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CN101005904A - 液体定量吐出装置 - Google Patents

液体定量吐出装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种液体定量吐出装置，其以预定量吐出储存容器内的液体，并具有在液体吐出的停止期间使负压作用于储存容器内的液体的负压系统，使负压作用于储存容器的负压系统包括：负压产生单元；电动气动调节器，其与该负压产生单元连通，用于将储存容器内调节为所希望的负压力；压力传感器，其配设在该电动气动调节器和储存容器之间；和控制单元，其根据来自该压力传感器的信号控制电动气动调节器，从而将储存容器内调节为所希望的负压力。该液体定量吐出装置在电源刚刚闭合后就能够确保稳定的负压力，从而能够在电源刚刚闭合后进行使用。

Description

液体定量吐出装置
技术领域
本发明涉及一种吐出装置，其能够从注射器以高精度吐出呈膏状或乳状的电子材料、粘结剂及其它中高粘度液体材料、粘度随时间变化的液体材料和低粘度液体材料等，特别涉及一种在电源刚刚闭合后就能够进行高精度的定量吐出(作业)的液体定量吐出装置。
背景技术
作为这种现有技术的定量吐出装置，公知有例如日本专利公报特开平3-217271号所记载的定量吐出装置。
该液体定量吐出装置通过吐出用电磁阀将注射器、空气供给源和空气抽吸源连接起来，在该吐出用电磁阀和空气供给源之间，从电磁阀侧依次配设有蓄积器(accumulator)和调压用减压阀，另外，在吐出用电磁阀和空气供给源之间，从电磁阀侧依次配设有蓄积器和抽吸负压用减压阀，在该液体定量吐出装置中设有控制部，该控制部在整个预定的时间内向吐出用电磁阀输出吐出信号，并且分别向调压用减压阀和抽吸负压用减压阀输出至少与注射器内的液体的剩余量对应的压力设定信号。在这样的定量吐出装置中，与回路图一起公开了由电动气动调节器(電空レギュレ一タ)构成调压用减压阀和抽吸负压用减压阀的实施例。
在此，所谓的“电动气动调节器”是如日本专利公报特公平7-50418号所记载的那样的装置：当调节次级侧的压力时，使用自身具有的压力传感器来检测压力，然后把该检测到的检测压力值和设定压力值进行比较，并根据该比较结果，通过控制自身所具有的电磁阀，来将气压脉冲提供给先导室(pilot room)，开闭与先导室连接的吸气阀体或排气阀体，从而将从主阀吐出的吐出压力调节为设定压力值，这样的装置本身是已经公知的。
但是，在该现有技术中可知：定量吐出装置的电源刚刚闭合后的注射器内的负压力与在电源闭合后的一段时间以后的注射器内的负压力相比较，存在较大偏差。
即，为了防止液体滴漏而作用于注射器内的液体材料的负压力在电源刚刚闭合后缺乏稳定性，因而存在这样的问题：在负压不足的情况下，液体材料从与注射器连通并且在前端具有吐出口的嘴部滴落，或者在负压过剩的情况下，外部空气从嘴部前端被吸入。
发明内容
本发明目的在于解决这样的问题，提供一种液体材料吐出装置，其在吐出装置的电源刚刚闭合后就能够确保稳定的负压力，在电源刚刚闭合后就能够稳定地进行使用。
因此，本发明的发明者为了解决在现有技术中存在的上述问题，反复进行了努力研究，结果完成了下述发明。
即，本发明是一种液体定量吐出装置，其以预定量吐出储存容器内的液体，并具有在液体吐出的停止期间使负压作用于储存容器内的液体的负压系统，其特征在于，
使负压作用于上述储存容器的负压系统包括：负压产生单元；电动气动调节器，其与该负压产生单元连通，用于将储存容器内调节为所希望的负压力；压力传感器，其配设在该电动气动调节器和储存容器之间；和控制单元，其根据来自该压力传感器的信号控制上述电动气动调节器，从而将储存容器内调节为所希望的负压力。
根据本发明，由于在电源刚刚闭合后就能够进行稳定的液体吐出作业、涂敷作业，所以不需要在使用前进行暖机运转，另外，由于能够迅速开始作业，所以具有排除了不必要的待机时间，能够高效地进行作业的效果。
附图说明
图1是表示本发明的定量吐出装置的一个实施方式的回路图。
具体实施方式
下面根据附图说明本发明的液体定量吐出装置的一个实施方式。
图1是液体定量吐出装置的回路图，在图中，实线和虚线分别表示压力回路和信号回路。
在此，在进行填充液体的吐出的注射器1上通过可以在两个位置进行切换的吐出阀3连接有加压气体供给单元2(在图示中是压缩机2a和配设在其下游侧的调压用调节器2b)，该加压气体供给单元2向注射器1提供液体吐出用的加压力，并且负压供给单元4(在图示中是负压力调节用电动气动调节器4a及其下游侧的喷射器4b)通过可以在两个位置进行切换的大气开放阀(大気開放弁)6与上述吐出阀3连接，该负压供给单元4向注射器1内提供液体保持用的负压力。
即，与注射器1连通的吐出阀3通过位置的切换与加压气体供给单元2或负压供给单元4中的某一方连通。
根据这样的结构，通过吐出阀3的根据来自控制部5的信号的动作，控制成使加压气体供给单元2或大气开放阀6中的某一方与注射器1连通，并且同样地通过大气开放阀6的根据来自控制部5的信号的动作，控制成使负压供给单元4或大气开放口7中的某一方与吐出阀3连通。
因此，当吐出阀3位于与大气开放阀6和注射器1连通的端口位置时，注射器1与负压供给单元4或大气开放口7中的某一方连通。
在本发明中，储存在注射器1内的液体的吐出这样进行：根据来自控制部5的信号，使吐出阀3从图示的端口位置移动，将根据注射器1内的液体剩余量等通过调节器2b调整而得的所需要的加压力，向注射器1内供给所需要的时间。
当结束从上述注射器1吐出预定量的液体时，通过控制单元5使吐出阀3恢复至图示的端口位置，并且使大气开放阀6从图示的端口位置移动，使注射器内的经加压的气体放出到大气中，然后以适当的时间使大气开放阀6返回至图示的端口位置，由此通过负压供给单元4将适当的负压力作用于注射器1内的液体材料。
在此，加压气体供给单元2的调压用调节器2b为了使来自压缩机2a的加压气体减压为所需要的压力而发挥作用，能够通过压力传感器8a测量该调压用调节器2b下游侧的气体压力。
另外，负压供给单元4的喷射器4b产生大小与通过的气体的流量对应的负压力，负压力调节用电动气动调节器4a为了使上述喷射器4b所产生的负压力为所需要的压力而发挥作用。另外，能够通过压力传感器8b来测量该负压力调节用电动气动调节器4b下游侧的负压力。
此外，在吐出作业待机过程中，吐出阀3和大气开放阀6的端口位置是使注射器1和负压供给单元4连通的位置。
另外，通过压力传感器8b来测量负压力调节用电动气动调节器4b的下游侧压力。通过压力传感器8b测量到的压力被发送至控制部5，在控制部5中判断其是否是所希望的压力，然后根据需要来控制负压力调节用电动气动调节器4b，从而将通过压力传感器8b测量到的负压力调节成所希望的压力。
如上所述，本发明提供一种液体吐出装置，其能够在电源刚刚闭合后立即高精度地定量吐出呈膏状或乳状的电子材料、粘结剂及其它中高粘度液体材料、粘度随时间变化的液体材料和低粘度液体材料等，所述液体吐出装置尤其在LSI(Large Scale Integrated Circuit：大规模集成电路)等半导体制造领域被有效地利用。

Claims (1)

1、一种液体吐出装置，其以预定量吐出储存容器内的液体，并具有在液体吐出的停止期间使负压作用于储存容器内的液体的负压系统，其特征在于，
上述负压系统包括：负压产生单元；电动气动调节器，其与该负压产生单元连通，用于将储存容器内调节为所希望的负压力；压力传感器，其配设在该电动气动调节器和储存容器之间；和控制单元，其根据来自该压力传感器的信号控制上述电动气动调节器，从而将储存容器内调节为所希望的负压力。
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