CN109757111A - 用于保持基板的保持布置、包括保持布置的载体、使用载体的处理系统和用于从保持布置释放基板的方法 - Google Patents

Abstract

本公开内容涉及一种用于保持基板的保持器。所述保持器包括：表面，经构造为面向所述基板，和粘合剂，被提供在所述表面上方并包括多个粘合结构。所述多个粘合结构包括：从所述表面突出的第一粘合结构；和从所述表面突出的第二粘合结构。所述第一粘合结构和所述第二粘合结构具有平行于所述表面的各向异性柔性。所述第一粘合结构和所述第二粘合结构的最小柔性方向不同。

Description

用于保持基板的保持布置、包括保持布置的载体、使用载体的 处理系统和用于从保持布置释放基板的方法

技术领域

实施方式涉及例如在用于基板处理的载体中用粘合剂(诸如干粘合剂)来保持基板。例如，干粘合剂可以是合成刚毛材料，合成刚毛材料也可以被称作壁虎材料。本公开内容的实施方式尤其涉及用于在真空处理腔室中的基板处理期间保持基板的保持布置、用于保持真空处理腔室中的基板的载体、包括沉积源的真空处理系统和用于在基板处理之后释放基板的方法，特别是对于具有窄厚度和大面积的基板而言。

背景技术

涂覆材料可以用于若干应用中并且用于若干技术领域中。例如，涂覆材料可以用于微电子的领域中，诸如用于产生半导体器件。另外，可以涂覆用于显示器的基板。另外的应用包括绝缘面板、有机发光二极管(OLED)面板、具有薄膜晶体管(TFT)的基板、滤色器等。

用于在基板上进行层沉积的技术包括例如热蒸镀、化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)，诸如溅射沉积。

近年存在趋于更大并且也更薄的基板的趋势。特别是对于诸如显示器生产、薄膜太阳能电池的制造和类似的应用的领域而言，大面积玻璃基板被处理。

在不因破损而牺牲产量的情况下增大此类基板的大小使得基板的传送、支撑和处理越来越有挑战性。

诸如玻璃基板的基板可以在处理期间安装在载体上。载体驱动基板或玻璃通过处理系统。载体可以形成框架或板，框架或板支撑基板，例如沿着基板的周边支撑基板。特别地，框架形的载体也可以用于掩蔽玻璃基板，其中由框架包围的载体中的孔提供了用于涂覆待沉积在已暴露的基板部分上的材料的孔或用于作用于基板部分上的其它处理动作的孔，基板部分通过所述孔暴露。

由于倾向于更大并且也更薄的基板，通过载体来夹持和保持基板表现出主要的挑战。例如，这种增大的大小和减小的厚度的基板在竖直位置被运输通过制造系统。需要将基板精确定位在载体内，例如，相对于由载体提供或连接到载体的掩模而言。另外，需要可靠的保持机构，以便避免基板停留在较低边缘上。同时，需要一旦处理完成时释放基板的无害方法。

鉴于前文，需要提供克服了本领域中的至少一些问题的用于保持基板的保持布置、用于支撑基板的载体、处理系统、和用于保持并且从保持布置释放基板的方法。

发明内容

鉴于上文，提供用于保持基板的保持布置、用于保持基板的载体、处理系统、和用于保持并用于从保持布置释放基板的方法。本公开内容的其它方面、优势和特征自权利要求、说明书和附图显而易见。

根据本公开内容的一方面，提供一种用于保持基板的保持器。保持器包括经构造为面向基板的表面，和被提供在表面上方并包括多个粘合结构的粘合剂。多个粘合结构包括从表面突出的第一粘合结构和从表面突出的第二粘合结构；与第二粘合结构当在相同方向上以相同的力弯曲时相比，第一粘合结构当在给定方向上弯曲时不同地弯曲。

根据本公开内容的另一方面，提供一种用于保持基板的保持器。保持器包括经构造为面向基板的表面；和被提供在表面上方并包括多个粘合结构的粘合剂。多个粘合结构包括：从表面突出的第一粘合结构和从表面突出的第二粘合结构。第一粘合结构和第二粘合结构具有平行于表面的各向异性柔性，并且第一粘合结构和第二粘合结构的最小柔性方向不同。

根据本公开内容的另一方面，提供一种用于保持基板的保持器。保持器包括经构造为面向基板的表面；和被提供在表面上方并包括多个粘合结构的粘合剂。多个粘合结构包括：从表面突出并具有第一细长的横截面的第一粘合结构和从表面突出并具有第二细长的横截面的第二粘合结构。第一细长的横截面具有第一定向，而第二细长的横截面具有与第一定向不同的第二定向。

根据本公开内容的又一方面，提供一种用于保持基板的载体。载体包括：载体主体，和如本文所公开的一个或多个保持器。

根据本公开内容的另外的方面，提供一种处理系统。处理系统包括处理腔室、处理设备和如本文所公开的载体。

根据本公开内容的另一另外的方面，提供一种用于使用保持器保持基板的方法。所述方法包括：将基板安装在具有有包括多个粘合结构的粘合剂的保持器的载体上，和定位载体，其中单独粘合结构的最小柔性方向中的大多数是在竖直方向上或在偏离竖直方向+30°与-30°之间的方向上。

根据本公开内容的又一另外的方面，提供一种用于从具有包括多个粘合结构的粘合剂的保持器释放基板的方法。所述方法包括将力施加到保持器，使得对于保持器上的大多数粘合结构而言，力被导向在粘合结构的最大柔性方向上或偏离粘合结构的最大柔性方向+30°与-30°之间的方向上。

附图说明

因此，可以详细地理解上述特征的方式，可以通过参考实施方式获得以上简要概述的本公开内容的更具体描述。附图涉及本公开内容的实施方式并在下文中进行描述。

图1示出根据本文所述的实施方式的载体的示意性主视图。

图2A示出根据具有支撑基板的保持器的比较实施方式的保持器的示意性横截面侧视图。

图2B示出根据具有支撑基板的保持器的本文所述实施方式的保持器的示意性横截面侧视图。

图2C示出根据本文所述的实施方式的单独壁虎结构的横截面的示意性主视图。

图3示出根据本文所述的实施方式的保持器的示意性横截面侧视图。

图4示出根据本文所述的实施方式的保持器的示意性俯视图。

图5示出根据本文所述的实施方式的保持器的示意性俯视图。

图6示出根据本文所述的实施方式的保持器的示意性俯视图。

图7示出图示根据本文所述的实施方式的用于从保持器释放基板的方法的流程图。

图8示出根据本文所述的实施方式的用于保持基板并从保持器释放基板的方法。

图9示出根据本文所述的实施方式的处理系统的示意图。

具体实施方式

现将详细参考各种实施方式，在每个图中图示实施方式的一个或多个示例。每个示例是以解释的方式提供的，而不意味着限制。例如，作为一个实施方式的部分进行图示或描述的特征可以在任何其它实施方式上使用或与任何其它实施方式结合使用，以产生又一另外的实施方式。本公开内容旨在包括这些修改和变化。

在以下的附图描述内，相同参考数字指代相同或类似部件。大体来说，仅描述相对于单独实施方式的差别。除非另外说明，否则一个实施方式中的部分或方面的描述也适用于另一实施方式中的对应部分或方面。

在本公开内容中，应将保持器理解为经构造为例如在基板处理期间保持基板的布置。特别地，保持器或保持布置可以被构造为将大面积基板保持在竖直状态或基本上竖直的状态。本文所述的保持器可以是在处理期间支撑基板的载体的元件。

在本公开内容中，应将粘合剂理解为经构造以提供用于附接如本文所述的基板的粘合力的结构或布置。特别地，粘合剂可以包括在保持器中，例如，粘合剂可以被提供在保持器的表面上。另外，根据可与本文所述的任何其它实施方式组合的实施方式，粘合剂可以包括干粘合剂材料。干粘合剂可以被构造为将基板附接到保持器。

在本公开内容中，应将载体理解为经构造以保持基板，特别是大面积基板的载体。由载体保持或支撑或安装到载体的基板可以包括前表面和后表面。前表面可以是被处理的基板表面，例如，材料层将沉积在前表面上。载体可以被构造为在基板的后表面处保持基板。例如，载体的一个或多个保持器可以附接在基板的边缘部分处。

本文使用的术语基板应特别包括非柔性基板，例如，玻璃板和金属板。然而，本公开内容不限于此，并且术语基板也可以包括柔性基板，诸如卷材(web)或箔。根据一些实施方式，基板可以由适合于材料沉积的任何材料制成。例如，基板可以由选自玻璃(例如钠钙玻璃、硼硅酸盐玻璃等)、金属、聚合物、陶瓷、复合材料、碳纤维材料、云母或可以通过沉积处理进行涂覆的任何其它材料或材料组合所组成的群组的材料制成。例如，基板可以具有0.1毫米到1.8毫米，诸如0.7毫米、0.5毫米或0.3毫米的厚度。在一些实施中，基板的厚度可以是50微米或更大并且/或者700微米或更小。

根据一些实施方式，基板可以是大面积基板并且可以用于显示器制造。例如，基板可以是玻璃基板或塑料基板。举例来说，如本文所述的基板应包括可以用于LCD(液晶显示器)、PDP(等离子显示器面板)等的基板。例如，大面积基板可以具有面积为0.5平方米或更大，特别是1平方米或更大的主表面。在一些实施方式中，大面积基板可以是GEN 4.5，对应于约0.67平方米的基板(0.73米×0.92米)；GEN 5，对应于约1.4平方米的基板(1.1米×1.3米)；GEN 7.5，对应于约4.29平方米的基板(1.95米×2.2米)；GEN 8.5，对应于约5.7平方米的基板(2.2米×2.5米)；或甚至是GEN 10，对应于约8.7平方米的基板(2.85米×3.05米)。可以类似地实施甚至更大的几代，诸如GEN 11和GEN 12和对应的基板面积。

如图1中示例性所示，基板101可以具有上侧11、下侧12和两个横侧13(例如，左侧和右侧)。可以相对于基板101的竖直定向定义上侧11、下侧12和两个横侧13。例如，本文所述的装置可以被构造为在基板的处理期间基本上竖直地支撑基板。同样，载体100或载体主体110可以具有上侧、下侧和两个横侧(例如，左侧和右侧)。载体主体110可以是例如经构造为保持基板101的刚性主体，诸如框架、杆或板。对于大面积基板而言，载体100或载体主体110可以被制造成具有若干部分。

图1示出根据本公开内容的载体100的实施方式的示意性主视图。根据可与本文所述的任何其它实施方式组合的实施方式，载体100包括载体主体110和一个或多个保持器200。一个或多个保持器200安装在载体主体110上。例如，一个或多个保持器200可以连接到支撑结构或主体。支撑结构或主体(参见图3)可以连接到载体主体110。一个或多个保持器200经构造为提供保持力以保持基板101。例如，当基板处于大体上竖直的定向时，保持力可以平行于基板101的表面。例如，保持力可以由保持器200的粘合剂230提供。

在一些实施中，一个或多个保持器200可以安装在载体主体110上以至少保持上侧11，或上侧11、下侧12和基板101的两个横侧13中的至少一个中的至少一者。例如，如图1中示例性所示，可以提供一个或多个保持器200(例如，6个或更多个，诸如10个或更多个保持器，在图1中示出了两个保持器)以保持上侧11。根据另一实施，可以提供一个或多个保持器200(例如，6个或更多个，诸如10个或更多个保持器，在图1中示出了两个保持器)以保持基板的下侧12。可以提供一个或多个保持器200以保持两个横侧13中的每一侧(例如，针对左侧的六个或更多个保持器和针对右侧的六个或更多个保持器)。

根据可与本文所述的任何其它实施方式组合的实施方式，载体100可以被构造为在基板处理期间(例如，在层沉积处理期间，诸如溅射处理)支撑基板101。应理解，根据本文所述实施方式的载体可以用于静止处理以及用于非静止处理，即动态处理。

图2A示出根据处于支撑竖直基板101的位置的比较实施方式的保持器200’的示意性横截面侧视图。图2B示出根据本文所述实施方式的处于支撑竖直基板101的位置的保持器200的示意性横截面侧视图。图2B表示沿着图1中所示出的载体的截面的线A-A的横截面侧视图。在图2A的保持器200’中，壁虎结构300’具有各向同性的柔性，而在图2B的保持器200中，壁虎结构300具有各向异性的柔性。

本公开内容的作者已经确认，例如沿水平方向附接并且随后沿竖直方向定位在保持器上的基板可能经历下垂(例如，如图2A中以箭头“S”描绘)。因此，由于基板下垂而存在基板停留在下边缘上的风险。然而，通过较厚或较粗糙的结构来替换图2A的壁虎结构显露出在处理完成后无法释放基板的风险。然而，令人惊讶的是，作者已经解决了基板下垂的问题，同时允许在处理之后安全的基板释放。

根据可与本文所述的任何其它实施方式组合的实施方式，公开一种用于保持基板101的保持器200。保持器200包括经构造为面向基板101的表面210。另外，保持器包括被提供在表面上方的粘合剂230。粘合剂包括多个粘合(或壁虎)结构300。多个粘合结构包括从表面突出的至少第一粘合结构301和从表面突出的至少第二粘合结构302。第一粘合结构301和第二粘合结构302具有平行于表面210的各向异性的柔性。第一粘合(或壁虎)结构的最小柔性方向321和第二粘合(或壁虎)结构的最小柔性方向322可以是不同的。根据本文所述实施方式，相比于第二粘合结构在相同方向上以相同的力弯曲时，第一粘合结构在给定方向上弯曲时弯曲得不同。

粘合剂230可以被构造为通过范德华(van der Waals)力提供粘合力。特别地，粘合剂可以包括合成刚毛材料。例如，根据本文所述实施方式的粘合剂的粘合能力可以与壁虎脚的粘合性质相关。在大多数条件下，壁虎脚的天然粘合能力允许动物粘附到许多类型的表面上。壁虎脚的粘合能力是由壁虎脚上的许多毛发型延伸部(称为刚毛)提供。这里应注意，应将术语合成刚毛材料理解为模仿壁虎脚的天然粘合能力并且包括与壁虎脚类似的粘合能力的材料。此外，术语合成刚毛材料可以与术语合成壁虎刚毛材料或与术语壁虎材料、壁虎胶带材料、壁虎结构材料或与术语壁虎结构同义地使用。在本文中，应将壁虎结构或粘合结构理解为从保持器突出，特别是从保持器的表面突出的刚毛、纤维、细丝或杆形式的宏观结构。

根据可与本文所述的任何其它实施方式组合的实施方式，由粘合剂提供的粘合力可足以保持如本文所述的基板。特别地，粘合剂可以被构造为提供约2牛顿/平方厘米或更大，特别是3牛顿/平方厘米或更大，更特别是4牛顿/平方厘米或更大，例如至少5牛顿/平方厘米或更大的粘合力。

另外，粘合剂可以包括柔性的或弹性的材料。例如，粘合剂可以包括疏水的非吸湿材料，特别是硅基材料，诸如二氧化硅，或聚酰亚胺基材料和上述材料的组合。特别地，根据可与本文所述的其它实施方式组合的一些实施方式，粘合剂，诸如干粘合剂材料，可以包括硅基或聚酰亚胺基材料或两者的组合。

在本公开内容中，粘合剂包括多个壁虎结构。例如，壁虎结构可以是无机的。根据本文所述实施方式，壁虎结构大体上是100％无机的。此外，壁虎结构的微观结构通常包括硅或聚酰亚胺(PI)。根据替代例，壁虎结构的微观结构包括碳纳米管。

根据另外的实施方式，将在与基板接触时不提供气体的封闭物的微观结构用于干粘合剂或合成刚毛材料可能是有益的。用于基板处理的装置、载体和保持器被构造为用于操作和真空。基板可以在大气压力下附接到保持器，并且可以通过装载锁定腔室装载到基板处理系统中，在将基板装载到装载锁定腔室中之后装载锁定腔室被抽空。干粘合剂中的气体封闭物可导致在抽空以后减小的保持力。因此，干粘合剂的微观结构和/或纳米结构可基本上由实心材料(solid material)组成。

本文所使用的术语各向异性柔性应包括具有方向依赖柔性的壁虎结构，即，具有在不同方向上不同的柔性。通常，柔性可以被视为弹性体对位移力的敏感性的量度。根据本文所述的实施方式，细丝结构、毛发状结构或管状结构通过横向于结构的方向作用的力而弯曲。各向异性柔性是指结构的弯曲程度取决于管状结构弯曲的横向方向。对于具有单个自由度(DOF)的弹性体而言，可以通过公式(1)定义柔性，其中δ是由沿着此DOF的力F产生的位移，而F是弹性体上的位移力。

柔性＝δ/F(1)

例如，在相同的力F下产生的较高位移值δ意味着弹性体的较高程度的柔性。在本文中，各向异性的，方向依赖的柔性是指取决于施加在主体上的位移力F的方向而不同程度的柔性，即不同的位移值δ。

根据本文所述实施方式，粘合结构的柔性，例如粘合结构的各向异性柔性，可以平行于保持器的表面210或基板的表面。另外，如本文所使用的术语最小柔性方向应包括单独壁虎结构301、302平行于保持器的表面210表现出低柔性的方向。例如，术语最小柔性方向应指单独壁虎结构301、302在平行于表面210的任何方向中表现出最低柔性的方向。另外，如本文所使用的术语最大柔性方向应包括单独壁虎结构301、302平行于保持器的表面210表现出高柔性的方向。例如，如本文所使用的术语最大柔性方向应指单独壁虎结构301、302在平行于表面210的任何方向中表现出最高柔性的方向。

原则上，各向异性柔性可以以本领域技术人员设想的任何合适的方式实现。例如，柔性的各向异性可以是壁虎结构的内部组成的结果，诸如，纹理图案或内部纤维分布。另外，各向异性的柔性可以例如通过壁虎结构的外部形状实现。例如，壁虎结构可以表现出细长的横截面。

在本公开内容中，应将术语横截面理解为壁虎结构301、302与基本平行于保持器的表面210或基板表面的平面的交叉。

如图2C中示例性所示，壁虎结构的横截面可以具有细长形状。根据可与本文所述的其它实施方式组合的一些实施方式，壁虎结构的横截面可以分配在壁虎结构的高度340的至少50％上。附加地或替代地，在壁虎结构的高度上分配的横截面可以指临近于保持器的表面的横截面。本领域技术人员知晓许多不同的细长形状。例如，细长的横截面可以是具有较长的延伸或轴和较短的延伸或轴的椭圆形。另外，细长的横截面可以是具有较长对角线和较短对角线的四边形形状。此外，细长的横截面可以是具有较长横向长度和较短横向长度的矩形形状。在本文中，术语较长和较短是指长度的尺寸。例如，较长是指比较短长度长的长度。

根据可与本文所述的任何其它实施方式组合的实施方式，公开一种用于保持基板101的保持器200。保持器200包括经构造为面向基板101的表面210。另外，保持器包括被提供在表面210上方的粘合剂230。粘合剂包括多个壁虎结构300。

此外，在本公开内容中，多个壁虎结构包括从表面210突出并具有第一细长的横截面311的第一壁虎结构301，和从表面210突出并具有第二细长的横截面312的第二壁虎结构302。第一细长的横截面311具有第一定向321而第二细长的横截面312具有与第一定向321不同的第二定向322。

多个壁虎结构包括第一壁虎结构，第一壁虎结构从表面突出并且具有有第一长度(L1，例如，如图2C中以长度“L”所描绘)和第一宽度(W1，例如，如图2C中以宽度“W”所描绘)的横截面，其中比率L1/W1大于1；和第二壁虎结构，第二壁虎结构从表面突出并且具有有第二长度(L2)和第二宽度(W2)的横截面，其中比率L2/W2大于1。第一壁虎结构具有第一定向而第二壁虎结构具有不同于第一定向的第二定向。例如，第一壁虎结构的最长尺寸(对应于L1)的方向和第二壁虎结构的最长尺寸(对应于L2)的方向是不同的。

根据可与本文所述的任何其它实施方式组合的实施方式，保持器可以是大体上矩形或圆形的形状。

示例性地参考图3，根据可与本文所述的任何其它实施方式组合的实施方式，保持器200可以包括经构造为面向基板101的表面210。在本公开内容中，经构造为面向基板的表面可以被理解为大体上平行于基板101定向的主体211或支撑结构的表面。主体211可以包括一个或多个层。主体可以包括柔性材料。例如，主体可以由硅酮(silicone)、聚合材料或特别是弹性体制成。或者，可以使用其它柔性的或弹性的材料。根据可与本文所述的其它实施方式组合的实施方式，表面210可以由高温聚合物制成。例如，高温聚合物可以具有至少150℃，特别是至少200℃，更特别是至少250℃，诸如高达300℃的耐热性。例如，表面可以由选自聚酰亚胺(PI)、聚芳醚酮(PAEK)、聚苯硫醚(PPS)、聚芳砜(PAS)和含氟聚合物(PTFE)所组成的群组中的至少一种材料制成。

如图3中示例性地指示，根据可与本文所述的任何其它实施方式组合的实施方式，保持器200可以包括支撑结构或主体。另外，示例性地参考图3，保持器200可以包括轴，所述轴可以例如如箭头240所示地旋转。例如，可旋转轴220可以垂直于基板101定向。

如图4、图5和图6中示例性所示，根据可与本文所述的其它实施方式组合的实施方式，大多数壁虎结构可以经过定向而使得单独壁虎结构的最小柔性方向321、322与朝向可旋转轴220的径向方向241的偏离角α(图5)小于60°。更特别地，根据可与本文所述的其它实施方式组合的一些实施方式，大多数壁虎结构可经过定向而使得单独壁虎结构的最小柔性方向321、322与向着可旋转轴220的径向方向241之间的角α在之间并且包括60°和0°的范围内，诸如，55°、50°、45°、40°、35°、30°、25°、20°、15°、10°、5°或更小。

根据可与本文所述的任何其它实施方式组合的实施方式，大多数壁虎结构可指每个单独保持器的壁虎结构总量的50％或更多。例如，大多数壁虎结构可以指每个单独保持器的壁虎结构总量的55％、60％、65％、70％、75％、80％、85％、90％、95％或99％中的任何一者。

例如，如图4中示例性所示，壁虎结构可以径向地定向，以使得单独壁虎结构n的最小柔性方向与向着可旋转轴220的径向方向241之间的角α_n为20°或更小或大体上为0°。

根据可与本文所述的其它实施方式组合的实施方式，保持器的壁虎结构可以经过定向而使得保持器提供比横向阻力小的旋转，诸如，相对于受支撑的基板而言，抵抗扭转运动的阻力小于抵抗重力的阻力。

如图5和图6中示例性所示，根据可与本文所述的其它实施方式组合的实施方式，保持器200可以包括包含多个第一粘合结构和多个第二粘合结构的多个粘合结构。特别地，根据一些实施方式，多个第一粘合结构可以设置在表面210的第一区域251上方而多个第二粘合结构可以设置在保持器200的表面210的第二区域252上方。更特别地，根据一些实施方式，第一区域251和第二区域252可以形成图案。例如，保持器200可以包括多于两个的区域，诸如三个、四个、五个、六个、七个、八个、九个、十个或更多个区域。例如，如在图5和图6中示例性所示，保持器的多个壁虎结构可以布置在形成棋盘状图案的四个区域中。每个区域的特征可以是壁虎结构的不同定向。此外，图案可以围绕保持器200的表面上的可旋转轴220进行布置。特别地，根据可与本文所述的其它实施方式组合的实施方式，图案可以是周期性图案或围绕保持器200的表面上的可旋转轴220旋转对称的图案。

因此，可以有利地提供针对基板的保持器，所述保持器能够进行如本文所述的用于保持以及用于从保持器释放基板的方法。

根据可与本文所述的任何其它实施方式组合的实施方式，公开一种用于使用如本文所述的保持器来保持基板的方法。特别地，保持基板的方法可以包括将基板安装在载体上，所述载体具有保持器，所述保持器具有包括多个粘合结构的粘合剂。另外，所述方法可以包括将载体定位在基本上竖直的定向上，例如，从安装位置到竖直运输位置，其中大多数壁虎结构的最小柔性方向是在竖直方向上或是在偏离竖直方向+60°和-60°之间、+45°和-45°之间、+30°和-30°之间、更特别是+15°和-15°之间的方向上。

在本文中，例如，当涉及基板定向时，可以将术语竖直方向理解为允许偏离竖直方向或定向±20°或更少，例如偏离±10°或更少。例如，因为与竖直定向有一定偏差的基板支撑件可产生更稳定的基板位置，或在基板略微面向下的情况下颗粒污染基板表面的风险得以减小，所以可以提供此偏差。然而，例如在层沉积处理期间，基板定向可以被视为是大体上竖直的，这可以被视为与水平基板定向不同。

另外，安装可以包括将粘合剂附接到保持器的表面，其中粘合剂的材料经构造为将基板附接到保持器的表面。安装可以包括将粘合剂附接到基板。根据一些实施方式，在粘合剂附接到保持器的表面之前，粘合剂附接到基板。根据可与本文所述的其它实施方式组合的其它实施方式，粘合剂在附接到基板之前附接到保持器的表面。例如，粘合剂经构造为接触基板的第一表面，其中所述的第一表面可以是基板的背侧表面。

因此，有利地，在本公开内容中，用于使用如本文所述的保持器来保持基板的方法大体上避免了基板的下垂而无关于基板相对于保持器的安装方向。

示例性地参考图7，描述根据本公开内容的用于从保持器释放基板的方法的实施方式。用于通过利用多个壁虎结构的粘合剂从已安装的保持器释放基板的步骤401的方法包括向保持器施加力的步骤402和释放保持器的步骤403。施加力以使得对于保持器的大多数壁虎结构而言，力是在壁虎结构的最大柔性方向上施加的。例如，最大柔性方向可以是垂直于平行于保持器表面的最小柔性方向的方向。特别地，根据可与本文所述的任何其它实施方式组合的实施方式，所述方法可以包括向保持器施加力，使得对于保持器上的大多数壁虎结构而言，力是在偏离壁虎结构的最大柔性方向+60°与-60°之间，+45°与-45°之间，+30°与-30°之间，更特别地是+15°与-15°之间，诸如+5°和-5°之间的方向上施加的。

例如，根据可与本文所述的其它实施方式组合的一些实施方式，所述力可以是围绕保持器200的表面上的可旋转轴220施加的旋转力。旋转力可以由保持器相对于基板的扭转运动引起。根据可与本文所述的其它实施方式组合的一些实施方式，保持器的扭转运动和旋转可平行于最大柔性方向或垂直于大多数壁虎结构的最小柔性方向。

在本公开内容中，用于从保持器释放基板的方法可以包括移除基板的步骤403以便获得能够安装另外的基板的空闲的保持器。

用于从保持器释放基板的方法可以通过计算机程序、软件、计算机软件产品和相互关联的控制器来进行，所述控制器可以具有CPU、存储器、用户界面和与用于处理基板的装置(诸如，本文所述的处理系统)的对应部件通信的输入和输出设备。

因此，提供了用于从载体释放基板，特别是大面积基板的改进的方法。更具体地，如所述的方法提供在保持器的粘合剂和安装在保持器上的基板之间的界面处引起剪切力，使得可以降低在从载体释放基板期间损坏基板的风险。

示例性地参考图8，本公开内容提供当在水平位置将基板装载到载体上和在竖直运输位置传送基板时基板下垂的问题的解决方案，而同时允许基板的安全释放。本公开内容的作者已经确认，当重力主要作用于大多数壁虎结构的最小柔性方向A时，具有各向异性柔性的壁虎结构能够避免下垂，而同时可以通过在大多数壁虎结构的最大柔性方向B上施加力来进行释放。

根据一些实施方式，可以提供一种用于保持基板的保持器。保持器包括经构造为面向基板的表面；和被提供在表面上方并包括多个粘合结构的粘合剂，所述多个粘合结构包括从所述表面突出的第一粘合结构，其中第一粘合结构具有平行于表面的各向异性柔性。例如，多个粘合结构可以具有平行于表面的各向异性柔性。

示例性地参考图9，描述根据本公开内容的实施方式的处理系统500。在本公开内容中，将处理系统理解为经构造为用于处理基板的系统。根据可与本文所述的其它实施方式组合的一些实施方式，本文所述的处理系统用于竖直基板处理。将术语竖直基板处理理解为区别于水平基板处理。也就是说，竖直基板处理涉及在基板处理期间基板的基本上竖直的定向，并且因此也涉及处理系统，其中偏离精确竖直定向几度的偏差，例如多至10°或甚至多至15°的偏差，仍被视为竖直基板处理。具有小倾斜度的竖直基板定向可以例如产生更稳定的基板传送或降低颗粒污染沉积层的风险。

如图9中示例性指示的，处理系统可以包括处理腔室510、处理设备520和根据本文所述的任何实施方式的载体100。特别地，处理腔室510可以是真空处理腔室，诸如，适用于真空沉积处理的沉积腔室。例如，沉积处理可以是PVD或CVD处理。例如，具有定位在载体上的基板101的载体100被设置在用于基板处理的处理腔室510中。特别地，载体100可以根据本文所述实施方式进行配置，并且可以具有如本文所述的一个或多个保持器200。另外，如图9中示例性所示，处理系统500可以包括被构造为用于运输根据本文所述实施方式的载体100的运输设备540。

根据可与本文所述的其它实施方式组合的实施方式，处理设备520可以是沉积材料源，所述沉积材料源可以设置在处理室510中面向待处理(例如，涂覆)的基板101的侧面。如图9中示例性地指示，沉积材料源可以提供待沉积在基板101上的沉积材料535。例如，沉积材料源可以是在靶材上具有沉积材料的靶材或允许材料被释放以沉积在基板上的任何其它布置。在一些实施中，沉积材料源可以是可旋转靶材。根据本文所述的一些实施方式，沉积材料源可以是可移动的，以便定位和/或更换沉积材料源。根据本文所述的其它实施方式，沉积材料员可以是平面靶材。

根据可与本文所述的其它实施方式组合的一些本文所述的实施方式，可根据沉积处理和随后经涂覆基板的应用来选择沉积材料535。例如，沉积材料源的沉积材料535可以是选自由以下材料组成的群组的材料：金属，诸如铝、钼、钛、铜等，硅，氧化铟锡和其它透明的导电氧化物。可以包括这种材料的氧化物层、氮化物层或碳化物层可以通过提供来自沉积材料源的材料或通过反应性沉积进行沉积，即来自沉积材料源的材料可以与诸如来自处理气体的氧、氮或碳的元素反应。

虽然前文针对本公开内容的实施方式，但是可以在不脱离本公开内容的基本范围的情况下设计本公开内容的其它和另外的实施方式，并且本公开内容的范围由所附的权利要求书确定。

特别地，此书面描述使用示例来公开本公开内容，包括最佳模式，并且还使本领域任何技术人员能够实践所描述的主题，包括制作和使用任何设备或系统和执行任何并入的方法。尽管在前文中已经公开了各种具体实施方式，但是上述实施方式的相互非排他性特征可以彼此组合。专利范围是由权利要求限定，并且如果权利要求具有与权利要求的字面语言不同的结构要素，或如果权利要求包括与权利要求的字面语言无实质差别的等同结构要素，则其它示例意欲在权利要求的范围内。

Claims (14)

1.一种用于保持基板的保持器，所述保持器包括：

表面，经构造为面向所述基板；和

粘合剂，被提供在所述表面上方并包括多个粘合结构，所述多个粘合结构包括：

从所述表面突出的第一粘合结构；和

从所述表面突出的第二粘合结构；

与所述第二粘合结构当在相同方向上以相同的力弯曲时相比，所述第一粘合结构当在给定方向上弯曲时不同地弯曲。

2.一种用于保持基板的保持器，所述保持器包括：

表面，经构造为面向所述基板；和

粘合剂，被提供在所述表面上方并包括多个粘合结构，所述多个粘合结构包括：

从所述表面突出并具有第一细长的横截面的第一粘合结构；和

从所述表面突出并具有第二细长的横截面的第二粘合结构；并且

所述第一细长的横截面具有第一定向而所述第二细长的横截面具有与所述第一定向不同的第二定向。

3.如权利要求1至2中任一项所述的保持器，其中所述多个粘合结构包括设置在所述表面的第一区域上方的多个第一粘合结构和设置在所述表面的第二区域上方的多个第二粘合结构。

4.如权利要求3所述的保持器，其中所述第一区域和所述第二区域形成图案。

5.如权利要求1至4中任一项所述的保持器，其中所述保持器包括可旋转轴。

6.如权利要求5所述的保持器，其中大多数的粘合结构经定向而使得单独粘合结构的最小柔性方向与向着所述可旋转轴的径向方向的偏差小于60°。

7.如权利要求6所述的保持器，其中所述大多数的粘合结构经定向而使得单独粘合结构的所述最小柔性方向与向着所述可旋转轴的所述径向方向之间的角为30°或更小。

8.如权利要求1至7中任一项所述的保持器，其中所述粘合剂包括干粘合剂材料。

9.如权利要求8所述的保持器，其中所述干粘合剂材料包括合成刚毛材料。

10.如权利要求1至9中任一项所述的保持器，其中所述粘合剂包括选自由以下材料组成的群组的材料：硅基材料、聚酰亚胺基材料和上述材料的组合。

11.一种用于保持基板的载体，包括：

载体主体；和

一个或多个如权利要求1至10中任一项所述的保持器。

12.一种处理系统，包括：

处理腔室；

处理设备；和

如权利要求11所述的载体。

13.一种用于使用保持器保持基板的方法，包括：

将基板安装在具有保持器的载体上，所述保持器具有包括多个粘合结构的粘合剂；和

定位所述载体，其中单独粘合结构的最小柔性方向中的大多数是在竖直方向上或在偏离所述竖直方向+30°与-30°之间的方向上。

14.一种用于从具有包括多个粘合结构的粘合剂的保持器释放基板的方法，包括：

将力施加到所述保持器，对于所述保持器上的大多数粘合结构而言，所述力被导向在所述粘合结构的最大柔性方向上或偏离所述粘合结构的所述最大柔性方向+30°与-30°之间的方向上。