CN101827646A - 闸门装置及其打开方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种闸门装置(10、10′),其用于使得带材料(2)通过并具有至少一个单闸门(11)。为了在无需将带材料(2)从闸门装置去掉的情况下也能够维护或维修闸门装置特别是其单闸门,根据本发明提出:单闸门由至少一个第一和第二部分构成,其中使得这两个部分通过可断开的连接件相互连接,用于打开和关闭单闸门;和设有至少一个装置(24、25),用于在所述连接件断开的情况下使得单闸门的第一和第二部分沿着带材料(2)的输送方向或者与该输送方向相逆地彼此相对移位。
Description
技术领域
本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分的、特别是用于连续地进入到处理区中和/或排出的环形带材料的闸门装置。本发明还涉及一种闸门装置打开方法。
背景技术
在制造和加工带材料,特别是在为此设置的不同的封闭的空间区域中制造和加工金属带时,使用公知的闸门装置,这些闸门装置(Schleusenvorrichtung)将所述空间区域彼此分开,但仍允许将带材料输入到空间区域中或者从空间区域中输出。在这些空间区域中,会产生不同的处理状况,例如不同的压力状况。因此例如可能在一个空间区域中产生真空,而在另一个空间区域中则存在标准压力或者有针对性的保护气体气压或低压。
由申请人的较早的尚未公开的申请DE 10 2006 051 397已知一种带闸门,其为了在两个空间区域之间实现密封而使用轮。由申请人的尚未公开的申请DE 10 2006 051 395也已知一种带闸门,作为两个空间之间的密封机构,这种带闸门(Bandschleuse)使用挡板部件。
DE 60 2004 001 403 T2公开了一种用于对带进行真空涂层的腔室的密封闸门,其中壳体设有上盖和下盖,其中在上盖和下盖上装有轮,这些轮沿着带方向相互错开,并朝向带加速,以便输送所述带,其中在每两个轮对之间各限定成一个低压腔室。
这些根据现有技术的闸门装置具有如下缺点:这些闸门装置在维护或维修情况下必须很麻烦地例如利用升降式行车(Hubkran)来拆卸;带材料不能毫无改变地保持在闸门中,因为否则就不能使得下壳体盖和上壳体盖分开,或者例如为了维护目的而不能轻易地被够到。
因此,根据现有技术的闸门装置需要对闸门装置和穿行的环形金属带进行非常麻烦的操纵。
发明内容、目的、解决方案、优点
本发明的目的是,提出一种闸门装置,其在使用和加工特别是环形的带材料情况下特别是在维护或维修时能轻易的被够到,其中带材料即使在维护或维修时也能保持在闸门装置中。另外,目的还在于,提出一种用于维护相应的闸门装置的方法。
根据本发明,该目的通过权利要求1所述内容得以实现。据此,闸门装置的特征在于:其单闸门中的至少一个单闸门由至少一个第一和第二部分构成;在第一和第二部分之间设有可断开的连接件,用于打开和关闭单闸门;设有至少一个用于在所述连接件断开的情况下使得单闸门的第一和第二部分沿着带材料输送方向或者与该输送方向相逆地彼此相对移位的装置。
由于这两个部分沿着带材料彼此移开,所以可大范围地例如为了维护工作而够到单闸门内部,同时带材料不必去掉。
根据本发明的第一实施例,固定机构形式的连接件设置在旁侧的壁和外壳之间的过渡部分中。于是,单闸门的第一部分由所述旁侧的壁构成,而单闸门的第二部分则包括外壳和第二旁侧的壁。
如果单闸门具有加工或输送机构和用于所述加工或输送机构的驱动设备,这些驱动设备要么固定在旁侧的壁之一上,要么固定在外壳上,则此点具有如下优点:这些驱动设备对应于单闸门的第一或第二部分,并能与相应的部分一起移动。
在单闸门上通常连接有外部的管接件,用于调节所希望的处理状况,例如调节单闸门内的一定的压力状况。于是原则上有利的是,管接件可以与它所连接的单闸门第一或第二部分一起移动。备选地,管接件最好能在单闸门的相应部分移动之前首先脱离于该部分。
为了能使得单闸门的第一和第二部分彼此相对移动,原则上,使得单闸门的两个部分之一能借助用于移位的装置而移动就足够了。单闸门的另一部分于是可以固定不动,例如固定地安装在处理区上,或者它也能借助于其它用于移位的装置而移动。
用于移位的装置可以是可移动的底架,或者是滑动装置。
如果闸门装置是具有多个先后连接的单闸门的级联闸门,则根据本发明,这些单闸门中至少要有一个单闸门为两组件结构,即具有可彼此脱离的第一部分和第二部分。该级联闸门的其它单闸门于是连接在该两组件结构的单闸门的第一或第二部分上,因此对应于第一或第二部分,并能与第一或第二部分一起移动。
对于两个相邻的单闸门而言,最好能使得这两个单闸门在它们彼此间的过渡区域中并不是各有一个单独的旁侧的壁,而是替代地,具有一个共同的旁侧的壁,该共同的旁侧的壁带有闸门孔,用于使得闸门材料从一个单闸门过渡到或者进入到另一个单闸门中。
本发明的上述目的还通过一种用于打开本发明的闸门装置的方法得以实现。该方法的优点相应于上面就闸门装置所述的优点。
从属权利要求所述内容均为所述闸门装置和所述方法的其它有益改进。
说明书附有6个附图,其中:
图1示出对本发明所述的闸门装置的应用;
图2示出本发明所述的处于关闭状态的闸门装置,其形式为具有三个先后连接的单闸门的级联闸门;
图3示出本发明所述的具有三个单闸门的闸门装置,但其中第一个单闸门被打开;
图4示出本发明所述的具有三个单闸门的闸门装置,但其中第二个单闸门被打开;
图5示出本发明所述的具有三个单闸门的闸门装置,但其中第三个单闸门被打开;和
图6为单闸门的在横向于带材料输送方向的平面内的横剖视图。
下面借助实施例对照所述附图详细介绍本发明。
图1示出作为封闭的空间区的处理区3,在该处理区中在预定处理状况p处理下加工带材料。处理状况例如可以是经过特殊调节的压力,例如低压。相比之下,在处理区3之外基本上产生大气压力p空气。在带材料2进入到真正的处理区3中之前,带材料首先被引导通过第一闸门装置10。类似地,在带材料再次处于大气状况下之前,带材料在处理区3中经过加工之后,被引导通过第二闸门装置10′。在这两个闸门装置10、10′中,分别确保了在处理区3中的处理状况与外部的大气压力p空气之间的压力差Δp。由于带材料通过两个闸门装置10、10′而进入到处理区3中或排出,所以使得处理区3中的预定处理状况得以保持。
图2示出根据本发明的闸门装置10、10′之一。闸门装置10、10′由多个单闸门11、12、13构成,其中在根据图2的实施例中,在不限制通用性的情况下,示出了三个单闸门11、12、13。实际上也可以有或多或少的单闸门;但在根据图3的真正的处理区3之前需要至少两个先后连接的单闸门,在其之后需要至少两个先后连接的单闸门。单闸门11、12、13中的每个单闸门都由每两个侧壁15、16、17、18和连接这些侧壁的外壳20、21、22构成和限定而成。根据本发明,外壳20、21、22最好是一体环绕而成或多组件环绕而成。
在根据图2的实施例中,这些外壳通过固定机构形式的连接件31、32、33、34可拆卸地固定在分别在旁侧相邻的壁15、16、17、18上。在连接件接通的情况下,这些外壳通过所述连接件被旁侧的壁支撑。
最后,在图2中可看到用于输送或加工带材料2的输送或加工轮50。这些轮例如固定在旁侧的壁15、16、17、18上。
带材料2在图2中沿着箭头方向输送。
在图3中可看到,第一单闸门11的连接件31在旁侧的壁15与外壳20之间的过渡处断开。在这种情况下,旁侧的壁15与固定于其上的输送或加工轮50一起形成第一单闸门11的第一部分。该第一部分例如可以安装在紧接于左边的即沿着带2的输送方向紧接的处理区3上,并被该处理区支撑。相比之下,外壳20与右边旁侧的壁16一起形成第一单闸门11的第二部分。该第二部分对应于(zugeordnet)其它单闸门12和13,这些单闸门各具有其输送和加工轮50。根据图3中所示的实施例,第一单闸门11的第二部分以及由此固定连接的其它单闸门12和13可借助于用于移位的装置24、25在旁侧(lateral)沿着带材料2的输送方向或者与该输送方向相逆地移位;在图3中还用向左的箭头示出了带的输送方向。
在图3中,对应于其它单闸门12和13的第二部分相对于单闸门12的固定地设置的第一部分与带输送方向相逆地移动了路程S。将这两个独立部分分开,即可打开单闸门11,这样就可尤其是为了维护目的而轻易地够到其内部空间特别是输送和加工轮50。带材料2穿过位于每个旁侧的壁15、16、17、18上的闸门孔41、42、43、44、45。根据本发明,单闸门的第一部分相对于单闸门的第二部分总是沿着带材料移动,即沿着带材料的输送方向或与该输送方向相逆地移动,从而带材料在这两个部分相对移动时不必去掉。
图4示出本发明所述闸门装置的第二实施例,其中并不是第一单闸门11而是第二单闸门12通过连接件32的松开而打开。第二单闸门的第一部分现在由旁侧的壁16和安装于其上的输送和加工轮50构成。第二单闸门的第一部分对应于固定地安装于其上的单闸门11,该单闸门11特别是带有外壳20和左边的旁侧的壁15。第二单闸门的第二部分由其外壳21及其右边的旁侧的壁17构成。该第二部分对应于第三单闸门13,第三单闸门13具有其外壳22、其右边的旁侧的壁18以及固定在这两个壁上的输送和/或加工轮50。
与根据图3的第一实施例不同,现在第二实施例中,第二单闸门的两个部分可相互独立地移动,所述两个部分分别对应于其它单闸门。这可通过如下措施来实现,即第二单闸门的第一部分以及对应的第一单闸门均配设有移动装置24,而该单闸门的第二部分以及对应的其它单闸门均配设有移动装置25。在图4中,第二单闸门12的两个部分以及它们的对应的其它单闸门彼此相对地沿着带材料2的输送方向移动了路程S。
图5示出了本发明所述闸门装置的第三实施例,其中与图4不同,并非第二单闸门而是第三单闸门13在连接件33处打开。
图6为单闸门之一在输送或加工轮50的高度横向于带材料的输送方向的横剖视图,所述单闸门垂直于图面。可以看到具有外壳22的单闸门13,该外壳在此被示范性地构造成管形。在单闸门13的内部可看到设置在带材料2的上方和下方的输送或加工轮50。这些轮可以通过连接轴53、54被驱动设备51驱动。无论单闸门13还是驱动设备51,都设置在支撑单元52上,单闸门13和驱动设备51可以借助于装置25,沿着带的输送方向或者与所述输送方向相逆地移动。作为图6的备选方案,驱动设备51也可以设置在支撑单元52之外;这就需要在单闸门通过装置25而移动之前,使得所述驱动设备脱离于输送或加工轮。
根据图6,在外壳22的顶面上连接有管接件55。该管接件例如用作用于在单闸门13内部产生低压或真空的抽吸装置。该管接件优选经过适当设计,使得它与能与单闸门13一起移动;这样管接件55就无需脱离于外壳22,如果要移动单闸门13。但备选地,管接件55和外壳22之间的连接件也可以设计成可断开;于是单闸门13就能与闸门装置10、10′的可能与所述单闸门对应的其它部分一起独立于管接件55移动。
借助本发明所述的闸门装置能有利地打开单闸门,并能借助于装置24、25来移动通过所述打开而形成的部分或区段,所述装置24、25用于移动所述部分或区段。采用这种方式,例如为了维护目的,可以够到单闸门的内部空间,特别是可以够到可能位于单闸门中的输送或加工轮。对单闸门的打开不必局限于一个单个的闸门,而是可以逐渐地即在时间上连续地对闸门装置的所有单闸门进行打开,但也可以同时进行打开。但同时打开的单闸门越多,为此就需要越多的空间。
附图标记列表
2 带材料
3 处理区
10 闸门装置
10′ 闸门装置
11 单闸门
12 单闸门
13 单闸门
15 壁
16 壁
17 壁
18 壁
19 壁
20 外壳
21 外壳
22 外壳
24 轮装置、用于移位的装置
25 轮装置、用于移位的装置
41 闸门孔
42 闸门孔
43 闸门孔
44 闸门孔
45 闸门孔
50 输送或加工轮
51 驱动设备
52 支撑单元
53 连接轴
54 连接轴
55 管接件
Claims (14)
1.一种闸门装置(1、4、5、10),用于使得带材料通过,具有至少一个单闸门(11),其特征在于,
单闸门(11)由至少一个第一和第二部分构成;
在第一和第二部分之间设有可断开的连接件,用于打开和关闭单闸门;和
设有至少一个装置(24、25),用于在所述连接件断开的情况下使得单闸门(11)的第一和第二部分沿着带材料(2)的输送方向或者与该输送方向相逆地彼此相对移位。
2.如权利要求1所述的闸门装置(1、4、5、10),其特征在于,单闸门(11)的壳体包括:第一旁侧的壁(16),其带有用于使得带材料(2)进入到单闸门中的闸门孔(42);第二旁侧的壁(15),其带有用于使得带材料(2)从单闸门(11)排出的闸门孔(41);在第一壁和第二壁(15)之间的外壳(20)。
3.如权利要求2所述的闸门装置(1、4、5、10),其特征在于,
单闸门(11)的第一部分具有第一旁侧的壁(16)的至少一部分,该第一旁侧的壁带有用于使得带材料(2)进入的闸门孔(42);和
单闸门(11)的第二部分具有第二旁侧的壁(15)的至少一部分,该第二旁侧的壁带有用于使得带材料(2)排出的闸门孔(41)。
4.如权利要求2或3所述的闸门装置(1、4、5、10),其特征在于,单闸门(11、12、13)的第一或第二部分或两个部分具有外壳(20)的至少一部分。
5.如权利要求2至4中任一项所述的闸门装置(1、4、5、10),其特征在于,
单闸门(11、12、13)具有用于带材料的加工或输送机构(50)例如加工或输送轮和用于所述机构的驱动设备(51),其中所述机构或这些驱动设备要么固定在第一或第二旁侧的壁(15、16)上,要么固定在外壳(20)上;和
所述机构和这些驱动设备-优选相应于旁侧的壁(15、16)或外壳(20),它们固定在所述外壳上-对应于单闸门(11、12、13)的第一或第二部分,并能与第一或第二部分一起移动。
6.如权利要求2至5中任一项所述的闸门装置(1、4、5、10),其特征在于,
管接件(55)从外部连接到外壳(23)上,用于调节单闸门(11)内的所希望的压力;和
管接件(55)-相应于外壳的与其连接的部分-对应于单闸门(11、12、13)的第一或第二部分,并能与第一或第二部分一起移动。
7.如权利要求2至5中任一项所述的闸门装置(1、4、5、10),其特征在于,
管接件(55)可拆卸地从外部连接到外壳(23)上,用于调节单闸门内的所希望的压力;和
管接件(55)在与外壳(23)解除连接时能独立于单闸门(11、12、13)的第一或第二部分特别是沿着带材料(2)的输送方向或与该输送方向相逆地移动。
8.如前述权利要求中任一项所述的闸门装置(1、4、5、10),其特征在于,设有用于使得单闸门(11、12、13)的第一部分移位的第一用于移位的装置(24)和用于使得第二部分移位的第二用于移位的装置(25)。
9.如前述权利要求中任一项所述的闸门装置(1、4、5、10),其特征在于,用于移位的装置(24、25)是可移动的底架或滑动装置。
10.如前述权利要求中任一项所述的闸门装置(1、4、5、10)(1、4、5、10),其形式为具有多个沿着带材料(2)的输送方向先后连接的单闸门(11、12、13)的级联闸门,其中这些单闸门中至少有一个单闸门(11)为两组件结构,即具有第一部分和第二部分,其中其它单闸门(12、13)连接在该两组件结构的单闸门(11)的第一或第二部分上,因此对应于第一或第二部分,并能与第一或第二部分一起移动。
11.如权利要求10所述的闸门装置(1、4、5、10),其特征在于,两个相邻的单闸门(111、12)具有一个共同的旁侧的壁(16),该共同的旁侧的壁带有闸门孔(42),用于使得带材料(2)从一个单闸门(12)过渡到另一个单闸门中。
12.一种用于打开闸门装置(1、4、5、10)的方法,该闸门装置用于使得带材料通过并具有至少一个单闸门(11),其特征在于如下步骤:
使得在单闸门的第一和第二部分之间的连接件断开,由此打开单闸门(11);和
使得单闸门(11)的第一和第二部分沿着带材料(2)的输送方向或者与该输送方向相逆地彼此相对移位。
13.如权利要求12所述的方法,其特征在于,
使得单闸门(11)的第一部分具有第一旁侧的壁(16)的至少一部分,该第一旁侧的壁带有用于使得带材料(2)进入的闸门孔(42);
使得单闸门(11)的第二部分具有第二旁侧的壁(15)的至少一部分,该第二旁侧的壁带有用于使得带材料(2)排出的闸门孔(41);和
使得单闸门(11、12、13)的第一和/或第二部分在打开和/或关闭单闸门(11、12、13)时沿着带材料(2)移动,同时使得带材料(2)通过这些闸门孔。
14.如权利要求12或13所述的方法,其特征在于,使得单闸门(11)的第一部分和第二部分在维护工作结束之后又沿着带材料(2)一起移动并相互连接。
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Families Citing this family (1)
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|---|---|---|---|---|
| EP3121316B1 (en) * | 2015-07-20 | 2018-09-12 | Stäubli Sargans AG | Yarn arranging machine |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0289195A2 (en) * | 1987-04-27 | 1988-11-02 | AT&T Corp. | Method and apparatus for continuous throughput in a vacuum environment |
| CN1279728A (zh) * | 1997-12-03 | 2001-01-10 | 联合莫古尔威斯巴登有限公司 | 滑动轴承的真空镀膜装置 |
| EP1479789A1 (fr) * | 2003-05-23 | 2004-11-24 | Recherche Et Developpement Du Groupe Cockerill Sambre | Sas d'étanchéité pour ligne de dépôt sous vide sur produit plat |
| CN1921959A (zh) * | 2004-02-18 | 2007-02-28 | Sms迪马格股份公司 | 用于更换轧机列的轧机机座中的轧辊组的方法和装置 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU443082A1 (ru) * | 1973-04-02 | 1974-09-15 | Предприятие П/Я В-8495 | Шлюзовое устройство |
| US4113182A (en) * | 1977-03-18 | 1978-09-12 | Brago Reacelyn A | Multi-fluid wash system |
| DE8915647U1 (de) * | 1989-03-21 | 1990-12-13 | Reinbold, Heinz, Dipl.-Ing., 5200 Siegburg | Vorrichtung zur Behandlung von Monofilen |
| SU1733349A1 (ru) * | 1989-09-27 | 1992-05-15 | Специальное Конструкторское Бюро "Транспрогресс" | Шлюзовое устройство трубопроводного контейнерного пневмотранспорта |
| JPH07207445A (ja) * | 1994-01-20 | 1995-08-08 | Kawasaki Steel Corp | 差圧装置 |
| DE19960751A1 (de) * | 1999-12-16 | 2001-07-05 | Fzm Ges Fuer Produktentwicklun | Schleuse und Verfahren zur Anwendung derselben |
| DE102007009992A1 (de) | 2006-10-27 | 2008-04-30 | Sms Demag Ag | Bandschleuse |
| DE102007009710A1 (de) | 2006-10-27 | 2008-04-30 | Sms Demag Ag | Bandschleuse |
-
2007
- 2007-10-17 DE DE102007049669A patent/DE102007049669A1/de not_active Withdrawn
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Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0289195A2 (en) * | 1987-04-27 | 1988-11-02 | AT&T Corp. | Method and apparatus for continuous throughput in a vacuum environment |
| CN1279728A (zh) * | 1997-12-03 | 2001-01-10 | 联合莫古尔威斯巴登有限公司 | 滑动轴承的真空镀膜装置 |
| EP1479789A1 (fr) * | 2003-05-23 | 2004-11-24 | Recherche Et Developpement Du Groupe Cockerill Sambre | Sas d'étanchéité pour ligne de dépôt sous vide sur produit plat |
| CN1921959A (zh) * | 2004-02-18 | 2007-02-28 | Sms迪马格股份公司 | 用于更换轧机列的轧机机座中的轧辊组的方法和装置 |
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