出配线连接的像素电极之间,将上述漏极引出配线切断的工序;以保持上述晶体管的源极电极和上述数据信号线的电连接,并使上述晶体管与上述扫描信号线电分离的方式,切断上述扫描信号线的上述开口部的两个部位的工序;在上述保持电容配线延伸部和上述数据信号线重叠的部分,将该保持电容配线延伸部和该数据信号线电连接的工序;在上述副延伸部和上述漏极引出配线重叠的部分,将该副延伸部和该漏极引出配线电连接的工序;在上述漏极电极和上述栅极电极重叠的部分,将该漏极电极和该栅极电极电连接的工序;和在上述源极电极和上述栅极电极重叠的部分,将该源极电极和该栅极电极电连接的工序。
因此,实现能够在更宽的范围修正数据信号线的断线这一效果。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式的平面图,即表示有源矩阵基板的结构的平面图。
图2是图1的A-A线剖面图。
图3是图1的B-B线剖面图。
图4是表示本发明的液晶显示装置及电视接收机的结构的框图。
图5是表示现有技术的平面图,即表示有源矩阵基板的结构的平面图。
符号的说明
5:有源矩阵基板
8:源极电极
9:漏极电极
10:栅极电极
12:晶体管
15:数据信号线
16:扫描信号线
17:像素电极
18:保持电容配线
18s:保持电容配线延伸部
18b:保持电容配线跨线部(保持电容配线延伸部)
18c:保持电容配线副延伸部
19:漏极引出配线
60:液晶面板
70:液晶显示装置
75:调谐部
80:电视接收机
K:开口部
Br2:断线点
C3:切断点
C4:切断点
C5:切断点
C6:切断点
C7:切断点
M3:熔融连接(焊接)点
M4:熔融连接点
M5:熔融连接点
M6:熔融连接点
具体实施方式
下面,说明本发明的各实施方式。另外,在各结构(各图)间,对功能共同的部件标注同一符号,酌情省略说明。
图1表示本实施方式的有源矩阵基板5的结构。
(数据信号线、扫描信号线、保持电容配线)
在为像素分割方式的本有源矩阵基板5内,如上述图1所示,设有:沿列方向Y延伸的数据信号线15(15a·15b)、沿行方向X延伸的扫描信号线16(16a·16b)、沿行方向X延伸的保持电容配线18(18A·18B),像素区域3成矩阵状配置,上述数据信号线15隔着绝缘层(未图示)与各保持电容配线18及各扫描信号线16交叉。
(像素区域)
具体而言,上述扫描信号线16横穿上述像素区域3的中央,在该像素区域3形成有第一和第二晶体管12a·12b、及第一和第二像素电极17a·17b。
另外,在俯视时,上述第一像素电极17a和保持电容配线18A位于扫描信号线16的一侧,上述第二像素电极17b和保持电容配线18B设于扫描信号线16的另一侧。
(晶体管:源极)
下面,对上述各晶体管进行说明。
在上述像素区域3,上述第一晶体管12a的源极电极8a及第二晶体管12b的源极电极8b与上述数据信号线15连接。
(晶体管:漏极)
另外,第一晶体管12a的漏极电极9a经由设于从该漏极9a延伸设置的第一漏极引出配线19a的接触孔11a与上述第一像素电极17a连接。
另外,与该第一晶体管12a一样,上述第二晶体管12b的漏极电极9b经由设于第二漏极引出配线19b的接触孔11b与第二像素电极17b连接。
(晶体管:栅极)
另外,在上述第一晶体管12a及上述第二晶体管12b,上述扫描信号线16作为上述第一和第二晶体管12a·12b共同的栅极电极10(10a·10b)发挥作用。
(栅极的开口部)
另外,在本实施方式的有源矩阵基板5,在其扫描信号线16形成有开口部K。在此,所谓开口部K是指扫描信号线16被除去(挖掉)的部分。下面进行说明。
如上述图1所示,在本实施方式的有源矩阵基板5,在各扫描信号线16的形成有上述各晶体管12的区域,设有与上述扫描信号线16的延伸方向即行方向X平行的长方形状的切口。即,在金属制的扫描信号线16上形成有大致长方形状的未设金属的区域即开口部K。
更具体地说,上述开口部K在图1所示的实施方式中,从上述像素区域3的外侧遍及至该像素区域3的内侧地形成。
而且,在上述像素区域3内的形成有晶体管12的区域,因形成上述开口部K而产生的扫描信号线16的开口部K的两侧部分分别作为各晶体管12a·12b的栅极电极10发挥作用。
(保持电容配线)
下面,说明上述保持电容配线18。
如上述图1所示,本实施方式中的保持电容配线18A与属于像素区域3a的第二像素电极17b重叠,并且与属于与上述像素区域3a相邻的像素区域即像素区域3b的第一像素电极17a重叠。
而且,在各重叠区域形成有保持电容。具体而言,在上述保持电容配线18A和上述第二像素电极17b之间形成有第二保持电容,并且在上述保持电容配线18A和第一像素电极17a之间形成有第一保持电容。
(多像素结构)
下面,说明多像素结构。
在具备有源矩阵基板5的本液晶显示装置内,与一个像素区域3对应的部分为一个像素,在一个像素内,以包含第一像素电极17a的方式形成第一副像素,并且以包含第二像素电极17b的方式形成第二副像素。
根据上述液晶显示装置,从数据信号线15向第一和第二像素电极17a·17b供给相同的信号电位(与数据信号对应的电位),而单独控制上述保持电容配线18A·18B的电位(例如,以使一方上升而另一方下降的方式进行控制),由此,可经由上述第一和第二保持电容使第一像素电极17a及第二像素电极17b为不同的电位。
由此,在本液晶显示装置内能够由高亮度的副像素(明副像素)和低亮度的副像素(暗副像素)构成一个像素而表现中间调(中间灰度等级),改善γ特性的视角依赖性(例如,画面的浮白等)。
(保持电容配线)
下面,详细说明本实施方式的有源矩阵基板5中的保持电容配线18的特征点。
在本实施方式中的保持电容配线18,除设有沿上述行方向X延伸的部分之外,还设有沿着与上述数据信号线15平行的方向即上述列方向Y延伸的保持电容配线延伸部18s。
另外,在本实施方式中的保持电容配线18,设有从上述保持电容配线延伸部18s向上述漏极引出配线19延伸的保持电容配线副延伸部18c。下面,进行具体说明。
(保持电容配线延伸部)
首先,说明上述保持电容配线延伸部18s。
该保持电容配线延伸部18s从保持电容配线18和数据信号线15的交叉部分朝向该数据信号线15的延伸方向,与该数据信号线15并行地延伸设置。
即,从保持电容配线18(18A)和数据信号线15(15a)的上述交叉部分,向相反的两个方向,即朝向该数据信号线15接着与扫描信号线16交叉的部分(数据信号线15a和数据信号线16a交叉的部分及数据信号线15a和扫描信号线16b交叉的部分)的方向分别延伸设置。
即,从数据信号线15a和上述保持电容配线18A的交叉部分,朝向该数据信号线15a和上述扫描信号线16a的交叉部分延伸设置的保持电容配线为第一保持电容配线延伸部18s1。
同样,从该数据信号线15a和上述保持电容配线18A的交叉部分,朝向该数据信号线15a和上述扫描信号线16b的交叉部分延伸设置的是第二保持电容配线延伸部18s2。
(并排延伸)
而且,上述各保持电容配线延伸部18s(18s1·18s2)在俯视时沿着上述数据信号线15的两侧在上述各保持电容配线延伸部18s(18s1·18s2)与上述数据信号线15之间具有一定的间隔,并且将以并排方式延伸的第一保持电容配线延伸部18s1a·18s1b·18s2a·18s2b作为其主要部分。
换言之,在设有上述保持电容配线延伸部18s的区域,上述数据信号线15成为被第一保持电容配线延伸部18s1a和第一保持电容配线延伸部18s1b夹着的状态、及被第二保持电容配线延伸部18s2a和第二保持电容配线延伸部18s2b夹着的状态。
(跨线部)
而且,夹着上述数据信号线15延伸的第一保持电容配线延伸部18s1a和第一保持电容配线延伸部18s1b、及第二保持电容配线延伸部18s2a和第二保持电容配线延伸部18s2b,在俯视时通过跨过上述数据信号线15的配线部分即保持电容配线跨线部18b连接。
具体而言,在本实施方式中,如上述图1所示,第一保持电容配线延伸部18s1a和第一保持电容配线延伸部18s1b、及第二保持电容配线延伸部18s2a和第二保持电容配线延伸部18s2b,在上述保持电容配线18的附近部分和该保持电容配线延伸部18s的前端部分这两个部位进行连接。
另外,在本实施方式中,如上述图1所示,例示了在上述保持电容配线延伸部18s的两个部位设有上述保持电容配线跨线部18b的结构。但是,保持电容配线跨线部18b的个数并无特别限定,既可以设为一个,也可以设为三个以上。
(总结)
如上所述,本实施方式的保持电容配线延伸部18s以夹着上述数据信号线15的方式沿列方向Y延伸,其方向为远离上述扫描信号线16的方向。
于是,利用两条保持电容配线延伸部18s1a·s1b、和两条保持电容配线跨线部18b,在俯视时形成包围数据信号线15的长方形状的圈。
(副延伸部)
下面,说明从上述保持电容配线延伸部18s进一步延伸的保持电容配线副延伸部18c。
该保持电容配线副延伸部18c从上述保持电容配线延伸部18s的前端部分朝向上述漏极引出配线19的方向沿行方向X延伸设置。
而且,上述保持电容配线副延伸部18c延伸至与上述漏极引出配线19交叉。
(断线修正)
在本实施方式的有源矩阵基板5,上述保持电容配线延伸部18s及保持电容配线副延伸部18c作为用于断线修正的备用配线发挥作用。下面,参照有源矩阵基板5的透视平面图即图1进行说明。
(区域R1)
首先,对数据信号线15在图1所示的区域R1发生的断线不良的修正进行说明。
即,该情况下的断线不良例如是指在图1所示的断线点Br1数据信号线15发生断线(所谓的S断)的情况。
(切断(cut))
作为上述修正,首先将上述保持电容配线延伸部18s中的被相对于上述数据信号线15的两个跨线部(保持电容配线延伸部18s横穿数据信号线15的部分)夹着的区域(长方形区域)与保持电容配线18(沿行方向X延伸的部分)电分离。
即,在之前说明的两个保持电容配线跨线部18b,切开从一方至另一方的部分。
因此,在该部分的两侧(两个部位)切断保持电容配线18。具体而言,在图1所示的保持电容配线延伸部18s上的切断点C1和保持电容配线副延伸部18c上的切断点C2这两个部位将配线切断。
(熔化(melt))
接着,在保持电容配线跨线部18b和上述数据信号线15交叉的部分即两者重叠的部分,以夹着上述断线点Br1的方式在两个部位进行熔融连接,将上述保持电容配线跨线部18b和上述数据信号线15电连接。
具体而言,将图1所示的两处的熔化连接点M1、M2熔化,将保持电容配线延伸部s和数据信号线15连结。
(迂回路径)
通过这样的修正操作,在图1中,数据信号经由用两箭头符号线D所示的迂回路径流到上述断线点Br1之后的部分。
即,以包围上述数据信号线15的外侧的方式形成的上述保持电容配线延伸部18s成为迂回路径。具体而言,在发生了断线的数据信号线15,形成由保持电容配线跨线部18b·保持电容配线延伸部18s·保持电容配线跨线部18b构成的旁路(迂回路径)。
由此,经上述旁路将数据信号传送到数据信号线15的上述断线部位(断线点Br1)之后的部位。
如上所述,可修正上述数据信号线15的断线。而且,由此可提高制造有源矩阵基板5时的成品率。
(修正工序)
在此,上述修正的工序中的进行切断(cut)和熔化(熔融连接)的具体方法并无特别限定。例如作为上述方法有使用激光的方法。
具体而言,例如可通过从上述有源矩阵基板5的表面照射激光而进行。在此,激光器所使用的激光并无特别限定。例如能够使用YAG(钇铝石榴石)激光器,作为所使用的波长,可列举YAG(钇铝石榴石)激光器的第四高频波(波长266nm)等。
另外,在进行切断(破坏)及熔融连接时,也可从上述有源矩阵基板5的背面照射激光。
(区域R2)
接着,说明数据信号线15在区域R2发生的断线的修正。
在本实施方式的有源矩阵基板5,不仅可修正数据信号线15在上述区域R1的断线(断线点Br1),而且可修正数据信号线15在图1所示的区域R2的断线(Br2)。下面,说明在图1所示的断线点Br2数据信号线15发生断线的情况。
(切断(cut))
首先,使与修正相关的配线从有源矩阵基板5电分开。
具体而言,通过先前进行了说明的使用激光的方法,将保持电容配线延伸部18s上的2个切断点C3·C4、漏极引出配线19上的切断点C5电性切断。
另外,在上述扫描信号线16的形成有开口部K的部分,在晶体管12的两端即图1所示的切断点C6·C7将晶体管12切断。由此,能够使用于修正的晶体管12与其它晶体管12和扫描信号线16电性独立。
(熔化)
接着,为了形成迂回路径而利用熔化进行连接(熔融连接)。
具体而言,就是在图1所示的四个部位的熔融连接点M3·M4·M5·M6进行熔融连接。
即,首先,对发生了断线的数据信号线15和上述保持电容配线跨线部18b重叠的部分即熔融连接点M3进行熔融连接。由此,数据信号能够从数据信号线15经由进行了熔融连接的上述保持电容配线跨线部18b流到保持电容配线副延伸部18c。
而且,接着对上述保持电容配线副延伸部18c和上述漏极引出配线19重叠的部分即熔融连接点M4进行熔融连接。由此,数据信号能够向连接上述漏极引出配线19的晶体管12的方向流动。在此,由于上述漏极引出配线19在其接触孔11的跟前被切断(上述切断点C5),因而上述数据信号不流向像素电极17的方向,而是有选择地仅流向晶体管12的漏极电极9的方向。
然后,接着,对晶体管12的漏极电极9和作为栅极电极10的扫描信号线16重叠的部分即熔融连接点M5进行熔融连接。
而且,继续对上述扫描信号线16和上述晶体管12的源极电极8重叠的部分即熔融连接点M6进行熔融连接。
由此,能够使流向漏极电极9的上述数据信号经作为栅极电极10的扫描信号线16流到源极电极8。
于是,该源极电极8与发生了断线的数据信号线15连接。
由此,数据信号迂回绕过数据信号线15的断线点Br2,具体而言,可按照数据信号线15·熔融连接点M3·保持电容配线跨线部18b·保持电容配线副延伸部18c·熔融连接点M4·漏极引出配线19·漏极电极9·熔融连接点M5·栅极电极10(扫描信号线16)·熔融连接点M6·源极电极8·数据信号线15的顺序发送(参照图1所示的两箭头符号线E)。
(扫描信号线的开口部)
另外,如上述说明,在本实施方式的有源矩阵基板5,在扫描信号线16形成有开口部K。另外,由于上述配线的切断(cut)是在该开口部进行,因而即使为了断线的修正而切断扫描信号线16,也能够如通常那样对以相同的扫描信号线16为栅极电极10的另一晶体管12发送扫描信号。
这是由于,能够经由上述开口部K的未进行上述切断的一侧的配线将扫描信号发送到其前端(目的地)。
由此,在本实施方式的有源矩阵基板5,能够修正在上述区域R2发生的数据信号线15的断线。
另外,上述各熔融连接点的熔融连接的顺序并非特别限定于上述说明的顺序,而是能够任意地进行变更。
(参照剖面图的说明)
接着,除了上述俯视时的俯视图上的修正的说明之外,而且利用剖面图说明上述修正。具体而言,参照图2和图3,以在上述区域R2数据信号线15发生了断线的情况为例说明修正的情况。
(剖面结构:副延伸部分)
参照图2说明本实施方式的有源矩阵基板5的层结构。在此,图2是表示在上述区域R2进行修正时进行熔融连接等的部分的层结构的上述图1的A-A线剖面图。
如图2所示,本实施方式的有源矩阵基板5在基板(透明绝缘性基板)31上形成有保持电容配线18(保持电容配线跨线部b及保持电容配线副延伸部18c),在其上层形成有栅极绝缘膜23。
而且,在该栅极绝缘膜23上形成有数据信号线15和漏极引出配线19。而且,在其上层形成层间绝缘膜27。该层间绝缘膜27例如为由无机材料构成的钝化膜。
另外,在层间绝缘膜27上形成像素电极17,在更上层形成取向膜40。
另外,如该图所示,数据信号线15和漏极引出配线19形成于同一层。其中,该层为与上述保持电容配线18不同的层,该保持电容配线18与有源矩阵基板5的最下层的扫描信号线16(未图示)形成于同一层。
(修正的情况)
图2所示的带网格的椭圆部分表示熔化连接90。
如图2所示,在熔融连接点M3,在进行连接的数据信号线15和保持电容配线18b之间形成有栅极绝缘膜23。因此,利用上述激光进行的熔融连接的形成通过破坏、突破上述栅极绝缘膜23而进行。
另外,在熔融连接点M4的保持电容配线副延伸部18c和漏极引出配线19之间,与上述熔融连接点M3同样地也形成有栅极绝缘膜23。于是,该熔融连接点M4的熔融连接也是突破上述栅极绝缘膜23来进行。
(剖面结构:晶体管部分)
接着,参照图3说明本实施方式的有源矩阵基板5的晶体管12部分的层结构。在此,图3是上述图1的B-B线剖面图。
如图3所示,本实施方式的有源矩阵基板5在形成有其晶体管12的部分,在基板(透明绝缘性基板)31上形成有作为栅极电极10发挥作用的扫描信号线16,在其上层形成有栅极绝缘膜23。而且,隔着该栅极绝缘膜23,在上述栅极电极10的上层的位置形成有半导体层24。
另外,在上述半导体层24的上层形成有漏极电极9和源极电极8,且以覆盖它们整体的方式在其上层形成有层间绝缘膜27。
另外,在层间绝缘膜27的上层形成有取向膜40。
(剖面图中的修正)
而且,在该晶体管12部分,也与之前参照图2进行了说明的连接点M3·M4同样地进行熔融连接。
在图3中也与之前说明过的图2同样,带网格的椭圆部分表示熔融连接90。如该图3所示,在熔融连接点M5,在所连接的漏极电极9和作为栅极电极10的扫描信号线16之间,形成有栅极绝缘膜23和半导体层24。
于是,利用上述激光进行的熔融连接的形成,不仅突破上述栅极绝缘膜23,还突破上述半导体层24而进行。
另外,在熔融连接点M6处的栅极电极10和源极电极8之间,也与上述熔融连接点M5同样地形成有栅极绝缘膜23和半导体层24。
于是,该熔融连接点M5处的熔融连接也是通过突破上述栅极绝缘膜23及半导体层24而进行。
如上所述,在本实施方式的有源矩阵基板5及具备它的液晶面板中,能够如上述图2及图3所示那样修正数据信号线15的断线。
(制造方法)
下面,说明有源矩阵基板5的制造方法的一个例子。
(最下层:扫描信号线、保持电容配线)
首先,在玻璃、塑料等透明绝缘性基板(基板31)上,通过溅射法等方法,以的膜厚形成例如钛、铬、铝、钼、钽、钨、铜等金属膜或者它们的合金膜或者它们的层叠膜。利用光蚀刻(フオトエツチング:photo etching)法将该膜图案形成(patterning)为所需的形状,由此形成作为各晶体管12的栅极电极10发挥作用的扫描信号线16、及保持电容配线18具体而言就是保持电容配线延伸部18s、保持电容配线跨线部18b、保持电容配线副延伸部18c、及保持电容电极等。
(栅极绝缘膜)
接着,通过等离子体CVD(化学气相沉积)法等连续形成作为栅极绝缘膜23的氮化硅膜(SiNx)、由非晶硅或多晶硅等构成的高电阻半导体层及n+非晶硅等低电阻半导体层,并通过光蚀刻法进行图案形成。
其中,作为栅极绝缘膜23的氮化硅膜例如形成为
Figure GPA00001143568100192
左右的膜厚。另外,作为高电阻半导体层的非晶硅膜例如形成为
Figure GPA00001143568100193
Figure GPA00001143568100194
左右的膜厚。另外,作为低电阻半导体层的n+非晶硅膜例如形成为
Figure GPA00001143568100195
Figure GPA00001143568100201
左右的膜厚。
(数据信号线、漏极引出配线)
接着,通过溅射法等方法,以
Figure GPA00001143568100202
的膜厚形成钛、铬、铝、钼、钽、钨、铜等的金属膜或者它们的合金膜或者它们的层叠膜。然后,利用光蚀刻法等图案形成为所需的形状,由此形成数据信号线15、源极电极8、漏极电极9、漏极引出配线19等。
(半导体层)
接着,对非晶硅膜等高电阻半导体层(i层)、n+非晶硅膜等低电阻半导体层(n+层),以数据信号线15、源极电极8、漏极电极9等的图案为掩膜,通过干蚀刻进行沟道蚀刻。
通过该工艺使i层的膜厚达到最佳,形成各晶体管12的沟道区域(半导体层24)。在此,未被掩膜覆盖的半导体层24被蚀刻除去,剩余各晶体管12的能力所需的必要的i层膜厚。
(层间绝缘膜)
然后,作为层间绝缘膜27,以覆盖数据信号线15、源极电极8、漏极电极9等的方式形成氮化硅、氧化硅等无机绝缘膜。在此,通过等离子体CVD法等形成
Figure GPA00001143568100203
左右的膜厚的氮化硅膜(钝化膜)。
(接触孔)
接着,基于接触孔11的位置,对层间绝缘膜27进行蚀刻而形成孔。在此,例如通过光刻法(フオトリソグラフイ一:pohto lithography)(曝光及显影)对感光性抗蚀剂进行图案形成,由此进行蚀刻。
(像素电极)
然后,在上述层间绝缘膜27上,利用溅射法等按
Figure GPA00001143568100204
(埃)左右的膜厚对例如ITO(铟锡氧化物)、IZO、氧化锌、氧化锡等具有透明性的导电膜进行成膜。然后,利用光蚀刻法将其图案形成为必要的形状,由此在各像素区域3形成第一和第二像素电极17。
(取向膜)
接着,以覆盖各像素电极的方式,通过喷墨法、印刷法等涂敷例如聚酰亚胺类化合物,形成取向膜40。
(检查)
在此,进行有源矩阵基板5的检查。即,检查有无数据信号线15的断线,当有断线时,按照根据之前的图1~图3进行了说明的方法进行该断线的修正。
通过以上的工序,形成本实施方式的有源矩阵基板5。
(贴合等)
进一步,将有源矩阵基板5和滤色片基板粘贴在一起,通过注入·密封液晶而形成本液晶面板。另外,就滤色片基板而言,在透明绝缘性基板上形成有着色层(R·G·B)和设于各着色层的间隙的黑矩阵。而且,在其上层形成有对置电极(共用电极),在其上层形成有取向膜。
(检查)
另外,如上所述,可以按有源矩阵基板5的状态检查有无数据信号线15的断线,或者也可以在完成液晶面板之后检查有无数据信号线15的断线。
在此情况下,例如,如图4所示,在连接或者安装源极驱动器72、栅极驱动器71之后进行显示。而且,当有断线时,首先如图1~图3所示,从液晶面板的背面(有源矩阵基板的透明绝缘性基板(基板31)侧)进行激光照射来进行修正。
在此,图4是表示本发明的液晶显示装置70及电视接收机80的结构的框图。即,如图4所示,本发明的电视接收机80以液晶显示装置70和调谐部75为其主要构成要素,其中,该液晶显示装置70具有具备本发明的有源矩阵基板5的液晶面板60。
而且,在该液晶显示装置70,不仅设有上述液晶面板60,而且设有用于驱动上述液晶面板60的驱动器即源极驱动器72和栅极驱动器71。而且,该源极驱动器72和栅极驱动器71与用于对它们进行控制的控制装置74连接。另外,在上述液晶面板60上,除上述各驱动器外,还连接有Cs驱动电路73。
本发明不限于上述的实施方式,能够在权利要求项所示的范围进行各种变更。即,将在权利要求项所示的范围进行了适当变更的技术方法组合而得到的实施方式也包含于本发明的技术范围。
例如,作为其它实施方式,为了修正在上述区域R2产生的断线(断线点Br2),可考虑例如在上述切断点C5将上述漏极引出配线19切断之后,将该漏极引出配线19和保持电容配线18电连接。
具体而言,如上述图1所示,预先以具有与上述保持电容配线18的重叠部分的方式形成上述漏极引出配线19。然后,在需要修正断线而如上述那样漏极引出配线19被切断的情况下,将该重叠部分例如通过熔融连接等电连接。
由此,能够将因上述漏极引出配线19被切断而电浮动(电位不能控制)的像素电极17的电位经保持电容配线18进行控制。
其结果是,能够将与该像素电极17对应的像素控制为例如半黑点等一定的亮度。
产业上的可利用性
本发明的液晶面板和液晶显示装置由于能够进行断线的修正,因而可应用于例如大型液晶电视、高清晰液晶电视。

Claims (5)

1.一种有源矩阵基板,其包括:
沿第一方向延伸的扫描信号线和保持电容配线;和
沿与所述第一方向交叉的第二方向延伸的数据信号线,
在各像素区域,一条所述扫描信号线横穿该像素区域,并且,在沿该扫描信号线的长度方向的两侧中的一侧设有至少一个像素电极,且在另一侧设有至少一个像素电极,
在所述扫描信号线上,与设于所述像素区域的所述各像素电极对应地设有晶体管,
该有源矩阵基板的特征在于:
所述保持电容配线具有:从该保持电容配线与所述数据信号线的交叉部,朝向与该保持电容配线相邻的两条所述扫描信号线与该数据信号线的两个交叉部,沿着所述数据信号线分别延伸的保持电容配线延伸部,
所述保持电容配线延伸部具有在俯视时与所述数据信号线重叠的部分,
设置有将所述晶体管所具备的漏极电极与所述像素电极电连接的漏极引出配线,
在所述保持电容配线延伸部,设有向所述漏极引出配线的方向延伸的副延伸部,
所述副延伸部具有在俯视时与所述漏极引出配线重叠的部分,
在设有所述晶体管的部分的所述扫描信号线,形成有从所述像素区域的内侧越过所述数据信号线到达该像素区域的外侧的开口部,
相对于所述开口部,至少所述一侧的所述扫描信号线的部分作为所述晶体管的栅极电极起作用。
2.如权利要求1所述的有源矩阵基板,其特征在于,
所述保持电容配线延伸部在俯视时与所述数据信号线在该数据信号线的延伸方向上的至少两个不同的部位重叠。 
3.一种液晶面板,其特征在于:
包括权利要求1或2所述的有源矩阵基板。
4.一种液晶显示装置,其特征在于:
包括权利要求3所述的液晶面板。
5.一种电视接收机,其特征在于,包括:
权利要求4所述的液晶显示装置;和
接收电视广播的调谐部。
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