[go: up one dir, main page]

CN109975820A - 基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统 - Google Patents

基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统 Download PDF

Info

Publication number
CN109975820A
CN109975820A CN201910137473.9A CN201910137473A CN109975820A CN 109975820 A CN109975820 A CN 109975820A CN 201910137473 A CN201910137473 A CN 201910137473A CN 109975820 A CN109975820 A CN 109975820A
Authority
CN
China
Prior art keywords
optical axis
prism
amici prism
light source
cube
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201910137473.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109975820B (zh
Inventor
高志山
毕津慈
于颢彪
袁群
孙一峰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nanjing University of Science and Technology
Original Assignee
Nanjing University of Science and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nanjing University of Science and Technology filed Critical Nanjing University of Science and Technology
Priority to CN201910137473.9A priority Critical patent/CN109975820B/zh
Publication of CN109975820A publication Critical patent/CN109975820A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109975820B publication Critical patent/CN109975820B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/2441—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using interferometry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S17/06—Systems determining position data of a target
    • G01S17/08—Systems determining position data of a target for measuring distance only

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

本发明公开了一种基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统，包括白光光源、准直镜、第一1/4波片、激光光源，科勒照明系统、偏振棱镜、透反射镜、立方分光棱镜、两个显微物镜、参考平面、第二1/4波片、检偏镜、聚焦透镜、分光棱镜、x方向线阵CCD、y方向线阵CCD。白光光源产生白光，经准直，偏振等手段形成平面偏振光，经立方分光棱镜分光后，分别经两个显微物镜照射到参考平面和被测样品，返回光经分光棱镜分光后分别照射到x,y方向线阵CCD生成干涉条纹图像，根据图像离焦像差变化实现检焦。激光经柯勒照明系统后均匀出射，经偏振棱镜等反射，透过立方分光棱镜等直写样品。本发明具有数据处理快、实时定焦、获取被测样品位置及形貌信息的优点。

Description

基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统
技术领域
本发明属于光学检测领域，具体设计一种基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统。
背景技术
自动对焦从原理来说，分为两类：一类是基于镜头与被拍摄目标之间距离测量的测距自动对焦；另一类是基于对焦屏上成像清晰图像的聚焦检测自动对焦。自动对焦技术实现也具有几种不同的方法。
F.Murakami等人，在《Accuracy assessment of a laser triangulationsensor》一文中提出的光学三角法，其根据被侧面上下移动时，半导体激光在位置敏感探测器上的成像光斑的位置会随之移动，通过三角关系式可以算出被侧面位移和光斑位移之间的关系。激光三角法测量具有非接触、不易损伤表面等优点，但因其精度受测量系统本身测量误差而难以满足工业发展需求。
Q.Li在《Autofocus system for microscope》中提出利用偏离激光聚焦透镜光轴的辅助光束，实现对聚焦误差的检测，简称为偏心光束法，其通过探测器上接收的光强差值与位移的关系进行调焦。
E.Higurashi等人在《Nanometer-displacement detection of opticallytrapped metallic particles based on critical angle method for small forcedetection》中提出利用全反射临界角附近的陡变特性来实现对焦，简称临界角法，其利用被测样品对焦时，反射到两个探测器上的光强相等，而离焦时，光强不等的现象来实现对焦。
DG.Kocher在《Automated Foucault test for focus sensing》中提出利用一个刀口插入来自被测表面反射光路的返回光路中，并位于返回光路的聚焦透镜的焦点处，利用刀口将光束分成相同的左右两部分，分别引入两个探测器，形成差动信号，提高了系统的灵敏度，这种方法简称为傅科刀口法。
KC.Fan等人在《Development of a low-cost autofocusing probe for profilemeasurement》中介绍了一种广泛用于光学存储设备的对焦方法，简称为像散法，其利用柱透镜在子午方向和弧矢方向上的焦距不同，光束投射到四象限探测器上的聚焦光斑形状会随着目标物的位移发生变化，通过四象限探测器上四个信号输出端的运算，得到聚焦误差信号，从而驱动音圈马达，将被测样品调至焦平面。
以上的方法多通过准焦和离焦时，探测器上的现象和差动数值来进行调焦，但很少方法给定了焦平面，从而计算具体的离焦量。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统，可以快速处理干涉图像，实现实时检焦，获取被测样品位置及形貌信息。
本发明目的的技术解决方案为：一种基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统，包括白光光源、准直镜、第一1/4波片、激光光源，科勒照明系统、偏振棱镜、透反射镜、立方分光棱镜、第一显微物镜、参考平面、第二显微物镜、第二1/4波片、检偏镜、聚焦透镜、分光棱镜、x方向线阵CCD、y方向线阵CCD；共光轴依次设置白光光源、准直镜、第一1/4波片、偏振棱镜和透反射镜，上述部件所在光轴为第一光轴；共光轴依次设置激光光源，科勒照明系统、偏振棱镜，上述部件所在光轴为第二光轴；共光轴依次设置被测样品、第二显微物镜、立方分光棱镜、透反射镜、第二1/4波片、检偏镜、聚焦透镜、分光棱镜、 x方向线阵CCD，上述部件所在光轴为第三光轴；共光轴依次设置立方分光棱镜、第一显微物镜、参考平面，上述部件所在光轴为第四光轴；共光轴依次设置分光棱镜、y方向线阵CCD，上述部件所在光轴为第五光轴；其中第一光轴和第四光轴、第五光轴相互平行，第二光轴和第三光轴相互平行，且第一光轴和第四光轴、第五光轴分别垂直于第二光轴和第三光轴，第一显微物镜和参考平面位于立方分光棱镜的反射光路上，第二显微物镜和被测样品位于立方分光棱镜的透射光路上，且第一显微物镜和第二显微物镜完全相同。
白光光源产生白光，经准直镜准直入射至45°放置的第一1/4波片形成圆偏振光，经偏振棱镜形成两束振动方向相互垂直的平面偏振光，经透反射镜反射到立方分光棱镜分光，一束经立方分光棱镜反射至第一显微物镜透射照射到参考平面，一束经立方分光棱镜投射至第二显微物镜透射照射到被测样品，返回的两束光经立方分光棱镜透射到透反射镜，经透反射镜透射，经第二1/4波片产生相移，经45°放置的检偏镜后，两束光的偏振方向相同，光强相等，发生干涉，干涉光经聚焦透镜聚焦后入射到分光棱镜分光，一束经分光棱镜透射照射到x方向线阵CCD，一束经分光棱镜反射照射到y方向线阵CCD，将x方向线阵CCD和y 方向线阵CCD上图像进行耦合，得到二维干涉图像，利用赛得多项式表征波像差，通过观察图像离焦像差的变化进行调焦，实现检焦。
检焦后，激光光源产生激光，经柯勒照明系统后均匀出射，经偏振棱镜反射，经透反射镜反射，经立方分光棱镜透射，经第二显微物镜透射，激光直写被测样品。
其中，白光光源的波长为550nm，激光光源的波长为532nm，对立方分光棱镜进行镀膜处理，使其只对白光光源具有半透半反功能，而激光光源全部透射。参考平面应采用高精度定焦办法，此处采用的是相移干涉测量技术(PSI)，由此参考光路准确聚焦到参考物的焦面上。
本发明与现有技术相比，其显著优点在于：
(1)与其他探测器相比，本发明中为了提高数据处理速度，采用x,y两个方向的线阵CCD，在计算机上叠加两幅干涉图；由于线阵CCD实时传输光电变换信号和自扫描速度快，频率响应高，能够实现动态测量，所以本发明数据处理速度快。
(2)本发明在处理干涉图图像时，数据处理快，并且通过相移干涉法对参考光路进行了定焦，给定了参考焦平面，所以可以实时得到被测样品的离焦量，根据得到的离焦量可以进行调焦，使样品最终处于焦平面，实现实时定焦。
(3)在本发明中，在CCD获取干涉图图像信息后，利用赛得多项式对波像差进行表征，通过赛得多项式拟合被测面可以得到被测样品的位置及其形貌信息。
附图说明
图1为本发明基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统的光路图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详细描述。
结合图1，一种基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统，包括白光光源1、准直镜2、第一1/4波片3、激光光源4、科勒照明系统5、偏振棱镜6、透反射镜7、立方分光棱镜8、第一显微物镜9、参考平面10、第二显微物镜11、第二1/4波片13、检偏镜14、聚焦透镜15、分光棱镜16、x方向线阵CCD17、y方向线阵CCD18；共第一光轴依次设置白光光源1、准直镜2、第一 1/4波片3、偏振棱镜6和透反射镜7；共第二光轴依次设置激光光源4、科勒照明系统5、偏振棱镜6；共第三光轴依次设置被测样品12、第二显微物镜11、立方分光棱镜8、透反射镜7、第二1/4波片13、检偏镜14、聚焦透镜15、分光棱镜16、x方向线阵CCD17；共第四光轴依次设置立方分光棱镜8、第一显微物镜 9、参考平面10；共第五光轴依次设置分光棱镜16、y方向线阵CCD18；其中第一光轴、第四光轴、第五光轴相互平行，第二光轴和第三光轴相互平行，且第一光轴和第四光轴、第五光轴分别垂直于第二光轴，第一显微物镜9和参考平面10位于立方分光棱镜8的反射光路上，第二显微物镜11和被测样品12位于立方分光棱镜8的透射光路上。
白光光源1产生白光，经准直镜2准直入射至45°放置的第一1/4波片3 形成圆偏振光，经偏振棱镜6形成两束振动方向相互垂直的平面偏振光，经透反射镜7反射到立方分光棱镜8分光，一束经立方分光棱镜8反射至第一显微物镜 9透射照射到参考平面10，携带参考平面10信息的光返回立方分光棱镜8，另一束经立方分光棱镜8透射至第二显微物镜11，再照射到被测样品12，携带被测样品12信息的光返回立方分光棱镜8，返回的两束光经立方分光棱镜8透射到透反射镜7，经透反射镜7透射至第二1/4波片13产生相移，经45°放置的检偏镜14后，两束光的偏振方向相同，光强相等，发生干涉，干涉光经聚焦透镜15后入射到分光棱镜16分光，一束经分光棱镜16透射照射到x方向线阵 CCD17，另一束经分光棱镜16反射照射到y方向线阵CCD18，将x方向线阵 CCD17和y方向线阵CCD18上的图像进行耦合，得到二维干涉图像，利用赛得多项式表征波像差，通过观察图像离焦像差的变化进行调焦，实现检焦；
检焦后，激光光源4产生激光，经柯勒照明系统5后均匀出射，经偏振棱镜 6反射至透反射镜7，经透反射镜7反射入立方分光棱镜8，并透射，再经第二显微物镜11透射，激光直写被测样品12。
所述的白光光源1的波长为550nm，所述的激光光源4的波长为532nm。
所述的立方分光棱镜8进行镀膜处理，使其只对白光光源1具有半透半反功能，而激光光源4全部透射。
所述的参考平面10应采用高精度定焦办法，此处采用的是相移干涉测量技术(PSI)，由此参考光路准确聚焦到参考物的焦面上。
第一显微物镜9和第二显微物镜11完全相同。
所述透反射镜7与第一光轴呈45°夹角。
所述第一1/4波片3与第一光轴呈45°夹角。
所述检偏镜14与第三光轴呈45°夹角。
本发明与其他探测器相比，为了提高数据处理速度，采用x,y两个方向的线阵CCD，在计算机上叠加两幅干涉图；由于线阵CCD实时传输光电变换信号和自扫描速度快，频率响应高，能够实现动态测量，所以数据处理速度快；在处理干涉图图像时，通过相移干涉法对参考光路进行了定焦，给定了参考焦平面，所以可以实时得到被测样品的离焦量，根据得到的离焦量可以进行调焦，使样品最终处于焦平面，实现实时定焦；在CCD获取干涉图图像信息后，利用赛得多项式对波像差进行表征，通过赛得多项式拟合被测面可以得到被测样品的位置及其形貌信息。

Claims (8)

1.一种基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统，其特征在于：包括白光光源（1）、准直镜（2）、第一1/4波片（3）、激光光源（4）、科勒照明系统（5）、偏振棱镜（6）、透反射镜（7）、立方分光棱镜（8）、第一显微物镜（9）、参考平面（10）、第二显微物镜（11）、第二1/4波片（13）、检偏镜（14）、聚焦透镜（15）、分光棱镜（16）、x方向线阵CCD（17）、y方向线阵CCD（18）；共第一光轴依次设置白光光源（1）、准直镜（2）、第一1/4波片（3）、偏振棱镜（6）和透反射镜（7）；共第二光轴依次设置激光光源（4）、科勒照明系统（5）、偏振棱镜（6）；共第三光轴依次设置被测样品（12）、第二显微物镜（11）、立方分光棱镜（8）、透反射镜（7）、第二1/4波片（13）、检偏镜（14）、聚焦透镜（15）、分光棱镜（16）、x方向线阵CCD（17）；共第四光轴依次设置立方分光棱镜（8）、第一显微物镜（9）、参考平面（10）；共第五光轴依次设置分光棱镜（16）、y方向线阵CCD（18）；其中第一光轴、第四光轴、第五光轴相互平行，第二光轴和第三光轴相互平行，且第一光轴和第四光轴、第五光轴分别垂直于第二光轴，第一显微物镜（9）和参考平面（10）位于立方分光棱镜（8）的反射光路上，第二显微物镜（11）和被测样品（12）位于立方分光棱镜（8）的透射光路上；
白光光源（1）产生白光，经准直镜（2）准直入射至第一1/4波片（3）形成圆偏振光，经偏振棱镜（6）形成两束振动方向相互垂直的平面偏振光，经透反射镜（7）反射到立方分光棱镜（8）分光，一束经立方分光棱镜（8）反射至第一显微物镜（9）透射照射到参考平面（10），携带参考平面（10）信息的光返回立方分光棱镜（8），另一束经立方分光棱镜（8）透射至第二显微物镜（11），再照射到被测样品（12），携带被测样品（12）信息的光返回立方分光棱镜（8），返回的两束光经立方分光棱镜（8）透射到透反射镜（7），经透反射镜（7）透射至第二1/4波片（13）产生相移，经检偏镜（14）后，两束光的偏振方向相同，光强相等，发生干涉，干涉光经聚焦透镜（15）后入射到分光棱镜（16）分光，一束经分光棱镜（16）透射照射到x方向线阵CCD（17），另一束经分光棱镜（16）反射照射到y方向线阵CCD(18），将x方向线阵CCD（17）和y方向线阵CCD（18）上的图像进行耦合，得到二维干涉图像，利用赛得多项式表征波像差，通过观察图像离焦像差的变化进行调焦，实现检焦；
检焦后，激光光源（4）产生激光，经柯勒照明系统（5）后均匀出射，经偏振棱镜（6）反射至透反射镜（7），经透反射镜（7）反射入立方分光棱镜（8），并透射，再经第二显微物镜（11）透射，激光直写被测样品（12）。
2.根据权利要求1所述的基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统，其特征在于：所述白光光源（1）的中心波长为550nm，所述的激光光源（4）的中心波长为532nm。
3.根据权利要求1所述的基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统，其特征在于：所述立方分光棱镜（8）进行镀膜处理，使其只对白光光源（1）具有半透半反功能，而激光光源（4）全部透射。
4.根据权利要求1所述的基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统，其特征在于：所述参考平面（10）采用高精度定焦办法，此处采用的是相移干涉测量技术，由此参考光路准确聚焦到参考平面（10）的焦面上。
5.根据权利要求1所述的基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统，其特征在于：第一显微物镜（9）和第二显微物镜（11）完全相同。
6.根据权利要求1所述的基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统，其特征在于：所述透反射镜（7）与第一光轴呈45°夹角。
7.根据权利要求1所述的基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统，其特征在于：所述第一1/4波片（3）与第一光轴呈45°夹角。
8.根据权利要求1所述的基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统，其特征在于：所述检偏镜（14）与第三光轴呈45°夹角。
CN201910137473.9A 2019-02-25 2019-02-25 基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统 Active CN109975820B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910137473.9A CN109975820B (zh) 2019-02-25 2019-02-25 基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910137473.9A CN109975820B (zh) 2019-02-25 2019-02-25 基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109975820A true CN109975820A (zh) 2019-07-05
CN109975820B CN109975820B (zh) 2022-03-22

Family

ID=67077402

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910137473.9A Active CN109975820B (zh) 2019-02-25 2019-02-25 基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109975820B (zh)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110260783A (zh) * 2019-07-10 2019-09-20 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种干涉显微镜自动对焦装置及方法
CN112540453A (zh) * 2019-09-20 2021-03-23 莱卡微系统Cms有限责任公司 具有可更换的光学元件的光片显微镜
CN112577418A (zh) * 2020-11-26 2021-03-30 湖北爱默思智能检测装备有限公司 一种正交偏振分选光学采集装置及其应用
CN113175894A (zh) * 2021-04-21 2021-07-27 哈尔滨工程大学 一种物体表面三维形貌白光干涉测量装置及方法
CN113467067A (zh) * 2021-05-24 2021-10-01 南京工程学院 基于多图像面积关系的显微成像系统自动对焦方法及装置
CN113670854A (zh) * 2021-08-12 2021-11-19 之江实验室 一种微分干涉对比显微内窥成像系统及内窥成像方法
CN114459736A (zh) * 2021-12-21 2022-05-10 浙江大学 一种激光对焦成像系统及系统的偏移量的自动化检测方法
CN114526670A (zh) * 2022-02-23 2022-05-24 中国科学院空天信息创新研究院 一种基于参考反射镜差动探测的白光干涉测量装置
CN115655154A (zh) * 2022-12-26 2023-01-31 常州微亿智造科技有限公司 一种高分辨率相位测量偏折术动态缺陷检测装置及方法
WO2023178720A1 (zh) * 2022-03-22 2023-09-28 上海御微半导体技术有限公司 一种光学检测装置及方法
CN119223203A (zh) * 2024-11-28 2024-12-31 南京理工大学 一种基于宽带环形径向偏振光的超分辨显微干涉测量方法
CN119289850A (zh) * 2024-12-10 2025-01-10 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 基于微球辅助的差动干涉共焦位移测量系统及测量方法
CN119376161A (zh) * 2024-12-26 2025-01-28 苏州镁伽科技有限公司 一种相机对焦控制系统、方法及装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115291381B (zh) * 2022-05-31 2025-08-08 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 一种大视场高分辨率显微镜及其显微成像方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1632448A (zh) * 2005-02-04 2005-06-29 哈尔滨工业大学 三维超分辨共焦阵列扫描显微探测方法及装置
CN102385261A (zh) * 2011-11-22 2012-03-21 合肥芯硕半导体有限公司 一种光刻机共轴对焦装置及对焦方法
CN102425998A (zh) * 2011-09-23 2012-04-25 西安工业大学 光学元件抛光表面质量全参数检测装置和检测方法
CN102944169A (zh) * 2012-11-26 2013-02-27 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种同步偏振相移干涉仪
US20130070334A1 (en) * 2011-09-19 2013-03-21 Samsung Electronics Co., Ltd. Auto focusing devices for optical microscopes
CN103207532A (zh) * 2013-04-21 2013-07-17 中国科学院光电技术研究所 一种同轴检焦测量系统及其测量方法
CN103913961A (zh) * 2014-04-17 2014-07-09 中国科学院光电技术研究所 一种基于光束波前调制的同轴检焦装置
CN108227407A (zh) * 2018-02-28 2018-06-29 南昌航空大学 一种基于相干图像反馈的数字光成型方法
CN108332679A (zh) * 2018-01-18 2018-07-27 中国科学院上海光学精密机械研究所 一种精密离焦检测装置及检测方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1632448A (zh) * 2005-02-04 2005-06-29 哈尔滨工业大学 三维超分辨共焦阵列扫描显微探测方法及装置
US20130070334A1 (en) * 2011-09-19 2013-03-21 Samsung Electronics Co., Ltd. Auto focusing devices for optical microscopes
CN102425998A (zh) * 2011-09-23 2012-04-25 西安工业大学 光学元件抛光表面质量全参数检测装置和检测方法
CN102385261A (zh) * 2011-11-22 2012-03-21 合肥芯硕半导体有限公司 一种光刻机共轴对焦装置及对焦方法
CN102944169A (zh) * 2012-11-26 2013-02-27 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种同步偏振相移干涉仪
CN103207532A (zh) * 2013-04-21 2013-07-17 中国科学院光电技术研究所 一种同轴检焦测量系统及其测量方法
CN103913961A (zh) * 2014-04-17 2014-07-09 中国科学院光电技术研究所 一种基于光束波前调制的同轴检焦装置
CN108332679A (zh) * 2018-01-18 2018-07-27 中国科学院上海光学精密机械研究所 一种精密离焦检测装置及检测方法
CN108227407A (zh) * 2018-02-28 2018-06-29 南昌航空大学 一种基于相干图像反馈的数字光成型方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
李光等: "基于干涉的同轴检焦新方法", 《基于干涉的同轴检焦新方法》 *

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110260783B (zh) * 2019-07-10 2020-11-10 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种干涉显微镜自动对焦装置及方法
CN110260783A (zh) * 2019-07-10 2019-09-20 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种干涉显微镜自动对焦装置及方法
CN112540453A (zh) * 2019-09-20 2021-03-23 莱卡微系统Cms有限责任公司 具有可更换的光学元件的光片显微镜
CN112577418A (zh) * 2020-11-26 2021-03-30 湖北爱默思智能检测装备有限公司 一种正交偏振分选光学采集装置及其应用
CN113175894A (zh) * 2021-04-21 2021-07-27 哈尔滨工程大学 一种物体表面三维形貌白光干涉测量装置及方法
CN113175894B (zh) * 2021-04-21 2023-09-29 哈尔滨工程大学 一种物体表面三维形貌白光干涉测量装置及方法
CN113467067B (zh) * 2021-05-24 2022-07-01 南京工程学院 基于多图像面积关系的显微成像系统自动对焦方法及装置
CN113467067A (zh) * 2021-05-24 2021-10-01 南京工程学院 基于多图像面积关系的显微成像系统自动对焦方法及装置
CN113670854B (zh) * 2021-08-12 2024-06-11 之江实验室 一种微分干涉对比显微内窥成像系统及内窥成像方法
CN113670854A (zh) * 2021-08-12 2021-11-19 之江实验室 一种微分干涉对比显微内窥成像系统及内窥成像方法
CN114459736A (zh) * 2021-12-21 2022-05-10 浙江大学 一种激光对焦成像系统及系统的偏移量的自动化检测方法
CN114526670A (zh) * 2022-02-23 2022-05-24 中国科学院空天信息创新研究院 一种基于参考反射镜差动探测的白光干涉测量装置
CN114526670B (zh) * 2022-02-23 2024-04-02 中国科学院空天信息创新研究院 一种基于参考反射镜差动探测的白光干涉测量装置
WO2023178720A1 (zh) * 2022-03-22 2023-09-28 上海御微半导体技术有限公司 一种光学检测装置及方法
CN115655154A (zh) * 2022-12-26 2023-01-31 常州微亿智造科技有限公司 一种高分辨率相位测量偏折术动态缺陷检测装置及方法
CN115655154B (zh) * 2022-12-26 2023-03-10 常州微亿智造科技有限公司 一种高分辨率相位测量偏折术动态缺陷检测装置及方法
CN119223203A (zh) * 2024-11-28 2024-12-31 南京理工大学 一种基于宽带环形径向偏振光的超分辨显微干涉测量方法
CN119223203B (zh) * 2024-11-28 2025-03-18 南京理工大学 一种基于宽带环形径向偏振光的超分辨显微干涉测量方法
CN119289850A (zh) * 2024-12-10 2025-01-10 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 基于微球辅助的差动干涉共焦位移测量系统及测量方法
CN119376161A (zh) * 2024-12-26 2025-01-28 苏州镁伽科技有限公司 一种相机对焦控制系统、方法及装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN109975820B (zh) 2022-03-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109975820B (zh) 基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统
CN110987817B (zh) 基于大数值孔径物镜整合暗场观察的椭偏仪及测量方法
CN106092514B (zh) 基于双波长斐索干涉仪的光学非均匀性测量装置及方法
CN106403846B (zh) 用于物体表面三维测量的光投影装置
CN101672632B (zh) 一种光学球面面形的光纤点衍射移相干涉测量方法
CN104165582B (zh) 一种基于反射光栅的相移点衍射干涉检测装置及检测方法
CN102589463A (zh) 二维和三维一体化成像测量系统
TW201530093A (zh) 厚度線上即時檢測之光學干涉裝置及其方法
WO2012083764A1 (zh) 差动共焦干涉元件多参数测量方法与装置
CN105928455B (zh) 空间分光同轴斐索型同步移相干涉仪及其测量方法
US10989524B2 (en) Asymmetric optical interference measurement method and apparatus
CN104006763A (zh) 一种基于多波长的数字全息三维形貌检测装置
CN105300273B (zh) 条纹对比度可调的动态点衍射干涉仪
CN108562241B (zh) 基于光纤束的数字全息柔性测量的装置与方法
CN104976965B (zh) 一种会聚光路偏振干涉面型偏差检测装置及其方法
CN104154868A (zh) 一种基于双焦镜的非接触透镜中心厚度测量装置
CN204479018U (zh) 基于子孔径拼接法与计算全息法的非球面干涉检测装置
WO2018000943A1 (zh) 一种凹柱面及柱面发散镜的检测方法及装置
CN106643475A (zh) 泰曼型点源阵列异位同步移相干涉仪及其测量方法
CN107923735B (zh) 用于推导物体表面的形貌的方法和设备
CN115164771A (zh) 基于波长可调谐光场测量技术的三维形貌测量方法及装置
TWI431240B (zh) 三維量測系統
CN105928454B (zh) 一种双光纤点衍射全视场低频外差干涉仪
CN110160443B (zh) 一种用于瞬态三坐标测量的光纤点衍射干涉装置及方法
CN203929011U (zh) 基于正交偏振光的多通道白光共路干涉显微层析系统

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant