CN101282812B - 线电极放电加工机 - Google Patents

Abstract

本发明的线电极放电加工机，通过以在放电加工期间混杂下述几种供电状态的方式进行供电控制，分别抑制线电极与被加工物间的短路以及线电极断线，容易提高生产性，上述供电状态为：上侧供电状态，其仅由配置于被加工物上侧的上侧供电部向线电极施加高频脉冲电压；下侧供电状态，其仅由配置于被加工物下侧的下侧供电部向线电极施加高频脉冲电压；以及两侧供电状态，其由上侧供电部和下侧供电部这两者彼此同步地向线电极施加高频脉冲电压。

Description

线电极放电加工机

技术领域

本发明涉及一种线电极放电加工机，其在线电极与被加工物间产生放电，将被加工物加工成规定形状。 

背景技术

在线电极放电加工机中，向线电极施加高频脉冲电压，利用此时在线电极与被加工物间产生的放电，每次少量地去除被加工物，将该被加工物加工成规定形状。线电极一边利用上下一对的线电极导轨向规定方向、例如垂直方向引导，一边沿该方向移动，在该线电极的周围，在加工被加工物的过程中供给加工液。例如，可以通过一边利用数值控制使载置被加工物的工作台向规定方向移动，一边产生上述放电，对被加工物进行精密加工。 

为了利用线电极放电加工精密且稳定地加工被加工物，一边使线电极与被加工物间的间隔落在规定范围内一边进行加工是很重要的，如果线电极与被加工物短路，则因为不会产生放电，所以加工停止。另外，在线电极与被加工物间存积加工碎屑等，会引起放电的集中(以下称为“集中放电”)，作为放电能量局部过大的结果，常常出现线电极的断线(以下称为“线电极断线”)。如果产生线电极断线，则必须使线电极重新由线电极引导部引导，所以，生产性大幅降低。因此，提出各种预防线电极断线的技术。 

例如，在专利文献1中，记载了一种放电加工装置，其在被加工物的上方和下方，设置2个或2个以上用于从加工电源向线电极供给脉冲电压的通电端子，同时在各通电端子与加工电源间设置通电切换开关，每当从加工电源向1个通电端子施加连续的多个脉冲电压时，切换控制上述通电切换开关。在该放电加工装置中，因为线电极与被加工物间的放电位置，周期性地上下移动，所以即使通过大电流， 线电极的发热也被抑制，而且，线电极与被加工物间的放电点也分散，因此可以防止线电极断线。 

另外，在专利文献2中记载了一种线切割放电装置，其在被加工物的上侧和下侧，设置用于向线电极供给加工脉冲的通电件，同时分别在上侧通电件与被加工物之间，以及下侧通电件与被加工物之间，单独设置加工用脉冲电源。在该线切割放电装置中，通过分别从上侧通电件及下侧通电件，使脉冲电流非同步地流过线电极，防止放电点的集中，作为其结果，防止线电极断线。 

此外，在专利文献3中，记载了一种放电加工装置，其以位于被加工物(加工片)的加工区域两端的方式，沿着线电极设置2个触点，根据线电极与被加工物间的放电位置，向2个触点中的某一个或两个供给加工电流。在该电放电加工装置中，通过根据放电位置变更应供给加工电流的触点，防止由集中放电引起的局部加热，作为其结果，防止线电极断线。 

专利文献1：特开昭59-47123号公报 

专利文献2：特开平1-97525号公报 

专利文献3：特公平6-61663号公报 

发明内容

专利文献1～3中记载的各种电放电加工装置，均是用于防止线电极断线而提高生产性，但为了提高线电极放电加工中的生产性，希望在防止线电极断线的同时，防止线电极与被加工物间的短路。根据本发明的发明人等的实验，只要经由配置于被加工物的上方的通电端子，以及配置于下方的通电端子中的任一个，向线电极施加数个脉冲的电压，都可能产生上述短路。 

因此，仅通过以专利文献1中记载的电放电加工装置的方式，交互地进行从一方的供电端子向线电极供电，或从另一方的供电端子向线电极供电，无法有效地抑制上述短路。在以专利文献2中记载的线切割放电装置的方式，在非同步地进行从一方的供电端子向线电极供电，和从另一方的供电端子向线电极供电的情况下，或者，在以专 利文献3中记载的电放电加工装置的方式，在根据放电位置，改变从一方的供电端子向线电极供电，和从另一方的供电端子向线电极供电的情况下，都是相同地，在这些供电方式中，无法有效地抑制上述短路。因为如果线电极与被加工物短路，则不会产生放电，所以放电加工本身停滞，平均加工速度降低。 

本发明是鉴于上述情况提出的，其目的在于获得一种线电极放电加工机，其分别抑制线电极与被加工物间的短路，以及线电极断线，易于提高生产性。 

实现上述目的的本发明的线电极放电加工机，其一边向在被加工物的板厚方向移动的线电极和前述被加工物之间供给加工液，一边经由在前述被加工物的上下配置的一对供电部，向前述线电极施加高频脉冲电压，利用在前述线电极与前述被加工物间产生的放电，对前述被加工物进行加工，其特征在于，具有：主电源，其经由第1开关元件部，向前述一对供电部中配置于前述被加工物上侧的上侧供电部施加高频脉冲电压，并经由第2开关元件部，向配置于前述被加工物下侧的下侧供电部施加高频脉冲电压；第1脉冲振荡器，其向前述第1开关元件部供给用于控制该第1开关元件部的开闭动作的脉冲信号；第2脉冲振荡器，其向前述第2开关元件部供给用于控制该第2开关元件部的开闭动作的脉冲信号；存储部，其存储供电控制数据，该供电控制数据规定前述第1开关元件部及前述第2开关元件部的各自的开闭动作，以使下述状态混杂的方式进行供电控制：上侧供电状态，其仅由前述上侧供电部向前述线电极施加高频脉冲电压；下侧供电状态，其仅由前述下侧供电部向前述线电极施加高频脉冲电压；以及两侧供电状态，其由前述上侧供电部和前述下侧供电部这两者，彼此同步地向前述线电极施加高频脉冲电压；以及脉冲振荡控制部，其根据前述供电控制数据，控制前述第1脉冲振荡器及前述第2脉冲振荡器各自的动作。 

发明的效果 

在上述的上侧供电状态或下侧供电状态时，容易产生线电极与 被加工物间的短路，但是，如果使该上侧供电状态与下侧供电状态交互地出现，则因为线电极与被加工物间的放电点的位置，在被加工物的板厚方向(厚度方向)变化，所以可以抑制集中放电的产生，防止线电极断线。另外，在两侧供电状态时，因为线电极与被加工物间的放电稳定，所以，可以防止线电极与被加工物间的短路。 

在本发明的线电极放电加工机中，因为脉冲振荡控制部根据供电控制数据，分别控制第1脉冲振荡器及第2脉冲振荡器的动作，所以在放电加工期间，可以使上侧供电状态、下侧供电状态及两侧供电状态，以任意方式混杂。通过预先利用例如实验求得与预定的放电加工条件等对应的适当的供电控制数据，并存储在存储部中，可以分别抑制线电极与被加工物间的短路及线电极断线。因此，容易提高生产性。 

附图说明

图1是概略地表示本发明的线电极放电加工机的一个例子的结构图。 

图2是表示由图1所示的各个脉冲振荡器向第1开关元件部或第2开关元件部供给的脉冲信号的波形，和向线电极的供电状态间的关系的概略图。 

图3是概略地表示在本发明的线电极放电加工机中，主电源具有第1主电源和第2主电源的装置的一个例子的结构图。 

图4是概略地表示使图3所示的线电极放电加工机为两侧供电状态时的放电位置与放电电流值间的关系的曲线图。 

图5是概略地表示在本发明的线电极放电加工机中，可以防止由供电电路间的阻抗偏差引起的线电极断线的装置的一个例子的结构图。 

图6是概略地表示在本发明的线电极放电加工机中，可以防止由供电电路间的阻抗偏差引起的线电极断线的装置的另一个例子的结构图。 

图7是概略地表示在本发明的线电极放电加工机中，可以防止 由供电电路间的阻抗偏差引起的线电极断线的装置的又一个例子的结构图。 

图8是概略地表示在本发明的线电极放电加工机中，可以根据上侧及下侧的各自的供电电路本身的阻抗，调节向各个供电电路的高频脉冲电压的供给条件的一个例子的结构图。 

图9是概略地表示在本发明的线电极放电加工机中，可以根据上侧及下侧的各自的供电电路本身的阻抗，调节向各个供电电路的高频脉冲电压的供给条件的另一个例子的结构图。 

图10是概略地表示在本发明的线电极放电加工机中，增加线电极断线避免功能的装置的一个例子的结构图。 

图11是表示在图10所示的线电极放电加工机的脉冲振荡控制部中，增加供电比例恢复功能时的供电模式的一个例子的概略图。 

图12是概略地表示在本发明的线电极放电加工机中，增加短路防止功能的一个例子的结构图。 

图13是概略地表示本发明的线电极放电加工机中，增加根据从加工液供给装置，分别向上侧喷嘴及下侧喷嘴供给的加工液的流量，分别控制第1脉冲振荡器及第2脉冲振荡器的动作的功能的装置的一个例子的结构图。 

图14是概略地表示本喷嘴的线电极放电加工机中，在控制装置中设置将从输入部输入的上侧供电状态、下侧供电状态以及两侧供电状态的表现形式，变换为供电控制数据的数据变换部的装置的一个例子的结构图。 

图15是概略地表示在本发明的线电极放电加工机中，对一个供电部仅设置一个开关元件部的一个例子的结构图。 

具体实施方式

下面，参照附图，对于本发明的线电极放电加工机的实施方式进行详细说明。此外，本发明并不限于以下说明的实施方式。 

实施方式1. 

图1是概略地表示本发明的线电极放电加工机的一个例子的结构图。该图中所示的线电极放电加工机130具有：加工机主体80，其通过数值控制将被加工物W放电加工成规定的形状；控制装置110，其对该加工机主体80的动作进行数值控制；输入部115，其通过有线或无线与控制装置100连接，向该控制装置100输入命令或数据等；以及显示部120，其显示向控制装置110输入的命令或数据等、或加工机主体80的运行状况等。

上述加工机主体80，向沿被加工物W的板厚方向移动的线电极1施加高频脉冲电压，利用在线电极1与被加工物W间产生的放电，对被加工物W进行加工。被加工物W载置于可以在X-Y平面(水平面)上移动的工作台5上，线电极1在被施加张力的状态下，以横穿被加工物W的板厚方向的方式移动。 

为了使线电极1沿规定方向移动，在工作台5的上方，配置线电极线轴10、张紧辊12a、导向辊14a以及线电极引导部16a，在工作台5的下方，配置线电极引导部16b、导向辊14b以及张紧辊12b。缠绕在线电极线轴10上的线电极1由张紧辊12a拉出，由导向辊14a、线电极引导部16a、线电极引导部16b、以及导向辊14b沿铅直方向引导后，被张紧辊12b拉引，回收到线电极回收用箱18内。由张紧辊12b进行的线电极1的拉引速度，设定为比由张紧辊12a进行的线电极1的拉引速度快，其结果，线电极1在施加张力的状态下，以横穿被加工物W板厚的方向方式移动。 

另外，为了向线电极1施加高频脉冲电压，一对供电部20a、20b，在工作台5的上下分开配置。配置在工作台5上方的供电部20a(以下称为“上侧供电部20a”)，位于线电极引导部16a的上方，配置在工作台5的下方的供电部20b(以下，称为“下侧供电部20b”)，配置在线电极引导部16b的下方。而且，在上侧供电部20上，连接至少具有一个开关元件的第1开关元件部25a，在该第1开关元件部25a上，连接主电源30和第1脉冲振荡器35a。另外，在下侧供电部20b上，连接至少具有一个开关元件的第2开关元件部25b，在该第2开关元件部25b上，连接主电源30及第2脉冲振荡器35b。主电源30还与被加工物W的板厚方向中央部连接。 

上述主电源30，在其运行时，分别将规定大小的电压向第1开关元件部25a及第2开关元件部25b供给，第1脉冲振荡器35a及第2脉冲振荡器35b向第1开关元件部25a或第2开关元件部25b供给用于控制该开关元件部25a、25b的开闭动作的脉冲信号。通过由后述的脉冲振荡控制部95分别控制第1脉冲振荡器35a及第2脉冲振荡器35b的动作，使各开关元件部25a、25b以规定的模式开闭，从而可以从上侧供电部20a或下侧供电部20b向线电极1施加上述高频脉冲电压，或者从上侧供电部20a和下侧供电部20b这两者向线电极1施加上述高频脉冲电压。 

此外，在开始或重新开始被加工物W的放电加工时，首先，为了检测线电极1与被加工物W间的间隙是否落入规定的宽度内等，从辅助电源40经由第3开关元件部45a向上侧供电部20a供给较低的脉冲电压，同时经由第4开关元件部45b向下侧供电部20b供给较低的脉冲电压。此时，各第3开关元件部45a及第4开关元件部45b彼此同步地闭合。而且，利用电压检测装置50检测各供电部20a、20b与被加工物W间的电位差，当该检测结果处于规定范围内时，主电源30开始动作。另一方面，当上述检测结果未落入规定范围内时，通过使工作台5移动，调节被加工物W与线电极1间的间隙的宽度。为了使工作台5移动，在该工作台5上连接驱动装置55。该工作台驱动装置55在对被加工物W进行放电加工的期间也可以使工作台5向规定方向移动。而且，工作台5具有线性编码器或旋转编码器等速度传感器(未图示)，根据该速度传感器的检测结果，速度测量装置(未图示)测量工作台5的驱动速度，将测量结果传送至后述的运算·控制部90。 

另外，为了抑制被加工物W放电加工时的线电极1的过热，防止该线电极1的断线，在被加工物W的放电加工时，从加工液供给装置60经由上侧喷嘴65a和下侧喷嘴65b，向被加工物W与线电极1之间供给加工液。上侧喷嘴65a配置在被加工物W的上方，下侧喷嘴65b配置在被加工物W的下方。加工液供给装置60，具有分别测量向上侧喷嘴65a的加工液的供给量(流量)以及向下侧喷嘴65b的加工液供给量(流量)的流量测量功能。

另一方面，控制加工机主体80的动作的控制装置110，具有存储部85、运算·控制部90、脉冲振荡控制部95。 

在上述存储部85中，存储在工作台驱动装置55或加工液供给控制装置60等的动作控制中使用的数值控制数据，同时存储规定第1开关元件部25a以及第2开关元件部25b的各自的开闭动作而控制向线电极1供电的方式的供电控制数据。该供电控制数据设定为，使得在标准的放电加工条件下，可以防止线电极1与被加工物W间的短路或线电极断线，该供电控制数据含有：在断开第2开关元件部25b的状态下使第1开关元件部25a开闭的数据；在断开第1开关元件部25a的状态下使第2开关元件部25b开闭的数据；以及使各第1开关元件部25a以及第2开关元件部25b彼此同步地开闭的数据。 

存储在存储部85中的供电控制数据可以只有一种，在推测或预定由线电极放电加工机130制造多种产品的情况下，也可以是与每种产品对应的多种供电控制数据。 

运算·控制部90，在从后述的输入部115输入指示线电极放电加工机130运行开始的指令时，首先使辅助电源40起动。然后，判断电压检测装置50的检测结果是否落入规定的范围内，当落入规定的范围内时，使主电源30起动。然后，根据存储在存储部85中的数值控制数据，控制工作台驱动装置55及加工液供给装置60等的动作。在被加工物W的放电加工时，根据数值控制数据，控制工作台驱动装置55的动作，使工作台5向规定方向移动，同时根据数值控制数据，由加工液供给装置60分别向各个喷嘴65a、65b供给规定流量的加工液。 

另外，运算·控制部90根据由电压检测装置50得到的电位差的检测结果，求出从线电极1向被加工物W施加的高频脉冲电压的能量，同时根据由前述速度测量装置得到的工作台5的驱动速度，求出加工速度。然后，根据上述高频脉冲电压的能量和加工速度等，依次计算被加工物W的板厚，从上述数值控制数据中读出与该板厚对应的控制数据，反馈控制向线电极1施加的高频脉冲电压的能量。具体 地说，反馈控制施加的高频脉冲电压的脉冲间隔。并且，该运算·控制部90控制显示部120的动作，将向控制装置110输入的命令或数据等，或者加工机主体80的运行状况等，显示在显示部120上。 

脉冲振荡控制部95在运算·控制部95的控制下开始动作，读出存储在存储部85中的规定的供电控制数据，根据该供电控制数据，分别控制第1脉冲振荡器35a及第2脉冲振荡器35b的动作。在存储部85中存储多种供电控制数据的情况下，用户在被加工物W的放电加工之前，通过输入部115指定所期望的供电控制数据。此时，存储在存储部85中的供电控制数据显示在显示部120上，以便于用户选择所期望的供电控制数据。 

在脉冲振荡控制部95读出的供电控制数据中，如上所述，含有：在断开第2开关元件25b的状态下使第1开关元件部25a开闭的数据；在断开第1开关元件部25a的状态下使第2开关部25b开闭的数据；以及使各个第1开关元件部25a及第2开关元件部25b彼此同步地开闭的数据。因此，在对被加工物W进行放电加工的期间，以规定的模式使下述状态混杂：上侧供电状态，其仅由上侧供电部20a向线电极1施加高频脉冲电压；下侧供电状态，其仅由下侧供电部20b向线电极1施加高频脉冲电压；以及两侧供电状态，其由上侧供电部20a及下侧供电部20b这两者向线电极1施加高频脉冲电压。 

图2是表示由各脉冲振荡器35a、35b向第1开关元件部25a或第2开关元件部25b供给的脉冲信号的波形、和向线电极1供电的状态之间的关系的概略图。 

如该图所示，从第1脉冲振荡器35a向第1开关元件部25a供给的脉冲信号，是使低电平L与高电平H以规定周期重复的脉冲波形，当由第2开关元件35b向第2开关元件部25b供给的脉冲信号为低电平L状态时，作为在第2开关元件部25b断开状态下使第1开关元件部25a开闭的结果，成为上侧供电状态UF。反之，在由第1脉冲振荡器35a向第1开关元件部25a供给的脉冲信号为低电平L的状态下，由第2脉冲振荡器35b向第2开关元件部25b供给的脉冲信号为使低电平L与高电平H以规定周期重复的波形时，因为在第1开关元件部25a断开的状态下使第2开关元件部25b开闭，所以成为下侧供电状态LF。而且，当由第1脉冲振荡器35a向第1开关元件部25a供给的脉冲信号，与由第2脉冲振荡器35供给第2开关元件部25b的脉冲信号，为彼此同步的脉冲波形时，因为第1开关元件部25a及第2开关元件部25b彼此同步地开闭，所以成为两侧供电状态BF。 

本发明的发明人等通过实验得知，线电极1与被加工物W间的短路的产生频率及线电极断线产生的难易，虽然随线电极1的材质或线电极直径、所使用的加工液的液质或来自各喷嘴65a、65b的加工液的供给量、被加工物W的材质或希望由该被加工物W制造的产品的形状等加工条件而变化，但如果以较短的周期切换上述各种供电状态，短路就会频繁产生，加工速度不易提高。另外，还通过实验得知，如果各种供电状态下的脉冲数量过多，则容易引起线电极断线。 

例如，在使在上侧供电状态下向线电极1施加的高频脉冲电压的脉冲数与在下侧供电状态下向线电极1施加的高频脉冲电压的脉冲数的和，与在两侧供电状态下向线电极1施加的高频脉冲电压的脉冲数相同的情况下，如果使各种供电状态下的脉冲数低于3，则线电极1与被加工物W的短路会频繁产生，加工速度大幅降低。另外，如果使各种供电状态下的脉冲数大于或等于10000，则线电极1与被加工物W间的放电点的位置，不会在被加工物W的板厚方向一定程度地分散，容易引起线电极断线。 

而且，本发明的发明人等通过实验得知，如果两侧供电状态下的脉冲数占向线电极1施加的脉冲数的比例过少，则线电极1与被加工物W间的短路产生的频率增高，如果过多，则容易引起线电极断线。例如，如果上述比例不足50％，则容易引起短路，如果大于或等于95％，则容易引起线电极断线。 

考虑以上情况可知，线电极1与被加工物W间的短路以及线电极断线，可以通过使上侧供电状态、下侧供电状态及两侧供电状态适当混杂而抑制。 

在上述线电极放电加工机130中，根据存储在存储部85中的前 述供电控制数据，脉冲振荡控制部95分别控制第1脉冲振荡器35a及第2脉冲振荡器35b的动作，其结果，以按照规定模式使上侧供电状态、下侧供电状态及两侧供电状态混杂的方式，进行供电控制。因此，可以通过由实验求出适当的供电控制数据并预先存储在存储部85中，分别抑制线电极1与被加工物W间的短路及线电极断线。因此，容易提高线电极放电加工机130的生产性。 

实施方式2. 

在本发明的线电极放电加工机中，为了抑制被加工物的板厚方向中央部的线电极的过热，可以将主电源分为第1主电源和第2主电源这两部分。 

图3是概略地表示主电源具有第1主电源和第2主电源的线电极放电加工装置的一个例子的结构图。在该图所示的线电极放电加工装置140中，主电源30具有第1主电源30a和第2主电源30b。第1主电源30a经由第1开关元件部25a与上侧供电部20a连接，同时与被加工物W的板厚方向上部连接。另外，第2主电源30b经由第2开关元件部25b与下侧供电部20b连接，同时与被加工物W的板厚方向下部连接。上述第1主电源30a及第2主电源3 0b的动作，由运算·控制部90a控制。 

因为线电极放电加工机140中的上述以外的结构，与图1所示的线电极放电加工机130的结构相同，所以在图3所示的构成部件中，对于与图1所示的构成部件相同的部分，标注与图1中使用的参考标号相同的参考标号，省略其说明。而且，对于构成线电极放电加工机140的加工机主体，标注新的参考标号80A，对于控制装置标注新的参考标号110A。 

在这样构成的线电极放电加工机140中，因为第1主电源30a与被加工物W的板厚方向的上部连接，第2主电源30b与被加工物W的板厚方向的下部连接，所以在两侧供电状态时的从第1主电源30a至放电点的阻抗、以及从第2主电源30b至放电点的阻抗，随着放电位置向被加工物W的板厚方向的中央部靠近而分别增大。作为 其结果，线电极1与被加工物W间的放电电流值，随着放电点的位置向被加工物W的板厚方向的中央部靠近而减小。 

图4是概略地表示使线电极放电加工机140为两侧供电状态时的放电位置(放电点的位置)、与放电电流值的关系的曲线图。该图中的实线L₁表示上述关系。为了参考，将图1所示的线电极放电加工机130中的上述关系，在图4中用虚线L₂表示。实线L₁表示的放电电流值与虚线L₂表示的放电电流值，是在相同加工条件下得到的值。 

由图4可知，在线电极放电加工机130、140的任一个中，线电极与被加工物间的放电电流值，都随着放电点的位置向被加工物W的板厚方向的中央部靠近而减小，但作为其降低的程度，线电极放电加工机140比线电极放电加工机130大。而且，被加工物的板厚方向中央部的放电电流值本身，如果是在相同的加工条件下，则线电极放电加工机140的值比线电极放电加工机130的值小。 

通常，在线电极放电加工机中，通过向线电极与被加工物之间供给加工液，抑制放电加工时的线电极的过热，但在被加工物的板厚方向的中央部，与该被加工物的板厚方向的上部或板厚方向的下部相比，不易由加工液冷却，因此在被加工物的板厚方向的中央，常常线电极过热，引起线电极断线。 

但是，在图3所示的线电极放电加工机140中，由于两侧供电状态时的放电电流值随着靠近被加工物W的板厚方向的中央部而减小，所以即使在被加工物W的板厚方向的中央部，也容易抑制线电极1的过热。因此，与在实施方式1中说明的线电极放电加工机130(参照图1)相比，容易防止线电极断线。 

因此，根据线电极放电加工机140，与线电极放电加工机130同样地，通过以规定的模式将上侧供电状态、下侧供电状态及两侧供电状态混杂，可以防止线电极1与被加工物W间的短路，同时与线电极放电加工机130相比，容易抑制线电极断线。其结果，与线电极放电加工机130相比，容易提高生产性。 

实施方式3. 

在线电极放电加工机中，如果Z轴高度(上侧供电部的相对高度)或被加工物的板厚变化，则从放电点至各供电部的距离变化，由此，经由上侧供电部直至放电点的供电电路(以下称为“上侧供电电路”)、以及经由下侧供电部直至放电点的供电电路(以下称为“下侧供电电路”)的各自的阻抗中会出现偏差。这种阻抗偏差对各个供电电路中的放电电流的大小带来差异，在放电电流较大的供电电路(阻抗小的供电电路)中，容易引起线电极断线。 

本发明的线电极放电加工机可以构成为，根据上侧供电电路与下侧供电电路间的阻抗，调节向上侧供电电路及下侧供电电路的各自的高频脉冲电压供给条件，防止由供电电路间的阻抗偏差引起的线电极断线。 

图5～图7，分别是概略地表示可以防止因供电电路上的阻抗偏差引起的线电极断线的线电极放电加工机的一个例子的结构图。在这些图中所示的构成部件中，对于与图1所示的构成部件相同的部分，标注与图1中使用的参考标号相同的参考标号，省略其说明。 

图5所示的线电极放电加工机150具有控制装置110B，该控制装置110B具有脉冲振荡控制部95a。脉冲振荡控制部95a读出由用户预先存储在存储部85中的Z轴高度(上侧供电部20a相对于下侧供电部20b的高度)的数据，或者，由存储在存储部85中的数值控制数据求出Z轴高度，将该Z轴高度与基准值比较，求出上侧供电电路及下侧供电电路的各自的阻抗的大小关系。然后，例如通过运算，改变从该存储部85读出的供电控制数据，以使得阻抗较小的供电电路中的放电电流值，接近阻抗较大的供电电路中的放电电流值，根据该改变后的供电控制数据，该脉冲振荡控制部95a分别控制第1脉冲振荡器35a及第2脉冲振荡器35b的动作。 

例如，可以通过改变高频脉冲电压中的脉冲宽度或脉冲间隔，或者改变供给的脉冲数，调节向线电极1供给的高频脉冲电压的能量，从而调节放电电流值。在第1开关元件部25a及第2开关元件部25b分别具有多个开关元件的情况下，可以通过改变断开的开关元件的数量，调节向线电极1供给的高频脉冲电压的能量。此外，作为上述基准值，采用在供电控制数据生成时假定的Z轴高度，该基准值预先存储在例如存储部85中。该线电极放电加工机150尤其适用于使用平板状物作为被加工物W的情况。

图6所示的线电极放电加工机160，具有控制装置110C，该控制装置110C具有运算·控制部90b以及脉冲振荡控制部95b。运算·控制部90b与图1所示的运算·控制部90同样地，具有使用从线电极1向被加工物W施加的高频脉冲电压的能量和加工速度等，依次计算被加工物W的板厚的功能，将计算结果传送至脉冲振荡控制部95b。在图6中，示出在图1中省略图示的速度测量装置57。 

脉冲振荡控制部95b，将从运算·控制部90b传送来的上述计算结果与基准值进行比较，求出上侧供电电路及下侧供电电路的各自的阻抗的大小关系。并且，例如通过运算，改变从存储部85读出的供电控制数据，以使得阻抗较小的供电电路中的放电电流值，接近阻抗较大的供电电路中的放电电流值，并根据该改变后的供电控制数据，该脉冲振荡控制部95b分别控制第1脉冲振荡器35a及第2脉冲振荡器35b的动作。此外，作为上述基准值，使用供电控制数据生成时假定的板厚，该基准值预先存储在例如存储部85中。该线电极放电加工机160，当然适用于使用平板状物作为被加工物W的情况，此外也适用于在被加工物W上预先形成凹部或孔的情况。 

图7所示的线电极放电加工机170，具有控制装置110D，该控制装置110D具有脉冲振荡控制部95c以及板厚确定部100，在存储部85中，还存储被加工物的3维数据。运算控制部90c控制板厚确定部100的动作，该板厚确定部100根据上述3维数据和存储在存储部85中的数值控制数据(工作台驱动装置55用的数值控制数据)，在指定放电加工位置的同时，求出该放电加工位置的被加工物W的板厚，将该板厚数据传送至脉冲振荡控制部95c。脉冲振荡控制部95c将从运算·控制部90c传送来的上述板厚数据与基准值进行比较，计算上侧供电电路以及下侧供电电路的各自的阻抗的大小关系。然后，例如通过运算，改变从存储部85读出的供电控制数据，以使得阻抗较小的供电电路中的放电电流值，接近阻抗较大的供电电路中的放电电流值，根据该改变后的供电控制数据，该脉冲振荡控制部95c分别控制第1脉冲振荡器35a及第2脉冲振荡器35b的动作。此外，作为上述基准值，采用供电控制数据生成时假定的板厚，该基准值预先存储在例如存储部85中。该线电极放电加工机170，当然适用于使用平板状物作为被加工物W的情况，此外也适用于预先在被加工物W上形成凹部或孔的情况。 

在上述各线电极放电加工机150、160、170中，因为可以根据供电电路间的阻抗的大小关系(偏差)，分别调节向上侧供电电路及下侧供电电路的高频脉冲电压的供给条件，所以容易防止由供电电路间的阻抗偏差引起的线电极断线。因此，根据这些线电极放电加工机150、160、170，与图1所示的线电极放电加工机130同样地，通过以规定的模式使上侧供电状态、下侧供电状态及两侧供电状态混杂，可以防止线电极1与被加工物W间的短路，同时与线电极放电加工机130相比，容易抑制线电极断线。作为其结果，与线电极放电加工机130相比，容易提高生产性。 

实施方式4. 

本发明的线电极放电加工机可以构成为，根据上侧供电电路的阻抗和下侧供电电路的阻抗，调节向各供电电路的高频脉冲电压的供给条件，防止由供电电路间的阻抗偏差引起的线电极断线。 

图8及图9分别是概略地表示可以根据上侧供电电路的阻抗和下侧供电电路的阻抗，调节向各供电电路的高频脉冲电压的供给条件的线电极放电加工机的一个例子的结构图。在这些图中所示的构成部件中，对于与图1所示的构成部件相同的部分，标注与图1中使用的参考标号相同的参考标号，省略其说明。 

图8所示的线电极放电加工机180，具有带有阻抗测量部70的加工机主体80B和带有脉冲振荡控制部95d的控制装置110E。阻抗测量部70分别实际测量上侧供电电路中的主电源30和上侧供电部20a之间的阻抗，以及下侧供电电路中的主电源30和下侧供电部20b 之间的阻抗，将该实测结果传送至脉冲振荡控制部95d。脉冲振荡控制部95d将由阻抗测量部70得到的实测结果与基准值进行比较，计算上侧供电电路及下侧供电电路的各自的阻抗的大小关系。并且，例如通过运算，改变从存储部85读出的供电控制数据，以使得阻抗较小的供电电路的放电电流值接近阻抗较大的供电电路的放电电流值，并根据该改变后的供电控制数据，该脉冲振荡控制部95d分别控制第1脉冲振荡器35a及第2脉冲振荡器35b的动作。此外，作为上述基准值，采用供电控制数据生成时假定的阻抗，该基准值预先存储在例如存储部85中。 

图9所示的线电极放电加工机190，具有带有脉冲振荡控制部95e的控制装置110F，在存储部85中，由线电极放电加工机190的制造商或用户，预先存储预先测定的上侧供电电路及下侧供电电路的各自的阻抗。具体地说，预先存储上侧供电电路中的主电源30和上侧供电部20a间的阻抗的实测数据，以及下侧供电电路中的主电源30和下侧供电部20b间的阻抗的实测数据。脉冲振荡控制部95e直接比较存储在存储部85中的上述各个阻抗的实测数据，或者与基准值比较，计算上侧供电电路及下侧供电电路的各自的阻抗的大小关系。并且，例如通过运算，改变从存储部85读出的供电控制数据，以使得阻抗较小的供电电路的放电电流值接近阻抗较大的供电电路的放电电流值，并根据该改变后的供电控制数据，该脉冲振荡控制部95e分别控制第1脉冲振荡器35a及第2脉冲振荡器35b的动作。此外，作为上述基准值，采用供电控制数据生成时假定的阻抗，该基准值预先存储在例如存储部85中。 

在上述各个线电极放电加工机180、190中，因为可以根据上侧供电电路自身的阻抗与下侧供电电路自身的阻抗，调节向各个供电电路的高频脉冲电压的供给条件，所以容易防止由供电电路间的阻抗偏差(大小关系)引起的线电极断线。因此，这些线电极放电加工机180、190，起到与在实施方式3中说明的各种线电极放电加工机150、160、170同样的技术效果。 

实施方式5. 

在本发明的线电极放电加工机中，可以增加下述的线电极断线避免功能：当检测到线电极断线的征兆(以下，称为“断线征兆”)时，分别控制第1脉冲振荡器及第2脉冲振荡器的动作，以防止线电极断线。 

图10是概略地表示增加了线电极断线避免功能的线电极放电加工机的一个例子的结构图。该图所示的线电极放电加工机200，具有：加工机主体80C，其带有断线征兆检测部75；以及控制装置110G，其带有脉冲振荡控制部95f，在存储部85中，除了在实施方式1～4中说明的供电控制数据(以下，在该实施方式中称为“基本供电控制数据”)之外，还存储用于在出现断线征兆时避免线电极断线的供电控制数据(以下，称为“断线避免用供电控制数据”)。在图10所示的构成部件中，对于与图1所示的构成部件相同的部分，标注与图1中使用的参考标号相同的参考标号，省略其说明。 

上述断线征兆检测部75与上侧供电部20a、下侧供电部20b及被加工物W电气连接，根据例如上侧供电电路与下侧供电电路中的电流的分流比，求出放电点的位置，当检测到放电点集中在一个位置的集中放电时，判断为出现线电极断线征兆，将规定信号(以下，称为“断线征兆检测信号”)传送给脉冲振荡控制部95f。 

接收到断线征兆检测信号的脉冲振荡控制部95f，通过从存储部85中读出断线避免用供电控制数据而改变供电控制数据，根据该断线避免用供电控制数据，分别控制第1脉冲振荡器35a及第2脉冲振荡器35b的动作，以避免线电极断线。例如，以使上侧供电状态与下侧供电状态交互出现的方式，分别控制第1脉冲振荡器35a及第2脉冲振荡器35b的动作，由此使放电点的位置随时间而分散，避免线电极断线。 

线电极放电加工机200因为具有上述线电极断线避免功能，所以与在实施方式1～4中说明的各种线电极放电加工机相比，容易防止线电极断线。因此，根据该线电极放电加工机200，与图1所示的线电极放电加工机同样地，通过以规定的模式使上侧供电状态、下侧 供电状态及两侧供电状态混杂，可以防止线电极1与被加工物W间的短路，同时，与线电极放电加工机130相比，易于抑制线电极断线。作为其结果，与线电极放电加工机130相比，容易提高生产性。 

此外，在线电极放电加工机中增加线电极断线避免功能的情况下，可以在脉冲振荡控制部中增加下述功能：使以较长期间(1～2秒程度)为对象观察时的供电比例，恢复为规定的比例，即，根据基本供电控制数据分别控制第1脉冲振荡器以及第2脉冲振荡器动作时的上侧供电状态、下侧供电状态及两侧供电状态各自的供电比例(以下，称为“供电比例恢复功能”)。 

图11是表示在上述脉冲振荡控制部95f中增加供电比例恢复功能时的供电模式的一个例子的概略图。在该图所示的例子中，在时刻T₁之前，根据基本供电控制数据，脉冲振动控制部95f分别控制第1脉冲振荡器35a以及第2脉冲振荡器35b的动作。在该基本供电控制数据下，反复进行下述动作，即，在各进行1个周期上侧供电状态及下侧供电状态后，进行2个周期的两侧供电状态。 

在时刻T₁，如果由断线征兆检测部75向脉冲振荡控制部95传送断线征兆检测信号，则脉冲振荡控制部95f根据断线避免用供电控制数据，分别开始控制第1脉冲振荡器35a及第2脉冲振荡器35b的动作，按照上侧供电状态与下侧供电状态交互出现的方式，分别控制第1脉冲振荡器35a及第2脉冲振荡器35b的动作。然后，如果在时刻T₂，来自断线征兆检测部75的断线征兆检测信号停止，则使脉冲振荡控制部95f表现出供电比例恢复功能，按照上侧供电状态、下侧供电状态及两侧供电状态各自的供电比例都成为基本供电控制数据下的供电比例的方式，分别控制第1脉冲振荡器35a及第2脉冲振荡器35b的动作。 

具体地说，因为在从时刻T₁到时刻T₂的期间，1个周期的两侧供电状态也没有进行，所以以使得上侧供电状态、下侧供电状态与两侧供电状态间的比例为1∶1∶2的方式，分别控制第1脉冲振荡器35a及第2脉冲振荡器35的动作，使得在从时刻T₂到时刻T₃的期间，分别出现1个周期的上侧供电状态及下侧供电状态，且出现8个周期 两侧供电状态。由此，使由上侧供电状态、下侧供电状态及两侧供电状态各自的供电比例，恢复到基本供电控制数据下的供电比例。 

在脉冲振荡控制部95f中增加的供电比例恢复功能包括：计算基本供电控制数据下的供电比例的功能；测量断线避免用供电控制数据下的上侧供电状态、下侧供电状态以及两侧供电状态的各自的出现次数的功能；计算由于在断线避免用供电控制数据下进行供电而产生的供电比例的偏差，即根据基本供电控制数据下的供电比例计算偏差的功能；以及修正该偏差的功能。脉冲振荡控制部95f在时刻T₃以后，再次根据基本供电控制数据，分别控制第1脉冲振荡器35a及第2脉冲振荡器35b的动作。 

实施方式6. 

在本发明的线电极放电加工机中，可以增加下述功能：分别控制第1脉冲振荡器及第2脉冲振荡器的动作，以使得可以在检测到线电极与被加工物间的短路征兆或短路时，防止上述短路或者消除上述短路(以下称为“短路防止功能”)。 

图12是概略地表示增加短路防止功能的线电极放电加工机的一个例子的结构图。该图中所示的线电极放电加工机210，具有控制装置110H，该控制装置110H具有运算·控制部90d和脉冲振荡控制部95g，在存储部85中，还存储用于在出现上述短路征兆或短路时防止短路或者消除短路的供电控制数据(以下称为“短路防止用供电控制数据”)。在图12所示的构成部件中，对于与图1所示的构成部件相同的部分，标注与图1中使用的参考标号相同的参考标号，省略其说明。 

上述运算·控制部90d，根据由电压检测装置50检测到的各供电部20a、20b和被加工物W间的电位差，检测线电极1与被加工物W之间的短路征兆或短路。具体地说，根据由电压检测装置50检测到的各供电部20a、20b和被加工物W间的电位差，计算放电电压值，当该值低于平均放电电压值时，判断为产生短路征兆或短路，该平均放电电压值根据线电极1的材质、被加工物W的材质、加工液的液质、以及向线电极1施加的高频脉冲电压的大小等而预先设定。并且，如果检测到短路征兆或短路，则该运算·控制部90d将规定的信号(以下称为“短路·征兆检测信号”)传送给脉冲振荡控制部95g。此外，上述平均放电电压值由线电极放电加工机210的制造商或用户求出并预先存储在存储部85中。 

从运算·控制部90d接收到短路·征兆检测信号的脉冲振荡控制部95g，通过从存储部85读出短路防止用供电控制数据，改变供电控制数据，根据该短路防止用供电控制数据，分别控制第1脉冲振荡器35a及第2脉冲振荡器35b的动作，以防止线电极1与被加工物W间的短路，或者消除线电极1与被加工物W间的短路。例如，通过分别控制第1脉冲振荡器35a及第2脉冲振荡器35b的动作，以使得成为两侧供电状态，使线电极1与被加工物W间的放电稳定，由此，防止线电极1与被加工物W间的短路，或者消除线电极1与被加工物W间的短路。 

因为线电极放电加工机210具有上述短路防止功能，所以与实施方式1～5中说明的各种线电极放电加工机相比，容易防止线电极1与被加工物W间的短路。因此，根据该线电极放电加工机210，与图1所示的线电极放电加工机130同样地，可以通过以规定的模式使上侧供电状态、下侧供电状态及两侧供电状态混杂，防止线电极1与被加工物W间的短路，同时，与线电极放电加工机1相比，容易抑制线电极1与被加工物W间的短路。作为其结果，与线电极放电加工机130相比，容易提高生产性。而且，在线电极放电加工机中增加短路防止功能的情况下，也可以在脉冲振荡控制部中，增加在实施方式5中说明的供电比例恢复功能。 

实施方式7. 

在本发明的线电极放电加工机中，可以增加下述功能：根据从加工液供给装置分别向上侧喷嘴及下侧喷嘴供给的加工液的流量，分别控制第1脉冲振荡器及第2脉冲振荡器的动作。 

图13是概略地表示增加上述功能的线电极放电加工机的一个例子的结构图。该图所示的线电极放电加工机220，具有控制装置110I，该控制装置110I具有运算·控制部90e、脉冲振荡控制器95h以及流量比较部105。在图13所示的构成部件中，对于与图1所示的构成部件相同的部分，标注与在图1中使用的参考标号相同的参考标号，省略其说明。 

当上述运算·控制部90e根据存储在存储部85中的数值控制数据(加工液供给装置60用的数值控制数据)，控制加工液供给装置60的动作时，将与分别从该加工液供给装置60向上侧喷嘴65a供给的加工液的流量，以及向下侧喷嘴65b供给的加工液的流量相关的数据，传送至流量比较部105。被传送了这些数据的流量比较部105，将各数据与基准值比较，将其结果传送至脉冲振荡控制部95h。流量比较部105具有在例如供电控制数据生成时假定的加工液流量的数据，作为上述基准值。 

脉冲振荡控制部95h从存储部85读出供电控制数据，分别控制第1脉冲振荡器35a以及第2脉冲振荡器35b的动作，另一方面，在存在根据由流量比较部105得到的比较结果判断加工液流量超过基准值的喷嘴时，例如通过运算，改变上述供电控制数据。也就是说，改变上述供电控制数据，以使得从上侧供电部20a及下侧供电部20部中位于与判断其加工液流量超过基准值的喷嘴同侧的供电部向线电极1供给的高频脉冲电压的供电比例降低。并且，根据改变后的供电控制数据，分别控制第1脉冲振荡器35a及第2脉冲振荡器35b的动作。 

在对被加工物进行线电极放电加工的情况下，从加工液控制装置分别向上侧喷嘴及下侧喷嘴供给的加工液的流量，在放电加工的整个过程中并不是恒定的，例如，在线电极的相对移动路径为直线状的位置和为圆弧状的位置时，上述加工液的流量不同。另外，在上侧喷嘴65a和下侧喷嘴65b处，加工液的流量也不同。而且，当在上侧喷嘴65a处和下侧喷嘴65b处加工液的流量不同时，从加工液的流量较多的喷嘴流入加工槽(线电极1与被加工物W间的间隙)中的加工液的液体量，比从加工液流量少的喷嘴流入加工槽中的加工液的液体 量少，在加工液流量较多的喷嘴侧，容易在加工槽中积存加工碎屑等。作为其结果，加工液的流量较多的喷嘴侧，放电频率升高，容易引起线电极断线。 

在图13所示的线电极放电加工机220中，当存在判断为加工液的流量超过基准值的喷嘴时，分别控制第1脉冲振荡器35a及第2脉冲振荡器35b的动作，以使得从位于与该喷嘴同侧的供电部向线电极1供给的高频脉冲电压的供电比例降低，因此，即使在分别向上侧喷嘴65a及下侧喷嘴65b供给的加工液的流量变化时，也可以抑制线电极断线。 

因此，根据该线电极放电加工机220，与图1所示的线电极放电加工机130同样地，可以通过以规定的模式使上侧供电状态、下侧供电状态及两侧供电状态混杂，防止线电极1与被加工物W间的短路，同时，与线电极放电加工机130相比，容易抑制线电极断线。作为其结果，与线电极放电加工机130相比，容易提高生产性。 

以上，例示7种方式，对本发明的线电极放电加工机进行了说明，但本发明不限于上述7种方式。例如，也可以在控制装置上设置数据变换部，从而仅通过从输入部输入上侧供电状态、下侧供电状态和两侧供电状态的混杂模式(出现模式)而将期望的供电控制数据存储在存储部中，使得用户可以容易地将期望的供电控制数据存储在存储部中。 

图14是概略地表示在控制装置中设置上述数据变换部的线电极放电加工机的一个例子的结构图。在该图所示的线电极放电加工机230的控制装置110J中设置数据变换部108，其在从输入部输入上侧供电状态、下侧供电状态和两侧供电状态的混杂模式(出现模式)时，生成与该出现模式对应的供电控制数据。由该数据变换部108生成的供电控制数据，经由运算·控制部90f存储在存储部85中。脉冲振荡控制部95根据上述供电控制数据，分别控制第1脉冲振荡器35a及第2脉冲振荡器35b的动作。并且，在图14所示的构成部件中，对于与图1所示的构成部件相同的部分，标注与图1中使用的参考标号 相同的参考标号，省略其说明。 

另外，虽然省略图示，但在本发明的线电极放电加工机中，可以使连接主电源的第1开关元件部与第2开关元件部，为与该主电源分开的部件，也可以使其与主电源为同一构成部件。同样地，可以使连接辅助电源的第3开关元件部和第4开关元件部为与该辅助电源分开的部件，也可以使其与辅助电源为同一构成部件。对于各个第1脉冲振荡器及第2脉冲振荡器也同样地，其可以是与主电源或辅助电源分开的构成部件，也可以与脉冲振荡控制是同一构成部件。 

此外，可以对1个供电部仅设置1个开关元件部。图15是概略地表示对1个供电部仅设置1个开关元件部的线电极放电加工机的一个例子的结构图。在该图所示的线电极放电加工机240的加工机主体80D中，与上述供电部20a对应而设置1个开关元件部28a(以下称为“第1开关元件部28a”)，除了该第1开关元件部28a之外的开关元件部不与上侧供电部20a连接。同样地，与下侧供电部20b对应而设置1个开关元件部28b(以下称为“第2开关元件部28b”)，除了该第2开关元件部28b之外的开关元件部不与下侧供电部20b连接。各个开关元件部28a、28b由主电源30及辅助电源40共用。在第1开关元件部28a上连接第1脉冲振荡器35a，在第2开关元件部28b上连接第2脉冲振荡器35b。 

上述第1开关元件部28a，可以为与主电源30及辅助电源40中的任一个都分开的部件，也可以与主电源30或辅助电源40是同一构成部件。同样地，第2开关元件部28b，可以为与主电源30及辅助电源40中的任一个都分开的部件，也可以与主电源3 0或辅助电源40是相一构成部件。 

无论在1个供电部上设置几个开关元件部，在本发明的线电极放电加工机中，因为可以在放电加工期间，使上侧供电状态、下侧供电状态及两侧供电状态任意混杂(出现)，所以可以防止线电极与被加工物间的短路或线电极断线，并且使被加工物的板厚方向的放电加工量适当变化，提高该板厚方向上的加工精度。如果提高上侧供电状态的供电比例，则可以进行被加工物的板厚方向的上部的放电加工， 如果提高下侧供电状态的供电比例，则可以进行被加工物的板厚方向下部的放电加工，所以可以通过适当组合这些供电状态，提高被加工物的板厚方向上的加工精度。 

另外，放电加工位置的被加工物的厚度，因为可以按照图7所示的线电极放电加工机170的方式，使用被加工物的3维数据求出，所以在具有使用该3维数据求出放电加工位置的被加工物的板厚的功能的线电极放电加工机中，可以省略根据从放电电极向被加工物施加的高频脉冲电压的能量和加工速度等，计算被加工物板厚的功能。对于本发明的线电极放电加工机，除了上述情况外，还可以有各种变形、修改、组合等。 

Claims (13)

1.一种线电极放电加工机，其一边向在被加工物的板厚方向移动的线电极和前述被加工物之间供给加工液，一边经由在前述被加工物的上下配置的一对供电部，向前述线电极施加高频脉冲电压，利用在前述线电极与前述被加工物间产生的放电，对前述被加工物进行加工，其特征在于，具有：

主电源，其经由第1开关元件部，向前述一对供电部中配置于前述被加工物上侧的上侧供电部施加高频脉冲电压，并经由第2开关元件部，向配置于前述被加工物下侧的下侧供电部施加高频脉冲电压；

第1脉冲振荡器，其向前述第1开关元件部供给用于控制该第1开关元件部的开闭动作的脉冲信号；

第2脉冲振荡器，其向前述第2开关元件部供给用于控制该第2开关元件部的开闭动作的脉冲信号；

存储部，其存储供电控制数据，该供电控制数据规定前述第1开关元件部及前述第2开关元件部的各自的开闭动作，以使下述状态混杂的方式进行供电控制：上侧供电状态，其仅由前述上侧供电部向前述线电极施加高频脉冲电压；下侧供电状态，其仅由前述下侧供电部向前述线电极施加高频脉冲电压；以及两侧供电状态，其由前述上侧供电部和前述下侧供电部这两者，彼此同步地向前述线电极施加高频脉冲电压；以及

脉冲振荡控制部，其根据前述供电控制数据，控制前述第1脉冲振荡器及前述第2脉冲振荡器各自的动作。

2.如权利要求1所述的线电极放电加工机，其特征在于，

前述主电源具有：

第1主电源，其经由前述第1开关元件部与前述上侧供电部连接，同时与前述被加工物的板厚方向上部连接；以及

第2主电源，其经由前述第2开关元件部与前述下侧供电部连接，同时与前述被加工物的板厚方向下部连接。

3.如权利要求1所述的线电极放电加工机，其特征在于，

前述脉冲振荡控制部，根据从前述主电源经由前述第1开关元件部及前述上侧供电部直至放电点的上侧供电电路中的主电源—上侧供电部间的阻抗，以及从前述主电源经由前述第2开关元件部及前述下侧供电部直至放电点的下侧供电电路中的主电源—下侧供电部间的阻抗，改变前述供电控制数据，以使得阻抗较小的供电电路中的放电电流值，接近阻抗较大的供电电路中的放电电流值，并根据该改变后的供电控制数据，控制前述第1脉冲振荡器及前述第2脉冲振荡器各自的动作。

4.如权利要求3所述的线电极放电加工机，其特征在于，

在前述存储部中，还存储与在前述供电控制数据生成时假定的Z轴高度相关的数据，前述Z轴高度是指上侧供电部相对于下侧供电部的高度，

前述脉冲振荡控制部，根据对前述被加工物进行放电加工时的Z轴高度、和存储在前述存储部中的与前述Z轴高度相关的数据，判断上侧供电电路中的前述阻抗与下侧供电电路中的前述阻抗的大小关系。

5.如权利要求3所述的线电极放电加工机，其特征在于，还具有：

工作台，其可以在载置前述被加工物的状态下在与加工物的板厚方向垂直的面内向两个轴方向移动；

工作台驱动装置，其使前述工作台向两个轴方向移动；

速度测量装置，其测量前述工作台的驱动速度；

电压检测装置，其分别检测前述上侧供电部及前述下侧供电部的与前述被加工物间的电位差；以及

运算·控制部，其根据由前述速度测量装置测量的前述工作台的驱动速度，计算加工速度，同时根据由前述电压检测装置检测到的电位差，计算从前述线电极向前述被加工物施加的高频脉冲电压的能量，使用前述加工速度和前述高频脉冲电压的能量，计算前述被加工物的板厚，

前述脉冲振荡控制部，根据由前述运算·控制部计算出的前述被加工物的板厚，判断上侧供电电路中的前述阻抗和下侧供电电路中的前述阻抗的大小关系。

6.如权利要求3所述的线电极放电加工机，其特征在于，还具有：

工作台，其可以在载置前述被加工物的状态下在与加工物的板厚方向垂直的面内向两个轴方向移动；

工作台驱动装置，其使前述工作台向两个轴方向移动；

运算·控制部，其控制前述工作台的驱动装置的动作；以及

板厚确定部，其计算进行放电加工的位置处的前述被加工物的板厚，

同时，前述存储部中还存储用于对前述工作台驱动装置的动作进行数值控制的数值控制数据以及前述被加工物的3维数据，

前述运算·控制部，根据前述数值控制数据控制前述工作台驱动装置的动作，

前述板厚确定部，根据前述数值控制数据和前述3维数据计算进行放电加工的位置处的前述被加工物的板厚，

前述脉冲振荡控制部，根据前述板厚确定部计算出的前述被加工物的板厚，判断上侧供电电路中的前述阻抗和下侧供电电路中的前述阻抗间的大小关系。

7.如权利要求3所述的线电极放电加工机，其特征在于，

还具有阻抗测量部，其实际测量上侧供电电路中的前述阻抗和下侧供电电路中的前述阻抗，

前述脉冲振荡控制部，根据前述阻抗测量部的实测结果，判断上侧供电电路中的前述阻抗和下侧供电电路中的前述阻抗间的大小关系。

8.如权利要求3所述的线电极放电加工机，其特征在于，

在前述存储部中，预先存储上侧供电电路中的前述阻抗和下侧供电电路中的前述阻抗的各自的实测数据，

前述脉冲振荡控制部，根据存储在前述存储部中的上侧供电电路中的前述阻抗和下侧供电电路中的前述阻抗的各自的实测数据，判断上侧供电电路中的前述阻抗和下侧供电电路中的前述阻抗间的大小关系。

9.如权利要求1所述的线电极放电加工机，其特征在于，

还具有断线征兆检测部，其与前述上侧供电部、前述下侧供电部及前述被加工物连接，检测线电极断线的征兆，

前述脉冲振荡控制部，在前述断线征兆检测部检测到线电极断线征兆时，改变前述供电控制数据，以使得前述线电极与前述被加工物间的放电位置随时间分散，并根据该改变后的供电控制数据，控制前述第1脉冲振荡器及第2脉冲振荡器各自的动作。

10.如权利要求9所述的线电极放电加工机，其特征在于，

前述脉冲振荡控制部，在前述断线征兆检测部检测到线电极断线征兆时，改变前述供电控制数据，以使得前述上侧供电状态和前述下侧供电状态交互地出现。

11.如权利要求1所述的线电极放电加工机，其特征在于，还具有：

电压检测装置，其分别检测前述上侧供电部及前述下侧供电部的与前述被加工物间的电位差；以及

运算·控制部，其根据由前述电压检测装置得到的检测结果，判断是否存在前述线电极与前述被加工物间的短路或该短路的征兆，

前述脉冲振荡控制部，在前述运算·控制部判断存在前述短路或该短路的征兆时，改变前述供电控制数据，以使得前述线电极与前述被加工物间的放电稳定，并根据该改变后的供电控制数据，控制前述第1脉冲振荡器和前述第2脉冲振荡器各自的动作。

12.如权利要求11所述的线电极放电加工机，其特征在于，

前述脉冲振荡控制部，在前述运算·控制部判断存在前述短路或该短路征兆时，改变前述供电控制数据，以成为前述两侧供电状态。

13.如权利要求1所述的线电极放电加工机，其特征在于，还具有：

上侧喷嘴，其配置在前述被加工物的上方；

下侧喷嘴，其配置在前述被加工物的下方；

加工液供给装置，其分别向前述上侧喷嘴及前述下侧喷嘴供给加工液；

运算·控制部，其控制前述加工液供给装置的动作，使规定流量的加工液从该加工液控制装置分别向前述上侧喷嘴及前述下侧喷嘴供给；以及

流量比较部，其分别求出向前述上侧喷嘴及前述下侧喷嘴的加工液供给量的与前述供电控制数据生成时假定的加工液供给量之间的大小关系，

同时，前述存储部中还存储数值控制数据，其用于对前述加工液供给装置的动作进行数值控制，

前述运算·控制部，根据前述数值控制数据控制前述加工液供给装置的动作，

在根据前述流量比较部得到的结果，存在加工液供给量比在前述供电控制数据生成时假定的加工液供给量多的喷嘴时，前述脉冲振荡控制部改变前述供电控制数据，以使得从与该喷嘴同侧的供电部向前述线电极的供电比例降低，并根据该改变后的供电控制数据，控制前述第1脉冲振荡器及前述第2脉冲振荡器各自的动作。

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