CN109834861A - 切割液过滤循环装置 - Google Patents
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Abstract
本发明是一种切割液过滤循环装置，包括切割液缸、切割池和过滤装置，所述切割液缸为密封筒状结构，在所述切割液缸上设置有进液口，在所述切割液缸内设置有进液泵，并且通过其一侧的出液管道连接切割池进液口，所述过滤装置包括废水收集池、压滤机和膜清液收集池，所述废水收集池进液口与切割池出液口通过废水管道连接，并且在所述切割池的出液口处设置有排水阀，所述废水收集池出液口与所述压滤机进液口通过过滤管道相连接，所述压滤机出液口与膜清液收集池进液口通过进液管道相连接，所述膜清液收集池出液口通过进液管道连接切割液缸；本发明能够对切割液循环利用，并且同时也能减少切割过程中的硅粉含量。
Description
技术领域
本发明涉及硅片切割领域，具体是一种切割液过滤循环装置。
背景技术
现有的金钢线硅片切割使用的闭环切割，整个切割系统中在切割过程中，切割液中就会含有硅粉和大颗粒杂质，且含量会越来越高，会大大影响硅片的切割质量，一般都是通过换切割液解决，不仅大大增加了生产成本，同时也加剧了环境污染。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺点，提供一种切割液过滤循环装置，其结构简单、能够对切割液循环利用，并且同时也能减少切割过程中的硅粉含量。
本发明解决以上技术问题的技术方案是：提供切割液过滤循环装置，包括切割液缸、切割池和过滤装置，所述切割液缸为密封筒状结构，在所述切割液缸上设置有进液口，在所述切割液缸内设置有进液泵，并且通过其一侧的出液管道连接切割池进液口，所述过滤装置包括废水收集池、压滤机和膜清液收集池，所述废水收集池进液口与切割池出液口通过废水管道连接，并且在所述切割池的出液口处设置有排水阀，所述废水收集池出液口与所述压滤机进液口通过过滤管道相连接，所述压滤机出液口与膜清液收集池进液口通过进液管道相连接，所述膜清液收集池出液口通过进液管道连接切割液缸。
本发明的进一步限定技术方案：
前述的在切割液缸上设有液位计，便于观察切割液的用量，及时补充。
前述的在出液管道上设有流量控制阀。
前述的在切割池一侧设置有溢流口，并且该溢流口上设置有溢流管道，该溢流管道与废水管道相连接。
前述的在溢流管道上设置有排压阀，排出管道内存在的压力。
前述的膜清液收集池内设有有两层陶瓷膜，过滤金属离子和微生物同时保留溶液中切割有机物有效切割成分。
本发明的有益效果是：本发明结构简单，硅片线切割机在切割硅片时，通过进液泵将所需切割液一次性送至切割池中，用于硅片的切割，同时在切割过程中，通过流量控制阀向切割池内输送切割液，不断置换含有硅粉和沉淀物杂质的切割液，保证硅片切割过程切割质量，在切割池一侧设置溢流口，超出了设置液位，就会将含有硅粉和沉淀物杂质排出至废水收集池中，在切割池的出液口处设置有排水阀，能够将整个硅片切割完后一次性将废液排出至废水收集池内；废水收集池中废液至压滤机，通过压滤机内的压滤布过滤切割过程中产生的硅粉和大颗粒杂质，在通过膜清液收集池内设有两层陶瓷膜，过滤金属离子，微生物，同时也不会过滤水溶液中切割有机物有效切割成分，然后将过滤后的切割液重新输送到切割液缸内，循坏利用，大大提高了经济效益，同时也保证了硅片的切割质量。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式
实施例1
本实施例提供切割液过滤循环装置，结构如图1所示，包括切割液缸1、切割池2和过滤装置，切割液缸为密封筒状结构，在切割液缸上设有液位计3，在切割液缸上设置有进液口4，在切割液缸内设置有进液泵5，并且通过其一侧的出液管道连接切割池2进液口，并且在出液管道上设有流量控制阀6，过滤装置包括废水收集池7、压滤机8和膜清液收集池9，废水收集池进液口与切割池出液口通过废水管道连接，并且在切割池的出液口处设置有排水阀10，在切割池一侧设置有溢流口，并且该溢流口上设置有溢流管道11，该溢流管道与废水管道相连接，且在溢流管道上设置有排压阀12，废水收集池出液口与压滤机进液口通过过滤管道相连接，压滤机出液口与膜清液收集池进液口通过进液管道相连接，且膜清液收集池内设有有两层陶瓷膜13，膜清液收集池出液口通过进液管道连接切割液缸。
本实施例结构简单，硅片线切割机在切割硅片时，通过进液泵将所需切割液一次性送至切割池中，用于硅片的切割，同时在切割过程中，通过流量控制阀向切割池内输送切割液，不断置换含有硅粉和沉淀物杂质的切割液，保证硅片切割过程切割质量，在切割池一侧设置溢流口，超出了设置液位，就会将含有硅粉和沉淀物杂质排出至废水收集池中，在切割池的出液口处设置有排水阀，能够将整个硅片切割完后一次性将废液排出至废水收集池内；废水收集池中废液至压滤机，通过压滤机内的压滤布过滤切割过程中产生的硅粉和大颗粒杂质，在通过膜清液收集池内设有两层陶瓷膜，过滤金属离子，微生物，同时也不会过滤水溶液中切割有机物有效切割成分，然后将过滤后的切割液重新输送到切割液缸内，循坏利用，大大提高了经济效益，同时也保证了硅片的切割质量。
除上述实施例外，本发明还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本发明要求的保护范围。
Claims (6)
1.切割液过滤循环装置，包括切割液缸、切割池和过滤装置，其特征在于：所述切割液缸为密封筒状结构，在所述切割液缸上设置有进液口，在所述切割液缸内设置有进液泵，并且通过其一侧的出液管道连接切割池进液口，所述过滤装置包括废水收集池、压滤机和膜清液收集池，所述废水收集池进液口与切割池出液口通过废水管道连接，并且在所述切割池的出液口处设置有排水阀，所述废水收集池出液口与所述压滤机进液口通过过滤管道相连接，所述压滤机出液口与膜清液收集池进液口通过进液管道相连接，所述膜清液收集池出液口通过进液管道连接切割液缸。
2.根据权利要求1所述的切割液过滤循环装置，其特征在于：在所述切割液缸上设有液位计。
3.根据权利要求1所述的切割液过滤循环装置，其特征在于：在所述出液管道上设有流量控制阀。
4.根据权利要求1所述的切割液过滤循环装置，其特征在于：在所述切割池一侧设置有溢流口，并且该溢流口上设置有溢流管道，该溢流管道与废水管道相连接。
5.根据权利要求4所述的切割液过滤循环装置，其特征在于：在所述溢流管道上设置有排压阀。
6.根据权利要求1所述的切割液过滤循环装置，其特征在于：所述膜清液收集池内设有有两层陶瓷膜。
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111002497A (zh) * | 2019-12-25 | 2020-04-14 | 无锡荣能半导体材料有限公司 | 一种用于切片机的浆液处理系统及其工作方法 |
| CN113352486A (zh) * | 2021-07-21 | 2021-09-07 | 阜宁协鑫光伏科技有限公司 | 切削液循环控制系统和控制方法 |
| CN116674107A (zh) * | 2023-07-03 | 2023-09-01 | 江苏美科太阳能科技股份有限公司 | 一种稳定型太阳能硅片切割系统 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101391463A (zh) * | 2008-10-14 | 2009-03-25 | 浙江华友电子有限公司 | 一种多线切割机 |
| KR101029275B1 (ko) * | 2010-10-14 | 2011-04-18 | 엠씨테크주식회사 | 폴리실리콘 웨이퍼 절단공정의 절삭유 재생장치 |
| CN206066724U (zh) * | 2016-08-22 | 2017-04-05 | 呼和浩特市欧通能源科技有限公司 | 一种线切机切割硅片后的废弃切削液的回收系统 |
| CN207877428U (zh) * | 2018-01-29 | 2018-09-18 | 山东大海新能源发展有限公司 | 一种金刚线切割液回收处理装置 |
| CN207943946U (zh) * | 2018-01-29 | 2018-10-09 | 山东大海新能源发展有限公司 | 一种金刚线废液收集过滤池 |
| CN208263221U (zh) * | 2018-03-30 | 2018-12-21 | 江苏鹏程化工有限公司 | 一种硅片切割液冷却装置 |
-
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Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101391463A (zh) * | 2008-10-14 | 2009-03-25 | 浙江华友电子有限公司 | 一种多线切割机 |
| KR101029275B1 (ko) * | 2010-10-14 | 2011-04-18 | 엠씨테크주식회사 | 폴리실리콘 웨이퍼 절단공정의 절삭유 재생장치 |
| CN206066724U (zh) * | 2016-08-22 | 2017-04-05 | 呼和浩特市欧通能源科技有限公司 | 一种线切机切割硅片后的废弃切削液的回收系统 |
| CN207877428U (zh) * | 2018-01-29 | 2018-09-18 | 山东大海新能源发展有限公司 | 一种金刚线切割液回收处理装置 |
| CN207943946U (zh) * | 2018-01-29 | 2018-10-09 | 山东大海新能源发展有限公司 | 一种金刚线废液收集过滤池 |
| CN208263221U (zh) * | 2018-03-30 | 2018-12-21 | 江苏鹏程化工有限公司 | 一种硅片切割液冷却装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111002497A (zh) * | 2019-12-25 | 2020-04-14 | 无锡荣能半导体材料有限公司 | 一种用于切片机的浆液处理系统及其工作方法 |
| CN113352486A (zh) * | 2021-07-21 | 2021-09-07 | 阜宁协鑫光伏科技有限公司 | 切削液循环控制系统和控制方法 |
| CN116674107A (zh) * | 2023-07-03 | 2023-09-01 | 江苏美科太阳能科技股份有限公司 | 一种稳定型太阳能硅片切割系统 |
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