CN109518135A - 一种蒸镀设备及蒸镀方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种蒸镀设备及蒸镀方法，涉及蒸镀技术领域，为解决现有技术中蒸镀设备所蒸镀出的膜厚在线性蒸发源的长度方向上不均匀的问题而发明。该蒸镀设备，包括蒸镀腔室、蒸发源载台、基板载台以及线性蒸发源，线性蒸发源设置于蒸发源载台上，基板载台位于蒸发源载台的上方，蒸镀设备还包括移动驱动装置和旋转驱动装置，在移动驱动装置的驱动下，蒸发源载台和基板载台之间能够在第一方向上发生相对移动；在旋转驱动装置的驱动下，蒸发源载台、基板载台中的至少一个能够分别绕一竖直轴线转动，以使线性蒸发源的两个端部相对基板载台的位置能够对调。本发明可用于OLED显示面板中有机发光材料的蒸镀。

Description

一种蒸镀设备及蒸镀方法

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀设备及蒸镀方法。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode；有机发光二极管)是一种极具发展前景的平板显示技术，它具有十分优异的显示性能，已成为显示技术领域中第三代显示器件的主力军。OLED器件中的有机材料层的主流制备方法之一是蒸镀法，具体为在真空腔体内加热有机小分子材料，使其升华或者熔融气化成材料蒸汽，通过掩膜板的开孔沉积在待蒸镀基板上。其中，在蒸镀过程中，如何提高蒸镀膜厚的均一性已成为业内追求的目标。

现有技术中的一种蒸镀设备，包括线性蒸发源，线性蒸发源的顶部具有多个沿线性蒸发源的长度方向排布的喷嘴，该蒸镀设备工作时，线性蒸发源沿垂直于其长度的方向运动，以对待蒸镀基板进行扫描蒸镀。

然而，由于受到线性蒸发源在其长度方向上蒸镀速率的差异、喷嘴大小设计不均、线性蒸发源内坩埚在其长度方向上加热不均匀等诸多因素的影响，造成蒸镀膜厚在沿线性蒸发源的长度方向上有一定的波动，而基板上有机发光材料膜厚的不均匀，则大大降低了OLED显示面板的显示效果。

发明内容

本发明实施例提供一种蒸镀设备及蒸镀方法，用于解决现有技术中蒸镀设备所蒸镀出的膜厚在线性蒸发源的长度方向上不均匀的问题。

为达到上述目的，第一方面，本发明实施例提供了一种蒸镀设备，包括蒸镀腔室、蒸发源载台、基板载台以及线性蒸发源，所述蒸发源载台、所述基板载台、所述线性蒸发源均设置于所述蒸镀腔室内，所述线性蒸发源设置于所述蒸发源载台上，所述基板载台位于所述蒸发源载台的上方，所述蒸镀设备还包括移动驱动装置和旋转驱动装置，在所述移动驱动装置的驱动下，所述蒸发源载台和所述基板载台之间能够在第一方向上发生相对移动，所述第一方向为与竖直方向、所述线性蒸发源的长度方向均垂直的方向；在所述旋转驱动装置的驱动下，所述蒸发源载台、所述基板载台中的至少一个能够分别绕一竖直轴线转动，以使所述线性蒸发源的两个端部相对所述基板载台的位置能够对调。

进一步地，所述基板载台与所述蒸镀腔室的腔壁固定连接；所述移动驱动装置包括第一基台和移动驱动单元，所述第一基台所述蒸镀腔室的腔壁活动连接，所述移动驱动单元用于驱动所述第一基台沿所述第一方向相对所述基板载台移动；所述蒸发源载台通过第一转轴与所述第一基台可转动连接，所述第一转轴竖直设置，所述第一转轴的中心轴线为所述一竖直轴线，所述旋转驱动装置用于驱动所述蒸发源载台绕所述第一转轴旋转。

进一步地，所述蒸发源载台与所述蒸镀腔室的腔壁固定连接；所述移动驱动装置包括第二基台和移动驱动单元，所述第二基台所述蒸镀腔室的腔壁活动连接，所述移动驱动单元用于驱动所述第二基台沿所述第一方向相对所述蒸发源载台移动；所述基板载台通过第二转轴与所述第二基台可转动连接，所述第二转轴竖直设置，所述第二转轴的中心轴线为所述一竖直轴线，所述旋转驱动装置用于驱动所述基板载台绕所述第二转轴旋转。

进一步地，所述线性蒸发源的顶部具有喷嘴；所述蒸镀设备还包括喷嘴控制装置，所述喷嘴控制装置具有第一状态和第二状态，当所述喷嘴控制装置处于所述第一状态时，所述喷嘴控制装置关闭所述喷嘴；当所述喷嘴控制装置处于所述第二状态时，所述喷嘴控制装置打开所述喷嘴。

更进一步地，所述喷嘴控制装置包括挡板和驱动单元，所述挡板与所述线性蒸发源活动连接，所述驱动单元用于驱动所述挡板在第一位置和第二位置之间运动；当所述挡板位于所述第一位置时，所述挡板位于所述喷嘴的上方并且将所述喷嘴封堵；当所述挡板位于所述第二位置时，所述挡板在水平方向上与所述喷嘴错开；其中，所述挡板位于所述第一位置时的状态为所述第一状态，所述挡板位于所述第二位置时的状态为所述第二状态。

第二方面，本发明实施例提供了一种蒸镀方法，包括以下步骤：线性蒸发源对待蒸镀基板进行偶数次扫描蒸镀；在相邻的两次扫描蒸镀之间，所述线性蒸发源、所述待蒸镀基板中的至少一个分别绕一竖直轴线转动，以使所述线性蒸发源的两个端部相对所述待蒸镀基板的位置对调。

进一步地，在相邻的两次扫描蒸镀之间，所述线性蒸发源、所述待蒸镀基板中的至少一个分别绕一竖直轴线转动，以使所述线性蒸发源的两个端部相对所述待蒸镀基板的位置对调包括：在相邻的两次扫描蒸镀之间，所述线性蒸发源绕所述线性蒸发源的竖直中心轴线相对所述待蒸镀基板转动180°，以使所述线性蒸发源的两个端部相对所述待蒸镀基板的位置对调；其中，所述线性蒸发源的竖直中心轴线为所述一竖直轴线。

进一步地，所述线性蒸发源对所述待蒸镀基板扫描蒸镀的次数为两次。

进一步地，沿第一方向，所述线性蒸发源在所述待蒸镀基板的两侧之间相对所述待蒸镀基板往返运动的过程中均对所述待蒸镀基板进行扫描蒸镀；其中，所述第一方向为与竖直方向、所述线性蒸发源的长度方向均垂直的方向。

进一步地，在所述线性蒸发源的两个端部相对所述待蒸镀基板的位置对调的过程中，所述线性蒸发源的喷嘴关闭。

本发明实施例提供的蒸镀设备及蒸镀方法，在工作时，待蒸镀基板设置在基板载台上，移动驱动装置工作，在移动驱动装置的驱动下，蒸发源载台和基板载台之间在第一方向上发生相对移动，使线性蒸发源对待蒸镀基板进行偶数次扫描蒸镀；在相邻的两次扫描蒸镀之间，旋转驱动装置驱动蒸发源载台、基板载台中的一个绕一竖直轴线转动，使线性蒸发源的两个端部相对基板载台的位置对调。由于在两次扫描蒸镀之间，线性蒸发源相对待蒸镀基板的位置可以通过旋转驱动装置进行对调，这样线性蒸发源上多个喷嘴的位置也发生了对调，使得在上次扫描中对应膜厚较厚位置的喷嘴对应膜厚较薄的位置，那么在接下来的扫描过程中，线性蒸发源上的多个喷嘴就可以对上次扫描过程中的膜厚进行补偿，最终使多个喷嘴所对应的膜厚趋于相同，以提高该线性蒸发源所蒸镀膜厚的均一性，而蒸镀膜厚均一性的提高则有利于提高OLED显示面板的显示品质。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术蒸镀设备中的线性蒸发源对各个批次待蒸镀基板扫描蒸镀之后膜厚的统计表；

图2为现有技术蒸镀设备中线性蒸发源上的各个喷嘴所蒸镀膜厚的曲线图；

图3为线性蒸发源的两端对调前后，线性蒸发源上的各个喷嘴所蒸镀膜厚的曲线图；

图4为本发明一些实施例中蒸镀设备的结构示意图；

图5为本发明另一些实施例中蒸镀设备的结构示意图；

图6为本发明实施例中线性蒸发源扫描蒸镀过程的示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

现有技术中的蒸镀设备在蒸镀时，线性蒸发源沿垂直于其长度方向往返运动，对待蒸镀基板进行扫描蒸镀。通过对该线性蒸发源对某常见的某小尺寸产品蒸镀的HTL材料的膜厚的试验(在该试验中线性蒸发源均对应每张基板均扫描两次，来回各一次)，得出了沿线性蒸发源的长度方向，多个喷嘴所蒸镀的膜厚数据，具体如图1所示，图1中所示的喷嘴1到喷嘴9是沿线性蒸发源的长度方向依次排列：通过数据分析发现：喷嘴1到喷嘴9所对应的膜厚呈一定的规律变化，具体如图2所示，从图2中的膜厚曲线可以看出，喷嘴2、喷嘴3和喷嘴4所对应的膜厚较厚，喷嘴6、喷嘴7和喷嘴8所对应的膜厚较薄，也就是：线性蒸发源沿其长度方向一个半侧上的喷嘴所蒸镀的膜厚较厚，另一个半侧上的喷嘴所蒸镀的膜厚较薄。基于上述发现的膜厚规律，本申请在线性蒸发源对待蒸镀基板扫描蒸镀一次之后，线性蒸发源的两端对调，在下一次扫描蒸镀过程中可以对上一次扫描蒸镀形成的膜厚进行补偿，从而使线性蒸发源的多个喷嘴所蒸镀的膜厚达到或接近相同。

第一方面，本发明实施例提供了一种蒸镀设备，如图4所示，包括蒸镀腔室1、蒸发源载台2、基板载台3以及线性蒸发源4，蒸发源载台2、基板载台3、线性蒸发源4均设置于蒸镀腔室1内，线性蒸发源4设置于蒸发源载台2上，基板载台3位于蒸发源载台2的上方，蒸镀设备还包括移动驱动装置6和旋转驱动装置7，在移动驱动装置6的驱动下，蒸发源载台2和基板载台3之间能够在第一方向X上发生相对移动，第一方向X为与竖直方向、线性蒸发源4的长度方向均垂直的方向；在旋转驱动装置7的驱动下，蒸发源载台2、基板载台3中的至少一个能够分别绕一竖直轴线转动(图4中所示为蒸发源载台2能够绕一竖直轴线8转动)，以使线性蒸发源4的两个端部相对基板载台3的位置能够对调。

其中，基板载台3位于蒸发源载台2的上方，既可以是正上方，也可以是斜上方，在此不做具体限定。

在工作时，如图4和图6所示，待蒸镀基板10设置在基板载台3上，移动驱动装置6工作，在移动驱动装置6的驱动下，蒸发源载台2和基板载台3之间在第一方向X上发生相对移动，使线性蒸发源4对待蒸镀基板10进行偶数次扫描蒸镀；在相邻的两次扫描蒸镀之间，旋转驱动装置7驱动蒸发源载台2、基板载台3中的一个绕一竖直轴线转动，使线性蒸发源4的两个端部相对基板载台3的位置对调。由于在相邻的两次扫描蒸镀之间，线性蒸发源4相对待蒸镀基板10的位置可以通过旋转驱动装置7进行对调，这样线性蒸发源4上的多个喷嘴41的位置也发生了对调，使得在上次扫描中对应膜厚较厚位置的喷嘴41对应膜厚较薄的位置，那么在接下来的扫描过程中，线性蒸发源4上的多个喷嘴41就可以对上次扫描过程中的膜厚进行补偿，最终使多个喷嘴41所对应的膜厚趋于相同(具体效果如图3所示，图中夹在上下两条曲线中间的曲线为本发明实施例中的蒸镀设备最终的膜厚曲线)，以提高该线性蒸发源4所蒸镀膜厚的均一性，而蒸镀膜厚均一性的提高则有利于提高OLED显示面板的显示品质。

需要说明的是：线性蒸发源4对待蒸镀基板10扫描蒸镀的次数可以是两次，也可以是四次、六次等偶数次，在此不做具体限定；在相邻的两次扫描蒸镀之间，蒸发源载台2、基板载台3也可以均绕各自竖直中心轴线转动(例如蒸发源载台2转360°，基板载台3转180°)，使线性蒸发源4的两个端部相对基板载台3的位置对调。

在上述实施例中，蒸发源载台2、基板载台3在第一方向X上相对运动的形式，以及线性蒸发源4的两个端部相对基板载台3的位置对调的形式并不唯一，至少包括以下四个实施例：

实施例1：在该实施例中，基板载台3与蒸镀腔室1的腔壁固定连接，蒸发源载台2能够沿第一方向X相对基板载台3运动，并且蒸发源载台2还能够带动线性蒸发源4绕一竖直轴线8旋转以实现其两个端部相对待蒸镀基板10的位置对调，具体如下：

如图4所示，基板载台3与蒸镀腔室1的腔壁固定连接；移动驱动装置6包括第一基台61和移动驱动单元62，第一基台61与蒸镀腔室1的腔壁活动连接，移动驱动单元62用于驱动第一基台61沿第一方向X相对基板载台3移动；蒸发源载台2通过第一转轴9a与第一基台61可转动连接，第一转轴9a竖直设置，第一转轴9a的中心轴线为一竖直轴线8，旋转驱动装置7用于驱动蒸发源载台2绕第一转轴9a旋转。

在工作时，移动驱动单元62驱动第一基台61沿第一方向X相对蒸镀腔室1的腔壁移动，从而带动位于蒸发源载台2上的线性蒸发源4沿第一方向X相对基板载台3移动，以对设置在基板载台3上的待蒸镀基板10进行偶数次扫描蒸镀；在线性蒸发源4对待蒸镀基板10相邻的两次扫描蒸镀之间，旋转驱动装置7驱动蒸发源载台2绕第一转轴9a相对基板载台3旋转，带动线性蒸发源4旋转，以使线性蒸发源4的两个端部相对待蒸镀基板10的位置对调。

实施例2：在该实施例中，蒸发源载台2与蒸镀腔室1的腔壁固定连接，基板载台3能够沿第一方向X相对蒸镀腔室1的腔壁运动，并且基板载台3还能够带动待蒸镀基板10以及掩膜板20绕一竖直轴线8旋转，以实现线性蒸发源4的两个端部相对待蒸镀基板10的位置对调，具体如下：

如图5所示，蒸发源载台2与蒸镀腔室1的腔壁固定连接；移动驱动装置6包括第二基台63和移动驱动单元62，第二基台63蒸镀腔室1的腔壁活动连接，移动驱动单元62用于驱动第二基台63沿第一方向X相对蒸发源载台2移动；基板载台3通过第二转轴9b与第二基台63可转动连接，第二转轴9b竖直设置，第二转轴9b的中心轴线为一竖直轴线8，旋转驱动装置7用于驱动基板载台3绕第二转轴9b旋转。

在工作时，移动驱动单元62驱动第二基台63沿第一方向X相对蒸镀腔室1的腔壁移动，从而带动基板载台3上的待蒸镀基板10以及掩膜板20沿第一方向X相对线性蒸发源4移动，以实现线性蒸发源4对待蒸镀基板10进行偶数次扫描蒸镀；在线性蒸发源4对待蒸镀基板10相邻的两次扫描蒸镀之间，旋转驱动装置7驱动基板载台3绕第二转轴9b相对蒸发源载台2旋转，带动待蒸镀基板10以及掩膜板20旋转，以使线性蒸发源4的两个端部相对待蒸镀基板10的位置对调。

实施例3：在该实施例中，蒸发源载台2能够沿第一方向X相对蒸镀腔室1的腔壁运动，基板载台3能够带动线性蒸发源4绕一竖直轴线8旋转以实现其两个端部相对待蒸镀基板10的位置对调，具体如下：蒸发源载台2与蒸镀腔室1的腔壁活动连接，移动驱动装置6用于驱动蒸发源载台2沿第一方向X相对蒸镀腔室1的腔壁移动；基板载台3通过第三转轴与蒸镀腔室1的腔壁可转动连接，第三转轴竖直设置，第三转轴的中心轴线为一竖直轴线8，旋转驱动装置7用于驱动基板载台3绕第三转轴旋转。

在工作时，移动驱动装置6驱动蒸发源载台2沿第一方向X相对蒸镀腔室1的腔壁移动，从而带动线性蒸发源4沿第一方向X相对待蒸镀基板10移动，以对待蒸镀基板10进行偶数次扫描蒸镀；在线性蒸发源4对待蒸镀基板10相邻的两次扫描蒸镀之间，旋转驱动装置7驱动基板载台3绕第三转轴相对旋转，带动待蒸镀基板10旋转，以使线性蒸发源4的两个端部相对待蒸镀基板10的位置对调。

实施例4：在该实施例中，基板载台3能够沿第一方向X相对蒸镀腔室1的腔壁运动，蒸发源载台2带动线性蒸发源4绕一竖直轴线8旋转以实现线性蒸发源4的两个端部相对待蒸镀基板10的位置对调，具体如下：蒸发源载台2通过第四转轴与蒸镀腔室1的腔壁可转动连接，第四转轴竖直设置，第四转轴的中心轴线为一竖直轴线8，旋转驱动装置7用于驱动蒸发源载台2绕第四转轴旋转；基板载台3与蒸镀腔室1的腔壁活动连接，移动驱动装置6用于驱动基板载台3沿第一方向X相对蒸镀腔室1的腔壁移动。

在工作时，移动驱动装置6驱动基板载台3沿第一方向X相对蒸镀腔室1的腔壁移动，从而带动待蒸镀基板10以及掩膜板20沿第一方向X相对线性蒸发源4移动，以实现线性蒸发源4对待蒸镀基板10进行偶数次扫描蒸镀；在线性蒸发源4对待蒸镀基板10相邻的两次扫描蒸镀之间，旋转驱动装置7驱动蒸发旋载台绕第四转轴旋转，带动线性蒸发源4旋转，以使线性蒸发源4的两个端部相对待蒸镀基板10的位置对调。

在本发明实施例提供的蒸镀设备中，如图4所示，蒸镀设备还可以包括喷嘴控制装置5，喷嘴控制装置5具有第一状态和第二状态，当喷嘴控制装置5处于第一状态时，喷嘴控制装置5关闭线性蒸发源4的顶部的喷嘴41；当喷嘴控制装置5处于第二状态时(如图4所示)，喷嘴控制装置5打开线性蒸发源4的顶部的喷嘴41。在线性蒸发源4的两个端部相对待蒸镀基板10对调的过程中，喷嘴控制装置5切换至第一状态，以关闭喷嘴41，阻止喷嘴41向上方继续喷出蒸镀材料蒸汽，这样一方面可以避免蒸镀材料不必要的浪费，另一方面也可以减少蒸镀材料在蒸镀腔室1的腔壁上的沉积，减少对蒸镀腔室1的腔壁上沉积的蒸镀材料清理的工作量；当线性蒸发源4的两个端部相对待蒸镀基板10对调完成之后，喷嘴控制装置5切换至第二状态，打开喷嘴41，线性蒸发源4可以继续对待蒸镀基板10进行扫描蒸镀，从而保证蒸镀的继续进行。

其中，喷嘴控制装置5的结构组成并不唯一，比如喷嘴控制装置5可以为以下结构：如图4所示，喷嘴控制装置5包括挡板51和驱动单元52，挡板51与线性蒸发源4活动连接，驱动单元52用于驱动挡板51在第一位置和第二位置之间运动；当挡板51位于第一位置时，挡板51位于喷嘴41的上方并且将喷嘴41封堵；当挡板51位于第二位置时(如图4所示)，挡板51在水平方向上与喷嘴41错开，以将喷嘴41打开；其中，挡板51位于第一位置时的状态为喷嘴控制装置5的第一状态，挡板51位于第二位置时的状态为喷嘴控制装置5的第二状态。

其中，驱动单元52可以为直线电机，也可以为气缸，只要能够驱动挡板51沿直线运动即可，在此不做具体限定。

另外，喷嘴控制装置5还可以为以下结构：喷嘴控制装置5包括设置于喷嘴41上的阀门，阀门可将喷嘴41打开和关闭。其中，阀门将喷嘴41关闭时的状态为第一状态，阀门将喷嘴41打开时的状态为第二状态。相比喷嘴控制装置5包括阀门的实施例，喷嘴控制装置5包括挡板51和驱动单元52的实施例，可以通过设置一个挡板51就可以控制线性蒸发源4顶部的多个喷嘴41的开闭，从而可以方便喷嘴控制装置5对喷嘴41开闭的控制，简化喷嘴控制装置5的结构，从而有利于降低喷嘴控制装置5的结构设计以及控制设计的成本。

在本发明实施例提供的蒸镀设备中，移动驱动单元62可以为气缸，也可以是由电机、丝杠螺母组成的驱动单元，还可以为直线电机，在此不做具体限定；旋转驱动装置7可以为电机，也可以为气动马达，在此也不做具体限定。

第二方面，本发明实施例提供了一种蒸镀方法，包括以下步骤：

如图6所示，线性蒸发源4对待蒸镀基板10进行偶数次扫描蒸镀；在相邻的两次扫描蒸镀之间，线性蒸发源4、待蒸镀基板10中的至少一个分别绕一竖直轴线转动，以使线性蒸发源4的两个端部相对待蒸镀基板10的位置对调。

需要说明的是：1、线性蒸发源4对待蒸镀基板10的扫描蒸镀，可以是待蒸镀基板10以及掩膜板20固定不动，线性蒸发源4沿第一方向X相对待蒸镀基板10以预设速度移动，以对待蒸镀基板10进行扫描蒸镀；也可以是线性蒸发源4固定不动，待蒸镀基板10以及掩膜板20沿第一方向X以预设速度相对线性蒸发源4移动，以使线性蒸发源4对待蒸镀基板10进行扫描蒸镀；2、线性蒸发源4的两个端部相对待蒸镀基板10的位置对调，可以是待蒸镀基板10以及掩膜板20固定不动，线性蒸发源4绕一竖直轴线8(也就是线性蒸发源4的竖直中心轴线)转动，实现其两个端部相对待蒸镀基板10的位置对调；也可以是线性蒸发源4固定不动，待蒸镀基板10以及掩膜板20绕一竖直轴线8(也就是待蒸镀基板10的竖直中心轴线)转动，实现线性蒸发源4的两个端部相对待蒸镀基板10的位置对调；3、在相邻的两次扫描蒸镀之间，线性蒸发源4、待蒸镀基板10也可以均绕各自竖直中心轴线转动(例如线性蒸发源4转360°，待蒸镀基板10转180°)，使线性蒸发源4的两个端部相对待蒸镀基板10的位置对调。

本发明实施例提供的蒸镀方法所解决的技术问题以及取得的有益效果，均与第一方面中的蒸镀设备所解决的技术问题以及取得的有益效果相同，在此不再赘述。

在待蒸镀基板10固定不动，线性蒸发源4绕一竖直轴线8转动，实现其两个端部相对待蒸镀基板10的位置对调的实施例中，线性蒸发源4绕一竖直轴线8旋转的角度可以是180°(如图6所示)，也可以是180°的奇数倍(该奇数大于等于3)，比如540°；相比旋转180°的奇数倍，线性蒸发源4旋转180°，更加能够节省线性蒸发源4的两个端部对调所需的时间，从而可以提高蒸镀的效率。

本发明实施例提供的蒸镀方法中，线性蒸发源4对待蒸镀基板10扫描蒸镀的次数可以为两次(如图6所示)，也可以为四次。相比扫描蒸镀的次数为四次，当扫描蒸镀的次数为两次时，既能够达到蒸镀膜厚的要求，又可以缩短一个基板所需的蒸镀时间，从而有利于提高蒸镀的效率。

本发明实施例提供的蒸镀方法中，线性蒸发源4对待蒸镀基板10进行扫描蒸镀的方式并不唯一，比如可以采用以下扫描蒸镀方式：沿第一方向X，线性蒸发源4在待蒸镀基板10的两侧之间相对待蒸镀基板10往返运动的过程中均对待蒸镀基板10进行扫描蒸镀；也就是：如图6所示，线性蒸发源4从待蒸镀基板10的左侧移动至右侧，并且从右侧返回至左侧的过程中均对待蒸镀基板10进行扫描蒸镀。另外，还可以采用以下扫描蒸镀方式：沿第一方向X，线性蒸发源4在待蒸镀基板10的两侧之间相对待蒸镀基板10往返运动的过程中，线性蒸发源4在从待蒸镀基板10第一侧移动至第二侧的过程中对待蒸镀基板10进行扫描蒸镀；也就是：如图6所示，线性蒸发源4从待蒸镀基板10的左侧移动至右侧的过程中对待蒸镀基板10进行扫描蒸镀，线性蒸发源4从待蒸镀基板10的右侧移动至左侧的过程中停止对待蒸镀基板10的蒸镀。相比后者的扫描方式，前者的扫描方式中线性蒸发源4在待蒸镀基板10的两侧之间相对待蒸镀基板10往返运动的过程中均对待蒸镀基板10进行扫描蒸镀，这样避免了线性蒸发源4与待蒸镀基板10之间的空运动，减少蒸镀的时间，从而有利于提高蒸镀的效率。

本发明实施例提供的蒸镀方法中，在线性蒸发源4的两个端部相对待蒸镀基板10的位置对调的过程中，线性蒸发源4的喷嘴41关闭，阻止喷嘴41向上方继续喷出蒸镀材料蒸汽，这样一方面可以避免蒸镀材料不必要的浪费，另一方面也可以减少蒸镀材料在蒸镀腔室1的腔壁上的沉积，减少对蒸镀腔室1的腔壁上沉积的蒸镀材料清理的工作量。

在该蒸镀方法实施例中所出现的与上述蒸镀设备的产品实施例中相同或相近的特征，具体可参照上述蒸镀设备的产品实施例中的描述，在此不再赘述。

在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种蒸镀设备，包括蒸镀腔室、蒸发源载台、基板载台以及线性蒸发源，所述蒸发源载台、所述基板载台、所述线性蒸发源均设置于所述蒸镀腔室内，所述线性蒸发源设置于所述蒸发源载台上，所述基板载台位于所述蒸发源载台的上方，其特征在于，

所述蒸镀设备还包括移动驱动装置和旋转驱动装置，在所述移动驱动装置的驱动下，所述蒸发源载台和所述基板载台之间能够在第一方向上发生相对移动，所述第一方向为与竖直方向、所述线性蒸发源的长度方向均垂直的方向；在所述旋转驱动装置的驱动下，所述蒸发源载台、所述基板载台中的至少一个能够分别绕一竖直轴线转动，以使所述线性蒸发源的两个端部相对所述基板载台的位置能够对调。

2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述基板载台与所述蒸镀腔室的腔壁固定连接；

所述移动驱动装置包括第一基台和移动驱动单元，所述第一基台所述蒸镀腔室的腔壁活动连接，所述移动驱动单元用于驱动所述第一基台沿所述第一方向相对所述基板载台移动；

所述蒸发源载台通过第一转轴与所述第一基台可转动连接，所述第一转轴竖直设置，所述第一转轴的中心轴线为所述一竖直轴线，所述旋转驱动装置用于驱动所述蒸发源载台绕所述第一转轴旋转。

3.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸发源载台与所述蒸镀腔室的腔壁固定连接；

所述移动驱动装置包括第二基台和移动驱动单元，所述第二基台所述蒸镀腔室的腔壁活动连接，所述移动驱动单元用于驱动所述第二基台沿所述第一方向相对所述蒸发源载台移动；

所述基板载台通过第二转轴与所述第二基台可转动连接，所述第二转轴竖直设置，所述第二转轴的中心轴线为所述一竖直轴线，所述旋转驱动装置用于驱动所述基板载台绕所述第二转轴旋转。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述线性蒸发源的顶部具有喷嘴；

所述蒸镀设备还包括喷嘴控制装置，所述喷嘴控制装置具有第一状态和第二状态，当所述喷嘴控制装置处于所述第一状态时，所述喷嘴控制装置关闭所述喷嘴；当所述喷嘴控制装置处于所述第二状态时，所述喷嘴控制装置打开所述喷嘴。

5.根据权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，所述喷嘴控制装置包括挡板和驱动单元，所述挡板与所述线性蒸发源活动连接，所述驱动单元用于驱动所述挡板在第一位置和第二位置之间运动；

当所述挡板位于所述第一位置时，所述挡板位于所述喷嘴的上方并且将所述喷嘴封堵；当所述挡板位于所述第二位置时，所述挡板在水平方向上与所述喷嘴错开；

其中，所述挡板位于所述第一位置时的状态为所述第一状态，所述挡板位于所述第二位置时的状态为所述第二状态。

6.一种蒸镀方法，其特征在于，包括以下步骤：线性蒸发源对待蒸镀基板进行偶数次扫描蒸镀；在相邻的两次扫描蒸镀之间，所述线性蒸发源、所述待蒸镀基板中的至少一个分别绕一竖直轴线转动，以使所述线性蒸发源的两个端部相对所述待蒸镀基板的位置对调。

7.根据权利要求6所述的蒸镀方法，其特征在于，在相邻的两次扫描蒸镀之间，所述线性蒸发源、所述待蒸镀基板中的至少一个分别绕一竖直轴线转动，以使所述线性蒸发源的两个端部相对所述待蒸镀基板的位置对调包括：

在相邻的两次扫描蒸镀之间，所述线性蒸发源绕所述线性蒸发源的竖直中心轴线相对所述待蒸镀基板转动180°，以使所述线性蒸发源的两个端部相对所述待蒸镀基板的位置对调；其中，所述线性蒸发源的竖直中心轴线为所述一竖直轴线。

8.根据权利要求6所述的蒸镀方法，其特征在于，所述线性蒸发源对所述待蒸镀基板扫描蒸镀的次数为两次。

9.根据权利要求6所述的蒸镀方法，其特征在于，沿第一方向，所述线性蒸发源在所述待蒸镀基板的两侧之间相对所述待蒸镀基板往返运动的过程中均对所述待蒸镀基板进行扫描蒸镀；

其中，所述第一方向为与竖直方向、所述线性蒸发源的长度方向均垂直的方向。

10.根据权利要求6～9中任一项所述的蒸镀方法，其特征在于，在所述线性蒸发源的两个端部相对所述待蒸镀基板的位置对调的过程中，所述线性蒸发源的喷嘴关闭。