CN101813711B - 测试探针及探针座 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种测试探针及探针座。测试探针具有一体成型的弹性金属本体。金属本体包含第一弯折部以及第二弯折部,测试探针由第一弯折部的一端延伸出第一探针部,可供接触于待测的集成电路组件。另外,测试探针由第二弯折部相反于第一弯折部的另一端延伸出悬臂状的第二探针部,可供接触于印刷电路板。此外,第一弯折部的弯折方向相同于第二弯折部的弯折方向。
Description
技术领域
本发明是关于一种测试探针及探针座,特别是关于一种用于集成电路组件封装测试的测试探针及探针座。
背景技术
在进行集成电路(IC)组件的封装测试时,传统的测试探针,如美国专利第5,306,167号中所公开,在进行下压测试时,因为探针头的位移行程太小,在待测集成电路组件与测试探针之间,或是测试探针与所接触的印刷电路板之间等各接触点的累积应力很大,长时间反复测试所累积的应力会造成印刷电路板的应力变形,进而导致测试探针或是印刷电路板损坏,降低了测试效率、增加生产成本。
此外,美国专利第5,634,801号提出另一种测试探针,具有呈S形结构的测试探针本体,以及嵌设于S形结构弯折部的中的弹性组件。在进行下压测试时,由于测试探针的S形结构且为斜放设置,将会与其接触的印刷电路板有平行方向的摩擦力产生,所以在进行反复测试的后,测试探针与其所接触的印刷电路板即会因反复摩擦而双双导致磨损消耗。
此外,传统的测试探针,亦有采取嵌设于射出成型所制成的探针座中的设置方式,如美国专利第6,046,597号中所公开。但当采用此种设置形式的探针座,在某个或某些探针损坏时,要进行局部更换或修复相当困难。且此类探针并非一体成形,其包含了套筒、弹簧与探针头等相关组件,在组件相接的接口具有较高的电阻值,探针整体的阻抗较高,不利于高频测试。
因此,如何解决上述传统测试探针的缺点,实为业界的迫切课题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种测试探针和探针座,以克服技术中提到的缺点。
为实现上述目的,本发明提供的测试探针,具有一体成型的弹性的金属本体。金属本体包含第一弯折部以及第二弯折部,且测试探针由第一弯折部的一端延伸出第一探针部,可供接触于待测的集成电路组件,另外,测试探针由第二弯折部相反于第一弯折部的另一端延伸出悬臂状的第二探针部,可供接触于印刷电路板。此外,第一弯折部的弯折方向相同于第二弯折部的弯折方向。
本发明提供的探针座,包含有座体、复数个测试探针,以及至少一个第一盖板与至少一个第二盖板。其中,探针座的座体顶面设有复数个第一开槽,底面设有复数个第二开槽,第一盖板盖设于复数个第一开槽上,第二盖板盖设于复数个第二开槽上,测试探针的第一探针部从座体的第一开槽穿设而出,测试探针的第二探针部,从座体的第二开槽穿设而出。
本发明的测试探针,由于具有一体成形的结构,相较公知非一体成形构造的测试探针,具有较低的阻抗,在进行集成电路组件测试时,可避免讯号衰减所导致的测试误差,且利于高频测试。
本发明的测试探针,具有悬臂梁结构,进行集成电路组件测试时,与待测集成电路组件及印刷电路板的接触是以悬臂梁的末端作为接触,接触压力较小,可避免因为测试时的应力累积所导致的印刷电路板损坏。
本发明的探针座,其所使用的测试探针具有一体成形的结构,相较公知非一体成形构造的测试探针,具有较低的阻抗,在进行集成电路组件测试时,可避免讯号衰减所导致的测试误差,且利于高频测试。
本发明的探针座,由于具有悬臂梁结构的测试探针,进行集成电路组件测试时,与待测集成电路组件及印刷电路板的接触是以悬臂梁的末端作为接触,接触压力较小,可避免因为测试时的应力累积所导致的印刷电路板损坏。
本发明的探针座,所使用的测试探针损坏时,可以单独地更换,不会因为单一测试探针的损坏而造成整体探针座无法使用。
附图说明
图1为本发明第一较佳实施例的测试探针示意图。
图2A为本发明第二较佳实施例的探针座的示意图。
图2B为本发明第二较佳实施例的探针座分解示意图。
附图中主要组件符号说明:
测试探针1;金属本体11;第一弯折部111;弯折角度θ1、θ2;第二弯折部112;连接结构113;第一探针部12;第一探针部12的长度a;凹部121;第二探针部13;第二探针部13的长度b;探针座2;座体21;顶面211;底面212;第一开槽213;第二开槽214;第一盖板22;第二盖板23;集成电路组件3;印刷电路板4。
具体实施方式
本发明公开一种测试探针及探针座,其中利用到的集成电路组件基本测试程序及测试原理,均属于本领域具有专业知识的人士所能轻易理解者,故以下文中的说明,不再作完整描述。而以下文中所对照的附图,是表达与本发明特征有关的结构示意,并未亦不需要依据实际尺寸完整绘制,事先叙明。
请参考图1,为本发明第一较佳实施例的测试探针示意图。测试探针1具有一体成型的弹性的金属本体11,金属本体11具有第一弯折部111、第二弯折部112,以及第一弯折部111与第二弯折部112之间的连接结构113。测试探针1自第一弯折部111的一端延伸出第一探针部12,用以接触预测试的集成电路组件3。另外,测试探针1从第二弯折部112相反于第一弯折部111的另一端延伸出悬臂状的第二探针部13,用来接触印刷电路板4,且第一弯折部111的弯折方向跟第二弯折部112的弯折方向相同。此外,在本实施例中,第一弯折部111与第二弯折部112之间的连接结构113为直线状,然本领域具有专业知识的人士均可知连接结构113可以是其它不同的形状,例如弧形,以因应不同的设置需求。
请继续参考图1,第一探针部12的长度a小于第二探针部13的长度b。另外,第一探针部12亦可呈悬臂状,使其更容易接触集成电路组件3。为达到方便接触集成电路组件3与印刷电路板4的效果,第一弯折部111的弯折角度θ1大致上为90度,而第二弯折部112的弯折角度θ2会大于90度。此外,金属本体11剖面形状大致为矩形或圆形。采用此种设计的测试探针1整体结构近似匚型,且由于具有一体成形的悬臂梁结构,故在封装测试过程中,集成电路组件3施加在第一探针部12的力、及印刷电路板4施加在第二探针部13的力,皆由悬臂梁的弹性挠曲所吸收,具有极佳的缓冲效果,进而避免测试时因应力累积所导致的印刷电路板毁损。又,第一探针部12上可进一步包含有凹部121,以供测试探针1与其装设的座体(未图示)有更紧密的卡合,避免在测试时由于测试探针1的移动所导致的测试误差,进而影响测试质量。
本发明除提供上述第一较佳实施例的测试探针之外,亦提供一种包含测试探针的探针座,其中测试探针的特征构造与上述第一较佳实施例大致相同,故在此不再赘述,以下仅就第二较佳实施例的特征加以说明。
请参考图2A,为本发明第二较佳实施例的探针座的示意图。探针座2包含有座体21、复数个测试探针1、第一盖板22,以及第二盖板23。测试探针1所具有的组件及其特征结构均与第一较佳实施例相同,其中第一盖板22及第二盖板23此处虽仅各设置一个,但本领域具有专业知识的人士均可知盖板的设置数量,可视情况需要变更为两个或两个以上。
请继续参考图2B,为本发明第二较佳实施例的探针座分解示意图。如图所示,座体21具有顶面211及底面212,在座体21的顶面211的四个侧边设有复数个第一开槽213,而在座体21的底面212的四个侧边则设有复数个第二开槽214。此外,第一盖板22是盖设于复数个第一开槽213上,第二盖板23则盖设于复数个第二开槽214上。
当第一盖板22、座体21、第二盖板23,及各测试探针1组装完成之后,测试探针1的第一探针部12自座体21的第一开槽213穿设而出,而测试探针1的第二探针部13则自座体21的第二开槽214穿设而出。
为配合各种不同的待测集成电路组件所具有的不同封装结构,探针座2中各个测试探针1的尺寸可为相同或是不相同。此外,本实施例中,第一开槽213、第二开槽214及测试探针1虽设置于座体21的四边,但对于本领域技术人员均可了解,为配合各种不同的封装构造,第一开槽213、第二开槽214及测试探针1的设置位置均可相应变更为设至于座体的两侧边,且亦属本发明所公开的精神下所完成的等效改变与修饰。
以上所述,仅为本发明的较佳实施例,并非用以限定本发明的申请权利要求范围;以上的描述对于本领域技术人员应可以明了及实施,因此,其它未脱离本发明所公开的精神下所完成的等效改变与修饰,均应包含在所申请权利要求范围内。
Claims (6)
1.一种测试探针,具有一体成型的弹性的金属本体,其特征在于:
该金属本体包含一第一弯折部与一第二弯折部,该测试探针自该第一弯折部的一端延伸出一悬臂状的第一探针部,可供接触于一待测的集成电路组件,该测试探针自该第二弯折部相反于该第一弯折部的另一端延伸出一悬臂状的第二探针部,可供接触于一印刷电路板,该第一弯折部的弯折方向相同于该第二弯折部的弯折方向,该第一弯折部的弯折角度大致为90度,且该第二弯折部的弯折角度大于90度,该测试探针构成一近似匚型结构。
2.如权利要求1所述的测试探针,其特征在于,该第一探针部的长度小于该第二探针部的长度。
3.如权利要求1所述的测试探针,其特征在于,该金属本体的剖面形状大致为矩形或圆形。
4.一种探针座,包含有一座体、复数个测试探针、至少一个第一盖板与至少一个第二盖板,该座体的顶面的复数个侧边设有复数个第一开槽,该座体的底面的复数个侧边设有复数个第二开槽,该第一盖板盖设于该复数个第一开槽上,该第二盖板盖设于该复数个第二开槽上,其特征在于:
各测试探针具有权利要求1至3其中任一项的特征,且该测试探针的第一探针部自该座体的第一开槽穿设而出,该测试探针的第二探针部,自该座体的第二开槽穿设而出。
5.如权利要求4所述的探针座,其特征在于,各测试探针的第一探针部进一步包含一凹部,可卡设于该第一开槽。
6.如权利要求4所述的探针座,其特征在于,该些第一开槽设置于该座体顶面的四边,且该些第二开槽设置于该座体底面的四边。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI577993B (zh) * | 2015-08-27 | 2017-04-11 | 旺矽科技股份有限公司 | 探針裝置及其同軸探針 |
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Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106249006A (zh) * | 2016-09-30 | 2016-12-21 | 乐依文半导体(东莞)有限公司 | 测试夹具及其单尾回形探针 |
| CN107064569A (zh) * | 2016-12-27 | 2017-08-18 | 江苏凯尔生物识别科技有限公司 | 智能手机指纹模组整版测试系统 |
| CN108572264B (zh) * | 2018-06-21 | 2023-12-01 | 武汉精测电子集团股份有限公司 | 一种单缓冲通道的压接弹片 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5306167A (en) * | 1992-06-02 | 1994-04-26 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | IC socket |
| JP2000035443A (ja) * | 1998-07-15 | 2000-02-02 | Japan Electronic Materials Corp | プローブカード |
| US6046597A (en) * | 1995-10-04 | 2000-04-04 | Oz Technologies, Inc. | Test socket for an IC device |
| TW543960U (en) * | 2000-10-09 | 2003-07-21 | Proconn Technology Co Ltd | Improved memory card connecting seat |
| US6811407B2 (en) * | 2001-05-31 | 2004-11-02 | Enplas Corporation | Socket for electrical parts |
| TW200609513A (en) * | 2005-08-29 | 2006-03-16 | Mjc Probe Inc | Electrical contact device of probe card |
| CN1762050A (zh) * | 2003-03-17 | 2006-04-19 | 飞而康公司 | 探头及其制造方法 |
| JP2007017286A (ja) * | 2005-07-07 | 2007-01-25 | Kanai Hiroaki | 垂直型プロ−ブピン |
-
2009
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Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5306167A (en) * | 1992-06-02 | 1994-04-26 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | IC socket |
| US6046597A (en) * | 1995-10-04 | 2000-04-04 | Oz Technologies, Inc. | Test socket for an IC device |
| JP2000035443A (ja) * | 1998-07-15 | 2000-02-02 | Japan Electronic Materials Corp | プローブカード |
| TW543960U (en) * | 2000-10-09 | 2003-07-21 | Proconn Technology Co Ltd | Improved memory card connecting seat |
| US6811407B2 (en) * | 2001-05-31 | 2004-11-02 | Enplas Corporation | Socket for electrical parts |
| CN1762050A (zh) * | 2003-03-17 | 2006-04-19 | 飞而康公司 | 探头及其制造方法 |
| JP2007017286A (ja) * | 2005-07-07 | 2007-01-25 | Kanai Hiroaki | 垂直型プロ−ブピン |
| TW200609513A (en) * | 2005-08-29 | 2006-03-16 | Mjc Probe Inc | Electrical contact device of probe card |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI577993B (zh) * | 2015-08-27 | 2017-04-11 | 旺矽科技股份有限公司 | 探針裝置及其同軸探針 |
| TWI704357B (zh) | 2018-11-02 | 2020-09-11 | 旺矽科技股份有限公司 | 適用於具有傾斜導電接點之多待測單元的探針模組 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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